JP2011066235A - 検査レシピ自動生成装置、ならびに検査レシピ自動生成プログラムおよびそれを記録した記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理装置の制御装置15は、コンピュータ16と記憶装置19とを備えている。記憶装置19には、基板処理制御プログラムおよび検査レシピ自動生成プログラムが格納されており、さらに、レシピ、構成定義データおよび動作条件データを記憶できるようになっている。コンピュータ16は、検査レシピ自動生成プログラムを実行することにより、基板処理装置が備える複数の構成要素を動作させるための処理手順を記述した検査レシピを生成して記憶装置19に登録する。その際、コンピュータ16は、構成定義データおよび動作条件データに基づいて、検査レシピを構成する処理手順を生成する。
【選択図】図2
Description
基板処理装置のハードウェア仕様は、目的とする処理内容により異なり、現実には、個々のユーザが実行しようとする処理内容に応じたカスタムメードとなっている。したがって、個々の基板処理装置に対応した処理内容を定義するレシピの作成には、相応の知識が必要であり、時間もかかる。より具体的には、様々な制限事項を守りながら、目的とする処理を実行できるようにレシピを記述しなければならない。
また、この発明の他の目的は、基板処理装置を検査するためのレシピを自動生成することができ、これによって、基板処理装置の検査工程を確実かつ簡単にすることができる検査レシピ自動生成プログラムを提供することである。
たとえば、或る処理液ノズルから吐出される処理液を或る排液ポートで回収して再利用するとすれば、当該処理液ノズルから処理液を吐出するときには、当該排液ポート以外の排液ポートが選択されてはならない。これが動作条件(制限事項)となり、動作条件データとして動作条件記憶手段に記憶されることになる。動作条件データのその他の例は、基板保持回転機構による基板回転の回転数に関するデータである。たとえば、最高基板回転数や、特定の処理液ノズルから処理液を吐出するときの最低回転数に関するパラメータが動作条件データに記述されてもよい。
請求項2記載の発明は、前記複数の構成要素が、基板を保持して回転させる基板保持回転機構(1)、前記基板保持回転機構に保持された基板に処理液を供給する複数の処理液ノズル(N1,N2,N3)、および前記基板保持回転機構に保持された基板から排除される処理液をそれぞれ受け容れる複数の排液ポート(P1,P2,P3)を含む、請求項1記載の検査レシピ自動生成装置である。
このような基板処理装置を検査するために、基板保持回転機構の回転動作、処理液ノズルからの処理液吐出動作、および排液ポートの動作等を確認するための検査レシピが生成される。
動作条件データは、基板保持回転機構による基板回転の回転数に関する処理ユニットパラメータを含んでいてもよい。処理ユニットパラメータは、たとえば、基板の最高基板回転数や、特定の処理液ノズルから処理液を吐出するときの基板の最低回転数に関するパラメータを含んでいてもよい。
請求項6記載の発明は、請求項5記載のプログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体(19,80)である。記録媒体の例としては、固体メモリ、データ記録ディスクなどが挙げられ、固定メディアおよびリムーバブルメディアのいずれも該当する。固体メモリとしては、一般的なメモリであるROMおよびRAMのほか、フラッシュデバイスを例示できる。フラッシュデバイスとしては、USB(Universal Serial Bus)メモリ、メモリカード(SDメモリカードなど)を例示できる。データ記録ディスクは、固定ディスク(ハードディスク装置等)であってもよいし、リムーバブルディスクであってもよい。リムーバブルディスクの例は、CD−ROMディスク、DVD−ROMディスクなどである。
図1は、この発明の一実施形態に係る検査レシピ自動生成装置が適用される基板処理装置の構成を示す図である。この基板処理装置は、半導体ウエハ等の基板Wを一枚ずつ処理する枚葉型の装置である。この基板処理装置は、スピンチャック1と、複数(この実施形態では3個)の処理液ノズルN1,N2,N3と、スプラッシュガード2と、排液カップ3とを備えている。
処理液ノズルN1には、処理液タンク41に貯留された処理液が、処理液ポンプ51により汲み出され、処理液流路31を介して供給されるようになっている。同様に、処理液ノズルN2には、処理液タンク42に貯留された処理液が、処理液ポンプ52によって汲み出され、処理液流路32を介して供給されるようになっている。処理液ノズルN3には、この実施形態では、リンス液供給源43からのリンス液が処理液流路33を介して供給されるようになっている。リンス液は、純水(脱イオン水:DIW)であってもよい。
排液カップ3は、有底円筒状容器を形成しており、その底部の中央を回転軸5が鉛直方向に貫通している。排液カップ3は、底壁部65の外周縁に鉛直方向に沿って立設された円筒状の外壁64を有している。排液カップ3は、さらに、回転軸5を中心軸として同軸円筒状に形成された3つの排液分離壁61,62,63を有している。これにより、外側の排液分離壁61と外壁64との間に、第1排液溝61Aが形成されている。また、第1排液溝61Aの内側に、排液分離壁61,62によって第2排液溝62Aが区画されている。さらに、第2排液溝62Aの内側に、内側の2つの排液分離壁62,63によって第3排液溝63Aが区画されている。
コンピュータ16は、CPUを含み、記憶装置19から必要なプログラムおよびデータを読み込んで基板処理のための演算処理および制御処理を実行する。これにより、コンピュータ16は、装置制御手段および検査レシピ生成手段として機能することができる。装置制御手段としてのコンピュータ16の働きは、記憶装置19に記憶されたレシピに従って、基板処理装置の各部を制御することである。また、検査レシピ生成手段としてのコンピュータ16の働きは、基板処理装置の構成要素の動作を確認する際に実行すべき検査レシピを自動生成して記憶装置19に登録することである。
検査レシピ自動生成プログラムは、検査レシピをコンピュータ16によって自動生成させるためのプログラムである。コンピュータ16は、このプログラムを読み取って実行することにより、検査レシピを自動生成して記憶装置19に登録する検査レシピ生成手段として機能する。
ノズルパラメータは、「ノズル1」〜「ノズル5」について、「有効/無効フラグ」の値を含む。この実施形態において、コンピュータ16が基板処理装置の制御のために実行する基板処理制御プログラム(図2参照)は、5つの「ノズル1」〜「ノズル5」の制御に対応している。しかし、図1に示す基板処理装置は、実際には、3つの処理液ノズルN1,N2,N3を有しているに過ぎない。そこで、図3の例では、3つの「ノズル1」(たとえば処理液ノズルN1に対応)、「ノズル3」(たとえば処理液ノズルN2に対応)、および「ノズル5」(たとえば処理液ノズルN3に対応)について、「有効/無効フラグ」の値が「有効」となっていて、他の「ノズル2」および「ノズル4」に関しては、「有効/無効フラグ」の値が「無効」となっている。
処理ユニットパラメータは、たとえば、スピンチャックの最高回転数を一つの動作条件として定義している。また、この実施形態では、処理ユニットパラメータは、いずれかの処理液ノズルから処理液を吐出しているときのスピンチャックの最低回転数を他の動作条件として定義している。
使用者が、入力装置17から、所定の入力操作を行うことによって、コンピュータ16は、検査レシピ自動生成プログラムを起動して、検査レシピの自動生成を開始する。コンピュータ16は、動作条件データのうち「処理ユニットパラメータ」に規定されているノズル吐出時のスピンベース最低回転数(たとえば1000rpm)を取得する(手順S1)。そして、コンピュータ16は、検査レシピの先頭ステップ(ステップ1)として、スピンチャックをノズル吐出時の最低回転数で回転開始させることを記述し、これを記憶装置19に登録する(手順S2)。
有効なノズルの全てに関して処理液を吐出させるためのステップ(ステップ4〜7)を記述し終えると(手順S12:NO)、コンピュータ16は、スピンチャックを最高回転数(たとえば3000rpm)で回転開始させることを記述したステップ(ステップ8)を検査レシピの次ステップとして記述し、これを記憶装置19に登録する(手順S13)。これは、検査の最後に、基板を高速回転させ、遠心力によって基板表面の液成分を振り切る乾燥処理を実行するためである。そして、コンピュータ16は、検査レシピの最後のステップ(ステップ9)として、スピンチャックの回転停止を記述し、これを記憶装置19に登録する(手順S14)。こうして、すべての処理液ノズルの動作を確認するための検査レシピ(図6参照)が自動生成され、記憶装置19に登録される。
所定時間のリンス液吐出の後、コンピュータ16は、処理液ノズルN3のバルブ23を閉じ、スピンチャック1を最高回転数(たとえば3000rpm)で回転させる(ステップ8)。これにより、基板W表面の液成分を遠心力によって排除する乾燥処理が行われる。所定時間の乾燥処理の後、コンピュータ16は、スピンチャック1の回転を停止し(ステップ9)、検査レシピの実行を終える。
なお、検査レシピの自動生成処理において、同時吐出が許容される複数の処理液ノズルに関しては、同時吐出の検査を行うステップが検査レシピに追加されてもよい。具体的には、たとえば、図5の手順8において、同時吐出が許容されるノズルの組み合わせを取り出すこととし、同時吐出が許容される全てのノズルの組み合わせについて、手順8〜S11を行えばよい。この場合、同時吐出のときには、たとえば、禁止条件無しのノズルに対応する排液ポートを使用することとしてもよい。このようにして作成された検査レシピを基板処理装置で実行させることによって、同時吐出時の動作確認を行うことができる。その結果、たとえば、ソフトウェアの不具合によって同時吐出がされなかったり、同時吐出時にいずれかの処理液の流量に不足が生じたりしていれば、このような不具合をも、自動生成された検査レシピを用いて確認することができる。
この実施形態では、外部記憶装置80に、検査レシピ自動生成プログラムが格納されている。この外部記憶装置80は、USBメモリ、CD−ROM、DVD−ROMその他のコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。この外部記憶装置80に格納された検査レシピ自動生成プログラムを制御装置15に備えられた適切な読み取り手段を介して読み取り、コンピュータ16で実行させることにより、コンピュータ16が検査レシピ自動生成機能を有することになる。こうして、前述の実施形態の場合と同様の効果を得ることができる。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
11,12,13 吐出部
21,22,23 処理液バルブ
P1,P2,P3 排液ポート
1 スピンチャック
2 スプラッシュガード
3 排液カップ
5 回転軸
6 スピンベース
7 回転駆動機構
8 保持部材
9 昇降駆動機構
10 処理カップ
15 制御装置
16 コンピュータ
17 入力装置
18 表示装置
19 記憶装置
190〜194 記憶領域
20 ハードウェアインタフェース
25 センサ類
31,32,33 処理液流路
41,42 処理液タンク
43 リンス液供給源
45 第1回収配管
46 第2回収配管
47 ドレン配管
51,52 処理液ポンプ
61,62,63 排液分離壁
61A 第1排液溝
62A 第2排液溝
63A 第3排液溝
64 外壁
65 底壁部
71,72,73 排液ガイド
80 外部記憶装置
Claims (6)
- 基板を処理するための複数の構成要素を含む基板処理装置のための検査レシピ自動生成装置であって、
前記複数の構成要素を定義した構成定義データを記憶する構成定義データ記憶手段と、
前記複数の構成要素の動作条件を記述した動作条件データを記憶する動作条件データ記憶手段と、
前記複数の構成要素を動作させるための処理手順を記述した検査レシピを記憶する検査レシピ記憶手段と、
前記構成定義データ記憶手段に記憶された構成定義データおよび前記動作条件データ記憶手段に記憶された動作条件データに基づいて、前記検査レシピを構成する処理手順を生成して前記検査レシピ記憶手段に登録する検査レシピ生成手段とを含む、検査レシピ自動生成装置。 - 前記複数の構成要素が、基板を保持して回転させる基板保持回転機構、前記基板保持回転機構に保持された基板に処理液を供給する複数の処理液ノズル、および前記基板保持回転機構に保持された基板から排除される処理液をそれぞれ受け容れる複数の排液ポートを含む、請求項1記載の検査レシピ自動生成装置。
- 前記動作条件データは、前記構成定義データによって定義されたすべての処理液ノズルに関して、各処理液ノズルとの同時吐出が禁止される他の処理液ノズルを記述した同時吐出禁止パラメータを含み、
前記検査レシピ生成手段は、前記同時吐出禁止パラメータによって同時吐出が禁止されている複数の処理液ノズルの同時吐出および連続吐出を回避するように、すべての処理液ノズルから順次処理液を吐出させる処理手順を生成して前記検査レシピ記憶手段に登録する手段を含む、請求項2記載の検査レシピ自動生成装置。 - 前記動作条件データは、前記構成定義データによって定義されたすべての処理液ノズルに関して、各処理液ノズルから吐出された処理液の受け容れが禁止される排液ポートを記述した禁止排液ポートパラメータを含み、
前記検査レシピ生成手段は、処理液ノズルから処理液を吐出させるときに、当該処理液ノズルから吐出された処理液の受け容れが禁止される排液ポート以外の排液ポートを選択して当該処理液を受け容れる処理手順を生成して前記検査レシピ記憶手段に登録する手段を含む、請求項2または3記載の検査レシピ自動生成装置。 - 基板を処理するための複数の構成要素を含む基板処理装置のための検査レシピ自動生成プログラムであって、
前記基板処理装置が、前記複数の構成要素を定義した構成定義データを記憶する構成定義データ記憶手段と、前記複数の構成要素の動作条件を記述した動作条件データを記憶する動作条件データ記憶手段と、前記複数の構成要素を動作させるための処理手順を記述した検査レシピを記憶する検査レシピ記憶手段とを含み、
前記プログラムは、コンピュータを、前記構成定義データ記憶手段に記憶された構成定義データを読み取る手段、前記動作条件データ記憶手段に記憶された動作条件データを読み取る手段、ならびに前記読み取られた構成定義データおよび動作条件データに基づいて前記検査レシピを構成する処理手順を生成して前記検査レシピ記憶手段に登録する検査レシピ生成手段として機能させるためのプログラム。 - 請求項5記載のプログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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