JP2010541039A - ウェハidを同時に読み取るための方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
半導体デバイス、LCDパネル及びその他のものを製造するプロセスにおいて、多くの加工機器、ひいては多くの製造工程が存在する。通常はキャリヤボックスに貯蔵された加工物を1つの位置から別の位置へ、また、1つの機器から別の機器へ搬送するためにロボットが使用されることができる。加工システムにおいて、加工物をキャリヤボックスから取り出し、ロードロックに装填するために通常はロボットが使用される。別のロボットは、加工物をロードロックから加工チャンバへ、また、1つの加工チャンバから別の加工チャンバへ移動させるために使用されることができる。加工システムは、ストッカシステム、ソータシステム、ID読取りシステム、蒸着システム、エッチングシステム、リソグラフィシステム、計測システム、検査システム、注入システム、処理システム、又はあらゆる加工物加工システムであることができる。
本発明は、加工物から上側及び下側のイメージを、単独で又は同時に観察し且つ読み取るための装置及び方法を開示する。典型的な実施形態において、イメージは、英数字又はバーコードを用いて、加工物の周縁部にエッチング又は刻まれた識別(ID)マークであることができる。アセンブリは、受け取るイメージを、コンピュータが容易に理解及び区別することができる対象物に変換するために、OCR等のイメージ認識ソフトウェアを有することができる。
本発明は、半導体加工物に設けられた複数のマークを観察するための光学系に関する。典型的な実施形態において、本発明の光学系は、上面又は下面に配置されたウェハIDを読み取ることができる。別の典型的な実施形態において、本発明の光学系は、上面及び/又は下面に配置されたウェハIDを同時に読み取ることができる。本発明の光学系は、上側及び下側のウェハIDを同時に受け取るための単純で且つ信頼できる機構を提供する。光学系のコンパクトな寸法は、パッケージ寸法を縮小し、取付けを単純化することができる。プリズム光学系等の光学素子の構成は、カメラの水平方向のパッケージングを提供することができ、このことは、特に2つのエンドエフェクタ用途において、OCR能力の搭載一体化にとって有利である。さらに、ウェハの照明中の環境からの干渉光を減じることによりコントラストを改善することができる。説明は、ウェハに関連した光学系を説明しているが、レチクル、フラットパネル等の一般的な半導体加工物に適用されることができる。
Claims (20)
- 加工物の上側区分及び下側区分を読み取るためのID読取り機において、
開口を備えた包囲体と、
包囲体に接続されたカメラと、
第1の経路を加工物の上側区分から開口へ及びカメラへ案内するために包囲体内に配置された第1の光屈曲アセンブリとが設けられていることを特徴とする、加工物の上側区分及び下側区分を読み取るためのID読取り機。 - 第2の経路を加工物の下側区分から開口へ及びカメラへ案内するために包囲体内に配置された第2の光屈曲アセンブリが設けられていることを特徴とする、請求項1記載のID読取り機。
- 包囲体の開口からカメラへの第1の経路及び第2の経路が実質的に対称的であることを特徴とする、請求項2記載のID読取り機。
- 加工物が、IDを読み取るために開口内に配置されていることを特徴とする、請求項1記載のID読取り機。
- 光屈曲アセンブリが、複数の光学式反射素子を含むことを特徴とする、請求項1記載のID読取り機。
- 包囲体が、光屈曲アセンブリの光学経路を被覆し、実質的に周辺光がカメラに到達することを阻止していることを特徴とする、請求項1記載のID読取り機。
- 同軸光源アセンブリが設けられていることを特徴とする、請求項1記載のID読取り機。
- 加工物表面に対して鋭角に加工物を照明するための非同軸光源が設けられていることを特徴とする、請求項1記載のID読取り機。
- 第1及び第2の光屈曲アセンブリがカメラにおいて別個のイメージを形成することを特徴とする、請求項2記載のID読取り機。
- 第1及び第2の光屈曲アセンブリがカメラにおいて重ねられたイメージを形成することを特徴とする、請求項2記載のID読取り機。
- 加工物の上側区分及び下側区分を同時に読み取るための位置合わせ装置/読取り機において、
加工物を回転させるための回転チャックと、
開口を備えた包囲体とが設けられており、前記開口が、加工物が回転する間に加工物の一部を包囲しており、
包囲体に接続されたカメラが設けられており、
第1の経路を加工物の上側区分から開口へ及びカメラへ案内するために包囲体内に配置された第1の光屈曲アセンブリが設けられており、
第2の経路を加工物の下側区分から開口へ及びカメラへ案内するために包囲体内に配置された第2の光屈曲アセンブリが設けられていることを特徴とする、加工物の上側区分及び下側区分を同時に読み取るための位置合わせ装置/読取り機。 - 同軸光源アセンブリが設けられていることを特徴とする、請求項1記載の位置合わせ装置/読取り機。
- 加工物表面に対して鋭角で加工物を照明するための非同軸光源が設けられていることを特徴とする、請求項1記載の位置合わせ装置/読取り機。
- 第1及び第2の光屈曲アセンブリがカメラにおいて別個のイメージを形成することを特徴とする、請求項1記載の位置合わせ装置/読取り機。
- 第1及び第2の光屈曲アセンブリがカメラにおいて重ねられたイメージを形成することを特徴とする、請求項1記載の位置合わせ装置/読取り機。
- ロボットアセンブリにおいて、
加工物を受け渡すためのエンドエフェクタと、
加工物を回転させるための、ロボットアセンブリのボディ内に配置された回転チャックと、
開口を備えた包囲体とが設けられており、前記開口が、加工物が回転する間に加工物の一部を包囲し、
包囲体に接続されたカメラが設けられており、
第1の経路を加工物の上側区分から開口へ及びカメラへ案内するために包囲体内に配置された第1の光屈曲アセンブリが設けられており、
第2の経路を加工物の下側区分から開口へ及びカメラへ案内するために包囲体内に配置された第2の光屈曲アセンブリが設けられており、
カメラが、IDマーク識別のために加工物の上側及び下側を同時に読み取ることを特徴とする、ロボットアセンブリ。 - 同軸光源アセンブリが設けられていることを特徴とする、請求項1記載のロボットアセンブリ。
- 加工物表面に対して鋭角で加工物を照明するための非同軸光源が設けられていることを特徴とする、請求項1記載のロボットアセンブリ。
- 第1及び第2の光屈曲アセンブリがカメラにおいて別個のイメージを形成することを特徴とする、請求項1記載のロボットアセンブリ。
- 第1及び第2の光屈曲アセンブリが、カメラにおいて重ねられたイメージを形成することを特徴とする、請求項1記載のロボットアセンブリ。
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