JP2011029214A - 半導体装置の製造方法及び半導体装置 - Google Patents
半導体装置の製造方法及び半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011029214A JP2011029214A JP2009170081A JP2009170081A JP2011029214A JP 2011029214 A JP2011029214 A JP 2011029214A JP 2009170081 A JP2009170081 A JP 2009170081A JP 2009170081 A JP2009170081 A JP 2009170081A JP 2011029214 A JP2011029214 A JP 2011029214A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trench
- layer
- type
- semiconductor device
- conductivity type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】微細なトレンチを採用するトレンチDMOSFETにおいて、ドレイン−ソース間の絶縁破壊電圧を高くするため、低濃度のドリフト層の形成領域を如何に確保するかが課題となる。
【解決手段】TNDMOS形成のためのトレンチT1の底部のN型ウエル層2の表面から内部に延在し、P型ボディ層3と接続するN型埋め込みドリフト層5を形成する。次にトレンチT1の両側壁にゲート電極7a、スペーサー8aを重畳して形成する。次に、ゲート電極7a及びスペーサー8aをマスクとしてリン等をイオン注入しN型埋め込みドリフト層5内にN+型ドレイン層11を形成する。これによりN+型ドリフト層11からP型ボディ層3底部まで延在する低濃度のN型埋め込みドリフト層5を確保する。なお、N+型ドレイン層11を形成しないで、トレンチT1の両側壁に、N型埋め込みドリフト層5を共通のドレイン層とする2つのTDMOSを形成しても良い。
【選択図】図1
【解決手段】TNDMOS形成のためのトレンチT1の底部のN型ウエル層2の表面から内部に延在し、P型ボディ層3と接続するN型埋め込みドリフト層5を形成する。次にトレンチT1の両側壁にゲート電極7a、スペーサー8aを重畳して形成する。次に、ゲート電極7a及びスペーサー8aをマスクとしてリン等をイオン注入しN型埋め込みドリフト層5内にN+型ドレイン層11を形成する。これによりN+型ドリフト層11からP型ボディ層3底部まで延在する低濃度のN型埋め込みドリフト層5を確保する。なお、N+型ドレイン層11を形成しないで、トレンチT1の両側壁に、N型埋め込みドリフト層5を共通のドレイン層とする2つのTDMOSを形成しても良い。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置の製造方法及び半導体装置に関し、特にトレンチDMOS(TDMOS)から成るパワーデバイスを有する半導体装置の製造方法及び半導体装置に関する。
半導体装置には、TDMOSトランジスタが含まれる。DMOSとはDouble―Diffused Metal Oxide Semiconductorの略称である。TDMOSとは、DMOSの内、電流がトレンチ内のゲート電極直下の半導体層(チャネル)を半導体基板の表面側から下側に向かい、縦方向に流れるものである。TDMOSトランジスタは、ドライバー回路等に広く採用されている。しかし、トレンチ形成工程が含まれると、製造コストが高くなることから、汎用ロジック等の売価の安い半導体装置には中々採用しにくいという問題があった。
近年、微細化の進展と共に、加工レベルが0.25μmルール程度から、デバイス素子形成用のトレンチに加え、素子分離においても、通常のLOCOS方式からSTI(Shallow Trench Isolation)方式の採用が増えてきている。汎用ロジックの開発に当たり0.25μmルールも使わざるを得ない状況の中、STI用としてトレンチを形成するときに、同時にパワートレンチDMOS等用のトレンチを形成すれば、特にデバイス素子用としてトレンチを形成しなくとも、安価にトレンチDMOSFETを製造する事ができる。
この場合、トレンチの深さは、せいぜい0.35μm程度であり、トレンチ幅もそんなに取れない中で、ドレイン−ソース間の絶縁破壊電圧を確保できるか問題となる。一般に、ゲートチャネル近傍に高濃度ドレイン層を配置した場合、高電位のドレインが薄いゲート絶縁膜を介してゲート電極と対峙していることからチャネル側に空乏層が拡がりにくく、ドレイン−ソース間の絶縁破壊が、半導体基板の比抵抗と無関係に、空乏層の拡がりにくいドレイン近傍のチャネル領域で起こり、ドレイン−ソース間の絶縁破壊電圧は低いものになる。この対策として、いわゆるオフセットゲート構造が採用されている。即ち、高濃度ドレイン層とチャネルの間に低濃度ドレイン層であるドリフト層を挟み込み空乏層を拡げ高い絶縁破壊電圧を確保している。
このようなドレイン−ソース間の絶縁破壊電圧改善方法については、多数の先行技術文献が存在するが、以下の特許文献1にも記載されている。
0.25μmルールを採用する汎用ロジックとDMOSを混載するパワーデバイスにおいては、少なくともドレイン−ソース間絶縁破壊電圧は10V程度前後、できれば20V確保したい。ドレイン−ソース間の絶縁破壊電圧を改善するためには、いずれにしても、前述のオフセットゲート構造を採用しなければならないが、微細なトレンチを利用するTDMOSにおいてどのようにして低濃度ドリフト層の形成領域を確保するか、が課題となる。
本発明の半導体装置の製造方法は、第1導電型の半導体基板を準備して、前記半導体基板上に第2導電型のウエル層を形成する工程と、前記ウエル層の表面から該ウエル層内部に第1導電型のボディ層を形成する工程と、前記半導体基板の表面から前記ボディ層より深い位置まで、複数の素子分離用トレンチ及びパワートレンチDMOSFET用トレンチを同時に形成する工程と、前記パワートレンチDMOSFET用トレンチの底面から前記ウエル層内に第2導電型の埋め込みドリフト層を形成する工程と、前記パワートレンチDMOSFET用トレンチの両側壁にゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成する工程と、を有することを特徴とする。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、第1導電型の半導体基板を準備して、前記半導体基板上に第2導電型のウエル層を形成する工程と、前記ウエル層の表面から該ウエル層内部に第1導電型のボディ層を形成する工程と、前記ウエル層の表面から該ウエル層内部に第2導電型のドリフト層を形成する工程と、前記半導体基板の表面から前記ボディ層より深い位置まで、複数の素子分離用トレンチ及びパワートレンチDMOSFET用トレンチを同時に形成する工程と、前記パワートレンチDMOSFET用トレンチの底面から前記ウエル層内に第2導電型の埋め込みドリフト層を形成する工程と、前記パワートレンチDMOSFET用トレンチの両側壁の内、前記ボディ層に面する側にゲート絶縁膜を介してゲート電極を、また前記ドリフト層に面する側に該ゲート絶縁膜を介してフィールドプレート電極を形成する工程と、前記ドリフト層の表面に第2導電型のドレイン層を形成する工程と、を有することを特徴とする。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、前記トレンチの深さがサブミクロンレベルであることを特徴とする。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、前記素子分離用トレンチ内が絶縁膜で埋め込まれていることを特徴とする。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、前記フィールドプレート電極が前記ドレイン層の電位より低い電位領域に接続されて形成されていることを特徴とする。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、前記素子分離用トレンチ内に島が存在し、該島の側面と前記素子分離用トレンチの両側壁の間隔及び該島間の側面同士の間隔が所定の間隔以下に構成され、前記素子分離用トレンチ内が絶縁膜で充填されていることを特徴とする。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、前記パワートレンチDMOSFET用トレンチと前記素子分離用トレンチが別々に形成され、当該パワートレンチDMOSFET用トレンチの深さが前記素子分離用トレンチの深さより深く形成されていることを特徴とする。
また、本発明の半導体装置は、第1導電型の半導体基板上に形成された第2導電型のウエル層と、前記ウエル層の表面から該ウエル層内部に形成された第1導電型のボディ層と、前記ウエル層の表面から該ウエル層内部に形成された第2導電型のドリフト層と、前記半導体基板の表面から前記ボディ層より深い位置まで、同時に形成された複数の素子分離用トレンチ及びパワートレンチDMOSFET用トレンチと、前記パワートレンチDMOSFET用トレンチの底面から前記ウエル層内に形成された第2導電型の埋め込みドリフト層と、前記パワートレンチDMOSFET用トレンチの両側壁の内、前記ボディ層に面する側にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、前記ドリフト層に面する側に該ゲート絶縁膜を介して形成されたフィールドプレート電極と、前記ドリフト層の表面に形成された第2導電型のドレイン層と、を有することを特徴とする。
また、本発明の半導体装置は、前記フィールドプレート電極の電位が前記ドレイン層の電位より低いことを特徴とする。
本発明の半導体装置は、前記素子分離用トレンチ内に島が存在し、該島の側面と前記素子分離用トレンチの両側壁の間隔及び該島間の側面同士の間隔が所定の間隔以下に構成され、前記素子分離用トレンチ内が絶縁膜で充填されていることを特徴とする。
また、本発明の半導体装置は、前記パワートレンチDMOSFET用トレンチと前記素子分離用トレンチが別々に形成され、該パワートレンチDMOSFET用トレンチが前記素子分離用トレンチより深く形成されていることを特徴とする。
本発明によれば、STI用トレンチと同程度の深さを有するトレンチにTDMOSFETを形成した場合でもドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を確保する事ができる。
[第1の実施形態]
本発明の第1の実施形態について図1、図4〜図7を参酌して、以下に説明する。図1はNチャネル型パワートレンチDMOSFET(以下TNDMOS)を構成する複数のトレンチの内の1本と、周辺回路の一部を構成するNチャネル型MOSFETと、それらがSTI構造でトレンチを利用して分離されている様子を、層間絶縁膜や各電極配線を省略した状態の断面図で示している。図1で分かるように、STI構造の素子分離用トレンチT2とパワーデバイス形成領域のトレンチT1は同時にエッチング加工されているので同じ程度の深さで形成されている。
本発明の第1の実施形態について図1、図4〜図7を参酌して、以下に説明する。図1はNチャネル型パワートレンチDMOSFET(以下TNDMOS)を構成する複数のトレンチの内の1本と、周辺回路の一部を構成するNチャネル型MOSFETと、それらがSTI構造でトレンチを利用して分離されている様子を、層間絶縁膜や各電極配線を省略した状態の断面図で示している。図1で分かるように、STI構造の素子分離用トレンチT2とパワーデバイス形成領域のトレンチT1は同時にエッチング加工されているので同じ程度の深さで形成されている。
即ち、いずれのトレンチT1,T2もトレンチ深さは0.35μm近傍の浅いものである。図1に示すTNDMOSは、トレンチT1の両側壁にゲート絶縁膜4aを介して、別々にゲート電極7aを有している。各ゲート電極7aに正電圧が印加されると、それぞれのゲート電極7aの直下のP型ボディ層3にチャネルが形成され、トレンチT1の両側に形成された各N+型ソース層13からチャネルを経由して、N型埋め込みドリフト層5を通り、N+型ドレイン層11にオン電流が流れる。
この場合、ドレイン−ソース間の絶縁破壊電圧は、P型ボディ層3の底部からN+型ドレイン層11までに至るN型埋め込みドリフト層5の距離によって決定される。係るP型ボディ層3底部からN+型ドレイン層11までのN型埋め込みドリフト層5の距離を、ゲート電極7a及びスペーサー8aのトレンチT1の側壁からの張り出し距離を重畳することにより確保したのが第1の実施形態の特徴である。
本実施形態におけるゲート電極7a形成用のポリシリコン等の膜厚は200nm〜250nm程度であり、絶縁膜からなるスペーサー8a形成用の絶縁膜の膜厚は100nm〜150nm程度なので、P型ボディ層3底部からN+型ドレイン層11まで延在するN型埋め込みドリフト層5の距離は300nm〜400nm程度となる。
一般に、シリコン基板に高電圧を印加した場合、電界強度は概略1×107V/m以上で絶縁破壊を引き起こす。従って、N型埋め込みドリフト層5のN+型ドレイン層11までの距離300nm〜400nm程度の場合、空乏層の拡がりが300nm〜400nm程度になることから絶縁破壊電圧を概算すると(300〜400)×10−9×107=(3〜4)V程度以上が確保できる。後述のスペーサー形成用絶縁膜を更に厚くすることで絶縁膜からなるスペーサー8aの張り出しを大きくすることができ、更にドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を高める事ができる。
この場合、オン抵抗を高くしないためには、所望のドレイン−ソース間絶縁破壊電圧が確保できるのならN型埋め込みドリフト層5の不純物濃度をできるだけ高めておく事が重要である。上記の場合で、P型ボディ層3底部からのN+型ドレイン層11までのN型埋め込みドリフト層5の距離が400nmの時、ドレイン−ソース間の絶縁破壊電圧5Vを確保できるN型埋め込みドリフト層5の不純物濃度NBは概略以下の計算で求められる。
空乏層の幅をW、シリコン基板の誘電率をε、電子の電荷量をqとするとW≒√(2ε×5/qNB)となる。W=4×10−7m、ε=8.854×10−12C2/N・m2、q=1.6×10−19Cを代入して計算するとNB≒8.6×1020/m3になる。
即ち、N型埋め込みドリフト層5の不純物濃度をこの程度にしておけば、印加電圧5Vのとき、空乏層が400nmまで拡がりドレイン−ソース間絶縁破壊電圧5Vを確保できる。一方で通常動作状態では、N型埋め込みドリフト層5の不純物濃度をドレイン−ソース間絶縁破壊電圧との関係でぎりぎりの値まで高めているのでオン抵抗も最適にする事ができ、ドレイン−ソース間絶縁破壊電圧とオン抵抗のバランスを取る事ができる。
N+型ドレイン層11の形成用マスクとして、フォトレジストマスクを使用する方法もある。この場合は、ゲート電極7a及びスペーサー8aをマスクとするセルフアライン方式と異なり、マスクずれによりN+型ドレイン層11の左右いずれかのN型埋め込みドリフト層5の距離が短くなる恐れがある。設計がぎりぎりの場合、N型埋め込みドリフト層5のチャネル端までの距離が短くなった方のTNDMOSのドレイン−ソース間絶縁破壊電圧が、他方のTNDMOSのドレイン−ソース間絶縁破壊電圧に比して低くなり、全体として所望のドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を有するTNDMOSが得られないことになる。係る点からも、本実施形態のゲート電極7a及びスペーサー8aをマスクとするセルフアライン方式によるN+型ドレイン層11の形成方法の利点が認められる。
なお、スペーサー8a等をマスクとしたN+型ドレイン層11を形成しなくとも良い。N+型ドレイン層11を形成しない場合、P型ボディ層3底部からのN型埋め込みドリフト層5の距離がN+型ドレイン層11により制限される事が無いため、ドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を、更に高くする事ができる。トレンチT1の両側壁に、N型埋め込みドリフト層5を共通のドレイン層とする2つのTDMOSを形成するような場合、ドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を高めるのに有効な手段となる。
但しドレイン電極20と低濃度のN型埋め込みドリフト層5を直接接続した場合は、両者の接触抵抗が問題となるので、層間絶縁膜15にドレイン電極20用のコンタクトホールを形成した後、コンタクトホールに露出したN型埋め込みドリフト層5の表面からリン等をイオン注入してN+層を形成する必要がある。この場合、N+型ドレイン層11の幅に比べ、コンタクトホールの幅は狭いのでその端部からP型ボディ層3底部までのN型埋め込みドリフト層5の距離を、前述のN+型ドレイン層11の端部からP型ボディ層3底部までの距離に比して長くする事ができる。従って、ドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を、更に2V程度は高くする事ができる。
また、図示した説明は省略するが、トレンチT1を局所的に広く形成し、複数からなるトレンチT1同士を櫛歯上に形成することにより、更にドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を高める事ができる。即ち、ドレイン電極20用コンタクトホールをトレンチT1の局所的に広く形成された部分に形成し、ドレイン電極20用コンタクトホール内に露出したN型埋め込みドリフト層5内にリン等をイオン注入してN+層を形成する。これによりN+層端部からP型ボディ層3底部まで延在するN型埋め込み層5の距離を、更に大きくできるのでドレイン−ソース間絶縁破壊電圧10V以上の達成も可能となる。
それでは、第1の実施形態における半導体装置の製造方法について、図4〜図7に従い、以下に説明する。先ず、図4に示すように、P型半導体基板1を準備し、その表面から所定の領域にN型ウエル層2を形成する。例えばフォトレジスト膜をマスクにして、P型半導体基板1の表面にリン等をイオン注入してから高温炉中でドライブインすることにより所定表面濃度、所定の拡散深さの不純物拡散層を形成する。次に、N型ウエル層2の所定の位置にボロン等をイオン注入してから、高温炉でドライブインして、所定の表面濃度、所定の拡散深さのP型ボディ層3をN型ウエル層2内に形成する。
次に、半導体基板表面の全面にパッド酸化膜数10nm及びシリコン窒化膜100nmをこの順序で形成してから、フォトレジスト等をマスクとしてドライエッチングにより、素子分離用トレンチT2とTNDMOS用トレンチT1を、同時に同じ程度の深さで形成する。素子分離用のトレンチT2と別に、新たにTNDMOS用トレンチT1を形成する為の工程を設ける必要が無いため製造コストの低減を図ることができる。
次に、露出したトレンチT1及びトレンチT2の内壁上に、後述のゲート絶縁膜4aと同程度の膜厚からなるシリコン酸化膜4bを形成する。このシリコン酸化膜4bは、トレンチT1等の内壁に生じたドライエッチング時のダメージを除去し、トレンチのコーナー部を滑らかにすると共に、次に述べるトレンチT2内を充填するHDP(High Density Plasma)CVD法により形成されるシリコン酸化膜等からなるトレンチ埋め込み絶縁膜10の下地としての役割を果たす。
次に、HDPCVD法により、トレンチT2内を含む半導体基板表面全体を被覆するシリコン酸化膜等からなる絶縁膜を生成する。次にCMP(Chemical Mechanical Polish)によりシリコン酸化膜等を研磨する。この結果、トレンチT2内はトレンチ埋め込み絶縁膜10で充填される。この際トレンチT1内にもシリコン酸化膜4bを介して埋め込まれたシリコン酸化膜等からなる絶縁膜が残存する。トレンチT1に残存する絶縁膜は、トレンチT2上をフォトレジスト膜で被覆し、HF系エッチング液でウエットエッチングして取り除く。
なお、トレンチT2内を埋め込む材料として、ポリシリコン膜を使用しても良い。トレンチT2内を酸化膜等のトレンチ埋め込み絶縁膜10で充填するより、ポリシリコン膜で充填したほうがトレンチT2内の歪が小さい傾向があるからである。この場合も、トレンチT1内にポリシリコン膜が残存するので、トレンチT2上をフォトレジスト等で被覆した状態でトレンチT1内に残存するポリシリコン膜をエッチング除去する。その後、露出したシリコン窒化膜及びパッド酸化膜をエッチング除去してから、半導体基板が露出したトレンチT1の内壁及び半導体基板の表面上に、新たにゲート絶縁膜4aを形成する。
次に、図5に示すように、他の領域をフォトレジスト膜で被覆した状態でリン等をイオン注入して、トレンチT1の底部の直下のN型ウエル層2の表面から内部に延在するN型埋め込みドリフト層5を形成する。該N型埋め込みドリフト層5は、TNDMOSのドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を決定する大きな要素となる構成であり、特に後述のN+型ドレイン層11からP型ボディ層の底部までのN型埋め込みドリフト層5の距離が重要になる。
従って、その距離を最大にしてドレイン−ソース間の絶縁破壊電圧を最大にする為には、この段階でN型埋め込みドリフト層5を形成する必要がある。後述のスペーサー8aのトレンチT1の端部からの張り出しを大きくすることができる場合は、後述のゲート電極7a形成後にN型埋め込みドリフト層5を形成しても良い。
次に、同じく図5に示すように、トレンチT1の内部を含む半導体基板の表面全面にCVD法によりポリシリコン膜を堆積する。その後、トレンチT1上をフォトレジスト膜で被覆して、NチャネルMOSFET等からなる周辺素子のゲート電極7bパターンを有するフォトレジストマスクにて異方性ドライエッチングを行い、NチャネルMOSFET等周辺素子のゲート電極7bを形成する。この後、リン等をイオン注入してNチャネルMOSFET等周辺素子のN型ドリフト層6を形成する。
次に、TNDMOS用トレンチT1上のフォトレジスト膜を除去し、NチャネルMOSFET等周辺素子のゲート電極7b等はフォトレジスト膜で被覆した状態でトレンチT1内のポリシリコンを異方性ドライエッチングにより全面エッチングする。トレンチT1内のポリシリコンは、異方性ドライエッチングにより、図5に示すように、トレンチT1の両側の側壁に略断面三角形の形状のゲート電極7aとして形成される。トレンチT1内では、トレンチT1の両側壁に分離して形成された2つのゲート電極7aはトレンチT1の長さ方向端部において連続することになるが、平行するトレンチT1同士をU字状に連続させた場合には非連続で分離された状態になる。
次に、図6に示すように、トレンチT1内、トレンチT2上、ゲート電極7b等を含む半導体基板全面を被覆するシリコン酸化膜等からなる絶縁膜を形成する。その後、半導体基板全面を被覆するシリコン酸化膜等からなる絶縁膜を、異方性ドライエッチングによりその表面から全面エッチング除去する。この結果、TNDMOSのトレンチT1の両側壁のゲート電極7a上を被覆するようにスペーサー8aが形成される。同様に、NチャネルMOSFET等の周辺素子のゲート電極7b側面にもスペーサー9が形成される。
次に、図7に示すように、ゲート電極7a及びスペーサー8aをマスクとして、N型埋め込みドリフト層5の表面からリン等のイオン注入を行いN+型ドレイン層11を形成する。通常ゲート電極7a形成用のポリシリコン膜の膜厚は、前述の如く200nm〜250nmなのでゲート電極7aのトレンチT1側壁からの張り出しも200nm〜250nmとなる。また、スペーサー形成用の絶縁膜の膜厚も前述の如く100nm〜150nmなので、スペーサー8aのゲート電極7aからの張り出しも100nm〜150nmとなる。
従って、N+型ドレイン層11の端部からP型ボディ層3底部までのN型埋め込みドリフト層5の距離は、ゲート電極7aとスペーサー8aの張り出し分の和である300nm〜400nmを確保する事ができ、少なくともTNDMOSのドレイン−ソース絶縁破壊電圧3〜4V程度以上が実現できる。TNDMOSのN+型ドレイン層11を形成する際、同時にN+型ソース層13や、周辺素子のNチャネルMOSFETのN+型ソース層12a、N+型ドレイン層12bも形成される。また、N+型ソース層12a内にP+型コンタクト層14等も形成される。
次に、トレンチT1内を含む半導体基板全面にシリコン酸化膜等からなる層間絶縁膜15を形成し、所定のフォトエッチング工程を経て、各電極接続のためのコンタクトホールを形成する。スペーサー8a等をマスクとしてN+型ドレイン層11を形成していない場合には、この後、コンタクトホール内に露出したN型埋め込みドリフト層5の表面からリン等をイオン注入してN+層を形成する。
この場合は、前述の如く、コンタクトホール端部からP型ボディ層3底部までのN型埋め込みドリフト層5の距離を、N+型ドレイン層11の端部からP型ボディ層3底部までの距離より0.2μm程度長くする事ができるので、少なくともドレイン−ソース間絶縁破壊電圧5〜6V以上を達成する事ができる。なお、トレンチT1に局所的に広い部分を形成する事が可能であり、前述のように、この部分にドレイン電極20用コンタクトホールを形成することにより、更にドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を高くする事ができ、例えば10V程度も達成可能である。
次に各コンタクトホール内を含む半導体基板全面にアルミニューム等からなる金属膜を堆積し、所定のフォトエッチング工程を経て、TNDMOS用ソース電極16、ドレイン電極20、周辺素子のソース電極17、ドレイン電極18等を形成する。最後に半導体基板全面に保護膜を形成することにより半導体装置は完成する。TNDMOSのN+型ドレイン層11は表面から深い位置にあるので、ポリシリコン等で埋め込んでからドレイン電極20を形成しても良い。
なお、素子分離用トレンチT2の幅が狭い場合には、図4で説明したような、最初にトレンチT2をシリコン酸化膜等の絶縁膜で充填してから、トレンチ埋め込み絶縁膜10を形成する工程を省略することが可能である。この場合、スペーサー8a等を形成する為のシリコン酸化膜等からなる絶縁膜で幅の狭いトレンチT2内を充填することができるからである。ゲート電極7a等を形成する為のポリシリコン膜でトレンチT2内を充填することも可能である。
トレンチT2の幅が広い場合でも、同様に、図4に示す、最初にシリコン酸化膜等の絶縁膜でトレンチT2内を充填してから、トレンチ埋め込み絶縁膜10を形成する工程を省略することができる。この場合は、トレンチT2内に複数の浮島を形成し、浮島の端部とトレンチT2の両端との距離並びに浮島の端部同士の距離をその表面に形成するシリコン酸化膜等からなる絶縁膜等の膜厚の2倍以下にすればトレンチT2内をシリコン酸化膜等で充填することができるからである。
[第2の実施形態]
第2の実施形態について図2、図8に基づいて以下に説明する。第1の実施形態を示す図1と比較した場合、第2の実施形態の最大の相違点は、N型ドリフト層19が形成されていること並びにN+型ドレイン層11が、トレンチT1の底部のN型埋め込みドリフト層5内に形成されず、新たに形成されたN型ドリフト層19の表面に形成されている点である。また、図2のトレンチT1の左側側壁には第1の実施形態の場合と同じゲート電極7aが形成されているが、トレンチT1の右側の側壁には同じ形状であるがゲート電極7aではなく、フィールドプレート電極7cが形成されている点が異なる。
第2の実施形態について図2、図8に基づいて以下に説明する。第1の実施形態を示す図1と比較した場合、第2の実施形態の最大の相違点は、N型ドリフト層19が形成されていること並びにN+型ドレイン層11が、トレンチT1の底部のN型埋め込みドリフト層5内に形成されず、新たに形成されたN型ドリフト層19の表面に形成されている点である。また、図2のトレンチT1の左側側壁には第1の実施形態の場合と同じゲート電極7aが形成されているが、トレンチT1の右側の側壁には同じ形状であるがゲート電極7aではなく、フィールドプレート電極7cが形成されている点が異なる。
トレンチT1の両側壁に形成されていたスペーサー8aの代わりに、トレンチT1内のゲート電極7a、フィールドプレート電極7c及びトレンチT1の底部を含むトレンチT1内全体を被覆するトレンチ被覆絶縁膜8bが形成されている点も相違する。なお、上記のフィールドプレート電極7cはエッチング除去しても良い。その他の構成は第1の実施形態と同様である。
結果的に、第2の実施形態においては、トレンチT1内に2個のTNDMOSが形成されている第1の実施形態と異なり、トレンチT1内に1個のTNDMOSしか形成されていない点が特徴となる。即ち、図2に示すように、トレンチT1の左側の側壁には、表面からトレンチT1の底面に向かい、N+型ソース層13、P型ボディ層3、N型埋め込みドリフト層5がこの順序で形成されている。そしてトレンチT1の左側側壁にはゲート絶縁膜4aを介してゲート電極7aが形成されている。
また、トレンチT1の右側側壁には、表面からトレンチT1の底面に向かい、N+型ドレイン層11、N型ドリフト層19、N型埋め込みドリフト層5がこの順序で形成されている。そしてトレンチT1の右側側壁にはゲート絶縁膜4aを介して、ゲート電極7aと同時に形成されたフィールドプレート電極7cが形成されている。フィールドプレート電極7cは不要と判断した場合には取り除いても良いが、工程数削減のためそのまま残しておくのが良い。
第2の実施形態に係るTNDMOSにおいては、ゲート電極7aに正電圧が印加されるとゲート電極7aの直下のP型ボディ層3にN型のチャネルが形成され、N+型ソース層13からチャネル層を経由してN型埋め込みドリフト層5へ向かってオン電流が流れ込む。N型埋め込みドリフト層5に流れ込んだ電流はトレンチT1の左側側壁に形成されたN型ドリフト層19を経由して半導体基板の表面に形成されたN+型ドレイン層11に流れ込む。
第2の実施形態におけるTNDMOSのドレイン−ソース間の絶縁破壊電圧は、主としてトレンチT1の底面直下のN型ウエル層2に形成されたN型埋め込みドリフト層5の不純物濃度、トレンチT1の底面の幅により決まるN型埋め込みドリフト層5の電流方向の長さによって決定される。この場合、第1の実施形態の場合と違って、トレンチT1の底面の幅一杯を使ってN型埋め込みドリフト層5を形成する事ができるため、その電流方向の長さを1μm程度の長さで形成した場合、ドレイン−ソース間絶縁破壊電圧10V程度のTNDMOSの形成が可能となる。
また、N型ドリフト層19の不純物濃度を調整することにより、空乏層をN型ドリフト層19領域まで拡がるようにすれば、更に、ドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を高める事ができる。この場合、フィールドプレート電極7cの電位をN+型ドレイン層11の電位より低くすることによりゲート絶縁膜4aとの界面のN型ドリフト層19を空乏状態にする事ができる。係る状態を形成することはドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を高めることに有利に働く。第2の実施形態におけるトレンチT1は素子分離用トレンチT2と同時に同じ程度の深さに形成しているので、その深さは0.35μm程度である。従って、N型ドリフト層19に空乏層を拡げた場合ドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を更に2V程度高くする事ができる。
それでは第2の実施形態における半導体装置の製造方法について、図8を参酌して簡単に説明する。基本的には第1の実施形態における製造方法と変わりは無い。第1の実施形態の場合の図4と同様にP型ボディ層3を形成した後、N型ウエル層2の表面からリン等をイオン注入して、高温炉でドライブインすることによりN型ウエル層2内にN型ドリフト層19を形成する。その後、トレンチ埋め込み絶縁膜10でトレンチT2を埋め込むことから図5のゲート電極7aを形成するまでは第1の実施形態と同様である。なお、N型埋め込みドリフト層5とN型ドリフト層19は同じ工程で同時に形成しても良い。
次に第1の実施形態では図6に示すように、CVD法によりシリコン酸化膜等の絶縁膜を半導体基板の全面に堆積した後、異方性ドライエッチングにより全面エッチングを行いスペーサー8aを形成するが、第2の実施形態では図2に示すように、フォトレジストマスク等を使用してトレンチT1内に絶縁膜を残してトレンチ被覆絶縁膜8bを形成している点が異なる。また、第1の実施形態ではトレンチT1の底部にスペーサー8a等をマスクにしてN+型ドレイン層11を形成しているが、第2の実施形態では図2に示すように、N+型ドレイン層11は、トレンチT1の底部ではなく半導体基板の表面に、トレンチT1を挟んでN+型ソース層13とは反対側に形成する点が異なる。
[第3の実施形態]
本発明の第3の実施形態について図3を参酌して、以下に簡単に説明する。第2の実施形態では、主として、トレンチ底面の幅一杯に形成されたN型埋め込みドリフト層5によりドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を確保している。フィールドプレート電極7c直下のN型ドリフト層19まで空乏層を拡げてドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を高めようとしても、素子分離用のトレンチT2と同一の浅いトレンチT1しか形成できないためN型ドリフト層19内に広い空乏層が形成できないからである。
本発明の第3の実施形態について図3を参酌して、以下に簡単に説明する。第2の実施形態では、主として、トレンチ底面の幅一杯に形成されたN型埋め込みドリフト層5によりドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を確保している。フィールドプレート電極7c直下のN型ドリフト層19まで空乏層を拡げてドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を高めようとしても、素子分離用のトレンチT2と同一の浅いトレンチT1しか形成できないためN型ドリフト層19内に広い空乏層が形成できないからである。
また、第2の実施形態では、トレンチT1の幅をある程度大きく形成しないと、ドレイン−ソース間絶縁破壊電圧を高めるために必要なN型埋め込みドリフト層5の幅を大きく形成できず、微細化の障害となる。そこで、第3の実施形態では、図3に示すように、微細化のためトレンチT1の幅を第2の実施形態よりは狭くし、その深さを深くして、空乏層をトレンチT1のP型ボディ層3の下のN型ウエル層2及びトレンチT1の側壁に形成されたN型ドリフト層19にも広げてドレイン−ソース間絶縁破壊電圧の改善を図っている。
ドレイン−ソース間に高電圧が印加された場合、図3のトレンチT1の左側側壁のP型ボディ層3の下端からN型ウエル層2内に空乏層が拡がる。次に空乏層はトレンチT1の底部に形成されたN型埋め込みドリフト層5に拡がり、更にトレンチT1の右側側壁のN型ドリフト層19の下方から表面のN+型ドレイン層11側に向かって拡がっていく。このようにして、トレンチT1の幅が狭い場合でもトレンチT1の側壁に形成された空乏層によってドレイン−ソース間の絶縁破壊電圧を例えば、20V程度まで高くする事ができる。
なお、P型ボディ層の深さ及びN型埋め込みドリフト層5やN型ドリフト層19の不純物濃度は絶縁破壊電圧とオン抵抗とのバランスの元、適切な値に調整する必要があることは言うまでも無い。
1 P型半導体基板 2 N型ウエル 3 P型ボディ層 4a ゲート絶縁膜
4b シリコン酸化膜 5 N型埋め込みドリフト層 6 N型ドリフト層
7a,7b,7d ゲート電極 7c フィールドプレート電極
8a、9 スペーサー 8b トレンチ被覆絶縁膜 10 トレンチ埋め込み絶縁膜
11 N+型ドレイン層 12a N+型ソース層 12b N+型ドレイン層 13 N+型ソース層 14 P+型コンタクト層 15 層間絶縁膜
16、17 ソース電極 18 ドレイン電極 19 N型ドリフト層
20 ドレイン電極
4b シリコン酸化膜 5 N型埋め込みドリフト層 6 N型ドリフト層
7a,7b,7d ゲート電極 7c フィールドプレート電極
8a、9 スペーサー 8b トレンチ被覆絶縁膜 10 トレンチ埋め込み絶縁膜
11 N+型ドレイン層 12a N+型ソース層 12b N+型ドレイン層 13 N+型ソース層 14 P+型コンタクト層 15 層間絶縁膜
16、17 ソース電極 18 ドレイン電極 19 N型ドリフト層
20 ドレイン電極
Claims (11)
- 第1導電型の半導体基板を準備して、
前記半導体基板上に第2導電型のウエル層を形成する工程と、
前記ウエル層の表面から該ウエル層内部に第1導電型のボディ層を形成する工程と、
前記半導体基板の表面から前記ボディ層より深い位置まで、複数の素子分離用トレンチ及びパワートレンチDMOSFET用トレンチを同時に形成する工程と、
前記パワートレンチDMOSFET用トレンチの底面から前記ウエル層内に第2導電型の埋め込みドリフト層を形成する工程と、
前記パワートレンチDMOSFET用トレンチの両側壁にゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1導電型の半導体基板を準備して、
前記半導体基板上に第2導電型のウエル層を形成する工程と、
前記ウエル層の表面から該ウエル層内部に第1導電型のボディ層を形成する工程と、
前記ウエル層の表面から該ウエル層内部に第2導電型のドリフト層を形成する工程と、
前記半導体基板の表面から前記ボディ層より深い位置まで、複数の素子分離用トレンチ及びパワートレンチDMOSFET用トレンチを同時に形成する工程と、
前記パワートレンチDMOSFET用トレンチの底面から前記ウエル層内に第2導電型の埋め込みドリフト層を形成する工程と、
前記パワートレンチDMOSFET用トレンチの両側壁の内、前記ボディ層に面する側にゲート絶縁膜を介してゲート電極を、また前記ドリフト層に面する側に該ゲート絶縁膜を介してフィールドプレート電極を形成する工程と、
前記ドリフト層の表面に第2導電型のドレイン層を形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記素子分離用トレンチの深さがサブミクロンレベルであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記素子分離用トレンチ内が絶縁膜で埋め込まれていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記フィールドプレート電極が前記ドレイン層の電位より低い電位領域に接続されて形成されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記素子分離用トレンチ内に島が存在し、該島の側面と前記素子分離用トレンチの両側壁の間隔及び該島間の側面同士の間隔が所定の間隔以下に構成され、前記素子分離用トレンチ内が絶縁膜で充填されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記パワートレンチDMOSFET用トレンチと前記素子分離用トレンチが別々に形成され、当該パワートレンチDMOSFET用トレンチの深さが前記素子分離用トレンチの深さより深く形成されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 第1導電型の半導体基板上に形成された第2導電型のウエル層と、
前記ウエル層の表面から該ウエル層内部に形成された第1導電型のボディ層と、
前記ウエル層の表面から該ウエル層内部に形成された第2導電型のドリフト層と、
前記半導体基板の表面から前記ボディ層より深い位置まで形成された複数の素子分離用トレンチ及びパワートレンチDMOSFET用トレンチと、
前記パワートレンチDMOSFET用トレンチの底面から前記ウエル層内に形成された第2導電型の埋め込みドリフト層と、
前記パワートレンチDMOSFET用トレンチの両側壁の内、前記ボディ層に面する側にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、前記ドリフト層に面する側に該ゲート絶縁膜を介して形成されたフィールドプレート電極と、
前記ドリフト層の表面に形成された第2導電型のドレイン層と、を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記フィールドプレート電極の電位が前記ドレイン層の電位より低いことを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。
- 前記素子分離用トレンチ内に島が存在し、該島の側面と前記素子分離用トレンチの両側壁の間隔及び該島間の側面同士の間隔が所定の間隔以下に構成され、前記素子分離用トレンチ内が絶縁膜で充填されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記パワートレンチDMOSFET用トレンチが前記素子分離用トレンチより深く形成されていることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009170081A JP2011029214A (ja) | 2009-07-21 | 2009-07-21 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009170081A JP2011029214A (ja) | 2009-07-21 | 2009-07-21 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011029214A true JP2011029214A (ja) | 2011-02-10 |
Family
ID=43637673
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009170081A Pending JP2011029214A (ja) | 2009-07-21 | 2009-07-21 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011029214A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8698238B2 (en) | 2011-12-12 | 2014-04-15 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor devices and methods of forming the same |
-
2009
- 2009-07-21 JP JP2009170081A patent/JP2011029214A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8698238B2 (en) | 2011-12-12 | 2014-04-15 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor devices and methods of forming the same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100974697B1 (ko) | Ldmos 소자 및 ldmos 소자의 제조 방법 | |
JP5729745B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US20160211348A1 (en) | Trench lateral diffusion metal oxide semiconductor device and manufacturing method of the same | |
JP4241856B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP5404550B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
US8076720B2 (en) | Trench gate type transistor | |
JP2008533705A (ja) | 高電圧コンポーネントを備えた、トレンチ絶縁されたsoi集積回路へのキャリア基板コンタクトの作製 | |
JP2008084995A (ja) | 高耐圧トレンチmosトランジスタ及びその製造方法 | |
CN106549052B (zh) | 横向扩散金属氧化物半导体晶体管及其制作方法 | |
JP2007201395A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
KR20080104774A (ko) | 반도체 소자의 고전압 드리프트 형성 방법 | |
JP2009044053A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5164333B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP4623656B2 (ja) | 縦型ゲート半導体装置およびその製造方法 | |
JP5378925B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP6029704B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2017011311A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5466577B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5353093B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2011029214A (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP3340361B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2013251497A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR20110079021A (ko) | 반도체 소자 및 그의 제조방법 | |
JP2009176953A (ja) | 半導体装置 | |
JP2009026809A (ja) | 半導体装置とその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20110531 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110602 |