JP4884167B2 - 液処理装置 - Google Patents
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Description
まず、本発明を半導体ウエハ(以下、単にウエハと記す)の裏面およびベベルの洗浄を行う液処理装置に適用した第1の実施形態について示す。
処理液(薬液)を用いた洗浄処理においては、まず、図7の(a)に示すように、昇降部材13を上昇させた状態で、図示しない搬送アームから液吐出プレート24の支持ピン25上にウエハWを受け渡す。次いで、図7の(b)に示すように、昇降部材13を、ウエハWを保持部材14により保持可能な位置まで下降させ、保持部材14によりウエハWをチャッキングする。そして、図7の(c)に示すように、モータ3によりウエハWを保持部材2および回転カップ4とともに回転させながら、裏面側液供給ノズル6から所定の処理液を供給してウエハ裏面の洗浄処理を行う。
2;ウエハ保持部
3;回転モータ
4;回転カップ
5;表面側液供給ノズル
6;裏面側液供給ノズル
7;排気・排液部
8;ケーシング
9;気流導入部
11;回転プレート
11a;孔
12;回転軸
13;昇降部材
14;保持部材
24;液吐出プレート
35;仕切り部材
51;排液カップ
52;排気カップ
85;液供給機構
100;基板処理装置
121;プロセスコントローラ
122;ユーザーインターフェース
123;記憶部
W;半導体ウエハ(基板)
Claims (5)
- 基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、
前記基板保持部を基板とともに回転させる回転機構と、
前記基板保持部に保持された基板の裏面に液を供給する裏面側液供給手段と、
前記基板保持部に保持された基板の周囲を囲繞するように設けられた排液カップと、
前記基板保持部に保持された基板の外側に、前記裏面側液供給手段から基板裏面に供給された液が基板の表面側に回り込むことを阻止するように環状に設けられ、基板から振り切られた液を前記排液カップに導く仕切り部材と
を具備し、
前記仕切り部材は、前記基板保持部および基板とともに回転するとともに、基板と連続するように設けられており、基板の端面に対向する面が、その面と基板端面との間に毛細管現象により液が保持可能な形状を有しており、前記裏面側液供給手段から供給された液により基板の裏面および基板の端面を液処理可能に構成されていることを特徴とする液処理装置。 - 前記基板保持部は基板を外方から機械的に保持する基板保持部材を有し、前記仕切り部材は、前記基板保持部材を避けるように設けられた切り欠きを有して前記基板保持部に保持された基板の外周に近接して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記仕切り部材の内周面は、基板のベベルに対応した形状を有し、基板のベベルと離間していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液処理装置。
- 前記排液カップの内側に前記基板保持部に保持された基板を囲繞するように設けられ、前記基板保持部および基板とともに回転し、基板を回転した際に基板から振り切られた液を受けて前記排液カップに導く回転カップをさらに具備することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記基板保持部に保持された基板の表面側エッジ部に液を供給する表面側液供給手段をさらに具備することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の液処理装置。
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