JP2010533972A - 基板への露光パターンのスキャン描画 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 基板に露光パターンを描画する方法であって、露光パターンに対応した基板への照射を行うために、光のスポットは基板に渡って軌跡に沿ってスキャンされ、そしてこの軌跡に沿って、この軌跡が露光パターンと出会う部分に対応して効率よくオンとオフが切り替えられ、
前記方法は、
−前記露光パターンの形状の定義を提供し、
−前記形状に対応して前記軌跡の各々の部分における前記基板の照射のためのそれぞれの部分における光のスポット径を選択し、
−前記の各々の部分に選択された前記スポット径に関連して、前記軌跡の連続した部分の間でそれぞれのピッチ値を選択し、
−前記軌跡の部分の間の前記選択されたピッチ値とこの軌跡に沿って位置に依存したスポット径で、前記軌跡に沿って前記基板に渡って光のスポットをスキャンすることとを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記スポットがスキャンされる際に、前記基板とスポット位置を互いに相対的に、前記基板の表面に垂直な回転軸の回りに回転し、前記軌跡は前記回転によりもたらされる回転動作で、前記基板の前記表面の上に螺旋を形成し、前記スポット径は前記軌跡に沿って変化され、連続した螺旋回転間の前記ピッチはこの螺旋回転で用いられるスポット径と共に変化することを特徴とする方法。 - 請求項1または2に記載の方法において、
前記軌跡を揺動することと、この揺動に連係して前記スポット径を変化させることを特徴とする方法。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の方法において、
前記スポット径は、前記軌跡の各々の部分とエッジとの交差点での、露光パターンの照射領域のエッジの許容される粗さの最大値に基づいて、選択されることを特徴とする方法。 - 請求項4に記載の方法において、
少なくとも1つの前記軌跡の部分と、少なくとも1つの前記照射領域の前記エッジとの交差点間の軌跡に沿って、一定のスポット径が選択されることを特徴とする方法。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の方法において、
前記露光パターンの最大粗さの要求とスポット径の調節の制限とに整合する最大スポット径が用いられ、描画速度のために粗さを犠牲にすることを特徴とする方法。 - レーザーパターン描画装置であって、
−基板を保持する基板テーブルと、
−前記基板の上のスポット位置にスポットを照射するように構成されたレーザースポット生成アセンブリであって、スポット径調節器を備えた前記レーザースポットアセンブリと、
−所定の動作パターンに対応して、前記テーブルと前記スポットとを互いに相対的に移動させるように構成された第1のモーターと、
−前記所定の動作パターンに沿った動作と交差するように、前記テーブルと前記スポットとを互いに相対的に移動させるように構成された第2のモーターであって、この第2のモーターで決定される軌跡の連続した部分の間のピッチで、前記基板の上に前記スポットの軌跡を形成する第2のモーターと、
−前記スポット径調節器および前記第2のモーターの制御入力に接続された出力をもつ制御回路であって、前記レーザースポット生成器からの照射で露光されるべき領域のパターンに依存して、前記露光パターンに対応した前記軌跡に沿って前記スポットを効率良くオンとオフに切り替え、前記スポット径が増加した場合はピッチを増加させ、前記スポット径調節器および前記第2のモーターに前記軌跡に沿ってスポット径と前記ピッチを変更させるように構成された制御装置と、を備えることを特徴とするレーザーパターン描画装置。 - 請求項7に記載のレーザーパターン描画装置において、
前記第1のモーターは前記基板とスポット位置とを互いに相対的に、前記基板の描画可能な表面に垂直な回転軸の回りに回転させるように構成され、前記軌跡は前記回転によりもたらされる回転動作で螺旋となり、前記スポット径は前記軌跡に沿って変化され、連続した螺旋回転間の前記ピッチはこの螺旋回転で用いられるスポット径と共に変化されることを特徴とするレーザーパターン描画装置。 - 請求項7または8に記載のレーザーパターン描画装置において、
前記制御回路は、前記軌跡を揺動するように、そしてこの遥動に連係して前記スポット径を変化するように構成されていることを特徴とするレーザーパターン描画装置。 - 請求項7から9のいずれか1項に記載のレーザーパターン描画装置において、
前記スポット径調節器は制御可能なダイヤフラムを備えるレーザーパターン描画装置。 - 請求項7から10のいずれか1項に記載のレーザーパターン描画装置において、
前記スポット径調節器は制御可能なフォーカス機構を持つ結像光学系を備え、前記スポット径は前記スポットのデフォーカシングによって少なくとも部分的に制御可能であることを特徴とするレーザーパターン描画装置。 - 請求項7から11のいずれか1項に記載のレーザーパターン描画装置において、
前記スポット径調節器はレーザー強度制御器を備え、前記スポット径は、前記スポットの強度を変化することによって、少なくとも部分的に制御されることを特徴とするレーザーパターン描画装置。
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