JP2010538272A5

JP2010538272A5 -

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Publication number: JP2010538272A5
Application number: JP2010523110A
Authority: JP
Filing date: 2008-08-27
Publication date: 2011-09-22

Claims

試料を検査するためのシステムであって、該システムは、
２重チャンネル顕微鏡と、
二つの照明装置であって、各々が前記２重チャンネル顕微鏡の異なるチャンネルを照明するために連結されている二つの照明装置と、
二つの検出器であって、各々が試料のイメージを取得するために、前記２重チャンネル顕微鏡の異なるチャンネルに連結されている二つの検出器と、
前記二つの検出器が実質的に同時に前記試料のイメージを得ることができるように、前記２重チャンネル顕微鏡のチャンネルを分離するための手段と、
を備えるシステム。
請求項１に記載のシステムであって、
前記照明装置の少なくとも一つは広帯域の照明光源を含む、システム。
請求項１に記載のシステムであって、
前記照明装置の少なくとも一つは発光ダイオード(ＬＥＤ)光源を含む、システム。
請求項３に記載のシステムであって、
前記ＬＥＤ光源は、各発光ダイオードに白色光を出力させることができるコーティングを有する発光ダイオードアレイを含む、システム。
請求項３に記載のシステムであって、
前記ＬＥＤ光源は、各々実質的に異なるスペクトルの範囲の光を出力するよう構成された２つ以上の異なる色の発光ダイードを含む、システム。
請求項１に記載のシステムであって、
前記手段は、二つの実質的に重なり合わないスペクトルの範囲に光が生成されるか又はフィルターされるように前記二つの照明装置を構成することにより、前記２重チャンネル顕微鏡のチャンネルをスペクトル的に分離することを含む、システム。
請求項６に記載のシステムであって、
前記二つの照明装置は各々、前記２重チャンネル顕微鏡に明視野照明を供給するために連結される、システム。
請求項６に記載のシステムであって、
前記二つの照明装置は各々、前記２重チャンネル顕微鏡に暗視野照明を提供するために連結される、システム。
請求項６に記載のシステムであって、
前記二つの照明装置は、前記２重チャンネル顕微鏡に明視野照明と暗視野照明を提供するために別々に連結される、システム。
請求項１に記載のシステムであって、さらに、
前記二つの照明装置によって試料に提供される照明に応じて試料から発生する光を受光するために連結した対物レンズを含む、システム。
請求項１０に記載のシステムであって、
前記二つの検出器は各々、それぞれの検出器が前記試料から発生する光の一部分を受光することができる視野を有し、
前記手段が、前記照明装置と前記検出器を、前記二つの照明装置によって提供される照明が対物レンズの視野内で重なり合わず、かつ、前記二つの検出器の視野が対物レンズの視野内で重なり合わないように配置することにより、前記２重チャンネル顕微鏡のチャンネルを空間的に分離することを含む、システム。
請求項１１に記載のシステムであって、
前記二つのチャンネル間のクロス・トークは、前記二つの照明装置のうちの一つからの照明路が別の照明装置の照明路と交叉するように、前記二つの照明装置を配置することにより減少される、システム。
請求項１１に記載のシステムであって、
前記二つの照明装置のうちの一つは、前記対物レンズを通して前記試料に明視野照明を提供するために連結され、別の照明装置が、前記対物レンズの外側から前記試料に暗視野照明を提供するために連結される、システム。
請求項１１に記載のシステムであって、
前記二つの照明装置は各々、前記対物レンズの外側から試料に暗視野照明を提供するために連結される、システム。
請求項１１に記載のシステムであって、
前記二つの照明装置のうちの一つはレーザ光源を含み、別の照明装置がＬＥＤ光源を含む、システム。
請求項１１に記載のシステムであって、
前記二つの照明装置は各々ＬＥＤ光源を含む、システム。
試料を検査するためのシステムであって、該システムは、
一対の照明サブシステムであって、光の第１ビームおよび光の第２ビームを実質的に同時に試料に向けるために連結され、前記一対の照明サブシステムの少なくとも一つは発光ダイオード(ＬＥＤ)光源を含むサブシステムと、
対物レンズであって、前記光の第１ビームと第２ビームに応じて前記試料から発生する光を受光するために連結されたレンズと、
一対の検出サブシステムであって、各々は、前記試料から発生する光のそれぞれの部分に応じて、出力信号を発生するために連結され、当該出力信号を実質的に同時に発生するサブシステムと、
を備えるシステム。
請求項１７に記載のシステムであって、
前記ＬＥＤ光源は、各発光ダイオードに白色光を出力させることができるコーティングを有する発光ダイオードアレイを含む、システム。
請求項１７に記載のシステムであって、
前記ＬＥＤ光源は、少なくとも二つの異なる色のＬＥＤを含む発光ダイオードアレイを含む、システム。
請求項１９に記載のシステムであって、
前記ＬＥＤ光源は、前記アレイ中の各ＬＥＤにほぼ同じ量の電流を供給することにより、白色光を出力するように構成することができる、システム。
請求項１９に記載のシステムであって、
前記ＬＥＤ光源は、前記アレイ中の一つ以上のＬＥＤに供給する電流の量を変えることにより、実質的に異なるスペクトルの範囲の光を出力するためにカスタマイズすることができる、システム。
請求項１７に記載のシステムであって、
前記一対の照明サブシステムは、各々明視野照明装置を含む、システム。
請求項１７に記載のシステムであって、
前記一対の照明サブシステムは、各々暗視野照明装置を含む、システム。
請求項１７に記載のシステムであって、
前記一対の照明サブシステムは、一つの明視野照明装置および一つの暗視野照明装置を含む、システム。
請求項１７に記載のシステムであって、
各検出サブシステムは、前記対物レンズの視野内に配置される視野を有する、システム。
請求項２５に記載のシステムであって、さらに、
前記光の第１のビームに応じて前記試料から発生する光が、前記光の第２のビームに応じて前記試料から発生する光を妨害するのを防ぐように構成した分離手段を備える、システム。
請求項２６に記載のシステムであって、
前記分離手段は、前記一対の照明サブシステムを、各々が実質的に異なり、重なり合わないスペクトルの範囲で光を発生するように構成することにより提供される、システム。
請求項２６に記載のシステムであって、
前記分離手段は、前記一対の照明サブシステムおよび一対の検出サブシステムを載置することで提供され、
前記光の第１ビームと第２ビームを、前記対物レンズの視野内でお互いから空間的に分離し、且つ
前記検出サブシステムの視野を、前記対物レンズの視野内でお互いから空間的に分離するようにする、システム。
同時に明視野照明と暗視野照明を行って試料を検査する方法であって、該方法は、
一つの光源で明視野照明を形成し、別の光源で暗視野照明を形成する工程と、
実質的に同時に、試料に明視野照明および暗視野照明を与える工程と、
実質的に同時に、明視野照明に応じて試料から反射する光、及び、暗視野照明に応じて試料から散乱する光を検出する工程と、
を備える方法。
請求項２９に記載の方法であって、
前記形成工程は、発光ダイオード(ＬＥＤ)光源を使用して、明視野照明、暗視野照明、或いは両方を形成することを含む、方法。
試料を検査するためのシステムであって、該システムは、
前記試料に光を向けるために結合された少なくとも一つの照明サブシステムであって、発光ダイオード(ＬＥＤ)光源を含む照明サブシステムと、
前記試料から発生する光に応じて出力信号を生成するために連結された少なくとも一つの検出サブシステムであって、当該出力信号を使用して試料上の欠陥を検出する検出サブシステムと、
を備えるシステム。
請求項３１に記載のシステムであって、
前記ＬＥＤ光源は、各発光ダイオードに白色光を出力させることができるコーティングを有する発光ダイオードアレイを含む、システム。
請求項３１に記載のシステムであって、
前記ＬＥＤ光源は、少なくとも二つの異なる色のＬＥＤを含む発光ダイオードアレイを含む、システム。
請求項３３に記載のシステムであって、
前記ＬＥＤ光源は、前記アレイ中の各ＬＥＤにほぼ同じ量の電流を供給することにより、白色光を出力するように構成することができる、システム。
請求項３３に記載のシステムであって、
前記ＬＥＤ光源は、前記アレイ中の一つ以上のＬＥＤに供給する電流の量を変えることにより、実質的に異なるスペクトルの範囲の光を出力するためにカスタマイズすることができる、システム。