JP4787103B2 - 液処理装置 - Google Patents
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Description
2;ウエハ保持部
3;回転モータ
4;回転カップ
5;表面処理液供給ノズル
6;裏面処理液供給ノズル
7;排気・排液部
8;ケーシング
9;気流導入部
11;回転プレート
12;回転軸
13;昇降部材
14;保持部材
22;ノズル保持部材
22a;ノズルアーム
31;庇部
32;外側壁部
33;隙間
35;案内部材
51;排液カップ
52;排気カップ
53;垂直壁
72;固定部
73;位置決め部
73a;位置決めピン
75;ねじ
76;スペーサ
77;隙間
78;くりぬき部
79;円筒部
97;気流調整部材
98;通気孔
100;液処理装置
W;ウエハ
Claims (3)
- 基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板を囲繞し、基板とともに回転可能であり、基板から振り切られた処理液を受ける回転カップと、
前記回転カップおよび前記基板保持部を一体的に回転させる回転機構と、
基板に処理液を供給する処理液供給機構と、
前記回転カップの外側を囲繞するように設けられ、前記回転カップから排出された処理液を受けて排液する環状の排液カップと、
前記排液カップを収容するようにかつ前記排液カップと同心状に設けられ、前記回転カップおよびその周囲からの主に気体成分を取り入れて排気する環状の排気カップと
を具備し、
前記排液カップは、その内周部分に前記排気カップに固定される固定部と、処理液を収容する処理液収容部とを有し、前記固定部は、前記排液カップの底部に設けられ、前記排気カップの底部に固定されるとともに、前記処理液収容部よりも内側に環状に設けられ、
前記排液カップは、その底部の前記固定部よりも外周側部分に、環状のくりぬき部を有し、この環状のくりぬき部は、前記排液カップの上部から前記固定部に至る可撓性を有する円筒部を規定することを特徴とする液処理装置。 - 前記固定部は、周方向に沿って複数のねじ止め部と複数の位置決め部を有することを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記排液カップの底部は、その外側部分が前記排気カップに固定されていないことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液処理装置。
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