JP2011029525A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】近接露光装置において、第一のマスクリフタ101Xおよび第二のマスクリフタ101Yの両者でマスク100をマスクホルダ104へ押しつけてマスク100を保持し、マスクプッシャでマスク100の位置合わせを行なった後、第二のマスクリフタ101Yでマスク100を保持したまま、第一のマスクリフタ101Xを下降後上昇させ、その後、第一のマスクリフタ101Xでマスク100を保持したまま、第二のマスクリフタ101Yを下降後上昇させ、マスクとマスクリフタとの間のストレスを解除する。
【選択図】図2A
Description
101X…Xマスクリフタ、
101Y…Yマスクリフタ、
101−1…パッド、
102X…X方向用マスクプッシャ、
102Y…Y方向用マスクプッシャ、
103…マスク吸着穴、
104…マスクホルダ、
110…マスクリフタの移動方向、
120…マスクプッシャの移動によるマスク位置の調整、
130…マスク吸着、
140…露光エリア、
141…アライメントマーク、
145…パターンエリア、
146…吸着エリア、
147…マージンエリア
150…アライメント用カメラ、
200…露光装置、
201…マスクストッカ、
202…マスク搬送用ロボット、
203−1…Lステージ(左側)、
203−2…Rステージ(右側)
204−1…L搬送用ロボット、
204−2…R搬送用ロボット、
205…ランプハウス、
206…温度調節プレート、
207…マスク設置部、
210…搬送ライン、
215…基板の出し入れ、
220…露光用基板
230X…Xマスクリフタ用シリンダ
230Y…Yマスクリフタ用シリンダ
231X…Xシリンダ用ガス配管
231Y…Yシリンダ用ガス配管
235X…Xガス配管用レギュレータ
235Y…Yガス配管用レギュレータ
240…制御部。
Claims (7)
- マスクホルダと、矩形状マスクの第一の辺および前記第1の辺に対向する第3の辺を下方から前記マスクホルダへ押し付けて前記マスクを保持する第一のマスクリフタと、前記マスクの第一の辺と直交し互いに対向する第2の辺および第4の辺を下方から前記マスクホルダに押し付けて前記マスクを保持する第二のマスクリフタと、前記第一のマスクリフタおよび前記第二のマスクリフタの動作を制御する制御部と、前記マスクの位置の調整を行なうためのマスクプッシャと、前記マスクに形成されたパターンが転写される基板を載せるためのステージと、を有する近接露光を行なう露光装置において、
前記制御部は、
前記第一のマスクリフタおよび前記第二のマスクリフタの両者で前記マスクを前記マスクホルダへ押しつけて前記マスクを保持し、前記マスクプッシャで前記マスクの位置合わせを行なった後、
前記第二のマスクリフタで前記マスクを保持したまま、前記第一のマスクリフタを下降後上昇させる機能と、
前記第一のマスクリフタで前記マスクを保持したまま、前記第二のマスクリフタを下降後上昇させる機能と、を更に有することを特徴とする露光装置。 - 請求項1記載の露光装置において、
前記第一のマスクリフタおよび前記第二のマスクリフタの上昇、下降は前記第一のマスクリフタに接続された第一のシリンダおよび前記第二のマスクリフタに接続された第二のシリンダを用いて行なうことを特徴とする露光装置。 - 請求項2に記載の露光装置において、
前記第一のシリンダの動作は、前記制御部からの指示に基づいて前記第一のシリンダに接続されるガス配管に設けられた第一のレギュレータにより、
前記第二のシリンダの動作は、前記制御部からの指示に基づいて前記第二のシリンダに接続されるガス配管に設けられた第二のレギュレータにより制御されることを特徴とする露光装置。 - マスクホルダと、矩形状マスクの第一の辺および前記第1の辺に対向する第3の辺を下方から前記マスクホルダへ押し付けて前記マスクを保持する第一のマスクリフタと、前記マスクの第一の辺と直交し互いに対向する第2の辺および第4の辺を下方から前記マスクホルダに押し付けて前記マスクを保持する第二のマスクリフタと、前記第一のマスクリフタおよび前記第二のマスクリフタの動作を制御する制御部と、前記マスクの位置の調整を行なうためのマスクプッシャと、前記マスクに形成されたパターンが転写される基板を載せるためのステージと、を有する近接露光を行なう露光装置において、
前記制御部は、
前記第一のマスクリフタおよび前記第二のマスクリフタの両者で前記マスクを前記マスクホルダへ押しつけて前記マスクを保持し、前記マスクプッシャで前記マスクの位置合わせを行なった後、
前記第二のマスクリフタで前記マスクを保持したまま、前記第一のマスクリフタを下降後上昇させる機能、を更に有することを特徴とする露光装置。 - 請求項4記載の露光装置において、
前記第一のマスクリフタの長さは、前記第二のマスクリフタの長さよりも長いことを特徴とする露光装置。 - 請求項4又は5に記載の露光装置において、
前記マスクは長方形であることを特徴とする露光装置。 - 温度調節プレートと、露光用基板を載せる露光用ステージと、前記露光用基板を搬送ラインから前記温度調節プレートへ、また、前記温度調節プレートから前記露光用ステージへ、また、前記露光用ステージから前記搬送ラインへ前記基板を搬送する搬送ロボットと、前記露光用ステージに載せられた前記基板へ転写するパターンが形成されたマスクがセットされるマスク設置部と、前記マスクを露光するためのランプハウスとを備えた近接露光を行なう露光装置において、
前記マスク設置部は、
マスクホルダと、矩形状マスクの第一の辺および前記第1の辺に対向する第3の辺を下方から前記マスクホルダへ押し付けて前記マスクを保持する第一のマスクリフタと、前記マスクの第一の辺と直交し互いに対向する第2の辺および第4の辺を下方から前記マスクホルダに押し付けて前記マスクを保持する第二のマスクリフタと、前記第一のマスクリフタおよび前記第二のマスクリフタの動作を制御する制御部と、前記マスクの位置の調整を行なうためのマスクプッシャと、を有し、
前記制御部は、
前記第一のマスクリフタおよび前記第二のマスクリフタの両者で前記マスクを前記マスクホルダへ押しつけて前記マスクを保持し、前記マスクプッシャで前記マスクの位置合わせを行なった後、
前記第二のマスクリフタで前記マスクを保持したまま、前記第一のマスクリフタを下降後上昇させる機能と、
前記第一のマスクリフタで前記マスクを保持したまま、前記第二のマスクリフタを下降後上昇させる機能と、を更に有することを特徴とする露光装置。
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2009
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