JPH02208283A - シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ - Google Patents
シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボInfo
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- JPH02208283A JPH02208283A JP2847689A JP2847689A JPH02208283A JP H02208283 A JPH02208283 A JP H02208283A JP 2847689 A JP2847689 A JP 2847689A JP 2847689 A JP2847689 A JP 2847689A JP H02208283 A JPH02208283 A JP H02208283A
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 20
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 19
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 11
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、チョクラルスキー法（ＣＺ法）やＭＣＺ法等
によるシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボに関す
る。
によるシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボに関す
る。
［従来の技術］
従来、上記石英ガラスルツボは、１４００℃における粘
度が２．３〜３．２ ×１０１０ポイズで、低アルカリ
のものでは、１４００℃における粘度が４．５ ｘ １
０”ボイズ程度（アルカリの量が少なくなると粘度が増
す。）てあり、その粘度は、ルツボ全体で一定に設けら
れている。
度が２．３〜３．２ ×１０１０ポイズで、低アルカリ
のものでは、１４００℃における粘度が４．５ ｘ １
０”ボイズ程度（アルカリの量が少なくなると粘度が増
す。）てあり、その粘度は、ルツボ全体で一定に設けら
れている。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記従来の石英ガラスルツボにおいては
、通常、シリコン単結晶引上げ時の処理温度による軟化
変形に対処するため、カーボンルツボ内に収容して使用
されるものの、１４００℃における粘度が１．０〜３．
５ ＸＩＯ”ボイスであると、その筒部が変形（へたり
）して融液面が上下に変動し、結晶成長が断続的に行わ
れ、成長した結晶中に不純物や点欠陥による縞模様が発
生し、ひいてはシリコン単結晶引上げ歩留まりが低下す
る。
、通常、シリコン単結晶引上げ時の処理温度による軟化
変形に対処するため、カーボンルツボ内に収容して使用
されるものの、１４００℃における粘度が１．０〜３．
５ ＸＩＯ”ボイスであると、その筒部が変形（へたり
）して融液面が上下に変動し、結晶成長が断続的に行わ
れ、成長した結晶中に不純物や点欠陥による縞模様が発
生し、ひいてはシリコン単結晶引上げ歩留まりが低下す
る。
又、１４００℃における粘度が４．０ ×１０１０ポイ
ズ以上であると、石英ガラスルツボのアール部及び底部
のカーボンルツボとの密着性が悪く、カーボンルツボか
らの熱伝導が不均一となり、上述した場合と同様な問題
が生ずる。
ズ以上であると、石英ガラスルツボのアール部及び底部
のカーボンルツボとの密着性が悪く、カーボンルツボか
らの熱伝導が不均一となり、上述した場合と同様な問題
が生ずる。
そこで、本発明は、シリコン単結晶引上げ時における筒
部の変形を少なくし、且つアール部及び底部のカーボン
ルツボとの密着性を良くしてシリコン単結晶引上げ歩留
まりを向上し得るシリコン単結晶引上げ用石英ガラスル
ツボの提供を目的とする。
部の変形を少なくし、且つアール部及び底部のカーボン
ルツボとの密着性を良くしてシリコン単結晶引上げ歩留
まりを向上し得るシリコン単結晶引上げ用石英ガラスル
ツボの提供を目的とする。
［課題を解決するための手段］
前記課題を解決するため、本発明は、ルツボ上部の筒部
の粘度を１４００℃において４．ＯＸｌ０×１０１０ポ
イズ以上、少なくともアール部及び底部を含むルツボ下
部の粘度を１４００℃において１．０〜３．５ Ｘ １
０”ボイズとしたものである。
の粘度を１４００℃において４．ＯＸｌ０×１０１０ポ
イズ以上、少なくともアール部及び底部を含むルツボ下
部の粘度を１４００℃において１．０〜３．５ Ｘ １
０”ボイズとしたものである。
［作 用］
上記手段においては、シリコン単結晶引上げ時における
筒部の変形が少なくなると共に、アール部及び底部のカ
ーボンルツボとの密着性が良好になる。
筒部の変形が少なくなると共に、アール部及び底部のカ
ーボンルツボとの密着性が良好になる。
ルツボ上部の筒部の粘度か１４００℃において４、Ｏ×
１０１０ポイズ未満であると、シリコン単結晶引上げ時
に筒部の変形が生じる。
１０１０ポイズ未満であると、シリコン単結晶引上げ時
に筒部の変形が生じる。
又、少なくともアール部及び底部を含むルツボ下部の粘
度が１４００℃において３．５ ×１０１０ポイズを超
えると、シリコン単結晶引上げ時にアール部及び底部の
カーボンルツボとの密着性が良くならず、１．０ ×１
０１０ポイズ未満であると、使用時にルツボ下部にまで
熱変形を起こし、原形をとどめず引き上げに支障をきた
してしまう。従って、単結晶引上げにはむかない。
度が１４００℃において３．５ ×１０１０ポイズを超
えると、シリコン単結晶引上げ時にアール部及び底部の
カーボンルツボとの密着性が良くならず、１．０ ×１
０１０ポイズ未満であると、使用時にルツボ下部にまで
熱変形を起こし、原形をとどめず引き上げに支障をきた
してしまう。従って、単結晶引上げにはむかない。
筒部は、ルツボ上部のみならず、全部の粘度を１４００
℃において４．０ Ｘ １０’°ポイズ以上としてもよ
いか、筒部におりる上端からルツボ全高の好ましくは約
３０％の部分を４．０ ×１０１０ポイズ以上とするの
か良い。この部分をアール部及び底部の粘度と同様にす
ると、へたりによりカーボンルツボとの間に隙間を生じ
、カーボンルツボからの輻射熱により、隙間を生じた部
分から部分的に加熱され、シリコン融液な均一に加熱で
きなくなる。
℃において４．０ Ｘ １０’°ポイズ以上としてもよ
いか、筒部におりる上端からルツボ全高の好ましくは約
３０％の部分を４．０ ×１０１０ポイズ以上とするの
か良い。この部分をアール部及び底部の粘度と同様にす
ると、へたりによりカーボンルツボとの間に隙間を生じ
、カーボンルツボからの輻射熱により、隙間を生じた部
分から部分的に加熱され、シリコン融液な均一に加熱で
きなくなる。
上記石英ガラスルツボは、粘度の小さい少なくともアー
ル部及び底部を含むルツボ下部をガラス粉により、又、
粘度の大きいルツボ上部の筒部を水晶粉により、別個に
形成した後、両者をアーク溶融により接合して製造され
る。
ル部及び底部を含むルツボ下部をガラス粉により、又、
粘度の大きいルツボ上部の筒部を水晶粉により、別個に
形成した後、両者をアーク溶融により接合して製造され
る。
［実施例］
以下、本発明の詳細な説明する。
実施例１
筒部（高さ２９５ｍｍ ）の全部の粘度を１４００℃に
おいて４．６ Ｘ １０”ボイズ、アール部及び底部（
高さ１０ｍｍ）の粘度を１４００℃において２．９ ｘ
１０×１０１０ポイズとした１６インチの石英ガラス
ルツボ（全高３０５ｍｍ ）を用いてシリコン単結晶を
引上げた結果、全部の粘度が１４００℃において２．９
Ｘｌ０×１０１０ポイズの同寸法の石英ガラスルツボ
を用いた場合に比べて、引上げ歩留まりが５％向上した
。
おいて４．６ Ｘ １０”ボイズ、アール部及び底部（
高さ１０ｍｍ）の粘度を１４００℃において２．９ ｘ
１０×１０１０ポイズとした１６インチの石英ガラス
ルツボ（全高３０５ｍｍ ）を用いてシリコン単結晶を
引上げた結果、全部の粘度が１４００℃において２．９
Ｘｌ０×１０１０ポイズの同寸法の石英ガラスルツボ
を用いた場合に比べて、引上げ歩留まりが５％向上した
。
実施例２
筒部（高さ２９５ｍｍ ）の口元から１００ｍｍまでの
粘度を１４００℃において４．６ Ｘｌ０×１０１０ポ
イズ、残りの筒部（高さ１９５ｍｍ ）並びにアール部
及び底部（高さ１０ｍｍ）の粘度を１４００℃において
２．９ ×１０１０ポイズとした１６インチの石英ガラ
スルツボ（全高３０５ｍｍ ）を用いてシリコン単結晶
を引上げた結果、全部の粘度が１４００℃において２．
９ Ｘ １０”ボイズの同寸法の石英カラスルツボを用
いた場合に比べて、引上げ歩留まりが３％向上した。
粘度を１４００℃において４．６ Ｘｌ０×１０１０ポ
イズ、残りの筒部（高さ１９５ｍｍ ）並びにアール部
及び底部（高さ１０ｍｍ）の粘度を１４００℃において
２．９ ×１０１０ポイズとした１６インチの石英ガラ
スルツボ（全高３０５ｍｍ ）を用いてシリコン単結晶
を引上げた結果、全部の粘度が１４００℃において２．
９ Ｘ １０”ボイズの同寸法の石英カラスルツボを用
いた場合に比べて、引上げ歩留まりが３％向上した。
実施例３
筒部（高さ２９５ｍｍ ）の口元から１５０ｍｍまでの
粘度を１４００℃において４．６ ×１０１０ポイズ、
残りの筒部（高さ１４５ｍｍ ）並びにアール部及び底
部（高さ１０ｍｍ）の粘度を１４００℃において２．９
×１０１０ポイズとした１６インチの石英ガラスルツ
ボ（全高３０５ｍｍ ）を用いてシリコン単結晶を引上
げた結果、全部の粘度が１４００℃において２．９ ×
１０１０ポイズの同寸法の石英ガラスルツボを用いた場
合に比べて、引上げ歩留まりが３％向上した。
粘度を１４００℃において４．６ ×１０１０ポイズ、
残りの筒部（高さ１４５ｍｍ ）並びにアール部及び底
部（高さ１０ｍｍ）の粘度を１４００℃において２．９
×１０１０ポイズとした１６インチの石英ガラスルツ
ボ（全高３０５ｍｍ ）を用いてシリコン単結晶を引上
げた結果、全部の粘度が１４００℃において２．９ ×
１０１０ポイズの同寸法の石英ガラスルツボを用いた場
合に比べて、引上げ歩留まりが３％向上した。
実施例４
筒部（高さ２４５ｍｍ ）の全部の粘度を１４００℃に
おいて５．ＯＸ １０×１０１０ポイズ、アール部及び
底部（高さ９ｍｍ）の粘度を１４００℃において２．９
×１０１０ポイズとした１４インチの石英ガラスルツ
ボ（全高２５４ｍｍ ）を用いてシリコン単結晶を引上
げた結果、全部の粘度が１４００℃において２．９ Ｘ
１０”ボイスの同寸法の石英ガラスルツボを用いた場
合に比べて、引上げ歩留まりが６％向上した。
おいて５．ＯＸ １０×１０１０ポイズ、アール部及び
底部（高さ９ｍｍ）の粘度を１４００℃において２．９
×１０１０ポイズとした１４インチの石英ガラスルツ
ボ（全高２５４ｍｍ ）を用いてシリコン単結晶を引上
げた結果、全部の粘度が１４００℃において２．９ Ｘ
１０”ボイスの同寸法の石英ガラスルツボを用いた場
合に比べて、引上げ歩留まりが６％向上した。
［発明の効果］
以上のように本発明によれば、シリコン単結晶引上げ時
における筒部の変形か少なくなると共に、アール部及び
底部のカーボンルッホとの密着性が良くなるので、融液
面の上下変動をなくすことができ、且つ熱伝導性を均一
にすることができてシリコン単結晶引上げ歩留まりを向
上することができる。
における筒部の変形か少なくなると共に、アール部及び
底部のカーボンルッホとの密着性が良くなるので、融液
面の上下変動をなくすことができ、且つ熱伝導性を均一
にすることができてシリコン単結晶引上げ歩留まりを向
上することができる。
Claims (1)
- （１）ルツボ上部の筒部の粘度を、１４００℃において
４．０×１０＾１＾０ポイズ以上、少なくともアール部
及び底部を含むルツボ下部の粘度を１４００℃において
１．０〜３．５×１０＾１＾０ポイズとしたことを特徴
とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1028476A JP2530218B2 (ja) | 1989-02-07 | 1989-02-07 | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1028476A JP2530218B2 (ja) | 1989-02-07 | 1989-02-07 | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02208283A true JPH02208283A (ja) | 1990-08-17 |
| JP2530218B2 JP2530218B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=12249699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1028476A Expired - Lifetime JP2530218B2 (ja) | 1989-02-07 | 1989-02-07 | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2530218B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011073925A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Covalent Materials Corp | シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボ |
-
1989
- 1989-02-07 JP JP1028476A patent/JP2530218B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011073925A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Covalent Materials Corp | シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2530218B2 (ja) | 1996-09-04 |
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