JP2011067795A - 塗布ヘッド用のブロック、塗布ヘッド、塗布装置および塗布ヘッド用のブロックの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ブロック50は、第2ブロック60と固定され、塗布液を吐出する開口41を有した塗布ヘッド40を形成するようになる。ブロックは、本体55と、本体上に形成されためっき層57と、を有する。めっき層57は、第2ブロックと接触する合わせ面53を形成する。本体は、めっき層によって被覆された支持面52と、第2ブロックから離間して配置され、記開口に通じる塗布液の流路としてのスリット42を前記第2ブロックとの間に形成する流路面53と、を含む。
【選択図】図3
Description
第2ブロックと固定され、塗布液を吐出する開口を有した塗布ヘッドを形成するようになる塗布ヘッド用のブロックであって、
本体と、前記本体上に形成されためっき層と、を備え、
前記めっき層は、前記第2ブロックと接触する合わせ面を形成し、
前記本体は、前記めっき層によって被覆された支持面と、前記第2ブロックから離間して配置され、前記開口に通じる塗布液の流路を前記第2ブロックとの間に形成する流路面と、を含む、ことを特徴とする。
上述したいずれかの本発明の一態様による塗工ヘッド用のブロックと、前記ブロックと固定される前記第2ブロックと、を備える、ことを特徴とする。
本発明の一態様による塗布装置は、上述したいずれかの本発明の一態様による塗布ヘッドを備える、ことを特徴とする。
第2ブロックと固定されることによって、塗布液を吐出する開口を有した塗布ヘッドを形成するようになる塗布ヘッド用のブロックであり、本体と、前記本体上に形成されためっき層と、を備え、前記めっき層は、前記第2ブロックと接触する合わせ面を形成し、前記本体は、前記めっき層によって被覆された支持面と、前記支持面と同一の仮想平面上に位置する流路面と、を含む、塗布ヘッド用のブロックの製造方法であって、
前記本体を作製する工程と、
めっき加工によって、前記流路面上にマスクを設けた状態で、前記支持面上に前記めっき層を形成する工程と、を含む、ことを特徴とする。
スリットの幅(スリットギャップ)を10μmとすることを目標として、三種類の塗布ヘッドを作製することを試みた。
実施例1に係る塗布ヘッドおよび比較例1に係る塗布ヘッドをそれぞれ用い、以下のようにして、基材上に塗膜を形成した。
吐出偏差(%)=(Max膜厚−min膜厚)/平均膜厚×100
5 塗膜
7 塗布液
10 塗布装置
40 塗布ヘッド
41 吐出開口(開口)
42 スリット
43 マニホールド
50 第1ブロック(ブロック)
51 合わせ面
52,52a,52b 支持面
53 流路面
54 凹部
55 本体
57,57a,57b めっき層
60 第2ブロック(ブロック)
61 合わせ面(第2合わせ面)
62 支持面(第2支持面)
63 流路面(第2流路面)
65 本体(第2本体)
67 めっき層(第2めっき層)
Claims (12)
- 第2ブロックと固定され、塗布液を吐出する開口を有した塗布ヘッドを形成するようになる塗布ヘッド用のブロックであって、
本体と、前記本体上に形成されためっき層と、を備え、
前記めっき層は、前記第2ブロックと接触する合わせ面を形成し、
前記本体は、前記めっき層によって被覆された支持面と、前記第2ブロックから離間して配置され、前記開口に通じる塗布液の流路を前記第2ブロックとの間に形成する流路面と、を含む、
ことを特徴とする塗布ヘッド用のブロック。 - 前記本体の前記支持面および前記流路面は、同一の仮想平面上に位置している、
ことを特徴とする請求項1に記載の塗布ヘッド用のブロック。 - 前記支持面の少なくとも一部分は、前記流路面に対し前記開口とは反対の側に位置し、前記塗布ヘッドの長手方向に前記流路面と平行に延びている、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の塗布ヘッド用のブロック。 - 前記支持面の一部分は、前記塗布ヘッドの長手方向における前記流路面の両外方にも、設けられている、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の塗布ヘッド用のブロック。 - 前記支持面の一部分は、前記塗布ヘッドの長手方向に、前記流路面と交互に並べて設けられている、
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の塗布ヘッド用のブロック。 - 請求項1〜5いずれか一項に記載のブロックと、
前記ブロックと固定される前記第2ブロックと、を備える、
ことを特徴とする塗布ヘッド。 - 前記第2ブロックは、前記ブロックの前記めっき層によって形成された前記合わせ面と接触する合わせ面と、前記ブロックの前記流路面に対向する流路面と、を含み、
前記第2ブロックの前記合わせ面および前記流路面は、同一の仮想平面上に位置する、
ことを特徴とする請求項6に記載の塗布ヘッド。 - 前記第2ブロックは、本体と、前記本体上に形成されためっき層と、を備え、
前記第2ブロックの前記めっき層は、前記ブロックと接触する合わせ面を形成し、
前記第2ブロックの前記本体は、前記第2ブロックの前記めっき層によって被覆された支持面と、前記ブロックから離間して配置され、前記開口に通じる塗布液の前記流路を前記ブロックとの間に形成する流路面と、を含む、
ことを特徴とする請求項6に記載の塗布ヘッド。 - 前記第2ブロックの前記本体の前記支持面および前記流路面は、同一の仮想平面上に位置している、
ことを特徴とする請求項8に記載の塗布ヘッド。 - 請求項6〜9のいずれか一項に記載の塗布ヘッドを備える、
ことを特徴とする塗布装置。 - 第2ブロックと固定されることによって、塗布液を吐出する開口を有した塗布ヘッドを形成するようになる塗布ヘッド用のブロックであり、
本体と、前記本体上に形成されためっき層と、を備え、
前記めっき層は、前記第2ブロックと接触する合わせ面を形成し、
前記本体は、前記めっき層によって被覆された支持面と、前記支持面と同一の仮想平面上に位置する流路面と、を含む、塗布ヘッド用のブロックの製造方法において、
前記本体を作製する工程と、
めっき加工によって、前記流路面上にマスクを設けた状態で、前記支持面上に前記めっき層を形成する工程と、を含む、
ことを特徴とする塗布ヘッド用のブロックの製造方法。 - 前記本体を作製する工程において、
研削加工および砥粒加工の少なくとも一方を、前記本体の前記支持面および前記流路面の両方に、同時に行う、
ことを特徴とする請求項11に記載の塗布ヘッド用のブロックの製造方法。
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