JP2011034291A - 半導体集積回路の設計方法、設計プログラム、設計支援装置、及び半導体集積回路 - Google Patents
半導体集積回路の設計方法、設計プログラム、設計支援装置、及び半導体集積回路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011034291A JP2011034291A JP2009179305A JP2009179305A JP2011034291A JP 2011034291 A JP2011034291 A JP 2011034291A JP 2009179305 A JP2009179305 A JP 2009179305A JP 2009179305 A JP2009179305 A JP 2009179305A JP 2011034291 A JP2011034291 A JP 2011034291A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor integrated
- integrated circuit
- cell
- layout
- current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 58
- 238000013461 design Methods 0.000 title claims abstract description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 10
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010261 cell growth Effects 0.000 description 1
- 230000009087 cell motility Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/118—Masterslice integrated circuits
- H01L27/11803—Masterslice integrated circuits using field effect technology
- H01L27/11807—CMOS gate arrays
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F30/00—Computer-aided design [CAD]
- G06F30/30—Circuit design
- G06F30/39—Circuit design at the physical level
- G06F30/392—Floor-planning or layout, e.g. partitioning or placement
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0207—Geometrical layout of the components, e.g. computer aided design; custom LSI, semi-custom LSI, standard cell technique
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2119/00—Details relating to the type or aim of the analysis or the optimisation
- G06F2119/06—Power analysis or power optimisation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Architecture (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- Geometry (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
【課題】半導体集積回路の設計TATを短縮する。
【解決手段】本発明による半導体集積回路の設計方法は、回路情報21に基づいてレイアウト対象回路41、42の消費電流量211を算出するステップと、電源配線2から電源供給可能な領域における単位面積当りの供給可能電流量212を算出するステップと、算出された消費電流量211に基づき、レイアウト対象回路41、42の単位面積当りの消費電流量が、供給可能電流量212以上となるように、対象回路のセルサイズ213を設定するステップとを具備する。
【選択図】図6
【解決手段】本発明による半導体集積回路の設計方法は、回路情報21に基づいてレイアウト対象回路41、42の消費電流量211を算出するステップと、電源配線2から電源供給可能な領域における単位面積当りの供給可能電流量212を算出するステップと、算出された消費電流量211に基づき、レイアウト対象回路41、42の単位面積当りの消費電流量が、供給可能電流量212以上となるように、対象回路のセルサイズ213を設定するステップとを具備する。
【選択図】図6
Description
本発明は、セルベース半導体集積回路のセルライブラリを生成する半導体集積回路の設計方法、設計プログラム、設計支援装置に関する。
セルベースIC(Integrated Circuit)は特定用途向け半導体集積回路(ASIC: Application Specific Integrated Circuit)をはじめ、高集積、高性能が要求されるマイクロプロセサやASSP(Application Specific Standard Product)等のLSIに好適に利用されている。セルベースICは、半導体メーカーが提供するセルライブラリを用いて、ユーザが設計する独自回路を組み合わせることにより設計される。セルライブラリには、基本回路を搭載したプリミティブセルから、CPUやメモリ等のマクロを搭載したマクロセルまで様々な種類や大きさのセルが用意される。このようなセルを配置配線ツールによってチップ上に配置・配線して回路設計を行うため、設計時間や設計コストを削減することができる。又、CPU等のレイアウトをマクロセルとしてそのまま組み込むことができるため、システムLSIの作成が容易となる。
セルベースICのレイアウトは、セルライブラリを作成するセルレイアウトフェーズと、セルライブラリを用いてセルをチップ上に配置するチップレイアウトフェーズとを経て作成される。図1は、一般的なチップレイアウトフェーズにおけるレイアウト動作を示すフロー図である。チップレイアウトフェーズでは、予め用意されたセルライブラリ100を用いて、予め電源配線が配置されたチップ上にセルが配置される(ステップS101)。これによりチップレイアウト情報101が生成される。例えば、図2に示すチップレイアウトが得られる。
図2は、半導体集積回路(チップ)のレイアウト構造の一例を示す平面図である。図2を参照して、半導体集積回路には、電源電圧VDDが供給され、列方向に延設される電源配線1と、電源配線1に接続され、行方向(X方向)に延設される電源配線2(電源電圧VDD)と、電源配線2に並行に延設される電源配線3(接地電圧GND)が配置される。電源配線2は、行内の領域Aに配置されたセル30〜32に対し電源電圧VDDを供給する。このようなレイアウト構造を示すチップレイアウト情報101が図示しない記憶装置に記録される。
次に、チップレイアウトに不具合がないかが検証される。通常、DRC(Design Rule Checking)、LVS(Layout Versus Schematic)、ERC(Electrical Rule Checking)が行なわれる。ERCでは、例えば、電源配線が供給可能な電流量が、セルの消費電流量以上であるかが検証される。すなわち、電源配線から供給可能な単位面積当りの電流量と、セルの単位面積当りの消費電流量とが比較される(ステップS102)。ここで、セルの消費電流量が大きい場合(ステップS102No)、チップレイアウト工程(ステップS101)に移行し、チップレイアウトが修正される。
図2に示す一例において、セル30、31、32の消費電流量をそれぞれIb1、Ib2、Ib3とし、それぞれのセルサイズ(面積)をSb1、Sb2、Sb3とする。又、電源配線2からの供給される電流量をIa、電源供給可能な領域Aの面積をSvとする。本一例では、セル30の単位面積当りの消費電流量Ib1/Sb1は、電源配線2からの単位面積当りの供給可能電流量Ia/Svより小さく、セル31、32の単位面積当りの消費電流量Ib2/Sb2、Ib3/Sb3は、供給可能電流量Ia/Svより大きい。この場合、セル31、32への電流供給能力を高めるようにレイアウト修正が行なわれる。例えば、図3に示すように、新たな電源配線5を配置されることで電源供給能力を高める。あるいは、上部配線6の下層に消費電流が大きいセル32を配置し、コンタクト7を介して上部配線6から直接電源電圧VDDを供給する。これにより、消費電流の大きいセル31、32に対して必要な電流を供給することが可能となる。
チップレイアウトの修正により、半導体集積回路の電気的特性が所望の範囲内となると、チップレイアウトを確定し、チップレイアウトフェーズを終了する(ステップS102Yes)。
しかし、レイアウト修正において新たに電源配線5を追加する場合、チップ全体の配線リソースが悪化してしまう。又、セル32を上層配線の近傍に配置するレイアウト修正を行なう場合、セル32の位置は上層配線の位置の制約を受ける。これにより、セル32と他のセル30との信号配線の最適化(タイミングドリブンレイアウト)ができなくなる場合がある。
このような電源供給能力を変更する場合の問題を解決するため、配置したセルのサイズを変更することで電源配線から供給される電流量とセルの消費電流量を最適化する方法が、例えば、特開2007−258215(特許文献1参照)や特開平3−16155(特許文献2参照)に記載されている。
図4は、図2に示すチップレイアウトを特許文献1に記載の設計方法よってレイアウト修正した後のチップレイアウトの構造を示す平面図である。ステップS102において、セル31、32の単位面積当りの消費電流量が、電源配線から供給可能な単位面積当りの電流量より大きい場合、セル31、32のそれぞれにダミー領域33、34を挿入してセルサイズをSb4、Sb5に拡張する。これによりセル31、32の単位面積当りの消費電流は、供給電流量Ia/Svより小さいIb2/Sb4、Ib3/Sb5となる。
上述のように、従来技術では、チップレイアウトフェーズにおいて、電源配線から供給可能な電流量に応じてセルや電源配線の配置、あるいは、セルサイズを変更する必要がある。この場合、レイアウト修正に伴う信号配線の最適化や、セルの拡張に伴うセルの移動、配置可能箇所の探索等のため、設計TATが増大してしまう。
上記の課題を解決するために、本発明は、以下に述べられる手段を採用する。その手段を構成する技術的事項の記述には、[特許請求の範囲]の記載と[発明を実施するための形態]の記載との対応関係を明らかにするために、[発明を実施するための形態]で使用される番号・符号が付加されている。ただし、付加された番号・符号は、[特許請求の範囲]に記載されている発明の技術的範囲を限定的に解釈するために用いてはならない。
本発明による半導体集積回路の設計方法は、回路情報(21)に基づいてレイアウト対象回路(41、42)の消費電流(211)を算出するステップと、電源配線(2)から電源供給可能な領域における単位面積当りの供給可能電流量(212)を算出するステップと、算出された消費電流(211)に基づき、レイアウト対象回路(41、42)の単位面積当りの消費電流量が、供給可能電流量(212)以上となるように、対象回路のセルサイズ(213)を設定するステップとを具備する。
本発明ではセルレイアウトフェーズにおいて、セルの単位面積当りの消費電流量が電源配線から供給可能な電流量以下となるように、セル設計されている。このため、チップレイアウトフェーズにおいて、電源配線からセルに対して供給可能な電流量とセルの消費電流量の大きさを検証する必要がなくなる。すなわち、セルに対して安定的に電源供給可能かどうかをチップレイアウトフェーズにおいて検証する必要がなくなる。
本発明による半導体集積回路の設計方法は、コンピュータによって実行される設計プログラム(25)によって実現される。
半導体集積回路の設計支援装置(10)は、消費電流算出部(201)と、供給可能電流算出部(202)と、セルサイズ設定部(203)とを具備する。消費電流算出部(201)は、回路情報(21)に基づいてレイアウト対象回路(41、42)の消費電流(211)を算出する。供給可能電流算出部(202)は、電源配線(2)から電源供給可能な領域における単位面積当りの供給可能電流量(212)を算出する。セルサイズ設定部(203)算出された消費電流(211)に基づき、レイアウト対象回路(41、42)の単位面積当りの消費電流量が、供給可能電流量(212)以上となるように、対象回路のセルサイズ(213)を設定する。
本発明による半導体集積回路は、電源配線(2)と、電源配線(2)から電源が供給される複数のセル(41、42)とを具備する。複数のセル(41、42)のそれぞれの単位面積当りの消費電流量は、電源配線(2)から電源供給可能な領域(A)における単位面積当りの供給可能電流量以下である。又、複数のセル(41、42)は、論理領域に対応するセルサイズより大きいセルサイズで、デッドスペースが存在しない。
本発明によれば、半導体集積回路の設計TATを短縮することができる。
又、半導体集積回路のチップレイアウトを簡易に行なうことができる。
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。図面において同一、又は類似の参照符号は、同一、類似、又は等価な構成要素を示している。
(構成)
以下、添付図面を参照して、本発明による半導体集積回路の設計方法、設計プログラム、設計支援装置の実施の形態を説明する。本実施の形態では、セルベースIC(Integrated Circuit)を設計する半導体集積回路設計支援装置を一例に説明する。
以下、添付図面を参照して、本発明による半導体集積回路の設計方法、設計プログラム、設計支援装置の実施の形態を説明する。本実施の形態では、セルベースIC(Integrated Circuit)を設計する半導体集積回路設計支援装置を一例に説明する。
(構成)
図5及び図6を参照して、本発明による半導体集積回路設計支援装置10(以下、設計支援装置10と称す)の実施の形態における構成を説明する。図5は、本発明による設計支援装置10の実施の形態における構成図である。設計支援装置10は、バス16を介して相互に接続されるCPU11、RAM12、記憶装置13、入力装置14、出力装置15を具備する。記憶装置13はハードディスクやメモリ等に例示される外部記憶装置である。又、入力装置14は、キーボードやマウス等のユーザによって操作されることで、各種データをCPU11や記憶装置13に出力する。出力装置15は、モニタやプリンタに例示され、CPU11から出力される半導体装置のレイアウト結果をユーザに対し視認可能に出力する。
図5及び図6を参照して、本発明による半導体集積回路設計支援装置10(以下、設計支援装置10と称す)の実施の形態における構成を説明する。図5は、本発明による設計支援装置10の実施の形態における構成図である。設計支援装置10は、バス16を介して相互に接続されるCPU11、RAM12、記憶装置13、入力装置14、出力装置15を具備する。記憶装置13はハードディスクやメモリ等に例示される外部記憶装置である。又、入力装置14は、キーボードやマウス等のユーザによって操作されることで、各種データをCPU11や記憶装置13に出力する。出力装置15は、モニタやプリンタに例示され、CPU11から出力される半導体装置のレイアウト結果をユーザに対し視認可能に出力する。
記憶装置13は、回路情報21、電源配線情報22、セルライブラリ23、チップレイアウト情報24、設計プログラム25を格納する領域を有している。CPU11は、入力装置14からの入力に応答して、記憶装置13内の設計プログラム25を実行し、セルレイアウトやチップレイアウトを行なう。この際、記憶装置13からの各種データやプログラムはRAM12に一時格納され、CPU11は、RAM12内のデータを用いて各種処理を実行する。
回路情報21は、セル(回路)を構成する素子の接続関係や種類、サイズ(素子数)等に関する素子情報と、当該回路を構成する素子のうちで、ダイオードやトランジスタなどの非線形能動素子の動作条件に関する情報(動作条件情報)を含む。素子情報は配線長や配線幅、抵抗値や容量値、あるいはトランジスタの駆動能力を含む。動作条件情報は、回路配線負荷、動作電圧(使用電圧)、動作周波数、動作率(動作Duty)等の情報を含む。
電源配線情報22は、設計対象の半導体集積回路(チップ)上に配置された電源配線の位置情報を含む。例えば、図8に示すように電源配線1〜3が配置される場合、チップ上における電源配線1〜3の位置座標や、配線幅、電源配線1〜3に供給される電源電圧等が電源配線情報22として記録される。又、電源配線2が電流を供給可能な領域Aの座標又は面積が電源配線情報22に含まれていても良い。更に、電源配線情報22は、エレクトロマイグレーションやIRドロップを考慮した電源配線に対する制約条件情報が含まれていても良い。
セルライブラリ23は、1つ又は複数の機能を有し、内部が既にレイアウト設計されたセル(機能セル)に関するデータ(以下セルデータと称す)の集合である。セルライブラリ23には、NANDやフリップフロップなどの基本的回路を含むプリミティブセルから、デカップリング容量セル、MIM容量セル、あるいはRAMやROM、CPUコア等の大規模回路を含むマクロセルに関するセルデータが登録される。又、セルデータは、セルを半導体チップ上に配置、配線するために利用されるLEF(Library Exchange Format)データである。セルデータは、セル内の配線や端子の位置等、セルの外形や外部からの配線の接続位置、配線禁止領域を指定するデータを含む。
チップレイアウト情報24は、チップレイアウトフェーズにおいて設計された半導体チップ上のレイアウトに関する情報である。詳細には、チップレイアウト情報24は、半導体チップに配置されたセルの位置、種類、大きさ等に関する例えばGDS(Graphic Data System)形式の情報、セル間を接続する配線の位置及び大きさに関する情報を含む。
設計プログラム25は、CPU11によって実行されることで、図6に示す消費電流算出部201、供給可能電流算出部202、セルサイズ設定部203、セルレイアウト部204、チップレイアウト部205の各機能を実現する。
図6を参照して、設計プログラム25を実行することで実現される各機能について説明する。
消費電流算出部201は、回路情報21に基づいて、セル設計の対象となる回路における消費電流量211を算出する。例えば、消費電流算出部201は、レイアウト対象回路の動作周波数、動作率、及び配線負荷等の動作条件や、回路構成とに基づいて対象回路の消費電流量211を計算する。消費電流量211の計算対象となる回路として、例えば動作周波数や駆動電流が所定の値より大きい回路が選択されることが好ましい。又、電源配線がリッチ(密)に配置されている場合、計算対象セルを選択するための閾値(駆動電流、動作周波数)は大きな値が設定される。この場合、より大きい駆動電流、又は高い動作周波数の回路が消費電流量211の計算対象回路として選択される。一方、電源配線がプア(粗)に配置されている場合、計算対象セルを選択するための閾値(駆動電流、動作周波数)は、リッチに配線される場合よりも大きな値が設定されることが好ましい。この場合、電源配線がリッチに配線されるときよりも小さい駆動電流、又は低い周波数の回路も消費電流量211の計算対象回路として選択される。
供給可能電流算出部202は、電源配線情報22に基づいて、チップ上に配置された電源配線から電源供給可能な領域における単位面積当りの供給可能電流量(以下、供給可能電流量212と称す)を算出する。詳細には、電源配線情報22から電源配線が供給可能な電流量と、電流を供給可能な領域の面積を求め、これらを用いて単位面積当りの供給可能電流量212を算出する。この際、供給可能電流算出部202は、エレクトロマイグレーションやIRドロップによる影響を考慮して供給可能電流量212を算出することが好ましい。
セルサイズ設定部203は、レイアウト対象回路のセルサイズ213を設定する。詳細には、セルサイズ設定部203は、消費電流量211の計算対象として選択されたセルのセルサイズ213を、供給可能電流量212に基づいて計算する。セルサイズ設定部203は、セルサイズ当りの消費電流量が、供給可能電流量212以下となるように、セルサイズ213を設定する。その他のセル(回路)のセルサイズ213については、従来と同様な方法で設定される。
セルレイアウト部204は、設定されたセルサイズ213、回路情報21、及び図示しない設計ルール等を用いてセルのレイアウトを決める。セルのレイアウト方法は、設計対象の論理機能を実現する素子の寸法を求め、セルサイズ213に応じたセル枠内に無駄な領域(デッドスペース)が残らないように各素子の配置を行なう。この際、デッドスペースとなる領域が生じた場合、容量セル等を挿入することが好ましい。セルレイアウト部204において生成されたセルのレイアウトに関する情報は、セルデータとしてセルライブラリ23に登録される。
チップレイアウト部205は、セルライブラリ23や図示しないネットリストを用いてチップ上にセルや、セル間を接続する信号線を配置する。ここではセル間の総配線長の最短化や、配線遅延時間の最小化を目標としてセルの配置が行なわれる。又、DRC、LVS、ERC及びこれらの検証結果に応じたレイアウト修正が行なわれる。ただし、本発明によるチップレイアウト部205は、上述したステップS102のセルの消費電流が電源配線の供給可能電流以下であるかどうかの検証は行なわれない。チップレイアウト部205によって決定したチップレイアウトに関する情報は、チップレイアウト情報24として記憶装置13に記録される。
以上のような構成により、本発明による本発明による設計支援装置10は、セルレイアウトフェーズにおいて、電源配線の電流供給能力に応じてセルサイズを決定する。この処理は、駆動電流や動作周波数が大きいセル(回路)についてのみ行なわれ、他のセル(選択されないセル)については、従来と同様な方法で、セルサイズが決められる。電源配線の電流供給能力に応じてセルサイズが決められることで、チップレイアウトフェーズにおいて配置されるセルの消費電流は全て、電源配線の電流供給能力を超えることがない。このため、従来、行なわれていたセルの消費電流が電源配線の供給可能電流以下であるかどうかの検証を省略することができる。
図7から図9を参照して、本発明による半導体集積回路の設計動作の詳細を説明する。図7は、本発明における半導体集積回路の設計動作を示すフロー図である。図8は、チップレイアウト前の配線構造の一例を示す平面図である。図9は、本発明によるチップレイアウト後のレイアウト構造の一例を示す平面図である。ここでは、図8に示すようにチップ上に電源配線1〜3が配置されているものとする。詳細には、電源電圧VDDが供給され、列方向に延設される電源配線1と、電源配線1に接続され、行方向(X方向)に延設される電源配線2(電源電圧VDD)と、電源配線2に並行に延設される電源配線3(接地電圧GND)がチップ上に配置される。又、セル41、42が消費電流量211の計算対象セル(セルサイズ設定対象セル)として選択されているものとする。
ここで、セルサイズ設定対象セルは、セル設計の段階でチップ内でのセルの消費電流を見積もることができるセルが選択される。具体的には、セルの使用条件(動作条件)が設計仕様で既に限定されており、且つ電源配線からの電流の供給に影響を及ぼす可能性の有るセル(高駆動セル、長配線で使用するセル等)が、セルサイズ設定対象セルとして選択される。例えば、駆動電流量や動作周波数等が所定の閾値より大きい回路がセルサイズ設定対象セルとして選択される。
図7を参照して、設計支援装置10は、セルサイズ設定対象セル(回路)の消費電流量211を算出する(ステップS11)。ここでは、セルサイズ設定対象セルの実運用に沿った条件(配線負荷、周波数、動作率等)で当該セルの消費電流量211が算出される。又、設計支援装置10は、配置した電源配線2による単位面積当りに供給可能な電流(供給可能電流量212)を算出する(ステップS12)。ここでは、エレクトロマイグレーションやIRドロップ等の制約に応じて、供給可能電流量212な電流が算出される。例えば、図8に示す電源供給が可能な領域Aの面積Svと供給可能な電流量Iaから、単位面積当りの供給可能電流量212(Ia/Sv)が算出される。ここで、電源供給が可能な領域Aとは、セルが配置可能な領域のうち、電源配線2から電源が供給される領域を示す。例えば、図8に示すように、電源配線2が行方向(X方向)に延設されている場合、電源配線2に対しY方向上下2行の領域が電源供給可能な領域Aとなる。
設計支援装置10は、消費電流量211と供給可能電流量212を用いて対象回路(セル41、42)のセルサイズを設定する(ステップS13)。ここで、セル30、41、42の消費電流量211をそれぞれIb1、Ic1、Ic2とし、電源配線2からの供給される電流量をIa、電源供給可能な領域Aの面積をSvとする。ステップS103において、設計支援装置10は、セル41、42の単位面積当りの消費電流量Ic1/Sc1、Ic2/Sc2が、供給可能電流量212(Ia/Sv)より大きくなるように、セル41、42のセルサイズ213(面積:Sc1、Sc2)を設定する。
設計支援装置10は、設定されたセルサイズ213(Sc1、Sc2)に応じてセル41、42のレイアウト設計を行なう(ステップS14)。ここでは、セルサイズ213で規定されたセル枠内に論理回路がレイアウトされる。ステップS14におけるセルレイアウト処理は、従来と同様な方法で行なわれる。すなわち、プロセスや動作条件に応じてゲートや拡散層のレイアウトが行なわれるとともに、セル内の配線リソースの最適化が行なわれる。又、設定されたセルサイズ213が論理領域に対応するサイズよりも大きい場合、論理領域以外の領域に容量セルを追加しても良い。
ステップS11からS14におけるセルレイアウト工程(ステップS10)によって、各種回路(マクロセル、スタンダードセル、プリミティブセル等)のレイアウトが行なわれ、それぞれのセルデータがセルライブラリ23に記録される。その他の回路(セル30)のセルサイズは、従来と同様な方法で設定される。ここでは、セルサイズとしてSb1が設定される。又、その他のセル30についても従来と同様にセルレイアウトが行なわれる。尚、セル30の単位面積当りの消費電流量(Ib1/Sb1)は、供給配線2から供給可能な単位面積当りの電流量(Ia/Sv)以下であるため、上述のような消費電流に応じたセルサイズの設定を行なう必要はない。
設計支援装置10は、予め用意されたセルライブラリ23を用いて、ステップS11〜S14の処理を行ない、予め設定されたセルサイズを変更しても良い。この場合、消費電流に応じてセルサイズが設定される対象となるセル41、42のセルデータがセルライブラリ23から選択される。そして、上述と同様にステップS11〜S13までの処理が行なわれることで、消費電流に応じたセルサイズ213が設定される。ステップS14では、設定されたセルサイズ213となるように、セルレイアウト(セルデータ)が修正される。ここで、セルサイズの変更対象となるセルは、消費電流量や動作周波数の他、セルの単位面積当りの消費電流の大きさが閾値以上か否かに応じて選択されても良い。
設計支援装置10は、セルレイアウトフェーズ(ステップS10)において生成、又は修正されたセルライブラリ23を用いて、チップレイアウトを行なう(ステップS15)。ここでは、図9に示すようにチップ上にセル30、41、42が配置される。チップレイアウト結果は、チップレイアウト情報24として記録される。
従来技術では、チップレイアウト後、配線の電源供給能力が、配置セルの消費電流を超えるか否かを検証する必要がある。しかし、本発明では、チップ上に配置される全てのセルの単位面積当りの電流量は、配線からの供給可能電流量以下となるように、セルレイアウトフェーズの段階で設定されている。このため、本発明では、従来必要としていたセルに対する電流供給能力を検証することなくチップレイアウトを行なうことができる。又、本発明では、チップレイアウト後、消費電流が大きいセルの配置や大きさを変更したり、新たな電源供給源を追加するようなレイアウト修正が必要がない。このため、レイアウト修正にかかる時間や、レイアウト修正後に行なわれる電気的特性の検証時間が削減され、設計TATが格段に短縮される。
又、セルレイアウトフェーズにおいて設定されたセルサイズを、チップレイアウトフェーズにおいて拡張する必要がない。図4で示す一例では、ダミー領域33、34を挿入してセルサイズを拡張するため、セルやチップ上に無駄な領域を追加することとなる。しかし、本発明では、セルレイアウトフェーズにおいて設定されたサイズ内で、論理領域をレイアウトし、論理領域以外の領域に容量セル等を追加することができる。このように本発明では、セル内の論理領域以外の領域を有効に利用できる。
更に、セルライブラリ23内に用意されたセル30、41、42の消費電流は、電源配線2の供給可能な電流量以下となっているため、電源配線2による電源供給可能領域Aに対し、セル30、41、42を自由に配置しても、セルに対する電源の供給を安定化することができる。このため、半導体集積回路のチップレイアウトが簡易に行なうことができる。
製造プロセスでは、チップレイアウト情報24を用いてシリコン基板表面にマスクが形成され、エッチング等の処理を経て半導体集積回路が作製される。本発明では、電源供給能力に応じた消費電流密度のセルがチップ上に配置されている。すなわち、セルの論理領域に対応するセルサイズより大きいセルサイズでデッドスペースが存在しないセルを有する。このため、セルにおける消費電流密度が供給可能電流よりも小さくなり、セルに対して安定的に電源供給可能な半導体集積回路を製造することができる。
以上、本発明の実施の形態を詳述してきたが、具体的な構成は上記実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の変更があっても本発明に含まれる。
21:回路情報
22:電源配線情報
23:セルライブラリ
24:チップレイアウト情報
25:設計プログラム
1〜3:電源配線
30〜32、41、42:セル
201:消費電流算出部
202:供給可能電流算出部
203:セルサイズ設定部
204:セルレイアウト部
205:チップレイアウト部
211:消費電流量
212:供給可能電流量
213:セルサイズ
22:電源配線情報
23:セルライブラリ
24:チップレイアウト情報
25:設計プログラム
1〜3:電源配線
30〜32、41、42:セル
201:消費電流算出部
202:供給可能電流算出部
203:セルサイズ設定部
204:セルレイアウト部
205:チップレイアウト部
211:消費電流量
212:供給可能電流量
213:セルサイズ
Claims (13)
- 回路情報に基づいてレイアウト対象回路の消費電流を算出するステップと、
電源配線から電源供給可能な領域における単位面積当りの供給可能電流量を算出するステップと、
前記消費電流に基づき、前記レイアウト対象回路の単位面積当りの消費電流量が、前記供給可能電流量以上となるように、前記対象回路のセルサイズを設定するステップと
を具備する
半導体集積回路の設計方法。 - 請求項1に記載の半導体集積回路の設計方法において、
駆動電流が閾値よりも大きい回路を前記レイアウト対象回路として選択するステップを更に具備する
半導体集積回路の設計方法。 - 請求項1に記載の半導体集積回路の設計方法において、
動作周波数が閾値よりも大きい回路を前記レイアウト対象回路として選択するステップを更に具備する
半導体集積回路の設計方法。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体集積回路の設計方法において、
前記設定されたセルサイズに応じて、前記レイアウト対象回路のセルをレイアウトするステップと、
前記セルのレイアウト情報をセルライブラリに格納するステップと
を更に具備する
半導体集積回路の設計方法。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体集積回路の設計方法において、
前記設定されたセルサイズに応じて、前記レイアウト対象回路のセルのレイアウトを変更するステップと、
変更された前記セルのレイアウト情報をセルライブラリに格納するステップと
を更に具備する
半導体集積回路の設計方法。 - 請求項4又は5に記載の半導体集積回路の設計方法において、
前記セルをチップ上に配置して半導体集積回路のレイアウトを行なうステップと、
前記半導体集積回路のレイアウト情報をチップレイアウト情報として記憶装置に格納するステップと
を更に具備する
半導体集積回路の設計方法。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の半導体集積回路の設計方法をコンピュータに実行させる設計プログラム。
- 請求項6に記載の半導体集積回路の設計方法によって生成された前記チップレイアウト情報に基づいたパタンのマスクを形成するステップと、
前記マスクを利用して半導体集積回路を作製するステップと、
を具備する
半導体集積回路の製造方法。 - 回路情報に基づいてレイアウト対象回路の消費電流を算出する消費電流算出部と、
電源配線から電源供給可能な領域における単位面積当りの供給可能電流量を算出する供給可能電流算出部と、
前記消費電流に基づき、前記レイアウト対象回路の単位面積当りの消費電流量が、前記供給可能電流量以上となるように、前記対象回路のセルサイズを設定するセルサイズ設定部と
を具備する
半導体集積回路の設計支援装置。 - 請求項9に記載の半導体集積回路の設計支援装置において、
前記設定されたセルサイズに応じて、前記レイアウト対象回路のセルをレイアウトしてレイアウト情報を生成するセルレイアウト部と、
前記レイアウト情報を格納するセルライブラリと
を更に具備する
半導体集積回路の設計支援装置。 - 請求項9に記載の半導体集積回路の設計支援装置において、
前記設定されたセルサイズに応じて、前記レイアウト対象回路のセルのレイアウトを変更しレイアウト情報を生成するセルレイアウト部と、
前記レイアウト情報を格納するセルライブラリと
を更に具備する
半導体集積回路の設計支援装置。 - 請求項10又は11に記載の半導体集積回路の設計支援装置において、
前記セルをチップ上に配置して半導体集積回路のレイアウトを行ないチップレイアウト情報を生成するチップレイアウト部と、
前記チップレイアウト情報を格納する記憶装置と
を更に具備する
半導体集積回路の設計支援装置。 - 電源配線と、
前記電源配線から電源が供給される複数のセルと、
を具備し、
前記複数のセルのそれぞれの単位面積当りの消費電流量は、前記電源配線から電源供給可能な領域における単位面積当りの供給可能電流量以下であり、
前記複数のセルは、論理領域に対応するセルサイズより大きいセルサイズで、デッドスペースが存在しないセルを有する
半導体集積回路。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009179305A JP2011034291A (ja) | 2009-07-31 | 2009-07-31 | 半導体集積回路の設計方法、設計プログラム、設計支援装置、及び半導体集積回路 |
US12/826,235 US8187924B2 (en) | 2009-07-31 | 2010-06-29 | Method, design program and design support device for semiconductor integrated circuit, and semiconductor integrated circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009179305A JP2011034291A (ja) | 2009-07-31 | 2009-07-31 | 半導体集積回路の設計方法、設計プログラム、設計支援装置、及び半導体集積回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011034291A true JP2011034291A (ja) | 2011-02-17 |
Family
ID=43526196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009179305A Withdrawn JP2011034291A (ja) | 2009-07-31 | 2009-07-31 | 半導体集積回路の設計方法、設計プログラム、設計支援装置、及び半導体集積回路 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8187924B2 (ja) |
JP (1) | JP2011034291A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020184119A (ja) * | 2019-04-26 | 2020-11-12 | 富士通株式会社 | 設計方法、および設計プログラム |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8372742B2 (en) * | 2010-02-25 | 2013-02-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method, system, and apparatus for adjusting local and global pattern density of an integrated circuit design |
US8431968B2 (en) * | 2010-07-28 | 2013-04-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Electromigration resistant standard cell device |
US9768119B2 (en) * | 2010-07-28 | 2017-09-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and method for mitigating dynamic IR voltage drop and electromigration affects |
US9740815B2 (en) | 2015-10-26 | 2017-08-22 | Globalfoundries Inc. | Electromigration-aware integrated circuit design methods and systems |
US10445457B1 (en) * | 2016-06-30 | 2019-10-15 | Cadence Design Systems, Inc. | Methods, systems, and articles of manufacture for implementing a physical design of an electronic design with DFM and design specification awareness |
US10127340B2 (en) | 2016-09-30 | 2018-11-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Standard cell layout, semiconductor device having engineering change order (ECO) cells and method |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0387812A3 (en) * | 1989-03-14 | 1992-08-05 | Fujitsu Limited | Bipolar integrated circuit having a unit block structure |
JP2007258215A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Fujitsu Ltd | セル配置プログラム、セル配置装置、及びセル配置方法 |
JP5357476B2 (ja) * | 2008-09-11 | 2013-12-04 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
-
2009
- 2009-07-31 JP JP2009179305A patent/JP2011034291A/ja not_active Withdrawn
-
2010
- 2010-06-29 US US12/826,235 patent/US8187924B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020184119A (ja) * | 2019-04-26 | 2020-11-12 | 富士通株式会社 | 設計方法、および設計プログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8187924B2 (en) | 2012-05-29 |
US20110024869A1 (en) | 2011-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011034291A (ja) | 半導体集積回路の設計方法、設計プログラム、設計支援装置、及び半導体集積回路 | |
JP2009065056A (ja) | 半導体集積回路のレイアウト方法、レイアウトプログラム、及びレイアウト装置 | |
JP4761859B2 (ja) | 半導体集積回路のレイアウト設計方法 | |
US20180261590A1 (en) | Integrated circuit and computer-implemented method of manufacturing the same | |
US9817937B2 (en) | Area efficient power switch | |
CN105488244B (zh) | 用于设计半导体装置的方法和系统 | |
JP2007142282A (ja) | 集積回路のレイアウト方法及びコンピュータプログラム | |
KR102257031B1 (ko) | 반도체 집적 회로 설계 방법 | |
US11030383B2 (en) | Integrated device and method of forming the same | |
JP2006040962A (ja) | デカップリング容量の配置方法 | |
JP5216287B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5266826B2 (ja) | 半導体集積回路の設計方法、半導体集積回路の設計プログラム、及び半導体集積回路の設計支援装置 | |
JP4725155B2 (ja) | 半導体集積回路のレイアウト設計方法及び設計装置 | |
JP2007258215A (ja) | セル配置プログラム、セル配置装置、及びセル配置方法 | |
JP2010062475A (ja) | レイアウトパターン生成方法、半導体装置の製造方法、プログラム、レイアウトパターン生成装置 | |
JP2009134439A (ja) | ソフトマクロを用いたレイアウト設計方法、ソフトマクロのデータ構造及びソフトマクロライブラリの作成方法 | |
JP4855283B2 (ja) | 半導体集積回路の設計装置 | |
JP2010073728A (ja) | 半導体集積回路レイアウト設計方法及び半導体集積回路レイアウト設計装置 | |
JP2012227256A (ja) | 半導体集積回路のレイアウト装置、レイアウト方法及びそれらに用いられるセルデータ | |
JP5456093B2 (ja) | 半導体集積回路及び半導体集積回路の設計方法 | |
JP2008205399A (ja) | 半導体集積回路の設計方法 | |
JP2011109025A (ja) | 半導体集積回路のセル自動配置方法、装置、及びプログラム | |
JP2006331006A (ja) | Lsiレイアウトの配線混雑抑制方法 | |
JP2005276970A (ja) | オンチップデカップリングキャパシタ挿入方法及び集積回路装置 | |
KR20230125436A (ko) | 반도체 집적 회로의 레이아웃 설계 방법 및 이를 수행하는 설계 시스템 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20121002 |