JP2011009290A - ウェーハの処理方法、ウェーハの処理システム、エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハの製造システム - Google Patents

ウェーハの処理方法、ウェーハの処理システム、エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハの製造システム Download PDF

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Abstract

【課題】未処理のままのウェーハが存在するか否を確実に検出でき、また空処理等の不規則な処理にも対応することができ、従って未処理のウェーハを次工程へ送ってしまう等の損失を防止できるウェーハの処理システム及び処理システム並びにエピタキシャルウェーハの製造方法及びエピタキシャルウェーハの処理システムを提供する。
【解決手段】少なくとも、ウェーハの処理装置のロードロック室内に配したカセットに複数枚のウェーハを収納し、前記カセットから前記ウェーハを処理室に順次搬送して、該搬送した前記ウェーハに枚葉式で所定の処理を施すウェーハの処理方法において、前記カセットに移載装置によって前記ウェーハを投入する際に、前記ウェーハの投入枚数N1を計数する一方、前記カセットから前記処理室へウェーハを搬送した回数N2を計数し、前記N1と前記N2が一致するか否かを判定することを特徴とするウェーハの処理方法。
【選択図】図3

Description

本発明は、ウェーハの処理方法、ウェーハの処理システム、エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハの製造システムに関する。
シリコンエピタキシャルウェーハ等のエピタキシャルウェーハは、シリコン単結晶基板等の単結晶基板(以下、単にウェーハという)の主表面上に、シリコンエピタキシャル層等のエピタキシャル層を気相エピタキシャル成長させることにより製造することができる。
このような気相エピタキシャル成長は、例えば枚葉式のエピタキシャルウェーハの製造装置を用いて行うことができる。
このような枚葉式のエピタキシャルウェーハの製造装置は、少なくとも、複数枚のウェーハを収納可能なカセットが配されるロードロック室と、該ロードロック室内のカセットから順次搬送されるウェーハの主表面上に枚葉式で単結晶薄膜を気相エピタキシャル成長するための処理室とを備えている。
そしてこのような枚葉式のエピタキシャルウェーハの製造装置を用いてウェーハの主表面上に単結晶薄膜を気相成長させるには、先ず、複数枚のウェーハをカセットに搭載し、このカセットをロードロック室内に投入する。
次に、ロードロック室内に投入したカセットのウェーハを装置が認識(マッピング)することにより該カセット内のどの位置にウェーハが搭載されているかを認識する。すなわち、カセット内のウェーハの位置及び数を認識する。
次に、(1)前記認識に基づきカセット内のウェーハを処理室に搬送し、(2)この処理室に搬送されたウェーハの主表面上に単結晶薄膜を気相成長させ、(3)該気相成長後のウェーハ(エピタキシャルウェーハ)を再びロードロック室のカセット内に戻す、といった(1)〜(3)の作業をカセット内の各ウェーハ毎に行う一連の気相成長工程を行うことにより、カセット内のウェーハの主表面上に、順次、単結晶薄膜を気相成長することとなる。
しかしながら、カセット内のウェーハの装置による認識(マッピング)は、必ず正確に行われるとは限らず、例えば、実際にはカセットに搭載されているのにも拘わらず、認識されない、すなわち認識漏れが発生する場合がある。この場合、認識漏れされたウェーハは、一連の気相成長工程により気相成長が施されないまま、他の(気相成長が行われた)ウェーハとともにロードロック室より搬出されることとなるため問題となる。
このような認識漏れされたウェーハは、単結晶薄膜の気相成長等の処理がなされないことになるが、未処理のまま次工程に投入されて処理されると、ウェーハの損失となってしまう。
例えばエピタキシャル用のウェーハは、多くの場合ボロンまたはリンを高濃度に含んでいる。そして次工程で熱処理を施す場合、このような気相成長未処理のエピタキシャル層が形成されていないままのウェーハと共に気相成長処理済みのエピタキシャルウェーハを一括でバッチ処理すると、未処理のウェーハ表面からボロンやリンが外方拡散により炉内に拡散して炉内を汚染してしまうのみならず、エピタキシャルウェーハへ付着して悪影響を及ぼしてしまうという重大な問題がある。
この様な問題を解決する方法として特許文献1に記載の方法のように、移載装置がロードロック室に投入した枚数と、処理装置が処理した回数を比較し、一致しない場合はその旨を報知する方法がある。
特開2003−7798号公報
しかしながら多くの半導体ウェーハ処理装置では、処理室内の金属不純物濃度やパーティクルの濃度を改善するために、実際にはウェーハを処理室に搬送せずに、ウェーハを搬送した場合と同じ昇降温や導入ガスの切換などの処理手順を実施すること(空処理)がしばしば行われる。
この様な空処理が行われた場合、特許文献1に記載の方法では投入枚数よりも処理枚数が多いと判定してしまう問題がある。
本発明は、上記問題に鑑みなされたものであって、未処理のままのウェーハが存在するか否を確実に検出でき、また空処理等の不規則な処理にも対応することができ、従って未処理のウェーハを次工程へ送ってしまう等の損失を防止できるウェーハの処理方法及び処理システム並びにエピタキシャルウェーハの製造方法及びエピタキシャルウェーハの製造システムを提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明では、少なくとも、ウェーハの処理装置のロードロック室内に配したカセットに複数枚のウェーハを収納し、前記カセットから前記ウェーハを処理室に順次搬送して、該搬送した前記ウェーハに枚葉式で所定の処理を施すウェーハの処理方法において、前記カセットに移載装置によって前記ウェーハを投入する際に、前記ウェーハの投入枚数N1を計数する一方、前記カセットから前記処理室へウェーハを搬送した回数N2を計数し、前記N1と前記N2が一致するか否かを判定することを特徴とするウェーハの処理方法を提供する。
このように、ロードロック室内に配したカセットに投入するウェーハの枚数N1と、当該カセットから処理室へ搬送するウェーハの枚数N2とをそれぞれ計数し、それらを比較することによって、処理室へ搬送されなかったウェーハ、すなわち未処理のままのウェーハが存在するか否かを確実に検出することができる。また、カセットから処理室への搬送枚数を計数するため、空処理などにも容易に対応することができ、従って未処理のウェーハを次工程へ送ってしまう等の損失が発生することを従来より確実に防止することができるウェーハの処理方法となっている。
ここで、枚葉式とは、1枚毎のウェーハに対して順次所定の処理を施す方式のことである。そしてこの所定の処理には、例えば各種気相成長や各種熱処理、スパッタリングなどが含まれる。また、各種気相成長には、ウェーハの主表面上への単結晶薄膜の気相エピタキシャル成長や、ウェーハの主表面上への多結晶薄膜の化学気相成長(CVD)、多結晶基板の主表面上への多結晶薄膜の気相成長などが含まれる。
ここで、前記判定において、前記N1と前記N2が一致しない場合に、不一致を報知することが好ましい。
このように、N1とN2が一致しない場合には不一致を報知することによって、未処理ウェーハの存在をより確実に検出することができ、未処理ウェーハに次工程処理(熱処理等)を行ってしまう等の問題が発生することをより確実に抑制することができる。
また、本発明では、少なくとも、複数枚のウェーハを収納可能なカセットが配されるロードロック室と、該ロードロック室内の前記カセットから順次搬送されるウェーハに枚葉式で所定の処理を施すための処理室を備えるウェーハの処理装置と、前記ロードロック室内に配した前記カセットに複数枚のウェーハを順次投入して収納させる移載装置と、該移載装置により前記カセットに投入される前記ウェーハの投入枚数を計数する投入枚数計数装置と、前記ロードロック室内に配したカセットから前記処理室へウェーハを搬送した回数を計数する搬送回数計数装置と、前記投入枚数計数装置により計数される投入枚数と、前記搬送回数計数装置により計数される搬送回数とが一致するか否かを判定する制御装置とを備えることを特徴とするウェーハの処理システムを提供する。
このように、ロードロック室内のカセットに投入されるウェーハの投入枚数を計数する投入枚数計数装置と、カセットから処理室へウェーハを搬送した回数を計数する搬送回数計数装置と、この投入枚数と搬送回数とが一致するか否かを判定する制御装置とを備えたウェーハの処理システムであれば、カセットに投入したウェーハの枚数と処理されたウェーハの枚数が一致しているか否かを確実かつ容易に検出することができ、従って、未処理ウェーハが次工程に送られる等の問題が発生することを従来に比べて確実に防止することができる。よって、従来に比べて枚葉式の処理を行うウェーハの製造の歩留りの向上やメンテナンスの軽減と、それらに伴う製造コストの低減を図ることができる。
そして、前記制御装置による判定の結果、前記投入枚数と前記搬送回数が一致しない場合に、不一致を報知する発報装置を更に備えることが好ましい。
このように、制御装置による判定の結果、投入枚数と搬送回数が一致しない場合に、不一致を報知する発報装置を更に備えることによって、未処理ウェーハが存在するかどうかを更に確実に検出することができる。
更に、本発明では、少なくとも、エピタキシャルウェーハ製造装置のロードロック室内に配したカセットに複数枚のウェーハを収納し、前記カセットから前記ウェーハを順次処理室に搬送して、該搬送した前記ウェーハに枚葉式で前記ウェーハの主表面上に単結晶薄膜を気相エピタキシャル成長することによってエピタキシャルウェーハを製造するエピタキシャルウェーハの製造方法において、前記カセットに移載装置によって前記ウェーハを投入する際に、前記ウェーハの投入枚数N1を計数する一方、前記カセットから前記気相エピタキシャル処理室へ前記ウェーハを搬送した回数N2を計数し、前記N1と前記N2が一致するか否かを判定することを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法を提供する。
このように、エピタキシャルウェーハを製造する際に、エピタキシャルウェーハ製造装置のロードロック室内に配したカセットに投入する枚数N1を計数し、またカセットから気相エピタキシャル処理室への搬送枚数N2も計数して、N1とN2を比較することによって、気相エピタキシャル処理室に搬送しなかったウェーハ、すなわち単結晶薄膜を気相成長させなかった処理漏れのウェーハの存在を確実に検出することができる。よって、単結晶薄膜が形成されていないウェーハが次工程に送られることを従来に比べて高い精度で防止でき、単結晶薄膜が形成されていないウェーハに更なる処理を行うことによって発生する様々な不具合を予め予防することができる。
また、前記判定において、前記N1と前記N2が一致しない場合に、不一致を報知することが好ましい。
このように、N1とN2が一致しない場合に不一致を報知することによって、単結晶薄膜が形成されていない処理漏れのウェーハの存在を更に確実に検出することができる。
また、本発明では、少なくとも、複数枚のウェーハを収納可能なカセットが配されるロードロック室と、該ロードロック室内の前記カセットから順次搬送されるウェーハの主表面上に枚葉式で単結晶薄膜を気相エピタキシャル成長するための処理室を備えるエピタキシャルウェーハの製造装置と、前記ロードロック室内に配したカセットに複数枚のウェーハを順次投入して収納させる移載装置と、該移載装置により前記カセットに投入される前記ウェーハの投入枚数を計数する投入枚数計数装置と、前記ロードロック室内に配したカセットから前記処理室へウェーハを搬送した回数を計数する搬送回数計数装置と、前記投入枚数計数装置により計数される投入枚数と、前記搬送回数計数装置により計数される搬送回数とが一致するか否かを判定する制御装置とを備えることを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造システムを提供する。
このように、カセットに投入されるウェーハの投入枚数を計数する投入枚数計数装置と、カセットから処理室へウェーハを搬送した回数を計数する搬送回数計数装置と、投入枚数と搬送回数とが一致するか否かを判定する制御装置と、を備えるエピタキシャルウェーハの製造システムとすることによって、カセットに投入されたウェーハに単結晶薄膜が気相成長されたか否かを確実に検出することができるため、単結晶薄膜が形成されていないウェーハの存在を確実に把握することができる。よって、従来より高い精度でエピタキシャルウェーハのみに対して次工程処理を行うことができ、不良の低減やエピタキシャルウェーハの製造コストの削減を達成することができる。
そして、前記制御装置による判定の結果、前記投入枚数と前記搬送回数が一致しない場合に、不一致を報知する発報装置を更に備えることが好ましい。
このように、制御装置による判定の結果、投入枚数と搬送回数が一致しない場合に、不一致を報知する発報装置を更に備えることによって、単結晶薄膜が形成されていないウェーハをエピタキシャルウェーハとして扱う可能性を更に抑制することができ、不良の発生を更に低減することができる。
以上説明したように、本発明のウェーハの処理方法およびウェーハの処理システムによれば、ロードロック室内のカセット内のウェーハが処理室に搬送された回数と、ロードロック室内のカセットに投入するウェーハの投入枚数との両計数結果が一致するか否かを判定するため、万一、ロードロック室に投入したウェーハの枚数と、所定の処理が施されたウェーハの枚数とが一致しない場合、この旨を認識することができる。
また、本発明のエピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハの製造システムによれば、ロードロック室内の力セット内のウェーハが処理室に搬送された回数と、ロードロック室内のカセットに投入するウェーハの投入枚数との両計数結果が一致するか否かを判定するため、万一、ロードロック室に投入したウェーハの枚数と、処理室に搬送されたウェーハの枚数とが一致しない場合、この旨を認識できる。
従って、未処理のまま次工程へ投入してしまうということもなくなり、ウェーハの損失を防止できるだけでなく、バッチ単位での処理済みのウェーハの大きな損失、熱処理炉内への汚染等の問題が発生することを未然に防止できるようになる。
本発明に係るエピタキシャルウェーハの製造システムの一例を示す模式的な概略平面図である。 図1のエピタキシャルウェーハの製造システムの一例を示す模式的な概略側面図である。 図1のエピタキシャルウェーハの製造システムの一例の主要ブロックの構成図である。 投入枚数と搬送回数の計数結果が一致する場合の一例の信号の取得状況を示すタイムチャートである。 投入枚数と搬送回数の計数結果が一致しない場合の一例の信号の取得状況を示すタイムチャートである。 表示部の画面表示(気相成長前の状態)の一例を示す図である。 表示部の画面表示(幾つかのウェーハSに対し気相成長を終えた状態)の他の一例を示す図である。
以下、図面を参照して、本発明に係る実施の形態について説明する。
本実施の形態は、本発明に係るウェーハの処理方法の一例としてのエピタキシャルウェーハの製造方法および本発明に係るウェーハの処理システムの一例としてのエピタキシャルウェーハの製造システムについて説明を行うものである。
先ず、図1〜3を参照して、本発明に係るエピタキシャルウェーハの製造システム100(以下、単に製造システム100ともいう。)の構成について説明する。
図1〜3に示すように、製造システム100は、少なくとも、エピタキシャルウェーハの製造装置10と、この製造装置10内に配したカセット30内にシリコンウェーハS(以下、単にウェーハSという。)を投入するための移載装置20と、ウェーハSを処理室1に搬送した回数とが一致するか否かの判定等を行う制御装置40と、製造装置10によるエピタキシャルウェーハEPWの製造作業の状況等に関する表示を行ったり、カセット30へのウェーハSの投入枚数とカセット30内のウェーハSの処理室1への搬送回数とが一致しない場合に、この旨を表示により報知したりする表示装置(発報装置としても機能する)50と、カセット30へのウェーハSの投入枚数とカセット30内のウェーハSを処理室1に搬送した回数とが一致しない場合に、この旨を音により報知するための発報装置80と、を備えて略構成されている。
このうち、先ず、製造装置10の構成について説明する。
図1および図2に示すように、製造装置10は、複数枚のウェーハSを収納可能なカセット30が配されるロードロック室6,7と、ロードロック室6,7内のカセット30から順次搬送されるウェーハSの主表面上に枚葉式でエピタキシャル層(単結晶薄膜)を気相エピタキシャル成長(以下、単に気相成長ともいう。)するための処理室1と、搬送されたウェーハSを載置するためのサセプタ12と、ウェーハSならびに気相成長後のウェーハS、すなわちエピタキシャルウェーハEPWをロードロック室6,7と処理室1との間で搬送するためのハンドラ4と、このハンドラ4が備え付けられた搬送室3とを備えて略構成されている。
ここで、ロードロック室6,7は、例えば図2に示すように、それぞれ上下2室に分割されているものとすることができる。すなわち、ロードロック室6は、上側分室61と下側分室62とを備えて構成され、同様に、ロードロック室7も、上側分室71と下側分室72とを備えて構成されているものとすることができる。
このうち、上側分室61,71は、気相成長前のウェーハSを製造装置10中のカセット30内に投入したり、エピタキシャルウェーハEPWを製造装置10外に搬出するために用いられるものであり、該上側分室61,71には、該搬出ならびに投入の際に開放される扉63,73が設けられている。
さらに、上側分室61,71には、それぞれ扉63,73の開放状態を検出するための扉開放状態検出スイッチ63s,73s(図3)が設けられている。
他方、下側分室62,72は、それぞれ上記搬送室3と連接されており、ウェーハSをロードロック室6,7から搬送室3を介して処理室1に搬送したり、エピタキシャルウェーハEPWを処理室1から搬送室3を介してロードロック室6,7のカセット30内に搬出するために用いられる。
なお、下側分室62,72と搬送室3との間には、下側分室62,72と搬送室3との間を開閉するためのゲートバルブ64,74が設けられている。
また、ロードロック室6,7内には、カセット30を上側分室61,71と下側分室62,72との間を昇降させるための昇降台65,75が設けられている。なお、カセット30は、例えば昇降台65,75上に常時設置されるものとする。
さらに、ロードロック室6,7内には、カセット30内のウェーハSを装置が認識(マッピング)するための検出センサ66,76が設けられている。そして、昇降台65,75の下降動作に伴わせてカセット30を上側分室61,71から下側分室62,72に移動させる際に、カセット30内の各ウェーハSを検出センサ66,76により検出することによって、カセット30内のウェーハSを装置が認識(マッピング)することができるようになっている。ここで、マッピングとは、装置がウェーハSを認識することを言い、特にカセット30内のウェーハSの数及び位置を認識できるデータを作成することを言う。カセット30内のウェーハSの数及び位置は、例えば昇降台65,75を移動させて、検出センサ66,76のところをウェーハが通過する際に光を遮るので検出できるようになっている。
加えて、ロードロック室6,7内には、上側分室61,71と下側分室62,72との間を開閉するためのゲートバルブ67,77が設けられている。また、製造装置10は、搬送室3と処理室1との間を開閉するためのゲートバルブ5を備えている。そして、カセット30から処理室1へのウェーハSの搬送の開始を検出する搬送状態検出スイッチ11とを備えるものとする。
さらに、製造装置10は、処理室1内で気相成長を行うために、該処理室1に反応ガスを供給するための反応ガス供給装置(図示略)と、この反応ガス供給装置による反応ガスの供給開始(例えば反応ガスの供給管のバルブの開動作)を検出する反応ガス供給開始検出スイッチ(図示略)とを備えている。
また、他に、製造装置10は、気相成長の際などに処理室1内を所望の温度条件に設定するための加熱装置(図示略)等を備えている。
次に、移載装置20の構成について説明する。
図1および図2に示すように、移載装置20は、口−ドロック室6,7の上側分室61,71に設けられた扉63,73の前に配設されている。
また、この移載装置20は、ロードロック室6,7の上側分室61,71の前に配した外部カセット35からウェーハSを一枚ずつ抜き取って、ロードロック室6,7の上側分室61,71内に配したカセット30に順次投入して収納させる移載ハンド(図示略)を備えている。
次に、制御装置40の構成について説明する。図3の制御装置40は、CPU41、ROM42、RAM43等を備えて構成されている。
このうち、CPU41は、演算、判定および制御等を行うものである。ROM42は、CPU41による演算用、判定用および制御用の各プログラム等を記憶している。また、RAM43は、CPU41の作業領域や、カセット30に投入されるウェーハSの投入枚数のカウンタ値の記憶領域(以下、投入枚数カウンタともいう。)ならびにウェーハSを処理室へ搬送した回数(搬送回数)のカウンタ値の記憶領域(以下、搬送回数カウンタともいう。)等を有する。つまり、制御装置40は、本発明に係る投入枚数計数装置、搬送回数計数装置としての機能を備える。
なお、投入枚数カウンタは、ロードロック室6,7にそれぞれ対応して1つずつ設けられているものとする。
すなわち、ロードロック室6内のカセット30に投入されるウェーハSの投入枚数をカウントするための第1の投入枚数カウンタと、ロードロック室7内のカセット30に投入されるウェーハSの投入枚数をカウントするための第2の投入枚数カウンタとが別個に設けられている。
また、同様に、搬送回数カウンタも、ロードロック室6,7に対応して1つずつ設けられている。すなわち、ロードロック室6内のカセット30のウェーハSを処理室へ搬送した回数をカウントするための第1の搬送回数カウンタと、ロードロック室7内のカセット30のウェーハSを処理室へ搬送した回数をカウントするための第2の搬送回数カウンタとが別個に設けられている。
ここで、移載装置20は、1枚のウェーハSをロードロック室6内のカセット30に投入する毎に、該投入の過程のいずれかの動作に関わる信号(例えば移載装置20の移載ハンドがウェーハSをカセット30に投入動作後、定位置に復帰する際の動作信号等;以下、投入信号ともいう。)を、制御装置40に対し出力するようになっている。他方、制御装置40では、投入信号が入力される毎に、投入枚数カウンタの値を「1」ずつ加算するようになっている。
なお、制御装置40が、ロードロック室6に対応する投入枚数計数装置として機能するのは、例えばロードロック室6の扉開放状態検出センサ63sにより扉63の開放状態が検出されているときなど、所定の条件が成立しているときに限られるものとすることが望ましい。また、例えば扉63の開放状態が検出されることにより、制御装置40では、ロードロック室6に対応する第1の投入枚数カウンタの値を初期化して「0」とすることがより望ましい。
また、同様に、制御装置40が、ロードロック室7に対応する投入枚数計数装置として機能するのは、例えばロードロック室7の扉開放状態検出センサ73sにより扉73の開放状態が検出されているときなどに限られ、例えば扉73の開放状態が検出されることにより、制御装置40では、第2の投入枚数カウンタの値を初期化して「0」とすることが望ましい。
また、製造装置10は、1枚のウェーハSを処理室に搬送する度に、ウェーハSを処理室に搬送したことを示す何らかの信号(例えば搬送ハンドラ4がロードロック室6に向かって伸張したことを示す信号。)を搬送状態検出スイッチ11によって検出し、搬送信号を制御装置40に対し出力するようになっている。他方、制御装置40では、搬送信号が入力される毎に、搬送回数カウンタの値を「1」ずつ加算するようになっている。
なお、制御装置40が、ロードロック室6に対応する搬送回数計数装置として機能するのは、例えばゲートバルブ開状態検出スイッチ64sによりロードロック室6と搬送室3との間のゲートバルブ64の開状態が検出されているときなど、所定の条件が成立しているときに限られるものとすることが望ましい。
また、例えばゲートバルブ64の開状態が検出開始されることにより、制御装置40では、ロードロック室6に対応する第1の搬送回数カウンタの値を初期化して「0」とするものとすることがより望ましい。
また、同様に、制御装置40が、ロードロック室7に対応する搬送回数計数装置として機能するのは、例えばゲートバルブ開状態検出スイッチ74sによりゲートバルブ74の開状態が検出されているときなどに限られ、例えばゲートバルブ74の開状態が検出開始されることにより、制御装置40では、第2の搬送回数カウンタの値を初期化して「0」とすることがより望ましい。
更に、制御装置40は、一連の気相成長(例えば本実施の形態の場合、1つのカセット30内のウェーハSのうち、上記マッピングにより認識された全てのウェーハSに対する気相成長)の後で、上記搬送回数カウンタの値と投入枚数カウンタの値とを比較し、双方の値が一致するか否かの判定を行うようになっている。
さらに、制御装置40は、上記判定の結果、搬送回数カウンタの値と投入枚数カウンタの値との両計数結果が一致しない場合、発報装置80を制御して、この旨を音により報知させるとともに、表示装置50を制御して、この旨を表示により報知させることができる。
製造システム100は、例えば、以上のように構成されているものとなっている。
次に、本発明に係るエピタキシャルウェーハの製造方法について、順を追って説明する。なお、実際は、ロードロック室6とロードロック室7を併用してエピタキシャルウェーハを製造することが通常であるが、ロードロック室6に係る動作とロードロック室7に係る動作とは同様であるため、以下では、簡単のため、ロードロック室6に係る動作説明のみを行うこととする。
製造装置10を用いてエピタキシャルウェーハを製造するには、先ず、ロードロック室6内のカセット30にウェーハSを投入する。この際には、予め、昇降台65を上昇させてカセット30を上側分室61に配しておく。また、この際には、上側分室61と下側分室62との間のゲートバルブ67を閉じておき、扉63を開けることにより上側分室61内に流入する製造装置外の雰囲気が下側分室62内(あるいは搬送室3内や処理室1内)に流入してしまうことがないようにしておく。
そして、複数枚のウェーハSを収納した外部カセット35を、移載装置20の前に配置する一方、ロードロック室6の扉63を開ける。すると、この扉63の開放状態を、扉開放状態検出スイッチ63sが検出する。すると、図4または図5に示すように、扉開放信号が出力状態に切り替わり(タイミングt1)、制御装置40がロードロック室6内のカセット30に投入されるウェーハSの投入枚数をカウントするための投入枚数計数装置として機能する状態となるとともに、第1の投入枚数カウンタの値が初期化されて「0」となる。
次に、移載装置20の移載ハンドにより、外部カセット35からウェーハSを一枚ずつ抜き取っては、このウェーハSをロードロック室6の上側分室61内のカセット30のスロットに投入する、といった作業を順次繰り返して、所要数N1のウェーハSをカセット30内に収納させる。
この際、1枚のウェーハSをカセット30に収納する毎に、投入信号が移載装置20から制御装置40に対し出力される。この投入信号が入力される毎に、制御装置40では、投入枚数カウンタのカウンタ値を「1」ずつ加算する(図4または図5)。なお、図4、図5では、簡単のため、投入信号および反応信号の数を2つ乃至1つと少なくしている。
このように、所要数N1のウェーハSをカセット30内に収納し終えたら、ロードロック室6の扉63を閉じる。すると、図4または図5に示すように、扉開放信号が非出力状態に切り替わり(タイミングt2)、制御装置40がロードロック室6に対応する投入枚数計数装置として機能しない状態となる。
ここで、タイミングt1からタイミングt2までの間、ウェーハSをロードロック室6内のカセット30に投入する毎に、第1の投入枚数カウンタのカウンタ値が順次加算された結果、タイミングt2の段階では該カウンタ値が前記所要数N1(ウェーハSの投入枚数と同じ)となっている。
次に、上部分室61内を減圧後、窒素を導入することにより、該上部分室61内を窒素置換する。次に、上側分室61内のカセット30を下側分室62に移動させるが、この移動の際に、該カセット30内のウェーハSをマッピングする。すなわち、昇降台65の下降に伴わせて該昇降台65上のカセット30を下降させる過程で、検出センサ66のところをウェーハSが通過する毎に光が遮断されるので、ウェーハSの数及び位置を求めることができる。
このマッピングの結果は、例えば図6に示すように、表示装置50の表示画面50aに表示される。表示画面50aには、具体的には、例えばロードロック室6内のカセット30の各スロットに対応するセル51(例えばA−Zの都合26個のセル51)と、ロードロック室7内のカセット30の各スロットに対応するセル52(例えばa−zの都合26個のセル52)とが表示され、このうちマッピングによりウェーハSが認識されたスロットに対応するセル51,52は、例えば色付き(図6では、色付きの状態を網掛けにより表現した)で表示される。
なお、このマッピングは、原因が不明であるが希に正確に行われない場合があり、例えば実際にはスロット内にウェーハSが収納されているにも拘わらず、認識漏れとなる場合がある。このマッピングにより求められたウェーハSの数をマッピング数Mとする。
そして、製造装置10では、上記マッピングにより認識されたウェーハSに対してのみ気相成長が行われる。従って、上記マッピングにより認識されず、「認識漏れ」となったウェーハSに対しては気相成長が行われない。
また、昇降台65の下降により、該昇降台65上のカセット30を完全に下部分室62内に納めたら、ゲートバルブ67を閉じる。
そして、下部分室62と搬送室3との間のゲートバルブ64と、搬送室3と処理室1との間のゲートバルブ5とを開ける。すると、このうちゲートバルブ64の開状態を、ゲートバルブ開状態検出スイッチ64sが検出する。すると、図4または図5に示すように、ゲートバルブ開信号が出力状態に切り替わり(タイミングt3)、制御装置40がロードロック室6に対応する搬送回数計数装置として機能する状態となるとともに、第1の搬送回数カウンタの値が初期化されて「0」となる。
この状態で、一連の成長作業を行う。すなわち、ロードロック室6の(下側分室62内の)カセット30内のウェーハSのうち、上記マッピングにより認識された全てのウェーハSに対し、枚葉式で順次気相成長を行う。
先ず、搬送室3のハンドラ4により、下部分室62内のカセット30から1枚目のウェーハSを抜き取り、このウェーハSを搬送室3を介して処理室1のサセプタ12上に載置する。この搬送動作に基づき、第1の搬送回数カウンタの値を「1」加算して「1」とする(図4または図5参照)。
その後、1枚目のウェーハSに対する気相成長が終了することによりエピタキシャルウェーハEPWを製造したら、該エピタキシャルウェーハEPWをハンドラ4により処理室1から搬出し、ロードロック室6の下部分室62内のカセット30のスロットのうち、1枚目のウェーハSが元々収納されていたスロットに戻す。
ウェーハSがエピタキシャルウェーハEPWとなって元のスロットに戻ってくると、例えば図7に示すように、該スロットに対応するセル51(例えばE〜Wのセル51等)の表示色(図7では、便宜上、色の違いを網掛けの違いにより表現した。)が変化するものとできる。
その後も、同様に、先ず、搬送室3のハンドラ4により、下部分室62内のカセット30から1枚目のウェーハSを抜き取り、このウェーハSを搬送室3を介して処理室1のサセプタ12上に載置する毎に、搬送信号が製造装置10から制御装置40に入力され、この入力に基づき、第1の搬送回数カウンタの値が順次「1」ずつ加算される。
その後、ロードロック室6のカセット内のウェーハSのうち、上記マッピングにより認識された全てのウェーハS(計M枚)に対する気相成長を終えたら、ゲートバルブ64を閉じる。すると、図4または図5に示すように、ゲートバルブ開信号が非出力状態に切り替わり(タイミングt4)、制御装置40がロードロック室6に対応する搬送回数計数装置として機能しない状態となる。ここで、タイミングt3からタイミングt4までの間、ロードロック室6内のカセット30内のウェーハSに対し、順次搬送を行う毎に、第1の搬送回数カウンタのカウンタ値が順次加算された結果、タイミングt4の段階では該カウンタ値が前記マッピング数Mとなり、これがN2となる。
また、ゲートバルブ開信号が非出力状態に切り替わると、制御装置40は、第1の搬送回数カウンタの値と、第1の投入枚数カウンタの値との比較を行い、ロードロック室6内のカセット30へのウェーハSの投入枚数と該カセット30内のウェーハSに対する搬送回数との両計数結果が一致するか否かの判定を行う。
仮に、上記マッピングが正確に行われていて、この結果、第1の搬送回数カウンタのカウンタ値(N2となっている)と、第1の投入枚数カウンタの値(N1となっている)とが等しい場合(図4の場合)には、制御装置40は、第1の投入枚数カウンタの値と第1の搬送回数カウンタの値とが一致すると判定し、認識する。この場合、例えば表示装置50にて、第1の投入枚数カウンタの値と第1の搬送回数カウンタの値とが一致する旨の報知を行うこととしても良い。
他方、上記マッピングが正確に行われず、ロードロック室6内のカセット30内のウェーハSのいずれかが認識漏れとなった場合(図5の場合)には、この認識漏れとなったウェーハSに対しては搬送が行われていないため、この認識漏れとなったウェーハSの数だけ、第1の搬送回数カウンタの値(N2)は、第1の投入枚数カウンタの値(N1)よりも小さくなる。この場合、制御装置40は、第1の投入枚数カウンタの値と第1の搬送回数カウンタの値とが一致しないと判定し、認識するとともに、発報装置80を制御して、一致しない旨を音により報知させることができる。
また、同様に、制御装置40は、表示装置50を制御して、この旨を表示により報知させることとしても良い。これにより、作業者は、ロードロック室6へのウェーハSの投入枚数と、ロードロック室6内のウェーハSに対する搬送回数とが一致しない旨を認識できる。
また、搬送室3と下部分室62との間のゲートバルブ64を閉じた後は、下部分室62内を窒素置換した後、下部分室62と上部分室61との間のゲートバルブ67を開け、昇降台65を上昇させて該昇降台65上のカセット30を上部分室61に移動させ、ゲートバルブ67を閉じてから扉63を開けて該カセット30内のエピタキシャルウェーハEPW(一致しない場合はウェーハSも)を取り出す。
以上のような実施の形態によれば、ロードロック室6(又は7)内に配したカセット30に移載装置20により投入するウェーハSの投入枚数N1を計数する一方、該カセット30内のウェーハSが処理室に搬送された回数N2を計数し、該搬送回数と該投入枚数との両計数結果が一致するか否かを判定するので、万一、ロードロック室6(又は7)に投入したウェーハSの枚数と、該カセット30内のウェーハSのうち、処理室に搬送されたウェーハSの枚数とが一致しない場合、すなわち処理が行われなかったウェーハSの存在を認識することができる。
さらに、一致しない場合には、この旨を発報装置80あるいは表示装置50により報知するので、カセット30に投入されたにも拘わらず、処理室に搬送されず一連の気相成長作業により気相成長が行われなかったウェーハS(以下;未反応ウェーハともいう。)があることを作業者が認識することができる。従って、例えば未反応ウェーハがあることに気づかずに後工程に流してしまうことを防止することができる。
なお、上記の実施の形態では、ウェーハの処理方法として、エピタキシャルウェーハの製造方法を例示し、ウェーハの処理装置として、エピタキシャルウェーハの製造装置10を例示したが、本発明はこれに限らず、例えばその他の気相成長方法や気相成長装置などであっても良く、更にウェーハに対して枚葉式で処理を行う場合であれば、本発明のウェーハの処理方法やウェーハの処理システムが適用できることはいうまでもない。
また、制御装置40が、製造装置10とも移載装置20とも別体の装置である例について説明したが、本発明はこれに限らず、制御装置40は、製造装置10あるいは移載装置20と一体の装置であっても良い。
さらに、移載装置20によりカセット30に投入するウェーハSの枚数(投入枚数)のみを計数し、各ウェーハSの収納箇所のデータは作成しない例について説明したが、移載装置20によりカセット30に投入するウェーハSの収納箇所のデータも作成し、処理を行ったウェーハSの収納箇所のデータと比較する(例えば両方のデータを表示画面50aに表示し、この表示したデータを視認することにより比較する)ようにすれば、どのウェーハSが気相成長されていないかをより分かりやすくすることができる。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
1…処理室、 3…搬送室、 4…ハンドラ、 5…ゲートバルブ、 6,7…ロードロック室、
10…製造装置、 11…搬送状態検出スイッチ、 12…サセプタ、
20…移載装置、
30…カセット、 35…外部カセット、
40…制御装置、 41…CPU、 42…ROM、 43…RAM、
50…表示装置、 50a…表示画面、 51,52…セル、
61,71…上側分室、 62,72…下側分室、 63,73…扉、 63s,73s…扉開放状態検出スイッチ、 64,74…ゲートバルブ、 64s,74s…ゲートバルブ開状態検出スイッチ、 65,75…昇降台、 66,76…検出センサ、 67,77…ゲートバルブ、
80…発報装置、
100…製造システム、
S…ウェーハ。

Claims (8)

  1. 少なくとも、ウェーハの処理装置のロードロック室内に配したカセットに複数枚のウェーハを収納し、前記カセットから前記ウェーハを処理室に順次搬送して、該搬送した前記ウェーハに枚葉式で所定の処理を施すウェーハの処理方法において、
    前記カセットに移載装置によって前記ウェーハを投入する際に、前記ウェーハの投入枚数N1を計数する一方、前記カセットから前記処理室へウェーハを搬送した回数N2を計数し、前記N1と前記N2が一致するか否かを判定することを特徴とするウェーハの処理方法。
  2. 前記判定において、前記N1と前記N2が一致しない場合に、不一致を報知することを特徴とする請求項1に記載のウェーハの処理方法。
  3. 少なくとも、複数枚のウェーハを収納可能なカセットが配されるロードロック室と、該ロードロック室内の前記カセットから順次搬送されるウェーハに枚葉式で所定の処理を施すための処理室を備えるウェーハの処理装置と、
    前記ロードロック室内に配した前記カセットに複数枚のウェーハを順次投入して収納させる移載装置と、
    該移載装置により前記カセットに投入される前記ウェーハの投入枚数を計数する投入枚数計数装置と、
    前記ロードロック室内に配したカセットから前記処理室へウェーハを搬送した回数を計数する搬送回数計数装置と、
    前記投入枚数計数装置により計数される投入枚数と、前記搬送回数計数装置により計数される搬送回数とが一致するか否かを判定する制御装置とを備えることを特徴とするウェーハの処理システム。
  4. 前記制御装置による判定の結果、前記投入枚数と前記搬送回数が一致しない場合に、不一致を報知する発報装置を更に備えることを特徴とする請求項3に記載のウェーハの処理システム。
  5. 少なくとも、エピタキシャルウェーハ製造装置のロードロック室内に配したカセットに複数枚のウェーハを収納し、前記カセットから前記ウェーハを順次処理室に搬送して、該搬送した前記ウェーハに枚葉式で前記ウェーハの主表面上に単結晶薄膜を気相エピタキシャル成長することによってエピタキシャルウェーハを製造するエピタキシャルウェーハの製造方法において、
    前記カセットに移載装置によって前記ウェーハを投入する際に、前記ウェーハの投入枚数N1を計数する一方、前記カセットから前記気相エピタキシャル処理室へ前記ウェーハを搬送した回数N2を計数し、前記N1と前記N2が一致するか否かを判定することを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法。
  6. 前記判定において、前記N1と前記N2が一致しない場合に、不一致を報知することを特徴とする請求項5に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
  7. 少なくとも、複数枚のウェーハを収納可能なカセットが配されるロードロック室と、該ロードロック室内の前記カセットから順次搬送されるウェーハの主表面上に枚葉式で単結晶薄膜を気相エピタキシャル成長するための処理室を備えるエピタキシャルウェーハの製造装置と、
    前記ロードロック室内に配したカセットに複数枚のウェーハを順次投入して収納させる移載装置と、
    該移載装置により前記カセットに投入される前記ウェーハの投入枚数を計数する投入枚数計数装置と、
    前記ロードロック室内に配したカセットから前記処理室へウェーハを搬送した回数を計数する搬送回数計数装置と、
    前記投入枚数計数装置により計数される投入枚数と、前記搬送回数計数装置により計数される搬送回数とが一致するか否かを判定する制御装置とを備えることを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造システム。
  8. 前記制御装置による判定の結果、前記投入枚数と前記搬送回数が一致しない場合に、不一致を報知する発報装置を更に備えることを特徴とする請求項7に記載のエピタキシャルウェーハの製造システム。
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