JP2011029241A5 - 反転装置および基板貼り合わせ装置 - Google Patents

Claims (10)

1. 基板を保持する基板ホルダを反転する反転装置であって、
   前記基板ホルダを載置する載置部と、
   前記載置部を反転させる反転部と、
   前記基板ホルダの外周から離れて前記基板ホルダを開放するための開放位置と、前記基板ホルダの外周部の一部を覆って前記基板ホルダの脱落を防止する防止位置と、を取り得る脱落防止部材と
   を備える反転装置。
2. 前記反転部は、前記載置部および前記脱落防止部材を一体的に反転させる請求項１に記載の反転装置。
3. 前記脱落防止部材は、前記基板の外周部の一部を覆って前記基板の脱落を防止する請求項１または２に記載の反転装置。
4. 前記脱落防止部材は、複数設けられる請求項１から３のいずれか１項に記載の反転装置。
5. 前記脱落防止部材は、前記基板ホルダの外周部の複数個所を覆う請求項１から４のいずれか１項に記載の反転装置。
6. 前記防止位置において、前記基板ホルダの有無および前記基板の有無の少なくとも一方を検出する検出部をさらに備える請求項１から５のいずれか１項に記載の反転装置。
7. 前記反転部は、前記脱落防止部材が前記防止位置におかれた状態で前記載置部を反転する請求項１から６のいずれか一項に記載の反転装置。
8. 請求項１から７のいずれか１項に記載の反転装置を備える基板貼り合わせ装置。
9. 前記基板ホルダの受渡面を形成する複数のリフトピンをさらに備え、
   前記反転装置は、反転前の前記基板ホルダを前記受渡面で受け取る請求項７に記載の基板貼り合わせ装置。
10. 前記基板ホルダの受渡面を形成する複数のリフトピンをさらに備え、
    前記反転装置は、反転後の前記基板ホルダを前記受渡面で受け渡す請求項８または９に記載の基板貼り合わせ装置。