JP2011043441A5 - - Google Patents
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Claims (1)
- 電極パッドが設けられたプローブ基板と、
ビーム部の一端にコンタクト部が形成され、前端及び後端を有するベース部が上記ビーム部の他端に形成されたコンタクトプローブと、
上記電極パッドに接合された上記ベース部の一端を覆う硬化した樹脂からなる補強部材とを備えたことを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009192503A JP5386272B2 (ja) | 2009-08-21 | 2009-08-21 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009192503A JP5386272B2 (ja) | 2009-08-21 | 2009-08-21 | プローブカード |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011043441A JP2011043441A (ja) | 2011-03-03 |
| JP2011043441A5 true JP2011043441A5 (ja) | 2012-07-26 |
| JP5386272B2 JP5386272B2 (ja) | 2014-01-15 |
Family
ID=43830972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009192503A Active JP5386272B2 (ja) | 2009-08-21 | 2009-08-21 | プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5386272B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5777997B2 (ja) * | 2011-03-07 | 2015-09-16 | 日本特殊陶業株式会社 | 電子部品検査装置用配線基板およびその製造方法 |
| WO2022208708A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007127481A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカードの製作方法 |
| JP5414158B2 (ja) * | 2007-06-13 | 2014-02-12 | 日本電子材料株式会社 | コンタクトプローブの製造方法 |
-
2009
- 2009-08-21 JP JP2009192503A patent/JP5386272B2/ja active Active