JP5366727B2 - 液体中の粒子のサイズの検出方法および装置並びに光学装置 - Google Patents
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Description
11 レーザ光源(光源)
13 レンズ
16 プリズム(反射部材)
16a 第1面(面)
16b 第2面(面)
KR,KRB,KRC,KRD,KRE 管路(液体管路)
HK 光(レーザ光)
ET 液体
ST 焦点
SE1,2 光検出手段
AM 回折縞
Claims (5)
- 管路を流れる液体の流れ方向に対して横断するようにコヒーレントな光を照射し、液体に含まれる粒子により生じる回折縞を光検出手段により検出することにより前記粒子のサイズを検出する粒子サイズ検出方法であって、
前記管路を横断した光を分割して異なる方向に反射させるための反射部材を前記管路に接近して設け、前記反射部材によって分割された反射光を複数の前記光検出手段により受光し、複数の前記光検出手段により検出された検出信号に基づいて前記粒子のサイズを検出するものであり、
前記反射部材は三角プリズムであり、
前記三角プリズムは、その1つの稜線が前記管路に対向するようかつ前記管路に対して直角方向に延びるように配置され、前記1つの稜線の両側の2つの面によって光を分割して反射させる、
ことを特徴とする液体中の粒子のサイズの検出方法。 - 複数の前記光検出手段として、第1の光検出手段および第2の光検出手段を設けるとともに、前記第2の光検出手段を前記第1の光検出手段よりも前記液体の流れ方向に沿った下流側の位置を検出するように設けておき、
前記第1の光検出手段および前記第2の光検出手段によって所定の時間内で検出されるそれぞれの回折縞について、前記第1の光検出手段および前記第2の光検出手段による検出信号のピーク値が現れる時間の差分であるピーク時間差T2、および、前記検出信号の波形による面積SQを計測し、
計測された前記ピーク時間差T2および前記面積SQに基づいて、前記液体に含まれる粒子のサイズを検出する、
請求項1記載の液体中の粒子のサイズの検出方法。 - 管路を流れる液体の流れ方向に対して横断するようにコヒーレントな光を照射し、液体に含まれる粒子により生じる回折縞を光検出手段により検出することにより前記粒子のサイズを検出する粒子サイズ検出装置であって、
前記管路に接近して設けられ前記管路を横断した光を分割して異なる方向に反射させる反射部材と、
前記反射部材によって分割された反射光をそれぞれ受光する第1の光検出手段および第2の光検出手段と、
前記第1の光検出手段および前記第2の光検出手段により検出された検出信号に基づいて前記粒子のサイズを検出する手段と、を有し、
前記反射部材は三角プリズムであり、
前記三角プリズムは、その1つの稜線が前記管路に対向するようかつ前記管路に対して直角方向に延びるように配置され、前記1つの稜線の両側の2つの面によって光を分割して反射させる、
ことを特徴とする液体中の粒子のサイズの検出装置。 - 管路を流れる液体の流れ方向に対して横断するようにレーザ光を照射することにより液体に含まれる粒子により生じる回折縞を検出するための光学装置であって、
前記管路に向けてレーザ光を発する光源と、
前記管路の前記光源とは反対側において前記管路に接近して設けられ前記管路を横断したレーザ光を分割して異なる方向に反射させる反射部材と、
前記反射部材によって分割された反射光をそれぞれ受光する複数の光検出手段と、を有し、
前記反射部材は三角プリズムであり、
前記三角プリズムは、その1つの稜線が前記管路に対向するようかつ前記管路に対して直角方向に延びるように配置され、前記1つの稜線の両側の2つの面によって光を分割して反射させる、
ことを特徴とする光学装置。 - 前記レーザ光は、前記管路内の液体の中で焦点を結ぶように照射され、
前記反射部材は、前記焦点の後で放射状となったレーザ光を分割して異なる方向に反射させる、
請求項4記載の光学装置。
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