JP2011017713A - 磁気センサ及び磁場強度測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る磁気センサ50は、磁化自由層3と、非磁性層5と、磁化固定層7とがこの順に積層された積層体2を有し、その積層方向と垂直な一方向を長手方向とする磁気抵抗効果素子14と、磁気抵抗効果素子14と積層方向に離間するように磁気抵抗効果素子14に絶縁層18を介して設けられ、電流が供給されることにより磁場を発生させる電流経路層22とを備え、電流経路層22は、積層方向から見て磁気抵抗効果素子14の長手方向と0度以上45度以下の角度をなす方向に沿って伸びている。
【選択図】図1
Description
Claims (11)
- 磁化自由層と、非磁性層と、磁化固定層と、がこの順に積層された積層体を有し、その積層方向と垂直な一方向を長手方向とする磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子と前記積層方向に離間するように前記磁気抵抗効果素子に絶縁層を介して設けられ、電流が供給されることにより磁場を発生させる電流経路部と、
を備え、
前記磁化自由層及び前記磁化固定層は、前記積層方向と垂直な前記一方向を長手方向とし、
前記電流経路部は、前記積層方向から見て前記磁気抵抗効果素子の長手方向と0度以上45度以下の角度をなす方向に沿って伸びており、
前記電流経路部は、当該電流経路部から発生する前記磁場によって前記磁化自由層の磁化を飽和させ、当該磁化自由層の磁化の初期化を行うためのものである磁気センサ。 - 測定対象である磁場は、前記電流経路部が前記磁化自由層の磁化を飽和させた方向と平行な方向に前記磁化自由層に印加される請求項1に記載の磁気センサ。
- 測定対象である磁場は、前記電流経路部が前記磁化自由層の磁化を飽和させた方向と同一方向のみに前記磁化自由層に印加される請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記電流経路部の前記積層方向と垂直な方向の幅は、前記磁気抵抗効果素子の前記積層方向と垂直な方向の幅よりも大きい請求項1〜3のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記電流経路部は、前記積層方向から見て前記磁気抵抗効果素子の長手方向と平行に伸びている請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記電流経路部は、前記磁化自由層側、又は、前記磁化固定層側に複数設けられている請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記電流経路部は、前記磁化自由層側、及び、前記磁化固定層側の双方に設けられている請求項1〜6のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記磁気抵抗効果素子と前記電流経路部の間に設けられた前記絶縁層は、複数の絶縁体からなる層の積層膜である請求項1〜7のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の磁気センサの前記電流経路部に電流を供給して、前記電流経路部から発生させた磁場を前記磁化自由層に印加し、前記磁場が印加された方向に前記磁化自由層の磁化を飽和させる磁化飽和工程と、
前記磁化飽和工程の後に、前記磁化自由層に印加される測定対象である磁場の磁場強度を測定する測定工程と、を備える磁場強度測定方法。 - 前記測定工程において、前記磁化飽和工程において前記磁化自由層の磁化を飽和させた方向と平行な方向に前記測定対象である磁場を前記磁化自由層に印加させる請求項9に記載の磁場強度測定方法。
- 前記測定工程において、前記磁化飽和工程において前記磁化自由層の磁化を飽和させた方向と同一方向のみに前記測定対象である磁場を前記磁化自由層に印加させる請求項9に記載の磁場強度測定方法。
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