JP2011022018A5 - - Google Patents

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可動部３１は梁３７を介してアンカー３５に接続される。梁３７で支持された可動部３１は加速度に応じて変位し前述のコンデンサーに静電容量変化を与える。可動部３１に囲まれ、かつ可動部３１に接触しないように支柱３４が配置される。支柱３４の技術的な意義については後述する。支柱３４は、導電体であるつなぎ部分３６を介してアンカー３５と接続される。
このように実施形態２の静電容量型加速度センサーは支柱を備える櫛歯の支柱が封止構造体の強度増加に貢献することを特徴とする。櫛歯の一部を封止構造体の支柱とすることにより構成を簡素化しつつ、実施形態１に記載の効果を得ることができる。なお、本実施形態の支柱も実施形態１の支柱と同様に可動部６１に囲まれるが、可動部６１と接触しない。
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