JP2010535329A - 非接触測定システム - Google Patents
非接触測定システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010535329A JP2010535329A JP2010518544A JP2010518544A JP2010535329A JP 2010535329 A JP2010535329 A JP 2010535329A JP 2010518544 A JP2010518544 A JP 2010518544A JP 2010518544 A JP2010518544 A JP 2010518544A JP 2010535329 A JP2010535329 A JP 2010535329A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- measurement system
- calibration
- signal waveguide
- contact measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/07—Non contact-making probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/28—Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response
- G01R27/32—Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response in circuits having distributed constants, e.g. having very long conductors or involving high frequencies
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/20—Modifications of basic electric elements for use in electric measuring instruments; Structural combinations of such elements with such instruments
- G01R1/24—Transmission-line, e.g. waveguide, measuring sections, e.g. slotted section
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
- G01R31/2822—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere of microwave or radiofrequency circuits
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/312—Contactless testing by capacitive methods
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/315—Contactless testing by inductive methods
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R35/00—Testing or calibrating of apparatus covered by the other groups of this subclass
- G01R35/005—Calibrating; Standards or reference devices, e.g. voltage or resistance standards, "golden" references
Abstract
Description
Claims (22)
- 信号導波路(26)上を進む信号を非接触式に減結合するための結合構造の一部分を形成する少なくとも1つの試験プローブ(28)を備え、前記信号導波路(26)が、導体トラック、及び電気回路の回路基板(24)上の電気回路(52)の一部分として形成される非接触測定システムであって、
少なくとも1つの接触構造(18;44)が、前記信号導波路(26)から直流的に分離され、前記結合構造の一部分を形成し、前記信号導波路(26)の近接場の範囲内に全体が配置され、試験プローブ(28)の接点が電気的に接触できる少なくとも1つの接点(42)を備えるように、前記回路基板(24)に配置、形成されることを特徴とする、非接触測定システム。 - 請求項1に記載の非接触測定システムにおいて、
前記接触構造が、前記回路基板(24)上の導体トラックとして形成されることを特徴とする非接触測定システム。 - 先行する請求項のいずれか一項に記載の非接触測定システムにおいて、
試験プローブ(28)がインピーダンス制御された形で接触できるように、前記接触構造が形成されることを特徴とする非接触測定システム。 - 先行する請求項のいずれか一項に記載の非接触測定システムにおいて、
少なくとも1つの接触構造が、内側導体(20)および外側導体(22)を備える結合導波路(18)として形成されることを特徴とする非接触測定システム。 - 先行する請求項のいずれか一項に記載の非接触測定システムにおいて、
少なくとも1つの接触構造(44)が、試験プローブ(28)の接点における少なくとも1つの接点または接触面として形成されることを特徴とする非接触測定システム。 - 先行する請求項のいずれか一項に記載の非接触測定システムにおいて、
前記接触構造(18;44)および/または前記信号導波路(26)が、前記回路基板(24)上のプリント導体トラックとして形成されることを特徴とする非接触測定システム。 - 先行する請求項のいずれか一項に記載の非接触測定システムにおいて、
前記回路基板(24)が、プリント回路基板(PCB)またはウエハとして形成されることを特徴とする非接触測定システム。 - 先行する請求項のいずれか一項に記載の非接触測定システムにおいて、
前記接触構造が導波路として形成され、誘導結合係数と容量結合係数の比が、前記接触構造の個々の導波路の波動インピーダンスの積と等しいことを特徴とする非接触測定システム。 - 先行する請求項のいずれか一項に記載の非接触測定システムにおいて、
前記結合構造が、測定ポート当たり、少なくとも1つ、詳細には2つの接触構造(18;44)を有することを特徴とする非接触測定システム。 - 先行する請求項のいずれか一項に記載の非接触測定システムにおいて、
前記回路基板(24)が、複数の基板層を備える多層基板であり、前記信号導波路(26)が、前記多層基板の第1の基板層上に形成され、少なくとも1つの接触構造(18;44)が、前記多層基板の前記第1の基板層、または少なくとも1つのその他の基板層上に形成されることを特徴とする非接触測定システム。 - 請求項10に記載の非接触測定システムにおいて、
前記接触構造(18;44)の少なくとも2つが、前記多層基板(24)の異なる基板層上に配置されることを特徴とする非接触測定システム。 - 先行する請求項のいずれか一項に記載の非接触測定システムにおいて、
前記少なくとも1つの接触構造(18;44)が、オンウエハ試験プローブまたはPCB試験プローブによる接触によりインピーダンス制御された境界面をもたらすように形成、配置される接点(42)を有することを特徴とする非接触測定システム。 - 先行する請求項のいずれか一項に記載の非接触測定システムにおいて、
少なくとも1つの信号導波路(26)に接続された少なくとも1つの較正要素(48)もまた、前記回路基板(24;46)上に配置され、前記少なくとも1つの信号導波路(26)上に、少なくとも1つの接触構造(18;44)が、較正要素(48)の信号導波路(26)にある接触構造(18;44)の配置が前記電気回路(52)の信号導波路(26)にある接触構造(18;44)の配置に対応するように配置されることを特徴とする非接触測定システム。 - 請求項13に記載の非接触測定システムにおいて、
前記較正要素(48)として、短絡回路標準器、開放回路標準器、抵抗標準器および/または導体標準器が、前記回路基板(24;46)上に設けられることを特徴とする非接触測定システム。 - 請求項13又は請求項14に記載の非接触測定システムにおいて
少なくとも1つの較正要素(48)が、前記非接触測定システムの測定ポートの数に対応する数の信号導波路(26)に接続されることを特徴とする非接触測定システム。 - 請求項13ないし請求項15の少なくとも一項に記載の非接触測定システムにおいて、
前記較正要素(48)の信号導波路(26)にある、前記非接触測定システムの測定ポートに割り当てられた少なくとも1つの接触構造(18;44)が、前記電気回路(52)の信号導波路(26)にある、前記非接触測定システムの前記測定ポートに割り当てられた少なくとも1つの接触構造(18;44)と同一に構成されることを特徴とする非接触測定システム。 - 信号導波路(26)上を進む信号を非接触式に減結合するための結合構造の一部分を形成する少なくとも1つの試験プローブを備え、少なくとも1つの較正要素(48)、詳細には短絡回路標準器、開放回路標準器、抵抗標準器、または導体標準器が、較正基板上に設けられ、前記少なくとも1つの較正要素が、少なくとも1つの信号導波路(26)、詳細にはマイクロストリップ線路またはコプレーナ導波路に電気的に接続される非接触測定システムの較正基板であって、
少なくとも1つの接触構造(44)が前記信号導波路(26)から直流的に分離され、前記結合構造の一部分を形成し、前記信号導波路(26)の近接場の範囲内に全体が配置され、試験プローブ(28)の接点が電気的に接触できる少なくとも1つの接点(42)を備えるように構成/配置される回路基板(46)として、構成されることを特徴とする較正基板。
- 請求項17に記載の較正基板において、
前記非接触測定システムが、請求項1ないし12のうちの少なくとも一項に従って構成されることを特徴とする較正基板。 - 請求項18に記載の較正基板において
前記較正要素(48)の信号導波路(26)にある、前記非接触測定システムの測定ポートに割り当てられた少なくとも1つの接触構造(44)が、前記電気回路(52)の信号導波路(26)にある、前記非接触測定システムの前記測定ポートに割り当てられた少なくとも1つの接触構造(44)と同一に形成されることを特徴とする記載の較正基板。 - 請求項17ないし請求項19のうちの少なくとも一項に記載の較正基板において、
少なくとも1つの較正要素(48)が、前記非接触測定システムの測定ポートの数に対応する数の信号導波路(26)に接続されることを特徴とする較正基板。 - 請求項17ないし請求項20のうちの少なくとも一項に記載の較正基板において、
少なくとも1つの信号導波路(26)を有する少なくとも1つの電気回路(52)が、前記較正基板の前記回路基板(46)上に配置され、少なくとも1つの接触構造(44)が、前記電気回路(52)の信号導波路(26)にある接触構造(44)の配置が較正要素(44)の信号導波路(26)にある接触構造(44)の配置に対応するように、前記信号導波路上に配置されることを特徴とする較正基板。 - 請求項21に記載の較正基板において、
前記較正要素(48)の信号導波路(26)にあり、前記非接触測定システムの測定ポートに割り当てられた少なくとも1つの接触構造(44)が、前記電気回路(52)の信号導波路(26)にある、前記非接触測定システムの前記測定ポートに割り当てられた前記較正基板上の少なくとも1つの接触構造(44)と同一に形成されることを特徴とする較正基板。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE202007010784U DE202007010784U1 (de) | 2007-08-03 | 2007-08-03 | Kontaktloses Messsystem |
DE202007010784.6 | 2007-08-03 | ||
PCT/EP2008/006098 WO2009018928A1 (de) | 2007-08-03 | 2008-07-24 | Kontaktloses messsystem |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010535329A true JP2010535329A (ja) | 2010-11-18 |
JP2010535329A5 JP2010535329A5 (ja) | 2011-07-28 |
JP5580736B2 JP5580736B2 (ja) | 2014-08-27 |
Family
ID=38565387
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010518544A Active JP5580736B2 (ja) | 2007-08-03 | 2008-07-24 | 非接触測定システム |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8803538B2 (ja) |
EP (2) | EP2341354B1 (ja) |
JP (1) | JP5580736B2 (ja) |
CN (1) | CN101790690B (ja) |
AT (2) | ATE530920T1 (ja) |
CA (1) | CA2695403C (ja) |
DE (1) | DE202007010784U1 (ja) |
HK (2) | HK1145041A1 (ja) |
TW (1) | TWM348941U (ja) |
WO (1) | WO2009018928A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023223541A1 (ja) * | 2022-05-20 | 2023-11-23 | 日本電信電話株式会社 | 誘電分光測定装置 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202008009469U1 (de) * | 2008-07-15 | 2008-09-11 | Rosenberger Hochfrequenztechnik Gmbh & Co. Kg | Messsonde |
DE202008010533U1 (de) * | 2008-08-07 | 2008-10-30 | Rosenberger Hochfrequenztechnik Gmbh & Co. Kg | Kontaktlose Schleifensonde |
US9244145B2 (en) * | 2011-06-30 | 2016-01-26 | Amber Precision Instruments, Inc. | System and method for measuring near field information of device under test |
CN103064011B (zh) * | 2012-12-27 | 2015-12-23 | 广州中大微电子有限公司 | 一种rfid读写器芯片中测系统及方法 |
CN104101854B (zh) * | 2014-07-22 | 2017-03-01 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种由电磁驱动的一体化波导校准件 |
CN104569888B (zh) * | 2014-12-24 | 2017-06-06 | 北京无线电计量测试研究所 | 一种利用微带线法校准近场探头修正因子的系统及方法 |
US11815347B2 (en) * | 2016-09-28 | 2023-11-14 | Kla-Tencor Corporation | Optical near-field metrology |
JP6884082B2 (ja) * | 2017-10-11 | 2021-06-09 | 株式会社Screenホールディングス | 膜厚測定装置、基板検査装置、膜厚測定方法および基板検査方法 |
US10852344B2 (en) * | 2017-12-12 | 2020-12-01 | Micron Technology, Inc. | Inductive testing probe apparatus for testing semiconductor die and related systems and methods |
CN110208674B (zh) * | 2019-05-08 | 2021-05-25 | 天津大学 | 一种用于非线性辐射信号检测的定向耦合近场探针及系统 |
CN110531161B (zh) * | 2019-07-29 | 2020-10-23 | 北京航空航天大学 | 一种印刷电路板各位置输入阻抗非接触式在线测试装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06236911A (ja) * | 1992-09-23 | 1994-08-23 | Philips Electron Nv | 校正装置 |
JPH0864643A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-03-08 | Sanyo Electric Co Ltd | 高周波集積回路装置および高周波測定システム |
JPH09304451A (ja) * | 1996-05-15 | 1997-11-28 | Mitsubishi Electric Corp | 周波数分析受信装置 |
JPH11103018A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2000147034A (ja) * | 1998-11-12 | 2000-05-26 | Ricoh Co Ltd | 密着固定型近磁界プローブ |
JP2006129232A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Tdk Corp | 高周波回路基板 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4622515A (en) * | 1984-02-17 | 1986-11-11 | Honeywell Inc. | Apparatus and method for contactless characterization of photodiode mosaics |
US5124660A (en) * | 1990-12-20 | 1992-06-23 | Hewlett-Packard Company | Identification of pin-open faults by capacitive coupling through the integrated circuit package |
US5424633A (en) | 1991-01-22 | 1995-06-13 | Advanced Test Technologies Inc. | Contactless test method and system for testing printed circuit boards |
US5467021A (en) * | 1993-05-24 | 1995-11-14 | Atn Microwave, Inc. | Calibration method and apparatus |
US6870438B1 (en) * | 1999-11-10 | 2005-03-22 | Kyocera Corporation | Multi-layered wiring board for slot coupling a transmission line to a waveguide |
US6366104B2 (en) * | 2000-02-15 | 2002-04-02 | Hughes Electronics Corp. | Microwave probe for surface mount and hybrid assemblies |
US6759850B2 (en) * | 2001-03-28 | 2004-07-06 | Orbotech Ltd. | System and method for non-contact electrical testing employing a CAM derived reference |
US7362106B2 (en) * | 2005-06-29 | 2008-04-22 | Agilent Technologies, Inc. | Methods and apparatus for non-contact testing and diagnosing of open connections on non-probed nodes |
DE202007010239U1 (de) * | 2007-07-24 | 2007-09-20 | Rosenberger Hochfrequenztechnik Gmbh & Co. Kg | Schleifenrichtkoppler |
-
2007
- 2007-08-03 DE DE202007010784U patent/DE202007010784U1/de not_active Expired - Lifetime
-
2008
- 2008-07-24 EP EP11002225A patent/EP2341354B1/de active Active
- 2008-07-24 WO PCT/EP2008/006098 patent/WO2009018928A1/de active Application Filing
- 2008-07-24 EP EP08785051A patent/EP2174151B1/de active Active
- 2008-07-24 CA CA2695403A patent/CA2695403C/en active Active
- 2008-07-24 AT AT08785051T patent/ATE530920T1/de active
- 2008-07-24 JP JP2010518544A patent/JP5580736B2/ja active Active
- 2008-07-24 US US12/671,848 patent/US8803538B2/en active Active
- 2008-07-24 CN CN200880101781.6A patent/CN101790690B/zh active Active
- 2008-07-24 AT AT11002225T patent/ATE550677T1/de active
- 2008-07-31 TW TW097213520U patent/TWM348941U/zh not_active IP Right Cessation
-
2010
- 2010-12-10 HK HK10111531.1A patent/HK1145041A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2011
- 2011-12-21 HK HK11113754.6A patent/HK1159253A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2014
- 2014-06-19 US US14/309,046 patent/US9291644B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06236911A (ja) * | 1992-09-23 | 1994-08-23 | Philips Electron Nv | 校正装置 |
JPH0864643A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-03-08 | Sanyo Electric Co Ltd | 高周波集積回路装置および高周波測定システム |
JPH09304451A (ja) * | 1996-05-15 | 1997-11-28 | Mitsubishi Electric Corp | 周波数分析受信装置 |
JPH11103018A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2000147034A (ja) * | 1998-11-12 | 2000-05-26 | Ricoh Co Ltd | 密着固定型近磁界プローブ |
JP2006129232A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Tdk Corp | 高周波回路基板 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023223541A1 (ja) * | 2022-05-20 | 2023-11-23 | 日本電信電話株式会社 | 誘電分光測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110260743A1 (en) | 2011-10-27 |
ATE530920T1 (de) | 2011-11-15 |
EP2341354A1 (de) | 2011-07-06 |
EP2174151A1 (de) | 2010-04-14 |
CA2695403A1 (en) | 2009-02-12 |
WO2009018928A1 (de) | 2009-02-12 |
US8803538B2 (en) | 2014-08-12 |
HK1145041A1 (en) | 2011-03-25 |
EP2174151B1 (de) | 2011-10-26 |
HK1159253A1 (en) | 2012-07-27 |
CN101790690B (zh) | 2013-03-06 |
CN101790690A (zh) | 2010-07-28 |
CA2695403C (en) | 2016-05-24 |
EP2341354B1 (de) | 2012-03-21 |
TWM348941U (en) | 2009-01-11 |
ATE550677T1 (de) | 2012-04-15 |
DE202007010784U1 (de) | 2007-10-04 |
US9291644B2 (en) | 2016-03-22 |
US20140300381A1 (en) | 2014-10-09 |
JP5580736B2 (ja) | 2014-08-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5580736B2 (ja) | 非接触測定システム | |
JP5826628B2 (ja) | 計測装置 | |
CN104502878B (zh) | 微波GaAs衬底在片S参数微带线TRL校准件 | |
US7876114B2 (en) | Differential waveguide probe | |
US8290736B2 (en) | Calibration standards and methods of their fabrication and use | |
US20060114004A1 (en) | Method for calibrating and de-embedding, set of devices for de-embedding and vector network analyzer | |
US20080191712A1 (en) | System, Device, and Method for Embedded S-Parameter Measurement | |
CA2732189C (en) | Contactless loop probe | |
US20100001742A1 (en) | Calibration technique | |
CN104991215A (zh) | 在片s参数共面波导trl校准件 | |
KR20060045936A (ko) | 고주파회로의 특성 측정 방법 및 교정용 패턴과 교정용지그 | |
Stenarson et al. | An in-circuit noncontacting measurement method for S-parameters and power in planar circuits | |
KR101852484B1 (ko) | 전자파 임피던스 측정 장치 및 전자파 임피던스 교정 방법 | |
US7365550B2 (en) | Low impedance test fixture for impedance measurements | |
Yan et al. | A 20 GHz landing probe design based on pogo-pins | |
Zelder et al. | Contactless network analysis system for the calibrated measurement of the scattering parameters of planar two-port devices | |
Zelder et al. | Contactless vector network analysis with printed loop couplers | |
Huang et al. | Radiation modeling and performance reconstructing of signal connection in package substrate using non-contacting probe | |
Votsi et al. | An interferometric characterization technique for extreme impedance microwave devices | |
Hoffmann et al. | A new interferometric sensor for scanning near-field microwave microscopy | |
Koo et al. | Improved S-Parameter Measurements of Embedded Planar Transmission-Line on Multi-Layer PCB | |
JP2001343406A (ja) | 同軸プローブ | |
Jeong | Indirect contact probing method for characterizing vertical interconnects | |
Zelder et al. | Contactless vector network analysis using diversity calibration with capacitive and inductive coupled probes | |
Stenarson et al. | In-circuit, Non-Contacting, S-parameter measurement for planar circuits |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110609 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110609 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120312 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120508 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120806 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130730 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131002 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140624 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140711 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5580736 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |