JP2011033659A - 光電変換サブマウント基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光電変換サブマウント基板は、基板1と、基板表面の凹設面20に形成されたコア層21、及びコア層21を被覆して封止すると共に上端面が基板表面よりも突出して形成されたクラッド層22からなる光導波路2と、光導波路2と光結合4する光素子4と、光素子4と光導波路2との間に充填されたアンダーフィル5と、基板表面に端部が接着された外部導波路フィルム3とを備える。光素子4と外部導波路フィルム3の端部との間の基板表面に、光素子4と光導波路2の間から流れ出したアンダーフィル5が外部導波路フィルム3の基板表面との接着面に到達するのを防ぐ流出防止部10が形成されている。
【選択図】図1
Description
(b)前記基板表面に絶縁膜14を形成する工程
(c)前記凹設面20の表面にコア層21を形成する工程
(d)コア層21を被覆して封止すると共に上端面が前記基板表面よりも突出したクラッド層22を形成する工程
(e)前記基板表面に金属薄膜15からなる回路層6を形成する工程
(f)コア層21及びクラッド層22で構成される光導波路2と光結合するように基板1に光素子4を取り付ける工程
(g)光素子4と光導波路2との間にアンダーフィル5を充填する工程
(h)外部導波路フィルム3の端部を基板表面に接着して外部導波路フィルム3を基板1に取り付ける工程
2 光導波路
3 外部導波路フィルム
4 光素子
5 アンダーフィル
6 回路層
7 光反射層
10 流出防止部
11 壁状体
12 溝
13 凹部
14 絶縁膜
15 金属薄膜
20 凹設面
21 コア層
22 クラッド層
23 外部導波路
24 フィルム
31 マスク
Claims (12)
- 基板と、基板表面の凹設面に形成されたコア層、及びコア層を被覆して封止すると共に上端面が基板表面よりも突出して形成されたクラッド層からなる光導波路と、光導波路と光結合する光素子と、光素子と光導波路との間に充填されたアンダーフィルと、基板表面に端部が接着された外部導波路フィルムとを備え、光素子と外部導波路フィルムの端部との間の基板表面に、光素子と光導波路の間から流れ出したアンダーフィルが外部導波路フィルムの基板表面との接着面に到達するのを防ぐ流出防止部が形成されていることを特徴とする光電変換サブマウント基板。
- 流出防止部は、コア層と同じ材料からなり、基板表面に壁状に形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の光電変換サブマウント基板。
- 流出防止部は、クラッド層と同じ材料からなり、基板表面に壁状に形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の光電変換サブマウント基板。
- 流出防止部は、基板表面に形成された溝であることを特徴とする請求項1に記載の光電変換サブマウント基板。
- 溝に凹部が設けられていることを特徴とする請求項4に記載の光電変換サブマウント基板。
- 溝は光導波路から遠くなるにしたがってその深さが徐々に深くなることを特徴とする請求項4に記載の光電変換サブマウント基板。
- 基板は表面に絶縁膜が形成されたものであり、流出防止部は基板表面に絶縁膜が設けられずに形成された溝であることを特徴とする請求項1に記載の光電変換サブマウント基板。
- 流出防止部は、基板表面に形成された金属薄膜であることを特徴とする請求項1に記載の光電変換サブマウント基板。
- 基板表面に回路層を備え、上記金属薄膜は回路層と同じ材料からなるものであることを特徴とする請求項8に記載の光電変換サブマウント基板。
- 流出防止部は、光素子の周囲を囲んで形成されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の光電変換サブマウント基板。
- 流出防止部は、光導波路から基板の端部に亘って形成されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の光電変換サブマウント基板。
- 下記の(a)(c)(d)(f)(g)及び(h)を含む工程、(a)(b)(c)(d)(f)(g)及び(h)を含む工程、又は(a)(c)(d)(e)(f)(g)及び(h)を含む工程によって請求項1〜11のいずれかに記載の光電変換サブマウント基板を製造する方法であって、(a)(b)(c)(d)及び(e)から選ばれるいずれかの工程で、光素子と外部導波路フィルムの端部との間の基板表面に、光素子と光導波路の間から流れ出したアンダーフィルが外部導波路フィルムの基板表面との接着面に到達するのを防ぐ流出防止部を形成することを特徴とする光電変換サブマウント基板の製造方法。
(a)基板表面に凹設面を形成する工程
(b)前記基板表面に絶縁膜を形成する工程
(c)前記凹設面の表面にコア層を形成する工程
(d)コア層を被覆して封止すると共に上端面が前記基板表面よりも突出したクラッド層を形成する工程
(e)前記基板表面に金属薄膜からなる回路層を形成する工程
(f)コア層及びクラッド層で構成される光導波路と光結合するように基板に光素子を取り付ける工程
(g)光素子と光導波路との間にアンダーフィルを充填する工程
(h)外部導波路フィルムの端部を基板表面に接着して外部導波路フィルムを基板に取り付ける工程
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