JP2011073925A - シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】底部1と円筒状の側壁部2との間にアール状のコーナー部3を有する3層構造のシリカガラスルツボとし、第1層4は、透明シリカガラス、又は、平均気孔径120μm以下の気孔を含有し、気孔密度30個/mm3以下の不透明シリカガラスにて、前記底部中央から、ルツボの中心を通る鉛直方向断面において前記コーナー部3の最も曲率が大きい箇所とその曲率中心とを結ぶ直線に対して、前記曲率中心周りに±5°以内の位置にかけて形成し、第2層5は、平均気孔径80〜120μmの気孔を含有し、気孔密度40〜80個/mm3の不透明シリカガラスにて形成し、第3層6は、透明シリカガラスにて形成する。
【選択図】図1
Description
上記方法において、原料シリコン融液を収容するためのルツボには、シリカガラスルツボが用いられ、該シリカガラスルツボは、シリコン単結晶引上げ時には、カーボンルツボに嵌め込むようにセットされて、ルツボ外周からヒータ加熱される。
前記外層の不透明層は、合成シリカガラスに比べて、純度は低いものの、耐熱性に優れた天然シリカ原料により形成され、多数の気泡を含有している。一方、前記内層の透明層は、引上げられるシリコン単結晶に対する不純物汚染の抑制のため、高純度の合成シリカ原料により形成され、また、前記単結晶インゴットの単結晶化率の向上等の観点から、ルツボ内表面は平滑に形成される。
また、シリカガラスルツボ内への原料シリコンの再充填や、急激な昇降温等により、製造効率の向上を図ることも求められている。
そして、シリコン単結晶引上げ終了後においては、特に、シリカガラスルツボを含むシリコン単結晶引上げ装置全体の冷却時間の短縮化が要求されている。
また、特許文献3に記載されたような複数層のシリカガラスルツボは、層の数が増えるほど製造工程数が増えることとなり、製造コストが大きくなるという課題も有していた。
上記のような構造のシリカガラスルツボによれば、シリコン単結晶引上げ終了後、ルツボ外周に接するカーボンルツボへの伝熱性及び放熱性が向上するため、ルツボの冷却時間の短縮化を図ることができる。
このような構成とすることにより、ルツボ内の原料シリコン融液の均熱性を保持しつつ、ルツボ底部からの放熱性及び伝熱性を効果的に高めることができる。
また、シリコン単結晶引上げ時のルツボ内の原料シリコン融液の均熱性を保持することもできる。
したがって、本発明に係るシリカガラスルツボによれば、シリコン単結晶引上げ終了後、ルツボの冷却時間を短縮し、シリコン単結晶の製造効率の向上を図ることができる。
図1に、本発明に係るシリカガラスルツボの断面図を示す。図1に示すシリカガラスルツボは、底部1と円筒状の側壁部2との間にアール状のコーナー部3を有する断面がU字状の形状からなる。このシリカガラスルツボは3層構造である。第1層4が、透明シリカガラス、又は、平均気孔径120μm以下の気孔を含有し、気孔密度30個/mm3以下の不透明シリカガラスからなり、底部1からコーナー部2の所定位置にかけて形成され、第2層5が、平均気孔径80〜120μmの気孔を含有し、気孔密度40〜80個/mm3の不透明シリカガラスからなり、第1層4の内面側に、ルツボ全体にわたって形成され、第3層6が、透明シリカガラスからなり、第2層5の内面側に、ルツボ全体にわたって形成されている。
また、シリカガラス中の気孔密度が低い方が、粘性が低いため、ルツボ底部1において、第1層4のルツボ外周に接するカーボンルツボへの密着性が高まり、前記カーボンルツボへの熱伝導性の向上も図られ、前記カーボンルツボを通じて、これを支持するシャフトへの迅速な伝熱放熱も可能となる。
これにより、ルツボの冷却時間を短縮することができ、シリコン単結晶の製造効率の向上が図られる。
本発明においては、第1層4と第2層5を構成する不透明シリカガラスは、気孔密度が異なり、第1層4の方が、第2層5よりも気孔密度が低いものとする。
前記平均気孔径が120μmを超える場合、また、前記気孔密度が30個/mm3を超える場合は、この不透明シリカガラスにより保温効果が高まり、ルツボの冷却時間の短縮化を図ることができない。
前記平均気孔径が80μm未満、また、前記気孔密度が40個/mm3未満である場合、シリコン単結晶引上げ時のルツボ内の原料シリコン融液の均熱性を保持することが困難となり、また、ルツボ全体の形状安定性が低下し、ルツボ加熱の際に、座屈変形するおそれがある。
一方、前記平均気孔径が120μmを超える場合、また、前記気孔密度が80個/mm3を超える場合、この不透明シリカガラスによる保温効果の向上により、ルツボの冷却時間の短縮化を図ることが困難となる。
上記位置においては、気孔密度がより低いシリカガラスからなる第1層4が外層となるように形成することにより、ルツボの加熱により、外周に接するカーボンルツボとの十分な密着性が得られるとともに、ルツボ底部1において、放熱性を高めることができる。
また、ルツボ側壁部2においては、気孔密度がより高い不透明シリカガラスからなる第2層5を外層とした2層構造とすることにより、ルツボの形状安定性を保持することができる。
一方、前記回転角が+5°を超える位置まで第1層4を形成すると、外層の粘性低下が側壁部2においても生じ、ルツボが座屈変形しやすくなる。
前記厚さが3mm未満の場合、ルツボ底部1からの伝熱効果及び放熱効果が十分に得られない。
一方、前記厚さが7mmを超える場合、粘性が相対的に低い層が厚すぎるため、ルツボの加熱の際、ルツボ基材自体の形状安定性が不十分となる。
前記第3層6は、ルツボ内に収容される原料シリコン融液と接触するため、例えば、Na、K、Alの金属不純物含有量が各々1ppm以下である高純度合成シリカ原料により形成されるが、シリコン単結晶に求められる品質に応じて、天然シリカ原料を用いてもよく、その内表面は平滑に形成されることが好ましい。
次いで、前記型内に、天然シリカ原料粉を供給し、遠心力及び機械的押圧によって、前記第1層の内側にルツボ全体にわたって、第2層の成形体を成形する。この第2層は、第1層よりも気孔密度の高い不透明シリカガラス層とされる。
その後、高純度合成シリカ原料粉を全体的に供給し、遠心力及び機械的押圧によって、第2層の内表面に、第3層の成形体を形成する。この第3層は、透明シリカガラス層とされる。
そして、上記のようにして得られたルツボ成形体を、アーク溶融法により全体をガラス化することにより、本発明に係るシリカガラスルツボが得られる。
[実施例1]
上記の実施の形態において説明した方法と同様の製造方法により、外径600mm、高さ400mmの図1に示すような構造のシリカガラスルツボを製造した。このルツボの第1層は、厚さ5mmの透明シリカガラスにより形成し、第1層の端部の位置をコーナー部の最も曲率が大きい箇所Pとした。また、第2層は、平均気孔径100μmの気孔を含有し、気孔密度70個/mm3の厚さ5mmの不透明シリカガラスとし、また、第3層は、厚さ3mmの透明シリカガラスとした。
このシリカガラスルツボを、カーボンルツボに嵌め込んでセットし、ルツボ外周からヒータ加熱して、ルツボ内で約70kgの原料シリコンを溶融させ、CZ法により、直径8インチのシリコン単結晶の引上げを行った。
上記実施例1において、第1層を形成せずに、平均気孔径100μmの気孔を含有し、気孔密度20個/mm3の厚さ5mmの透明シリカガラスとし、それ以外は実施例1と同様にして、シリコンガラスルツボを製造し、これらの各ルツボを用いて、実施例1と同様にして、シリコン単結晶引上げを行った。
上記実施例1において、第1層を形成せずに、第2層及び第3層のみを備えた2層構造のシリカガラスルツボを製造し、このルツボを用いて、実施例1と同様にして、シリコン単結晶引上げを行った。
2 側壁部
3 コーナー部
4 第1層
5 第2層
6 第3層
Claims (3)
- 底部と円筒状の側壁部との間にアール状のコーナー部を有する3層構造のシリカガラスルツボであって、
第1層は、透明シリカガラス、又は、平均気孔径120μm以下の気孔を含有し、気孔密度20個/mm3以下の不透明シリカガラスからなり、前記底部中央から、ルツボの中心を通る鉛直方向断面において前記コーナー部の最も曲率が大きい箇所とその曲率中心とを結ぶ直線に対して、前記曲率中心周りに±5°以内の位置にかけて形成され、
第2層は、平均気孔径80〜120μmの気孔を含有し、気孔密度40〜80個/mm3の不透明シリカガラスからなり、前記第1層の内面側に、ルツボ全体にわたって形成され、
第3層は、透明シリカガラスからなり、前記第2層の内面側に、ルツボ全体にわたって形成されていることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボ。 - 前記第1層の気孔密度が前記第2層の気孔密度の1/2以下であることを特徴とする請求項1記載のシリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボ。
- 前記第1層は、厚さ3〜7mmであることを特徴とする請求項1又は2記載のシリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボ。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103114324A (zh) * | 2011-11-16 | 2013-05-22 | 茂迪股份有限公司 | 长晶方法与应用此长晶方法的长晶炉 |
EP2799597A4 (en) * | 2011-12-30 | 2015-08-19 | Sumco Corp | SILICON GLASS CRUCIBLE |
KR20190002594A (ko) | 2016-09-13 | 2019-01-08 | 가부시키가이샤 사무코 | 석영 유리 도가니 및 그 제조 방법 |
WO2019193851A1 (ja) * | 2018-04-06 | 2019-10-10 | 信越石英株式会社 | 石英ガラスるつぼ及びその製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02208283A (ja) * | 1989-02-07 | 1990-08-17 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ |
JPH06329493A (ja) * | 1993-05-24 | 1994-11-29 | Mitsubishi Material Kuootsu Kk | シリコン単結晶引上げ用石英ルツボ |
JP2001348294A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-18 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 多層構造の石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
JP2008081374A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Covalent Materials Corp | シリカガラスルツボ |
-
2009
- 2009-09-30 JP JP2009227520A patent/JP5334315B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02208283A (ja) * | 1989-02-07 | 1990-08-17 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ |
JPH06329493A (ja) * | 1993-05-24 | 1994-11-29 | Mitsubishi Material Kuootsu Kk | シリコン単結晶引上げ用石英ルツボ |
JP2001348294A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-18 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 多層構造の石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
JP2008081374A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Covalent Materials Corp | シリカガラスルツボ |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103114324A (zh) * | 2011-11-16 | 2013-05-22 | 茂迪股份有限公司 | 长晶方法与应用此长晶方法的长晶炉 |
EP2799597A4 (en) * | 2011-12-30 | 2015-08-19 | Sumco Corp | SILICON GLASS CRUCIBLE |
KR20190002594A (ko) | 2016-09-13 | 2019-01-08 | 가부시키가이샤 사무코 | 석영 유리 도가니 및 그 제조 방법 |
KR20200105982A (ko) | 2016-09-13 | 2020-09-09 | 가부시키가이샤 사무코 | 석영 유리 도가니 |
US10822716B2 (en) | 2016-09-13 | 2020-11-03 | Sumco Corporation | Quartz glass crucible and manufacturing method thereof |
DE112017004599B4 (de) | 2016-09-13 | 2022-11-03 | Sumco Corporation | Quarzglastiegel und Verfahren zu dessen Herstellung |
WO2019193851A1 (ja) * | 2018-04-06 | 2019-10-10 | 信越石英株式会社 | 石英ガラスるつぼ及びその製造方法 |
JP2019182697A (ja) * | 2018-04-06 | 2019-10-24 | 信越石英株式会社 | 石英ガラスるつぼ及びその製造方法 |
CN111936678A (zh) * | 2018-04-06 | 2020-11-13 | 信越石英株式会社 | 石英玻璃坩埚及其制造方法 |
JP7141844B2 (ja) | 2018-04-06 | 2022-09-26 | 信越石英株式会社 | 石英ガラスるつぼの製造方法 |
TWI795534B (zh) * | 2018-04-06 | 2023-03-11 | 日商信越石英股份有限公司 | 石英玻璃坩堝及其製造方法 |
US11629429B2 (en) | 2018-04-06 | 2023-04-18 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Quartz glass crucible and method for producing the same |
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