JP2011059046A - 液体中の粒子のサイズの検出方法および液体管路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】管路KRを流れる液体ETの流れ方向に対して横断するようにレーザ光HKを照射し、液体に含まれる粒子により生じる回折縞を光検出手段SE1,2により検出することにより粒子のサイズを検出する粒子サイズ検出方法であって、管路の途中に管路よりも小さい内径を有する整流ノズル15を設け、管路を流れる液体が整流ノズル15に流れ込むことによって整流ノズル15内において液体の流速が速くなるようにし、レーザ光を、整流管路の内部または出口側の開口部の近辺の液体の流速が速くなった位置において焦点STを結ぶように照射する。
【選択図】 図1
Description
11 レーザ光源
13 レンズ
14 管路本体(管路)
14a 外周面
15,15E,32,43 整流ノズル(整流管路)
15a 外周面
15b 内周面
151,152 開口部
15c,15d 円錐面
41 本体ブロック(管路、管路本体)
42 チューブ
42D チューブ(整流管路)
KR,KRB,KRC,KRD,KRE 管路(液体管路)
HK 光(レーザ光)
ET 液体
ST 焦点
SE1,2 光検出手段
AM 回折縞
Claims (8)
- 管路を流れる液体の流れ方向に対して横断するようにレーザ光を照射し、液体に含まれる粒子により生じる回折縞を光検出手段により検出することにより前記粒子のサイズを検出する粒子サイズ検出方法であって、
前記管路の途中に前記管路よりも小さい内径を有する整流管路を設け、前記管路を流れる液体が前記整流管路に流れ込むことによって前記整流管路内において液体の流速が速くなるようにし、
前記レーザ光を、前記整流管路の内部または出口側の開口部の近辺の液体の流速が速くなった位置において焦点を結ぶように照射する、
ことを特徴とする液体中の粒子のサイズの検出方法。 - 前記整流管路は、その内周面の断面が円形である、
請求項1記載の液体中の粒子のサイズの検出方法。 - 前記光検出手段として、第1の光検出手段および第2の光検出手段を設けるとともに、前記第2の光検出手段を前記第1の光検出手段よりも前記液体の流れ方向に沿った下流側に所定の距離だけ離間した位置を検出するように設けておき、
前記第1の光検出手段および前記第2の光検出手段によって所定の時間内で検出されるそれぞれの回折縞について、前記第1の光検出手段および前記第2の光検出手段による検出信号のピーク値が現れる時間の差分であるピーク時間差T2、および、前記検出信号の波形による面積SQを計測し、
計測された前記ピーク時間差T2および前記面積SQに基づいて、前記液体に含まれる粒子のサイズを検出する、
請求項1または2記載の液体中の粒子のサイズの検出方法。 - 液体の流れ方向に対して横断するようにレーザ光を照射することにより液体に含まれる粒子により生じる回折縞を光学的に検出するための液体管路であって、
管路本体と、
内周面の断面が円形であり前記管路本体の内周面に挿入された整流管路と、
を有することを特徴とする粒子検出用の液体管路。 - 前記整流管路は、出口側の開口部の外周面が円錐面となっている、
請求項4記載の粒子検出用の液体管路。 - 前記整流管路は、入口側の開口部の内周面が円錐面となっている、
請求項4または5記載の粒子検出用の液体管路。 - 前記管路本体は、その内周面の断面が矩形である、
請求項4記載の粒子検出用の液体管路。 - 前記管路本体は、少なくとも前記整流管路の出口側の開口部が位置する部分に対応する外周面の断面が矩形である、
請求項4ないし7のいずれかに記載の粒子検出用の液体管路。
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