JP2011022547A - 回折格子の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(a)半導体基板10の上の半導体層16上に形成された絶縁膜18上に、第1の樹脂層20を形成する工程と、(b)第1の樹脂層上に、第2の樹脂層22を提供する工程と、(c)第2の樹脂層を、互いに平行な複数の帯状の凸部を含むストライプパターンへとパターニングする工程と、(d)パターニングされた第2の樹脂層上に、Siを含有する第3の樹脂層26を形成する工程と、(e)複数の帯状の凸部が表面に露出するまで第3の樹脂層をエッチングする工程と、(f)第3の樹脂層をマスクとして用いて、酸素を含むガスにより、第1の樹脂層及び第2の樹脂層をエッチングする工程と、(g)エッチングされた第1の樹脂層及び第2の樹脂層をマスクとして用いて、絶縁膜をエッチングする工程と、(h)エッチングされた絶縁膜をマスクとして用いて、半導体層をエッチングする工程を含む。
【選択図】図8
Description
Claims (5)
- 半導体基板の上に設けられた半導体層上に形成されている絶縁膜上に、Siを含有しない第1の樹脂層を形成する工程と、
前記第1の樹脂層上に、Siを含有しない第2の樹脂層を提供する工程と、
前記第2の樹脂層を、互いに平行な複数の帯状の凸部を含むストライプパターンへとパターニングする工程と、
パターニングされた前記第2の樹脂層上に、Siを含有する第3の樹脂層を形成する工程と、
前記複数の帯状の凸部が表面に露出するまで前記第3の樹脂層をエッチングする工程と、
前記第3の樹脂層をマスクとして用いて、酸素を含むガスにより、第1の樹脂層及び第2の樹脂層をエッチングする工程と、
エッチングされた前記第1の樹脂層及び前記第2の樹脂層をマスクとして用いて、前記絶縁膜をエッチングする工程と、
エッチングされた前記絶縁膜をマスクとして用いて、前記半導体層をエッチングする工程と、
を含む回折格子の形成方法。 - 前記第1の樹脂層が熱硬化樹脂からなり、前記第2の樹脂層がUV硬化樹脂からなる、請求項1に記載の回折格子の形成方法。
- 前記第3の樹脂層をマスクとして用いて、前記第1の樹脂層及び前記第2の樹脂層をエッチングする工程において、反応性イオンエッチング法を用いる、請求項1又は2に記載の回折格子の形成方法。
- 前記第1の樹脂層及び第2の樹脂層をエッチングする工程においては、前記半導体基板の周囲に炭素を含む部材が配置される、請求項1〜3の何れか一項に記載の回折格子の形成方法。
- 前記絶縁膜をエッチングする工程と前記半導体層をエッチングする工程の間に、前記第1の樹脂層及び前記第2の樹脂層を、酸素を含むガスを用いてアッシングする工程を更に含む、請求項1〜4の何れか一項に記載の方法。
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