JP2011018937A - 半導体チップの取り付け - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チップキャリア部材は、点を中心として回転可能なチップ受容部と、上記回転可能なチップ受容部の表面に接続された支持部と、上記回転可能なチップ受容部の底面に接続された第1の末端と、上記支持部の表面に接続された第2の末端とを有する真空吸引チャネルと、加熱部とを備えており、上記支持部は、上記支持部と上記回転可能なチップ受容部との間の隙間内に設けられた振動板46’とを備えており、上記振動板46’は、上記支持部の溝45’内に配置された突起部47’を備えている。
【選択図】図5
Description
本発明は、基板上への半導体チップの取り付けに関する。
半導体チップは、一般的には、動作可能な半導体チップ(operational semiconductor chip)から放熱するために、基板上に取り付けられる。半導体チップは、複数の電気回路と、これらの電気回路に接続された複数のコンタクトパッドとを備えている。これらのコンタクトパッドは、電気ワイヤによって、基板上の外部コンタクトパッドに取り付けられている場合もある。
チップキャリア部材は、回転可能なチップ受容部を備えている。当該回転可能なチップ受容部は、基本的には点を中心として回転可能である。また、チップキャリア部材は、上記回転可能なチップ受容部の表面に接続された支持部と、上記回転可能なチップ受容部の底面に接続された第1の末端と、上記支持部の表面に接続された第2の末端とを有する真空吸引チャネルと、加熱部とを備えており、上記支持部は、上記支持部と上記回転可能なチップ受容部との間の隙間内に設けられた振動板とを備えており、上記振動板は、上記支持部の溝内に配置された突起部を備えている。
以下の図面および説明を参照することによって、本発明をよりよく理解することができるであろう。図面に示されている部品は、必ずしも互いに相対的な縮尺とはなっておらず、代わりに、本発明の原理が示されている部分は強調して示されている。さらにこれら図面においては、同様の参照符号は同様の部分を示している。図面は以下の通りである:
図1は、点を中心として回転させるためのボールおよびソケット型の接合部を備えたピックアップアームの断面図である。
図1は、ピックアップアーム10の一実施例の断面図を示している。ピックアップアーム10は、接着剤層12または軟質はんだによって基板13に接着される半導体チップ11を有している。上記接着剤層12または軟質はんだは、半導体チップ11が基板上に配置される前に、半導体チップ11または基板13上に塗布されてもよい。具体的には、軟質はんだは、拡散はんだ付け(diffusion soldering)によって塗布することができる。軟質はんだも使用可能であるが、以下では、説明を簡素にするために接着剤を用いた場合のみについて説明する。基板13上には接着剤層12が配置されており、接着剤層12上には半導体チップ11が設けられている。半導体チップ11上には、ピックアップアーム10が配置されている。接着剤層12は、基板13と半導体チップ11との両方に隣接しており、ピックアップアーム10は半導体チップ11のみに隣接している。
11、81 半導体チップ
12 接着剤層
13 基板
15、15''、41、41'、71、85 コレット
16、16''、42、42'、84 ボール
17、17''、43、43'、73、87 ロッド
20 能動面
21 受動面
25 上面
31、31''、48、48'、82 通路
32、32'' チューブ
45、45'、74、83 溝
46、46'、75、86 振動板
47、47'、76 突起部
51 加熱板
61 加熱部
72 フランジ
77 チャネル
78 バネ
Claims (16)
- チップキャリア部材であって、
点を中心として回転可能なチップ受容部と、
上記回転可能なチップ受容部の表面に接続された支持部と、
上記回転可能なチップ受容部の底面に接続された第1の末端と、上記支持部の表面に接続された第2の末端とを有する真空吸引チャネルと、
加熱部とを備えており、
上記支持部は、上記支持部と上記回転可能なチップ受容部との間の隙間内に設けられた振動板とを備えており、
上記振動板は、上記支持部の溝内に配置された突起部を備えていることを特徴とするチップキャリア部材。 - 上記真空吸引チャネルは、上記支持部と上記回転可能なチップ受容部との間に形成された接合部を通って伸びている、請求項1に記載のチップキャリア部材。
- 上記接合部はカルダン型である、請求項2に記載のチップキャリア部材。
- 上記接合部はスイベル型である、請求項2に記載のチップキャリア部材。
- 上記接合部はボールおよびソケット型である、請求項2に記載のチップキャリア部材。
- 基本的に点を中心とした上記回転は、直線を中心とした回転を含んでいる、請求項2に記載のチップキャリア部材。
- 上記接合部はヒンジ型である、請求項6に記載のチップキャリア部材。
- 上記加熱部は加熱板である、請求項1に記載のチップキャリア部材。
- 上記加熱部は加熱コイルである、請求項1に記載のチップキャリア部材。
- 上記回転可能なチップ受容部が回転する際に中心となる上記点は、上記回転可能なチップ受容部の、半導体チップの表面に接触している底面の外側にある、請求項1に記載のチップキャリア部材。
- 上記回転可能なチップ受容部が回転する際に中心となる上記点は、上記回転可能なチップ受容部の、半導体チップの表面に接触している底面に隣接している、請求項1に記載のチップキャリア部材。
- 上記回転可能なチップ受容部は、半球形のフランジを有しており、当該半球形のフランジの平坦な底面は、上記半導体チップの上記表面に接触している、請求項11に記載のチップキャリア部材。
- 上記半球形のフランジに接触しているバネをさらに有している、請求項12に記載のチップキャリア部材。
- チップキャリア部材を備えたチップ取り付け装置であって、
上記チップキャリア部材は、
点を中心として回転可能なチップ受容部と、
上記回転可能なチップ受容部の表面に接続された支持部と、
上記回転可能なチップ受容部の底面に接続された第1の末端と、上記支持部の表面に接続された第2の末端とを有する真空吸引チャネルと、
加熱部とを備えており、
上記支持部は、上記支持部と上記回転可能なチップ受容部との間の隙間内に設けられた振動板とを備えており、
上記振動板は、上記支持部の溝内に配置された突起部を備えていることを特徴とするチップ取り付け装置。 - 上記回転可能なチップ受容部が回転する際に中心となる上記点は、上記回転可能なチップ受容部の、半導体チップの表面に接触している底面に隣接している、請求項14に記載のチップ取り付け装置。
- 基板上に半導体チップを取り付ける方法であって、
基板を設ける工程と、
上記基板上に、接着剤層またははんだを介して、半導体チップを配置する工程と、
上記半導体チップ上に、回転可能なチップ受容部を配置する工程と、
上記半導体チップを上記回転可能なチップ受容部上に取り付けるために、上記回転可能なチップ受容部内の真空吸引を行う工程と、
基本的に点を中心として回転する上記半導体チップの表面上に、上記回転可能なチップ受容部を介して力を与える工程と、
或る一定の時間、上記回転可能なチップ受容部内に熱を生成する工程とを含んでいる、方法。
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