JP2006134388A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】 磁気抵抗効果素子のPW50をはじめとする電磁変換諸特性を向上させながら、磁気抵抗効果素子と一対の上下各磁気シールド層間の電気的絶縁性を十分に確保することができる薄膜磁気ヘッドを提供すること。
【解決手段】 本発明は、磁気抵抗効果素子10と、磁気抵抗効果素子10を挟む一対の磁気シールド層23,26とを備え、磁気抵抗効果素子10と各磁気シールド層23,26との間には、電気的絶縁性を有するリードギャップ層24,25が、各磁気シールド層23,26側にそれぞれ設けられており、リードギャップ層24,25の少なくとも一方が多層積層絶縁体であり、多層積層絶縁体が、絶縁性軟磁性層24bと、非磁性絶縁層24aとを交互に積層した構造である薄膜磁気ヘッド1である。
【選択図】図3
【解決手段】 本発明は、磁気抵抗効果素子10と、磁気抵抗効果素子10を挟む一対の磁気シールド層23,26とを備え、磁気抵抗効果素子10と各磁気シールド層23,26との間には、電気的絶縁性を有するリードギャップ層24,25が、各磁気シールド層23,26側にそれぞれ設けられており、リードギャップ層24,25の少なくとも一方が多層積層絶縁体であり、多層積層絶縁体が、絶縁性軟磁性層24bと、非磁性絶縁層24aとを交互に積層した構造である薄膜磁気ヘッド1である。
【選択図】図3
Description
本発明は、薄膜磁気ヘッドに関する。
ハードディスクに記録された磁気情報を読み取る薄膜磁気ヘッドとして、MR(Magneto Resistive)ヘッドが用いられている。MRヘッドは、磁性体に電流を流した際に、外部磁界(例えばハードディスクからの漏洩磁界)の変化によって磁性体の電気抵抗値が変化する磁気抵抗効果を利用するものである。
薄膜磁気ヘッドは一般に、磁気抵抗効果素子と、磁気抵抗効果素子を挟む一対の上下各磁気シールド層とを備えており、この磁気抵抗効果素子と上下各磁気シールド層との間には電気的絶縁性を有するリードギャップ層が上下各磁気シールド層側にそれぞれ設けられている。
近年、磁気記録媒体に対して高記録密度化が要求されており、これに伴い、磁気情報を正確に読み込むために磁気抵抗効果素子と一対の上下各磁気シールド層間の各リードギャップ層を磁気的に狭小化する必要が生じている。
しかしながら、単に、各リードギャップ層を狭くしただけでは、磁気抵抗効果素子と一対の上下各磁気シールド層間に短絡が発生しやすくなり、電気的絶縁性が低下し、磁気抵抗効果素子において所望の(設計通りの)PW50(Pulse Width 50)をはじめとする電磁変換諸特性を得ることができなくなってしまう。なお、PW50とは、「ゼロ−ピーク」出力波形の大きさの1/2における波形の幅であり、単位は時間で一般的にns、あるいは波長で一般的にnmである。PW50は、高周波出力÷低周波出力で表される分解能(RES:レゾリューション、単位は%)と顕著な関係があり、ハードディスクドライブ(HDD)で重要なパラメータであるS/N比に影響が大きい。従って、PW50が小さいほど良い傾向にある。
そこで、磁気抵抗効果素子の前記諸特性を向上させる1つの手段として、前記各リードギャップ層を磁気的に狭小化する方法があり、このような方法として、例えば前記各リードギャップ層の片方をフェライト層に置き換える方法(特許文献1参照)や、上下各磁気シールド層側から、順次、フェライト層、アルミナ層の2層にする方法(特許文献2参照)が提案されている。
特開平06−309629号公報
特開2002−298313号公報
ところで、薄膜磁気ヘッドにおいて、磁気抵抗効果素子と一対の上下各磁気シールド層間の電気的絶縁性を十分に確保するためには、前記特許文献1,2のリードギャップ層のフェライト層やアルミナ層の膜厚の総和が一定値以上必要であることは明らかである。
しかしながら、上述した特許文献1及び2に記載の薄膜磁気ヘッドでは、リードギャップ層のフェライト層やアルミナ層の膜厚の総和を一定値以上にしようとすると、リードギャップが大きくなり、磁気記録再生時の分解能が悪くなる傾向があり、磁気ディスク装置の設計において好ましくない。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、磁気抵抗効果素子のPW50をはじめとする電磁変換諸特性を向上させながら、磁気抵抗効果素子と一対の上下各磁気シールド層間の電気的絶縁性を十分に確保することができる薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明の薄膜磁気ヘッドは、磁気抵抗効果素子と、前記磁気抵抗効果素子を挟む一対の磁気シールド層とを備え、前記磁気抵抗効果素子と前記各磁気シールド層との間には、電気的絶縁性を有するリードギャップ層が、前記各磁気シールド層側にそれぞれ設けられており、前記リードギャップ層の少なくとも一方が多層積層絶縁体であり、前記多層積層絶縁体が、絶縁性軟磁性層と、非磁性絶縁層とを交互に積層した構造であることを特徴とする。
この薄膜磁気ヘッドによれば、リードギャップ層のうち少なくとも一方が多層積層絶縁体であり、多層積層絶縁体が、非磁性絶縁層と絶縁性軟磁性層とを交互に積層した構造であることで、リードギャップ層の磁気的な狭小化を実現することが可能となる。また多層積層絶縁体において非磁性絶縁層と絶縁性軟磁性層の総合厚さを十分に大きくすることが可能となり、リードギャップ層の電気的絶縁性を十分に確保することが可能となる。
上記多層積層絶縁体においては、磁気抵抗効果素子に最も近い位置にある層が絶縁性軟磁性層であることが好ましい。
この場合、前記絶縁性軟磁性層を磁気抵抗効果素子により近づけることができるため、磁気抵抗効果素子に最も近い位置にある層が非磁性絶縁層である場合に比べて、ノイズとなる磁界の読込みが十分に防止され、磁気記録媒体からの磁気情報をより的確に再生することができる。
本発明の薄膜磁気ヘッドによれば、磁気抵抗効果素子のPW50をはじめとする電磁変換諸特性を向上させながら、磁気抵抗効果素子と各磁気シールド層と間の電気的絶縁性を十分に確保することができる。
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
図1は、本発明の一実施形態に係る薄膜磁気ヘッドを示す概略断面図であり、薄膜磁気ヘッド1における媒体対向面Sに対して垂直な方向の概略断面図である。図1において、薄膜磁気ヘッド1は、基台2上に、再生用の磁気抵抗効果素子10を有する再生ヘッド部11と、書込用の誘導型の電磁変換素子としての記録ヘッド部12とを積層した複合型薄膜磁気ヘッドとなっている。媒体対向面Sは、ハードディスクの記録面に対向する面であり、一般にエアベアリング面(ABS:Air Bearing Surface)と称される。なお、「上」及び「下」なる語は図1及び図2の上下に従う。
基台2は、アルティック(Al2O3・TiC)等からなる基板22上に、アルミナ(Al2O3)等の絶縁材料からなる下地層21が形成されることにより構成されている。下地層21の上には、下部シールド層(磁気シールド層)23が形成されている。下部シールド層23は、余分な外部磁界(ノイズ)が磁気抵抗効果素子10に入らないように、外部磁界を吸収するためのシールド機能を有している。下部シールド層23は、NiFe、センダスト、CoFe、FeCoNi等の軟磁性体を材料としている。下部シールド層23上には、電気的絶縁性を有する第1のリードギャップ層24が形成されている。第1のリードギャップ層24の詳細については後述する。
第1のリードギャップ層24の上には、磁気抵抗効果素子10が形成されている。そして、磁気抵抗効果素子10の上には、電気的絶縁性を有する第2のリードギャップ層25が形成されている。これら各リードギャップ層24、25は、磁気抵抗効果素子10を挟むように設けられている。第2のリードギャップ層25の詳細についても後述する。
第2のリードギャップ層25の上には、上部シールド層26が形成されている。上部シールド層26は、余分な外部磁界(ノイズ)が磁気抵抗効果素子10に入らないように、外部磁界を吸収するためのシールド機能を有している。上部シールド層26は、下部シールド層23と同じく、NiFe(パーマロイ)、センダスト、CoFe、FeCoNi等の軟磁性体を材料としている。各シールド層23,26が軟磁性体材料で構成されるのは、検出対象である磁気記録媒体の磁化遷移領域からの漏洩磁束以外の漏洩磁束の磁気抵抗効果素子10内部への導入を抑制するためである。
磁気抵抗効果素子10はGMR(Giant Magneto Resistive)素子であって、図2に示されるように、反強磁性層31、ピンド層(強磁性層)33、非磁性層35、フリー層37を含んでいる。図2は、薄膜磁気ヘッド1における媒体対向面Sに対して平行な方向の概略断面図である。
磁気抵抗効果素子10は、第1のリードギャップ層24上に、反強磁性層31、ピンド層33、非磁性層35、フリー層37を薄膜で順次積層成膜、パターンニング(イオンミリング、RIE等の手法が利用可能である)することにより構成される。反強磁性層31とピンド層33の界面では交換結合が生じ、これによりピンド層33が受ける磁界(交換結合磁界)の向きが一定の方向(トラック幅方向と直交する方向)に固定される。一方、フリー層37は磁気記録媒体からの漏洩磁界、すなわち、外部磁界に応じて磁化の向きが変化する。
反強磁性層31は、IrMn合金を材料とし、第1のリードギャップ層24上に成膜される。反強磁性層31の厚みは4〜6nmに設定される。IrMn合金は、面心立方(FCC:face centered cubic)構造を主として含む反強磁性不規則合金である。ピンド層33は、Fe、Co、Ni、NiFe、CoFe、CoZrNb、FeCoNi等の強磁性体を材料とし、反強磁性層31上に成膜される。ピンド層33の厚みは0.5〜5.0nmに設定される。非磁性層35は、Cu、Ru、Ir、Rh、Au、Ag等の非磁性体を材料とし、ピンド層33上に成膜される。非磁性層35の厚みは0.1〜4.0nmに設定される。フリー層37は、Fe、Co、Ni、NiFe、CoFe、CoZrNb、FeCoNi等の強磁性体を材料とし、非磁性層35上に成膜される。フリー層37の厚みは0.5〜5.0nmに設定される。
そして、磁気抵抗効果素子10をトラック幅方向で挟むように、フリー層37に縦バイアス磁界を印加する磁区制御層39が形成されている。フリー層37の磁化の向きは、磁区制御層39からの縦バイアス磁界によりトラック幅方向と平行な方向となっており、ピンド層33の磁化の向きと直交する方向である。この磁区制御層39は、CoCrPt、CoPt、CoTa等の高保磁力を有する硬磁性体を材料として、磁気抵抗効果素子10の両脇に下地層41を介して設けられる。下地層41は、TiW、Ta、CrTi等の金属材料からなり、磁気抵抗効果素子10の側部及び第1のリードギャップ層24上に成膜される。磁区制御層39上には保護層43が成膜されており、この保護層43はTa、Al2O3等からなる。
また、フリー層37の両側には、フリー層37と重なるように互いに離間して電極層45が形成されている。電極層45は、フリー層37に電流(センス電流)を供給する。この電極層45は、Au、Ag等の導電性材料からなる。電極層45上には保護層47が成膜されており、この保護層47はTa、Al2O3等からなる。一方の電極層45から供給された電子は、フリー層37を介して、他方の電極層45に伝達される。なお、電流は電子とは逆方向に流れることとなる。
第2のリードギャップ層25は、保護層47及び磁気抵抗効果素子10上に形成された保護層49の上に形成されており、更に、第2のリードギャップ層25の上には、上部シールド層26が形成されている。
再び、図1を参照する。記録ヘッド部12は、いわゆる面内記録方式を採用しており、下部磁極13と、下部磁極13と磁気的に連結された上部磁極14と、一部が下部磁極13と上部磁極14との間に位置する薄膜コイル15を備えている。上部磁極14上には、オーバーコート層16が形成されている。
ここで、上部磁極14は、媒体対向面S側に位置する磁極部分層14aと、これに接続されると共に薄膜コイル15の上方を迂回するヨーク部分層14bとから構成されており、下部磁極13、及び上部磁極14を構成する磁極部分層14aの媒体対向面S側の端面は媒体対向面Sに露出している。そして、下部磁極13及び磁極部分層14aの各露出部は所定距離離間されていて記録ギャップGを形成している。一方、上部磁極14を構成するヨーク部分層14bにおける媒体対向面Sとは離れた側の端部14cは、下部磁極13における媒体対向面Sとは離れた側の端部13aと物理的且つ磁気的に連結している。これにより、上部磁極14と下部磁極13とによって記録ギャップGをはさむ磁気回路が形成される。薄膜コイル15は、上部磁極14の端部14cを取り囲むように配置されており、電磁誘導により記録ギャップG間に磁界を発生させ、これによりハードディスクの記録面に磁気情報を記録させる。
また、再生ヘッド部11及び記録ヘッド部12には、導電材料からなる2つの導電部(図示せず)が電気的に接続されており、導電部の上端において、それぞれ再生用電極パッド、記録用電極パッドに接続されている。
上述の「軟磁性」及び「硬磁性」なる語は保持力の大きさを示す規定であるが、全体として「軟磁性」及び「硬磁性」の機能を奏するものであれば、たとえば、微視的或いは特定領域において規定外の材料或いは構造を有するものであってもよい。たとえば、異なる磁気特性の材料を磁気的に交換結合させたものや一部分に非磁性体が含まれるものでもあっても、全体として軟磁性及び硬磁性の機能を奏するものであればよい。
ここで、薄膜磁気ヘッド1の機能について説明する。フリー層37は、磁区制御層39からの縦バイアス磁界によって、トラック幅方向に単磁区化されている。フリー層37の磁化の向きは、磁化遷移領域からの漏洩磁束によって、すなわち磁化遷移領域がN極であるかS極であるかによって、変化する。ピンド層33の磁化の向きは反強磁性層31によって固定されているので、フリー層37とピンド層33の磁化方向間の余弦に対応する抵抗変化により、一対の電極層45間における電子の伝達率(電流)が変化することとなる。この電流の変化を検出することで、磁気記録媒体の検出対象の磁化遷移領域からの漏洩磁束が検出される。なお、データの磁気記録についても若干の説明をしておく。磁気記録媒体の磁化遷移領域への書き込みは、記録ヘッド部12からの漏洩磁束によって行われる。
次に、上述した第1のリードギャップ層24及び第2のリードギャップ層25について図3を参照して詳細に説明する。図3は、図2の第1のリードギャップ層24及び第2のリードギャップ層25を概略的に示す拡大図である。
図3に示すように、第1のリードギャップ層24は多層積層絶縁体で構成されている。多層積層絶縁体は、電気的絶縁性を有する非磁性絶縁層24aと、電気的絶縁性を有する絶縁性軟磁性層24bとを備えており、これらを交互に積層して構成されている。非磁性絶縁層24aは、例えばSiO2、Al2O3等からなり、絶縁性軟磁性層24bは、絶縁性及び軟磁性を有する材料、例えばフェライトからなる。また第1のリードギャップ層24においては、非磁性絶縁層24a及び絶縁性軟磁性層24bが交互に積層されており、第1のリードギャップ層24は、非磁性絶縁層24aが5層、絶縁性軟磁性層24bが5層の合わせて10層から構成されている。ここで、非磁性絶縁層24aは例えば高周波スパッタ、絶縁性軟磁性層24bは電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ生成法を用いたスパッタによって製造される。
第2のリードギャップ層25も、多層積層絶縁体で構成されている。第2のリードギャップ層25は、非磁性絶縁層25aと、絶縁性軟磁性層25bとを備えており、これらを交互に積層して構成されている。そして、非磁性絶縁層25aは、非磁性絶縁層24aと同じく、例えばSiO2、Al2O3等からなり、絶縁性軟磁性層25bは、絶縁性軟磁性層24bと同じく、絶縁性及び軟磁性を有する材料、例えばフェライトからなる。また第2のリードギャップ層25においては、非磁性絶縁層25a及び絶縁性軟磁性層25bが交互に積層されており、第2のリードギャップ層25は、非磁性絶縁層25aが5層、絶縁性軟磁性層25bが5層の合わせて10層から構成されている。ここで、非磁性絶縁層25a、絶縁性軟磁性層25bはそれぞれ、上記非磁性絶縁層24a、絶縁性軟磁性層24bと同様の製造方法によって製造される。
このように、第1のリードギャップ層24及び第2のリードギャップ層25がそれぞれ非磁性絶縁層と絶縁性軟磁性層とを交互に積層して構成されることにより、リードギャップの磁気的な狭小化が実現される。このため、記録密度が十分に高い(例えば記録密度が80(Gbit/inch2))磁気記録媒体から磁気情報を再生する場合でも、再生出力パルス波形の半値幅、すなわちPW50を、実用的に許容される値である80nmを下回るようにすることが可能となり、所望の(設計通りの)PW50をはじめとする電磁変換諸特性を得ることができる。
加えて、第1及び第2のリードギャップ層24、25が非磁性絶縁層と絶縁性軟磁性層とを交互に積層して構成されることにより、第1及び第2のリードギャップ層24、25のそれぞれにおいて非磁性絶縁層25aと絶縁性軟磁性層25bの総合厚さを十分に大きくすることが可能となる。このため、磁気抵抗効果素子10と上部シールド層26との間、及び磁気抵抗効果素子10と下部シールド層23との間において十分な電気的絶縁性を確保することができ、磁気抵抗効果素子10と上部シールド層26、下部シールド層23との間の短絡を十分に防止することができる。
図3に示すように、本実施形態の薄膜磁気ヘッド1において、非磁性絶縁層24a及び非磁性絶縁層25aの単層の厚さd1はそれぞれ2nm以上であることが好ましい。d1が2nm未満であると、2nm以上である場合に比べて電気的絶縁性が不十分となり耐圧性が低くなる傾向がある。但し、d1はそれぞれ10nm以下であることが好ましい。d1が10nmを超えると、10nm以下である場合に比べて耐磁場性が悪くなり、PW50が大きくなる傾向がある。
また、第1のリードギャップ層24は上記非磁性絶縁層24aを複数有する。ここで、複数の非磁性絶縁層24aの厚さの総和が10nm以上であることが好ましい。複数の非磁性絶縁層24aの厚さの総和が10nm未満の場合、10nm以上の場合と比較してより十分に耐圧性を確保することができない傾向がある。また複数の非磁性絶縁層24aの厚さの総和は、製造時間の短縮の観点からは100nm以下であることが好ましい。なお、第2のリードギャップ層25を構成する非磁性絶縁層25aの単層の厚さd1、複数の非磁性絶縁層25aの厚さの総和については、非磁性絶縁層24aと同様である。
上記第1のリードギャップ層24及び第2のリードギャップ層25を構成する絶縁性軟磁性層24b、25bは、上述したように例えばフェライトから構成される。フェライトの種類は特に限定されないが、フェライトとしては、例えばNiZn系フェライト、MnZn系フェライト、CuZn系フェライト等が挙げられる。これらの中でも絶縁性軟磁性層は、NiZn系フェライト、MnZn系フェライトであることが好ましい。この場合、上記絶縁性軟磁性層がNiZn系フェライト又はMn−Zn系フェライトであると、磁気応答性が良いという利点がある。
本実施形態の薄膜磁気ヘッド1において、絶縁性軟磁性層24b、25bの単層の厚さd2は10nm以上であることが好ましい。d2が10nm未満であると、10nm以上である場合に比べて耐磁場性が悪くなり、PW50が大きくなる傾向がある。但し、d2は、製造時間の短縮の点からは、100nm以下であることが好ましい。
また、第1のリードギャップ層24及び第2のリードギャップ層25はそれぞれ絶縁性軟磁性層24b、25bを複数有する。ここで、複数の絶縁性軟磁性層24bの厚さの総和、又は複数の絶縁性軟磁性層25bの厚さの総和がそれぞれ40nm以上であることが好ましい。40nm未満であると、40nm以上である場合に比べて耐磁場性が悪くなり、PW50が大きくなる傾向がある。また、上記複数の絶縁性軟磁性層24b、25bの厚さの総和はそれぞれ、PW50を十分低減する観点からは400nm以上であることが更に好ましい。但し、複数の絶縁性軟磁性層24b、25bの厚さの総和は、製造時間の短縮をも考慮すると、それぞれ100nm以下であることが好ましい。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
例えば、上記実施形態の薄膜磁気ヘッド1においては、第1のリードギャップ層24及び第2のリードギャップ層25において、磁気抵抗効果素子10に最も近い位置にある層が絶縁性軟磁性層24b、25bとなっているが、絶縁性軟磁性層24b、25bに代えて、非磁性絶縁層24a、25aであってもよい。
また上記実施形態の薄膜磁気ヘッド1では、磁気抵抗効果素子10の両側にそれぞれ第1のリードギャップ層24、第2のリードギャップ層25が設けられており、第1のギャップ層24,第2のリードギャップ層25のいずれも非磁性絶縁層と絶縁性軟磁性層とを交互に積層して構成されているが、例えば第2のリードギャップ層25のみにおいて、非磁性絶縁層と絶縁性軟磁性層とが交互に積層して構成されていればよい。この場合、第1のリードギャップ層24は、Al2O3、AlN、SiO2等の非磁性の絶縁体を材料とすればよい。
また上記実施形態では、磁気抵抗効果素子10がGMR素子で構成されているが、本発明の薄膜磁気ヘッドに用いる磁気抵抗効果素子としては、GMR素子のほか、シングルスピンバルブ型薄膜素子、TMR(Tunnel Magneto-Resistive)磁気抵抗効果型素子、デュアルスピンバルブ型薄膜素子、AMR(Giant Magneto-Resistive)磁気抵抗効果素子等を用いることができる。
上記実施形態の薄膜磁気ヘッド1は、電極層45により磁気抵抗効果素子10の表面に平行な方向に電流を流すCIP(Current In Plane)型の薄膜磁気ヘッドとなっているが、磁気抵抗効果素子10の表面に垂直な方向に電流を流すCPP(Current Perpendicular to Plane)型の薄膜磁気ヘッドであっても構わない。
上記実施形態の薄膜磁気ヘッド1において、第2のリードギャップ層25は、非磁性絶縁層25a及び絶縁性軟磁性層25bを交互に積層して構成されており、非磁性絶縁層25aが5層、絶縁性軟磁性層25bが5層の合わせて10層から構成されているが、非磁性絶縁層25a及び絶縁性軟磁性層25bの数は、非磁性絶縁層25a及び絶縁性軟磁性層25bのうち、いずれか一方が複数であればよい。但し、磁気抵抗効果素子10のPW50をはじめとする電磁変換諸特性を向上させながら、磁気抵抗効果素子10と一対の上下各磁気シールド層23,26間の電気的絶縁性を十分に確保することができるようにするためには、非磁性絶縁層25a及び絶縁性軟磁性層25bのいずれもが複数であることがより好ましい。
また、上記実施形態において、第1のリードギャップ層24及び第2のリードギャップ層25のそれぞれに用いられる複数の非磁性絶縁層及び複数の絶縁性軟磁性層の厚さは同一でもよく、異なっていてもよい。
また上記実施形態の薄膜磁気ヘッド1の記録ヘッド部は、いわゆる面内記録方式を採用しているが、本発明の薄膜磁気ヘッドが記録ヘッド部を有する場合、記録ヘッド部は、垂直磁気記録方式を採用してもよい。
以下、実施例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
[実施例1]
アルティック(Al2O3・TiC)等からなる基板22上に、アルミナ(Al2O3)からなる下地層21を形成し、基台2を形成した。そして、基台2の上に、NiFeからなる下部シールド層23をスパッタリング法により形成した。
アルティック(Al2O3・TiC)等からなる基板22上に、アルミナ(Al2O3)からなる下地層21を形成し、基台2を形成した。そして、基台2の上に、NiFeからなる下部シールド層23をスパッタリング法により形成した。
続いて、下部シールド層23の上に、非磁性絶縁層24aとして厚さ1nmのアルミナ、絶縁性軟磁性層24bとして厚さ20nmのフェライトを順次積層して、多層積層絶縁体である第1のリードギャップ層24を形成した。本実施例では、絶縁性軟磁性層24bは11層、非磁性絶縁層24aは10層とした。
その後、磁気抵抗効果素子10をスパッタリング法により形成した。
その後、ピンアニール処理を実施し、反強磁性層31とピンド層33との間に交換結合を付与するようにした。このピンアニール処理は、8kOe程度の磁界をトラック幅方向と直交する方向に印加した状態で約270℃の温度をかけ、約3時間程度にわたって温度を保持することによって行った。
その後、下地層41、磁区制御層39、保護層43及び電極層45をスパッタリング法により形成した。
次に、保護層47をスパッタリング法により形成し、続いて、第1のリードギャップ層24と同様にして第2のリードギャップ層25を形成した。
その後、NiFeからなる上部シールド層26をスパッタリング法により形成した。
その後、磁区制御層39を縦バイアス磁界が得られる方向に着磁した。磁区制御層39の着磁は、室温で、12kOe程度の磁界をトラック幅方向に印加することによって行った。
その後、薄膜コイル15の一層目及び二層目の絶縁膜を形成する際にレジストを硬化させて、記録ヘッド部12を形成した。
こうして薄膜磁気ヘッドを得た。
[比較例1]
下部シールド層23の上に、NiZn系フェライト及びAl2O3を順次積層して、厚さ8nmの絶縁性軟磁性層、及び厚さ0.5nmの非磁性絶縁層を1層ずつ形成したこと以外は実施例1と同様にして薄膜磁気ヘッドを作製した。
下部シールド層23の上に、NiZn系フェライト及びAl2O3を順次積層して、厚さ8nmの絶縁性軟磁性層、及び厚さ0.5nmの非磁性絶縁層を1層ずつ形成したこと以外は実施例1と同様にして薄膜磁気ヘッドを作製した。
[評価方法]
上記のようにして得られた薄膜磁気ヘッドについて、以下のようにして耐圧試験を行うとともに、PW50の測定を行った。
上記のようにして得られた薄膜磁気ヘッドについて、以下のようにして耐圧試験を行うとともに、PW50の測定を行った。
(耐圧試験)
耐圧試験は、磁気抵抗効果素子10を挟む一対の上下各磁気シールド層23,26を電極として、電圧を加えた。その結果、実施例1の薄膜磁気ヘッドについては、10Vの電圧に耐えることができた。これに対して、比較例1の薄膜磁気ヘッドについては3Vの電圧で膜が破壊され短絡が発生した。
耐圧試験は、磁気抵抗効果素子10を挟む一対の上下各磁気シールド層23,26を電極として、電圧を加えた。その結果、実施例1の薄膜磁気ヘッドについては、10Vの電圧に耐えることができた。これに対して、比較例1の薄膜磁気ヘッドについては3Vの電圧で膜が破壊され短絡が発生した。
(PW50)
PW50とは、「ゼロ−ピーク」出力波形の大きさの1/2における波形の幅であり、単位は時間で一般的にns、あるいは波長で一般的にnmである。PW50は、高周波出力÷低周波出力で表される分解能(RES:レゾリューション、単位は%)と顕著な関係があり、ハードディスクドライブ(HDD)で重要なパラメータであるS/N比に影響が大きい。従って、PW50が小さいほど良い傾向にある。
PW50とは、「ゼロ−ピーク」出力波形の大きさの1/2における波形の幅であり、単位は時間で一般的にns、あるいは波長で一般的にnmである。PW50は、高周波出力÷低周波出力で表される分解能(RES:レゾリューション、単位は%)と顕著な関係があり、ハードディスクドライブ(HDD)で重要なパラメータであるS/N比に影響が大きい。従って、PW50が小さいほど良い傾向にある。
そこで、実施例1の薄膜磁気ヘッドのPW50は、光学的にリードギャップ層の膜厚が厚いにもかかわらず60nmであり、比較例1の薄膜磁気ヘッドのPW50は、光学的にリードギャップ層の膜厚が薄いにもかかわらず90nmであった。
1…薄膜磁気ヘッド、10…磁気抵抗効果素子、23…下部シールド層(磁気シールド層)、24…第1のリードギャップ層(多層積層絶縁体)、25…第2のリードギャップ層(多層積層絶縁体)、24a,25a…非磁性絶縁層、24b,25b…絶縁性軟磁性層、26…上部シールド層(磁気シールド層)。
Claims (6)
- 磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子を挟む一対の磁気シールド層とを備え、
前記磁気抵抗効果素子と前記各磁気シールド層との間には、電気的絶縁性を有するリードギャップ層が、前記各磁気シールド層側にそれぞれ設けられており、
前記リードギャップ層の少なくとも一方が多層積層絶縁体であり、
前記多層積層絶縁体が、絶縁性軟磁性層と非磁性絶縁層とを交互に積層した構造である、
ことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 前記多層積層絶縁体において、前記磁気抵抗効果素子に最も近い位置にある層が前記絶縁性軟磁性層である請求項1記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記多層積層絶縁体が前記非磁性絶縁層を複数備えており、前記非磁性絶縁層の厚さの総和が10nm〜100nmである請求項1又は2に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記非磁性絶縁層の単層の厚さが2〜10nmである請求項1〜3のいずれか一項に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記多層積層絶縁体が前記絶縁性軟磁性層を複数備えており、前記絶縁性軟磁性層の厚さの総和が40nm〜100nmである請求項1〜4のいずれか一項に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記絶縁性軟磁性層の単層の厚さが10nm〜100nmである請求項1〜5のいずれか一項に記載の薄膜磁気ヘッド。
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-
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