JP2011054444A - 導電材料、電子デバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導電性ペーストは、導電性粒子1と、導電性粒子1が分散されるバインダ樹脂2とを含有し、導電性粒子1は、導電体である金属粒子(金属以外の導電性物質でも良い)Mと、金属粒子Mを覆い、その表面との密着性官能基を有する第1有機化合物を含有する第1の有機化合物層L1と、第1の有機化合物層L1を覆う第2の有機化合物層L2とを有して構成され、第2の有機化合物層L2は、金属粒子Mの表面に生成する酸化皮膜と反応する活性官能基を有する第2有機化合物を含有する。
【選択図】図2
Description
また、導電性粒子表面の酸化皮膜の除去効果を高めるために、予め導電性粒子に必要なフラックスを被覆させる方法が提案されている(例えば、特許文献2,3を参照)。
また、上記の導電材料を用いて、電極間の電気的接続性に優れた信頼性の高い歩留まりに優れた電子デバイスを実現することができる。
本実施形態では、主に電子デバイスの導電性接着剤に適用して好適な導電材料である導電性ペーストを開示する。
図1は、第1の実施形態による導電性ペーストの導電性粒子の構造を示す模式図である。
図2は、第1の実施形態による導電性ペーストを示す模式図である。
先ず、図1(a)に示すように、第1有機化合物として、金属粒子Mの表面との密着性官能基を有する有機化合物Aを、例えばヘキサン、ヘプタン、又はイソオクタン等の溶媒中に溶解する。有機化合物Aは、密着性官能基である有機官能基A1として一方の末端に例えば1つ以上のチオール基、水酸基、又はアニン基を有し、他方の末端に有機官能基A2として例えば1つ以上のアミン基、又はチオール基を有しており、芳香族又は脂肪族を主骨格として構成される。
続いて、アセトン等の溶媒で洗浄して未反応の有機化合物Aを除去した後に、水洗、乾燥する。
先ず、上記のように生成された導電性粒子1を用いて、バインダ樹脂2に導電性粒子1を分散させる。
バインダ樹脂2は、絶縁性樹脂接着剤であり、例えば、ビスフェノールF型エポキシ40重量部、アミノメチルフェノールのトリグリシジルエーテル20重量部、酸無水物系硬化剤40重量部を混合、撹拌して得られる。この絶縁性樹脂接着剤の15重量部と、導電性粒子1の85重量部を混合、攪拌する。以上により、本実施形態の導電性ペースト3が得られる。
このように生成された導電性ペーストについて、24時間放置した後の粘度上昇率を調査したところ、+10%以下という接着剤として優れた結果が得られた。
本実施形態では、第1の実施形態による導電性ペーストを用いた電子デバイスとしてフリップチップ型の半導体装置を例示し、その構成を製造方法と共に説明する。第1の実施形態による導電性ペーストは、このフリップチップ型の半導体装置に限らず、電極等の導電体位間の接続を要するその他の電子デバイスに適用可能である。
図3は、第2の実施形態によるフリップチップ型の半導体装置の第1例の構成を示す概略断面図である。
本例では、回路基板として、複数層の配線21と、上下層間の配線21を適宜接続する接続部22とが、絶縁層23内に埋設形成され、表面に接続部22を介して配線21と電気的に接続された電極13を備えた回路基板11を用いる。電極13は、例えばSn,Cu,Au,又はハンダ等を材料として形成される。
回路基板11としては、サイズが例えば40mm×40mmの正方形状であり、電極13としてCu電極を電極14と同じ位置に配置されてなるBTレジン基板を用いる。
そして、チップマウンタを用いて、回路基板11と半導体チップ12とを対向させて電極13に電極14を位置合わせし、電極13と電極14とを導電性ペースト3により仮固定する。回路基板11及び半導体チップ12をこの状態でオーブン中に設置し、温度を例えば180℃に設定して30分間程度加熱し、導電性ペースト3を硬化させる。これにより、フリップチップ型の半導体装置が作製される。
更に、−25℃〜125℃の温度範囲で温度サイクル試験を行った。具体的には、−25℃で30分間〜+125℃で30分間を1サイクルとし、これを1000サイクル繰り返す熱サイクル試験を実行した。本例の半導体装置では、接続抵抗の変化率が+5%以下という優れた結果を示した。
図4は、第2の実施形態によるフリップチップ型の半導体装置の第2例の構成を示す概略断面図である。
本例では、第1例と同様に、回路基板11と半導体チップ12とを対向させ、電極13と電極14とを第1の実施形態による導電性ペースト3により接着固定する。
本例では、対向する回路基板11と半導体チップ12との離間距離h2が、第1例の離間距離h1よりも小さい50μm〜100μm程度である。この程度の離間距離を保って接続することにより、いわゆる毛細管現象により導電性ペースト3から当該導電性ペースト3中の絶縁樹脂3aが流出する。その結果、対向する回路基板11と半導体チップ12との部位との間の領域が絶縁樹脂3aで充填され、回路基板11と半導体チップ12とがより安定に固着される。
図5は、第2の実施形態によるフリップチップ型の半導体装置の第3例の構成を示す概略断面図である。
本例では、導電性ペースト3を接続用バンプとして用いる、いわゆるLGA(Land Grid Array)パッケージを例示する。
図6は、第2の実施形態によるフリップチップ型の半導体装置の第4例の構成を示す概略断面図である。
本例では、ハンダバンプを用いたいわゆるBGA(Ball Grid Array)パッケージを例示し、導電性ペースト3をハンダバンプと電極との接続用バンプとして用いる。
回路基板31のハンダバンプ36上に導電性ペースト3からなる接続用バンプを配し、チップマウンタを用いて、回路基板31と半導体チップ32とを対向させてハンダ電極36に電極34を位置合わせし、ハンダ電極36に電極34と電極34とを導電性ペースト3により仮固定する。回路基板31及び半導体チップ32をこの状態でオーブン中に設置し、温度を例えば180℃に設定して30分間程度加熱し、導電性ペースト3を硬化させる。そして、回路基板31と半導体チップ32との対向領域を含む部位をアンダーフィル樹脂35により封止し、BGAパッケージを作製する。
ハンダ、特に鉛フリーのハンダは溶融温度が217℃〜220℃程度である。従って、180℃ではハンダバンプ36は溶融しない。本例では、比較的低温でチップ接続が可能となる。
以下、上記した第1及び第2の実施形態の比較例について説明する。
比較例では、第1の実施形態の導電性粒子1と異なり、第1の有機化合物層L1及び第2の有機化合物層L2がこの順で金属粒子Mが被覆していない導電性粒子、例えばSnBiハンダである導電性粒子を用いる。この導電性粒子を、ビスフェノールF型エポキシの30重量部、アミノメチルフェノールのトリグリシジルエーテルの15重量部、酸無水物系硬化剤の35重量部、有機酸フラックスであるグルタル酸の20重量部と混合、撹拌して、導電性ペーストを作製した。
その結果、比較例の導電性ペーストでは、導電性粒子とフラックスとが反応したため、24時間放置後の粘度上昇率は+30%と高い値を示した。
また、比較例の導電性ペーストでは、そのフラックス成分が消費されることにより、導電性粒子による酸化皮膜除去が不足したため、接続抵抗値は、第2の実施形態における導電性ペーストの5倍を示した。
更に、第2の実施形態と同様に熱サイクル試験を行った結果、接続抵抗の変化率が+20%と大きな値を示した。
前記導電性粒子が分散される樹脂と
を含み、
前記導電性粒子は、導電体と、前記導電体の表面を覆い、当該表面との密着性官能基を有する第1有機化合物を含有する第1層と、前記第1層を覆う第2層とを有しており、
前記第2層は、前記導電性粒子の表面に生成する酸化皮膜と反応する活性官能基を有する第2有機化合物を含有することを特徴とする導電材料。
チップ素子と、
前記回路基板の第1電極と、前記チップ素子の第2電極とを電気的に接続する導電材料と
を含み、
前記導電材料は、
導電性粒子と、
前記導電性粒子が分散される樹脂と
を含み、
前記導電性粒子は、導電体と、前記導電体の表面を覆い、当該表面との密着性官能基を有する第1有機化合物を含有する第1層と、前記第1層を覆う第2層とを有しており、
前記第2層は、前記導電性粒子の表面に生成する酸化皮膜と反応する活性官能基を有する第2有機化合物を含有することを特徴とする電子デバイス。
第1温度よりも低温の前記導電材料を、前記第1電極と前記第2電極との間に供給する工程と、
前記導電材料を、第1温度よりも高い第2温度に昇温する工程と
を含み、
前記導電材料は、
導電性粒子と、
前記導電性粒子が分散される樹脂と
を含み、
前記導電性粒子は、導電体と、前記導電体の表面を覆い、当該表面との密着性官能基を有する第1有機化合物を含有する第1層と、前記第1層を覆う第2層とを有しており、
前記第2層は、前記導電性粒子の表面に生成する酸化皮膜と反応する活性官能基を有する第2有機化合物を含有するものであり、
前記第1温度で、前記第1有機化合物が前記導電体の表面から脱離すると共に前記第2有機化合物が前記導電体の表面と接触して反応し、
前記第2温度で、前記第1有機化合物及び前記第2有機化合物が前記樹脂と反応することを特徴とする電子デバイスの製造方法。
A,B 有機化合物
A1,A2,B1,B2 有機官能基
L1 第1の有機化合物層
L2 第2の有機化合物層
1 導電性ペースト
2 バインダ樹脂
3 導電性ペースト
3a 絶縁樹脂
11,31 回路基板
12,32 半導体チップ
13,14,33,34 電極
21,41 配線
22,42 接続部
23,43 絶縁層
35 アンダーフィル樹脂
36 ハンダバンプ
Claims (7)
- 導電性粒子と、
前記導電性粒子が分散される樹脂と
を含み、
前記導電性粒子は、導電体と、前記導電体の表面を覆い、当該表面との密着性官能基を有する第1有機化合物を含有する第1層と、前記第1層を覆う第2層とを有しており、
前記第2層は、前記導電性粒子の表面に生成する酸化皮膜と反応する活性官能基を有する第2有機化合物を含有することを特徴とする導電材料。 - 前記第1有機化合物及び前記第2有機化合物は、芳香族又は脂肪族を主骨格とすることを特徴とする請求項1に記載の導電材料。
- 前記第1有機化合物は、一方の末端に前記密着性官能基であるチオール基又は水酸基を、他方の末端に前記第2有機化合物と反応するアミン基又はチオール基を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の導電材料。
- 前記第2有機化合物は、一方の末端に前記活性官能基であるカルボキシル基を、他方の末端にカルボキシル基又はチオール基を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の導電材料。
- 前記第1層及び前記第2層は、前記第1有機化合物が第1温度で前記導電体の表面から脱離し、前記第2有機化合物が前記第1温度で前記導電体の表面と接触して反応し、前記第1有機化合物及び前記第2有機化合物が前記第1温度よりも高い第2温度で前記樹脂と反応するものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の導電材料。
- 回路基板と、
チップ素子と、
前記回路基板の第1電極と、前記チップ素子の第2電極とを電気的に接続する導電材料と
を含み、
前記導電材料は、
導電性粒子と、
前記導電性粒子が分散される樹脂と
を含み、
前記導電性粒子は、導電体と、前記導電体の表面を覆い、当該表面との密着性官能基を有する第1有機化合物を含有する第1層と、前記第1層を覆う第2層とを有しており、
前記第2層は、前記導電性粒子の表面に生成する酸化皮膜と反応する活性官能基を有する第2有機化合物を含有することを特徴とする電子デバイス。 - 回路基板の第1電極と、チップ素子の第2電極とを導電材料により電気的に接続するに際して、
第1温度よりも低温の前記導電材料を、前記第1電極と前記第2電極との間に供給する工程と、
前記導電材料を、第1温度よりも高い第2温度に昇温する工程と
を含み、
前記導電材料は、
導電性粒子と、
前記導電性粒子が分散される樹脂と
を含み、
前記導電性粒子は、導電体と、前記導電体の表面を覆い、当該表面との密着性官能基を有する第1有機化合物を含有する第1層と、前記第1層を覆う第2層とを有しており、
前記第2層は、前記導電性粒子の表面に生成する酸化皮膜と反応する活性官能基を有する第2有機化合物を含有するものであり、
前記第1温度で、前記第1有機化合物が前記導電体の表面から脱離すると共に前記第2有機化合物が前記導電体の表面と接触して反応し、
前記第2温度で、前記第1有機化合物及び前記第2有機化合物が前記樹脂と反応することを特徴とする電子デバイスの製造方法。
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