JP2011053169A

JP2011053169A - 表面検査方法

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Publication number: JP2011053169A
Application number: JP2009204360A
Authority: JP
Inventors: Jun Kakizaki; 純柿▲崎▼; Hidefumi Tsutsui; 英史筒井
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2009-09-04
Filing date: 2009-09-04
Publication date: 2011-03-17
Anticipated expiration: 2029-09-04
Also published as: JP5549155B2

Abstract

【課題】単純な手順で短時間に検査対象物の表面を検査することができる表面検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象物に形成した孔の周縁部表面を検査する表面検査方法であって、孔を画像認識する画像認識手段を検査対象物の表面に焦点を合わせた状態で、孔を、表面側から画像認識手段の光軸と同軸の第１の波長成分の第１照明手段で照明して撮像すると共に、第１の波長成分と異なる第２の波長成分を含む第２照明手段で斜めに照明して撮像する撮像工程Ｓ１と、撮像した第１の波長成分の画像を画像処理して、孔の処理画像を生成すると共に、第２の波長成分の画像を画像処理して、周縁部表面の処理画像を生成する画像処理工程Ｓ３と、孔の処理画像と周縁部表面の処理画像とを合成して、検体画像を生成する画像合成工程Ｓ４と、を備えた。
【選択図】図３

Description

本発明は、検査対象物の表面の損傷状態を検査するための表面検査方法に関する。

従来、ワークに近い位置に臨む近リング照明と、ワークから遠い位置に臨む遠リング照明と、を順次、ストロボ発光させ、ＣＣＤカメラによりワークを撮像した画像を画像処理機構に取り込んで画像処理を行う表面検査方法が知られている（特許文献１参照）。画像処理機構は、近リング照明の発光により得られた近明濃淡画像から近照明二値画像を生成し、遠リング照明の発光により得られた遠明濃淡画像から遠照明二値画像を生成し、両二値画像に対し、論理積処理を行った画像と近照明二値画像とに排他的論理和処理を行うことでワーク表面の凹凸不良を検出する。
この表面検査方法では、それぞれ異なる照射角度を有した２つの照明による２つの画像に対し画像処理を施すことで、検出が不要部分での不要な反射光の影響を受けずに傷を検出できるようにしている。

特開２００１−２６６１２４号公報

しかし、上記のような表面検査方法では、それぞれの照射角度でワーク（検査対象物）を２回に分けて撮像する必要があり、撮像に時間がかかるという問題があった。また、撮像した２つの画像を二値化した後に、２つの画像処理（論理積処理，排他的論理和処理）を行って、検体画像を生成しており、検体画像を得るまでの画像処理の手順が複雑になるという問題があった。これらのため、検査対象物の表面検査に多くの時間を要していた。

本発明は、単純な手順で短時間に検査対象物の表面を検査することができる表面検査方法を提供することを課題としている。

本発明の表面検査方法は、検査対象物に形成した孔の周縁部表面を検査する表面検査方法であって、孔を画像認識する画像認識手段を検査対象物の表面に焦点を合わせた状態で、孔を、表面側から画像認識手段の光軸と同軸の第１の波長成分の第１照明手段で照明して撮像すると共に、第１の波長成分と異なる第２の波長成分を含む第２照明手段で斜めに照明して撮像する撮像工程と、撮像した第１の波長成分の画像を画像処理して、孔の処理画像を生成すると共に、第２の波長成分の画像を画像処理して、周縁部表面の処理画像を生成する画像処理工程と、孔の処理画像と周縁部表面の処理画像とを合成して、検体画像を生成する画像合成工程と、を備えたことを特徴とする。

この場合、撮像工程において、第１照明手段による撮像と第２照明手段による撮像と、を同時に実施することが好ましい。

これらの構成によれば、第１の波長成分による処理画像と、第２の波長成分による処理画像との合成（画像処理）を１度行うことで、検査に供する検体画像を生成することができるため、画像処理の手順が単純になる。特に、第１の波長成分による撮像では、孔の輪郭が強調された画像が得られ、第２の波長成分による撮像では、検査対象物の表面の損傷が強調された画像が得られる。このため、簡単な画像処理で高精度な処理画像を得ることができる。また、１度の撮像工程で、２つの画像を生成することができるため、撮像工程に係る時間を短縮することができる。これにより、検査対象物の表面検査に要する時間を短縮することができる。

また、この場合、第１の波長成分および第２の波長成分は、Ｒ色・Ｇ色・Ｂ色のうち２色の色成分の組み合わせであることが好ましい。

他にも、第１の波長成分および第２の波長成分は、Ｙ色・Ｍ色・Ｃ色のうち２色の色成分の組み合わせであることが好ましい。

これらの構成によれば、互いに明確に異なる波長成分を使用することとなるため、各々の波長成分に明確に区別したうえで、画像処理工程において画像処理を行うことができる。また、可視光線の範囲で検査対象物の表面検査を行うことができるため、人の目による確認も容易になる。

この場合、検査対象物がインクジェットヘッドのノズルプレートであり、孔が、ノズルプレートに形成したノズル孔であることが好ましい。

この構成によれば、検査により、吐出液滴の曲り等の異常な吐出が生じる可能性のあるノズルプレートを除外することができる。これにより、基準を満たすノズルプレートのみを確実に選別でき、高品位なインクジェットヘッドを製造することができる。

インクジェットヘッドの外観斜視図（ａ）およびノズルプレートの一部を模式的に示した斜視図（ｂ）である。検査装置の概要を模式的に示した側面図である。表面検査方法のフローチャートである。１つのノズル孔について表面検査方法の各工程で生成される画像を模式的に示した説明図である。１つのノズル孔について孔内検査方法の画像合成工程で生成される画像を模式的に示した説明図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係る表面検査方法を適用した検査装置について説明する。この検査装置は、検査対象物（インクジェットヘッドのノズルプレート等）を撮像し、その撮像した画像からノズルプレートに形成されたノズル孔の周縁部の損傷（ノズル孔に接触する損傷）の有無を検査するものである。

検査装置２の説明に先立ち、図１を参照して、検査対象物の説明をする。本実施形態における検査対象物は、インクジェットヘッド１のノズル面（表面）を構成するノズルプレート１１である。図１（ａ）に示すように、ノズルプレート１１の表面（ノズル面）には、２列のノズル列ＮＬが相互に平行に列設されており、各ノズル列ＮＬは、等ピッチで並べた１８０個のノズル孔１２で構成されている。なお、ノズル列ＮＬの数およびノズル孔１２の数は、任意である。

図１（ｂ）に示すように、ノズルプレート１１の裏面には、シリコンキャビティ１３が接着され、シリコンキャビティ１３には、接着フィルム１４が接着されている。シリコンキャビティ１３は、各ノズル孔１２を囲むように配設され、ノズル孔１２の数に対応する数の圧力室１５と、各圧力室１５に供給するための機能液を貯留する共通室１６と、各圧力室１５と共通室１６とをつなぐ供給路１７と、を構成している。接着フィルム１４は、シリコンキャビティ１３の上面の仕切りとして接着されており、図示は省略するが、接着フィルム１４の上面の各圧力室１５に対応する位置には、圧電素子が配設されている。

インクジェットヘッド１に導入された機能液（インク）は、共通室１６から供給路１７を介して圧力室１５に流れ、ここに貯留される。そして、圧電素子に電圧を印加により圧力室１５に体積変化が生じ、各ノズル孔１２から機能液が液滴として吐出される。したがって、ノズル孔１２の周縁部に損傷３がある場合、この損傷３に先に吐出した液滴が付着し、その後の液滴の吐出方向が曲がったり、液滴の吐出量が変化する等の不具合が生じる。

次に、図２を参照して、検査装置２の説明をする。検査装置２は、ノズルプレート１１を撮像するＣＣＤカメラ２１（画像認識手段）と、ノズルプレート１１を位置決めして固定するワークセット治具２２と、ＣＣＤカメラ２１の光学系の光軸上でノズルプレート１１の表面を照明する同軸落射照明２３（第１照明手段）と、ＣＣＤカメラ２１の下端部に装着され、ノズルプレート１１の表面を斜めから照明するリング照明２４（第２照明手段）と、ノズルプレート１１を裏面（接着フィルム１４側）から照明する透過照明２５と、を備えている。
また、検査装置２は、ＣＣＤカメラ２１により撮像した画像情報が取り込まれ、各種画像処理を行う画像処理手段２６（パーソナルコンピューター）と、リング照明２４に電力を供給するリング照明用電源２７と、同軸落射照明２３および透過照明２５に電力を供給するＬＥＤ照明用電源２８と、を備えている。なお、ＬＥＤ照明用電源２８側に光源を設け、光ファイバーにより光を導き、ノズルプレート１１の表面および裏面を照明するようにしてもよい。

ＣＣＤカメラ２１は、ノズルプレート１１の上側に臨む装置本体３１と、ＣＣＤイメージセンサーを有するカメラ本体３２と、を備えている。ＣＣＤカメラ２１は、ノズルプレート１１の表面に焦点が合うように調整されている。装置本体３１は、一端をカメラ本体３２のＣＣＤイメージセンサーに連なるように接続した鏡筒３３と、鏡筒３３の他方の端部に接続した対物レンズ３４と、を備えている。対物レンズ３４は、ワークセット治具２２に固定したノズルプレート１１の上側に臨んでいる。カメラ本体３２は、鏡筒３３の上端に配設されたカラー撮像可能なカメラであり、ＣＣＤイメージセンサーに色信号を抽出すための原色（「Ｒ（赤）」、「Ｇ（緑）」、「Ｂ（青）」）のカラーフィルターが取り付けられている（単板方式）。なお、原色に対して補色の関係にある「Ｃ，Ｍ，Ｙ」のカラーフィルターを用いてもよいし、３ＣＣＤ方式のカメラを用いてもよい。また、撮像方式としては、ＣＣＤ方式に限られたものではなく、ＣＭＯＳ方式等、その他どのような撮像方式でもよい。

なお、本実施形態では、ＣＣＤカメラ２１において、一のノズル列ＮＬにおける４個のノズル孔１２が一度に撮像される。しかし、撮像範囲はカメラ本体３２や対物レンズ３４の仕様により異なるものであり、一度に撮像するノズル孔１２の数は、任意である。

ワークセット治具２２は、ノズルプレート１１を位置決め固定するセットテーブル４１と、セットテーブル４１にセットされたノズルプレート１１を直交軸（Ｘ軸・Ｙ軸）上で移動させる移動テーブル４２と、移動テーブル４２を支持する複数（４本）の脚部４３と、を備えている。

セットテーブル４１は、全体が透明アクリル樹脂製で構成され、セットテーブル４１の中央部は、透明なフィルム（図示省略）で構成されている。透明なフィルムは、ノズルプレート１１の２列のノズル列ＮＬを包含する大きさ形成されている。ノズルプレート１１は、その表面（ノズル面）を上にして、透明なフィルム上に２列のノズル列ＮＬが臨むようにして固定される。

移動テーブル４２は、セットテーブル４１をノズル列ＮＬの方向（Ｘ軸方向）に移動させるＸ軸テーブル４４と、Ｘ軸テーブル４４をＸ軸と直交するＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル４５と、を備えている。移動テーブル４２は、画像処理手段２６に接続され、画像処理手段２６により、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動が制御される。これにより、ＣＣＤカメラ２１の撮像範囲（画角）に合わせてノズルプレート１１を移動することができ、ノズルプレート１１の表面に形成された全てのノズル孔１２を撮像することができる。なお、移動テーブル４２を省略して、ＣＣＤカメラ２１および装置本体３１を移動させる構成としてもよいし、作業者がセットテーブル４１上のノズルプレート１１を手作業で動かしてもよい。

Ｘ軸テーブル４４の中央部には、セットテーブル４１より僅かに小さく形成されたＸ軸透過開口４４ａが形成され、同様にＹ軸テーブル４５の中央部には、Ｘ軸透過開口４４ａより大きく形成されたＹ軸透過開口４５ａが形成されている。Ｘ軸透過開口４４ａおよびＹ軸透過開口４５ａは、透過照明２５の直上に位置している。透過照明２５からの透過光は、Ｘ軸透過開口４４ａ、Ｙ軸透過開口４５ａおよび上記したセットテーブル４１の透明なフィルムを介して、ノズルプレート１１を裏面（接着フィルム１４側）から照明する。

同軸落射照明２３（第１照明手段）は、装置本体３１の鏡筒３３の下側において枝分かれして、上方に向かって鏡筒３３に沿うように配設された同軸落射ケース５１と、同軸落射ケース５１の上端部に配設された同軸落射ＬＥＤ部５２と、同軸落射ケース５１の下端部に配設された反射ミラー５３と、を備えている。また、同軸落射照明２３は、ＬＥＤ照明用電源２８に接続され、適正且つ安定した電力が供給されるようになっている。同軸落射照明２３は、赤色（Ｒ色）ＬＥＤを用いた赤色の照明であり、同軸落射ＬＥＤ部５２から照射された赤色の光は、同軸落射ケース５１内のレンズ（図示省略）で集光され、反射ミラー５３および鏡筒３３内に配設されたハーフミラー５４で反射して、ＣＣＤカメラ２１の光軸と同一軸でノズルプレート１１の表面を照らす。

リング照明２４（第２照明手段）は、対物レンズ３４の外側に環状に添設されており、複数の点光源であるハロゲンランプ（図示省略）を環状に配設したリング照明本体６１と、リング照明本体６１の下側に接続され、光の照射角度を変更するリング治具６２と、を備えている。また、リング照明２４は、リング照明用電源２７に接続され、適正且つ安定した電力が供給されるようになっている。リング治具６２は、その内側が鏡面加工されており、リング照明本体６１から照射された光（ハロゲン光）は、リング治具６２の内側で反射して、ノズルプレート１１に対して３０°の角度で照射される。リング治具６２を通過した光は、ＣＣＤカメラ２１の撮像範囲に該当するノズルプレート１１の表面に集光する。これにより、ＣＣＤカメラ２１での撮像に必要な光を集めることができる。なお、リング治具６２は、上記したものに限られず、例えば、プリズムやレンズ等で構成してもよい。すなわち、ＣＣＤカメラ２１の撮像範囲に集光するべく、リング照明本体６１から照射された光の照射角度を変更できるものであればよい。また、上記したノズルプレート１１に対してのハロゲン光の角度（３０°）は一例であり、撮像条件に合わせて任意に変更することが好ましい。

透過照明２５は、ワークセット治具２２（のセットテーブル４１）の透明なフィルム部分に下側から臨み、対物レンズ３４（ＣＣＤカメラ２１）に対峙するように配設されている。透過照明２５は、青色（Ｂ）ＬＥＤを用いた青色の照明であり、ノズルプレート１１の裏面から青色の光を照射する。また、同軸落射照明２３と同様に、透過照明２５は、ＬＥＤ照明用電源２８に接続されている。

画像処理手段２６は、画像処理のための作業領域（一時記憶領域）として使用されるＲＡＭ７１と、画像処理に用いる各種データおよび各種プログラムを記憶（保存）するＨＤＤ７２と、ＨＤＤ７２に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ７３と、ＣＰＵ７３による各種処理を行うための制御プログラムおよび制御データを記憶するＲＯＭ７４と、を有している。また、画像処理手段２６には、キーボードやマウス等の入力デバイス７５、ディスプレイ７６等が接続されており、画像処理手段２６は、ＩＯＣ７７（Input Output Controller）を介して、カメラ本体３２と接続されている。

続いて、図３および図４を参照して、本実施形態の検査装置２の画像処理手段２６によるノズルプレート１１の表面検査の手順（表面検査方法）について説明する。この表面検査では、ノズル孔１２の周縁部に損傷３（ノズル孔１２に接触する損傷３）があるか否かを検査する。図３に示すように、表面検査方法は、ＣＣＤカメラ２１により、ノズルプレート１１の表面に焦点を合わせた状態で、ノズルプレート１１を撮像する撮像工程Ｓ１と、撮像された画像情報をＲ色・Ｇ色・Ｂ色の色成分別の画像を抽出する色成分抽出工程Ｓ２と、Ｒ色成分およびＧ色成分の画像を画像処理して処理画像を生成する画像処理工程Ｓ３と、生成したＲ色成分およびＧ色成分の処理画像を合成して検体画像８９を生成する画像合成工程Ｓ４と、を備えている。

撮像工程Ｓ１に先立ち、作業者は、検査対象物となるノズルプレート１１をワークセット治具２２の所定位置に固定する。撮像工程Ｓ１では、同軸落射照明２３、リング照明２４および透過照明２５をすべて点灯させた状態で、ＣＣＤカメラ２１により、ノズルプレート１１に形成された複数のノズル孔１２を撮像する。撮像された画像情報は、ＩＯＣ７７を介して画像処理手段２６に取り込まれる（取込画像８１：図４（ａ）参照）。なお、図４では、１つのノズル孔１２について、各工程で生成される画像を模式的に示している。

色成分抽出工程Ｓ２では、取込画像８１から、「Ｒ（赤）」、「Ｇ（緑）」、「Ｂ（青）」の各色成分（波長成分）の画像を抽出し、各色の色成分画像を生成する（赤色成分画像８２，緑色成分画像８３，青色成分画像８４：図４（ｂ）参照）。各色の波長成分は、明確に異なる波長成分からなるものであり、色成分ごとの画像に簡単に抽出することができる。また、可視光線の範囲で当該検査を行うため、画像処理手段２６による検査が困難な場合にも、人の目による確認が容易になる。さらに、１度の撮像工程Ｓ１で、複数（本実施形態では３つ）の画像を生成することができるため、撮像工程Ｓ１に係る時間を短縮することができ、検査対象物の表面検査に要する時間を短縮することができる。

赤色成分画像８２は、同軸落射照明２３から照射された赤色光の波長成分（第１の波長成分）を抽出することで生成される。同軸落射照明２３からの赤色光は、ＣＣＤカメラ２１の光軸と同軸で照射されているため、ノズル孔１２内では下方に通過してしまい、反射（または散乱）することはないが、その他のノズルプレート１１の表面で反射等して、その反射光（または散乱光）がＣＣＤカメラ２１に入射する。したがって、赤色成分画像８２では、ノズル孔１２の内部は黒色に表示され、その他のノズルプレート１１の表面は赤色に表示される。つまり、赤色成分画像８２では、正確な位置と大きさのノズル孔１２の輪郭のみが明確に黒色に表示される。なお、リング照明２４からのハロゲン光にも赤色の波長成分が含まれているが、この赤色の波長成分は、同軸落射照明２３の赤色光よりも弱く、且つ波長成分も異なるため、ＣＣＤカメラ２１では撮像されず、赤色成分画像８２に表示されることはない。

一方、緑色成分画像８３は、リング照明２４から照射されたハロゲン光に含まれる緑色の波長成分（第２の波長成分）を抽出することで生成される。なお、本実施形態では、緑色の波長成分は、ハロゲン光のみに含まれる。リング照明２４からの緑色の波長成分の光は、ノズルプレート１１の表面（平坦な面）では、入射方向とは反対方向に略全反射し、ＣＣＤカメラ２１（対物レンズ３４）に入射することがない。しかし、ノズルプレート１１の表面に損傷３がある場合、この緑色の波長成分の光は、その損傷部分において反射角度が変化してＣＣＤカメラ２１に入射する。したがって、緑色成分画像８３では、ノズルプレート１１の表面に存する損傷３は、緑色に表示され、その他のノズルプレート１１の表面およびノズル孔１２は黒色に表示される。

続く画像処理工程Ｓ３では、画像処理手段２６が赤色成分画像８２および緑色成分画像８３に各々２値化処理を行い、２値化画像（赤色成分処理画像８５および緑色成分処理画像８６：図４（ｃ）参照）を各々生成する。２値化処理は、設定した閾値により行われ、２値化処理された赤色成分処理画像８５および緑色成分処理画像８６は、白黒の画像となる。赤色成分処理画像８５では、位置および大きさが正確なノズル孔１２の輪郭が強調され、同様に、緑色成分処理画像８６では、ノズルプレート１１の表面の損傷３が強調されることとなる。このように、色成分抽出工程Ｓ２を経た赤色成分画像８２および緑色成分画像８３に対して、画像処理工程Ｓ３を行うことで、複雑な画像処理を施すことなく、ノズル孔１２および損傷３を誤検出することのない正確な２値化画像（赤色成分処理画像８５および緑色成分処理画像８６）を得ることができる。なお、２値化処理における画像の輝度の閾値は、固定閾値法、自動２値化法、モード法および判別分析法等の既知の手法や、ユーザーが実験或いは経験等に基づいて、任意に求める。

画像合成工程Ｓ４では、画像処理工程Ｓ３で生成した赤色成分処理画像８５と緑色成分処理画像８６との両画像間で排他的論理和（ＸＯＲ）演算を行う。これにより、ノズルプレート１１の表面の損傷３およびノズル孔１２の輪郭（内部）が「黒」で表示される（中間検体画像８８：図４（ｄ）参照）。その後、中間検体画像８８に対して、否定（ＮＯＴ）演算を行い、白黒を反転させ（損傷３およびノズル孔１２が「白」）、これを検体画像８９（図４（ｅ）参照）とする。そして、この検体画像８９により、画像処理手段２６は、ノズル孔１２の輪郭に接する損傷３を検出する。ノズル孔１２の位置および大きさが正確に表示された赤色成分処理画像８５と、ノズルプレート１１の表面に存する損傷３が表示された緑色成分処理画像８６と、を画像処理（論理演算）して生成された検体画像８９では、ノズル孔１２と損傷３との位置関係が明確になり、ノズル孔１２の周縁部に損傷３があるかどうかを正確に且つ確実に検出することができる。なお、中間検体画像８８に対する否定演算に代えて、中間検体画像８８の「明」成分（画像の輝度値が「０」）と、それ以外の成分とで２値化処理を実行した画像を検体画像８９としてもよい。また、検査に用いるプログラムによっては、否定演算を省略して、中間検体画像８８により損傷３を検出するようにしてもよい。

以上の構成によれば、１度の撮像工程Ｓ１で、複数の画像を生成することができ、表面検査全体に要する時間を短縮することができる。また、簡単な画像処理の手順でノズル孔１２に接する損傷３を正確に且つ確実に検出可能な検体画像８９を生成することができる。この表面検査により、吐出液滴の曲り等の異常な吐出が生じる可能性のあるノズルプレート１１を除外することができる。これにより、高品位なインクジェットヘッド１の製造が可能となる。
なお、本実施形態では、第１の波長成分として同軸落射照明２３からの赤色光を、第２の波長成分としてリング照明２４からのハロゲン光に含まれる緑色の波長成分を用いていたが、第１の波長成分および第２の波長成分は、「Ｒ色、Ｇ色、Ｂ色」のうち、任意の２色の色成分の組み合わせであればよい。また、「Ｃ色、Ｍ色、Ｙ色」のうち、任意の２色の色成分の組み合わせでもよい。つまり、波長成分の異なる画像を抽出（分解）することができれば、どのような色（波長）でもよく、可視光線と不可視光線との別も問わない。

なお、本実施形態の検査装置２では、ノズルプレート１１の表面検査と同時または個別に、ノズルプレート１１に形成されたノズル孔１２の内部の異物４の有無を検査（孔内検査）することができる。以下、図４および図５を参照して、ノズルプレート１１の孔内検査の手順（孔内検査方法）について簡単に説明する。
この孔内検査方法は、上記した表面検査方法と略同様の手順で行われるものであり、色成分抽出工程Ｓ２で生成した赤色成分画像８２および青色成分画像８４を用いる（図４（ｂ）参照）。青色成分画像８４は、透過照明２５から照射された青色光の波長成分を抽出することで生成される。そして、画像処理工程Ｓ３では、２値化画像（赤色成分処理画像８５および青色成分処理画像８７）を各々生成する（図４（ｃ）参照）。次に、画像合成工程Ｓ４では、赤色成分処理画像８５と青色成分処理画像８７との両画像間で論理和（ＯＲ）演算を行と、ノズル孔１２内の異物４のみが「黒」で表示された中間検体画像８８が生成される（図５（ａ）参照）。この中間検体画像８８に対して、否定（ＮＯＴ）演算（または「明」成分と、それ以外の成分とで２値化）を行い検体画像８９（異物４が「白」）とする（図５（ｂ）参照）。これにより、ノズル孔１２と異物４との位置関係が明確になり、ノズル孔１２の内部（内周面）に異物４があるかどうかを正確に且つ確実に検出することができる。

また、本実施形態の表面検査方法では、検査対象物として複数のノズル孔１２が形成されたノズルプレート１１の表面（ノズル孔１２の周縁部）の損傷について検査を行っていたが、他にも、検査対象物の表面に突出するように形成された凸部の表面の損傷状態を、上述した表面検査の手順（方法）で検査することができる。

１：インクジェットヘッド、２：検査装置、１１：ノズルプレート、２１：ＣＣＤカメラ、２３：同軸落射照明、２４：リング照明、２６：画像処理手段

Claims

検査対象物に形成した孔の周縁部表面を検査する表面検査方法であって、
前記孔を画像認識する画像認識手段を前記検査対象物の表面に焦点を合わせた状態で、前記孔を、表面側から前記画像認識手段の光軸と同軸の第１の波長成分の第１照明手段で照明して撮像すると共に、前記第１の波長成分と異なる第２の波長成分を含む第２照明手段で斜めに照明して撮像する撮像工程と、
撮像した前記第１の波長成分の画像を画像処理して、前記孔の処理画像を生成すると共に、前記第２の波長成分の画像を画像処理して、前記周縁部表面の処理画像を生成する画像処理工程と、
前記孔の処理画像と前記周縁部表面の処理画像とを合成して、検体画像を生成する画像合成工程と、を備えたことを特徴とする表面検査方法。
前記撮像工程において、前記第１照明手段による撮像と前記第２照明手段による撮像と、を同時に実施することを特徴とする請求項１に記載の表面検査方法。
前記第１の波長成分および前記第２の波長成分は、Ｒ色・Ｇ色・Ｂ色のうち２色の色成分の組み合わせであることを特徴とする請求項１または２に記載の表面検査方法。
前記第１の波長成分および前記第２の波長成分は、Ｙ色・Ｍ色・Ｃ色のうち２色の色成分の組み合わせであることを特徴とする請求項１または２に記載の表面検査方法。
前記検査対象物がインクジェットヘッドのノズルプレートであり、
前記孔が、前記ノズルプレートに形成したノズル孔であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の表面検査方法。