JP2010541123A - 高パワー動作のためのホイールカバーを有するガス放電光源のための回転ホイール電極 - Google Patents
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Abstract
Description
−ホイールカバー入口11と、
−液体金属入口13及び出口14を持つ冷却チャネル12と、
−冷却チャネル12の直後に配置されたワイパ17と、
−液体金属注入ユニット26と、
−放電位置20に露出された液体金属カバー部分28と、
を有する。
2 電極素子
3 コンデンサバンク
4 電源
5 エネルギービーム
6 放電位置
7 回転電極ホイール
8 ホイールカバー
9 液体金属ポンプ
10 冷却装置
11 カバー入口
12 冷却チャネル
13 液体金属入口
14 液体金属出口
15 プレワイパ
16 カバーされた部分
17 最終ワイパ
18 オーバフローチャネル
19 カバーされない部分
20 放電位置
21 中央領域
22 回転軸
23 ギャップ
24 外周面
25 側面
26 液体金属注入ユニット
27 ワイパ
28 液体金属カバー部分
29 液体金属ビーズ
30 カバーされない部分
Claims (17)
- ガス放電光源のための電極素子であって、前記電極素子は少なくとも、
回転軸のまわりに回転方向に回転可能な電極ホイールであって、2つの側面の間に外周面を持つ電極ホイールと、
前記外周面及び前記側面の一部をカバーする電極ホイールカバーと、
を有し、前記カバーは、前記カバーと、前記外周面及び前記側面の径方向外側部分との間に、円周方向に冷却チャネルを形成するように構成され、前記冷却チャネルは、前記冷却チャネルを通る液体物質の流れを実現して、前記液体物質により前記電極ホイールを冷却するための、前記カバーにおいて入口及び出口開口を有し、前記カバーは更に、
前記カバーと、前記円周方向に前記冷却チャネルを延長した位置における前記外周面との間にギャップを形成するように構成され、前記ギャップが、前記冷却チャネルよりも小さな流れ断面を持ち、前記電極ホイールの回転の間に、前記外周面に形成される前記液体物質の膜の厚さを制限するように構成されるか、又は
前記冷却チャネルを通って流れる前記液体物質からの、前記円周方向に前記冷却チャネルを延長した位置における斯かる膜の形成を抑制するように構成された、電極素子。 - 前記電極ホイールカバーは、前記膜の形成を抑制するための又はとり得る最小の厚さに前記膜の厚さを制限するための少なくとも1つのワイパユニットを有する、請求項1に記載の素子。
- 前記カバーとガス放電生成の位置との間で前記外周面に液体物質を塗布するように構成された液体物質塗布ユニットを更に有する、請求項1又は2に記載の素子。
- 前記液体物質塗布ユニットは、前記外周面に形成される前記物質の薄いビーズが前記面の幅全体をカバーしないように前記液体物質を塗布するように構成された、請求項3に記載の素子。
- 前記出口開口は、供給線及び冷却装置を介して前記入口開口に接続されて冷却回路を形成し、前記冷却装置は、前記カバーの前記入口開口に供給される前記液体物質を冷却するように構成された、請求項1に記載の素子。
- 前記冷却回路中にポンプが配置され、前記ポンプは前記冷却回路において前記液体物質を循環させるように構成された、請求項5に記載の素子。
- 前記冷却回路は、前記冷却チャネルを通る前記電極ホイールの回転方向における前記液体物質の流れを提供するように構成された、請求項5又は6に記載の素子。
- 前記入口及び出口開口は、前記電極ホイールの円周に対して基本的に接線方向に延在するように構成された、請求項1に記載の素子。
- 前記カバーは、前記電極ホイールの大部分の周縁部に亘って延在する、請求項1に記載の素子。
- 前記ギャップの開口端においてワイパユニットが配置され、前記ワイパユニットは、前記電極ホイールの回転の間、前記外周面における液体物質膜の厚さを更に制限するように構成された、請求項1に記載の素子。
- 前記ワイパユニットは、前記電極ホイールの回転の間、前記外周面に隣接する前記側面の部分における前記液体物質を取り除くように構成された、請求項10に記載の素子。
- 余分な液体物質を排出するため、前記ギャップの前記開口端にオーバフローチャネルが形成された、請求項10に記載の素子。
- 前記冷却チャネルと前記ギャップとの間にワイパユニットが配置され、前記ワイパユニットは、前記外周面における前記液体物質膜の厚さを制限し、前記電極ホイールの回転の間に前記側面から液体物質を取り除くように構成された、請求項1に記載の素子。
- 前記カバーの少なくとも一部が導電性であり、前記カバー及び前記液体物質を介して、前記電極ホイールへの電流の供給を可能とする、請求項1に記載の素子。
- 請求項1に記載の電極素子を有するガス放電光源であって、前記電極素子は、放電領域において最小の距離を持つように構成された、前記ガス放電光源の2つの電極のうちの少なくとも一方を形成する、ガス放電光源。
- 請求項15に記載のガス放電光源を動作させる方法であって、前記冷却チャネルにおける前記液体物質の流速が前記電極ホイールの周速ω・Rよりも高く、ここでω=2πfは角回転振動数であり、Rは電極ホイールの半径である方法。
- 請求項15に記載のガス放電光源を動作させる方法であって、前記電極ホイールは角振動数ωで駆動され、回転の間に前記外周面における前記液体物質に作用する遠心力ω2・Rが、重力加速度g=9.81m/s2よりも大きいことを確実にし、ここでRは前記電極ホイールの半径である方法。
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