JP2002175627A - 光記録媒体用スタンパの作製方法およびそのスタンパを使用して作製した光記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 近接場光記録装置での検出が良好でシーク中
のトラック番号読み取りも高精度で行なうことが可能な
ヘッダー領域の凹凸パターンを形成する。 【解決手段】 光記録媒体のスタンパ作製時に、ガラス
原盤上のレジストをトラックに直交する方向の有効幅が
トラック幅より広いレーザー光スポットを使用して露光
することにより、隣接する２トラック間で互いに等価の
位置がマークどうし又はピットどうしとなる部分では、
形成されるマーク及び／又はピットをトラック間の境界
が無く連続した形状とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、書き換え可能な光
記録媒体、特に基板上に形成された記録膜側から光を照
射して記録再生を行う光記録媒体のスタンパ作製方法お
よびそのスタンパを使用して作製される光記録媒体に関
する。

【０００２】

【従来の技術】現在、高密度な情報記録が可能な光記録
媒体は音声、画像、コンピュータ用メモリー等に使用さ
れている。近年、マルチメディア化に対応したより高密
度な光記録媒体が求められている。

【０００３】光記録媒体は一般にプラスチック等の透明
な円盤状の基板に記録層を含む多層膜を形成し、レーザ
ー光を照射して記録あるいは消去を行ない、レーザーの
反射光で再生する。現在、実用化されている光記録媒体
としてはＣＤ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭといった
再生専用のもの、ＣＤ−Ｒのような一度だけ記録が可能
なもの、光磁気ディスク、相変化ディスク等の繰り返し
記録が可能なものがある。これらの光記録媒体は、波長
７８０〜６５０ｎｍのレーザー光を開口数０．５程度の
レンズによって絞り込んだレーザー光スポットにより記
録・再生を行っており、記録密度を高めるにはこのレー
ザー光スポットの径をより小さくする必要がある。レー
ザー光スポットの直径ｄはレーザーの波長をλ、レンズ
の開口数をＮＡとした時、ｄ＝λ／ＮＡで表され、レー
ザー光スポットの径を小さくするにはレーザー波長を短
くするか、レンズの開口数を大きくすればよい。しか
し、光記録媒体の記録・再生に使用可能な短波長レーザ
ーはまだ実用化されておらず、また、レンズの開口数を
大きくするとレンズ系の焦点深度が浅くなることから、
記録面上で焦点を一定に保つための制御系が複雑になる
ため、実用上ＮＡ＝０．６程度のレンズが最大である。

【０００４】これに対して、レーザー光スポットの径を
小さくする方法としてＳｏｌｉｄＩｍｍｅｒｓｉｏｎ
Ｌｅｎｓ（以下ＳＩＬと略す）ヘッドを使用する方法が
提案されている（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．６
８，ｐ．１４４（１９９６））。この方法ではレーザー
光スポットの径をこれまでより縮小することができ、光
源のレーザー波長（λ）によって決まる従来の記録限界
（〜λ／２ＮＡ：ＮＡは対物レンズの開口数）より短い
マークでの再生が可能であり、超高記録密度の記録再生
ができる。しかしながらレーザー光スポットの径がこの
ような微小サイズとなるのはＳＩＬヘッドの近接場にお
いてのみであり、光記録媒体の記録・再生に使用する場
合、ヘッドを記録膜に２００ｎｍ以下の距離で近付ける
必要がある。このため、従来の光記録媒体のように基板
を通して記録膜にレーザービームを照射するのではな
く、基板を通さずに直接記録膜にレーザービームを照射
する方法を用いる。

【０００５】光記録媒体は一般に同心円状または螺旋状
にトラックが形成されており、該トラックは１周当り数
１０個〜数１００個のセクターに分割されている。各セ
クターは使用者が自身のデータを記録するためのデータ
領域と、各セクターのアドレス等を再生するための情報
が記録されたヘッダー領域を有し、データ領域には、再
生記録用レーザー光スポットを目的のトラックに追従さ
せるトラッキングのための凹凸構造、すなわち、連続し
た案内溝、あるいは離散点状の凹部等を有する。一般に
ヘッダー領域に記録されるアドレス等のヘッダー情報
は、予めマスタリング工程にてレーザービームの照射を
電気光学素子等により制御してマスター原盤に凹凸とし
て記録し、これを成形工程により基板に転写して形成さ
れる。ヘッダー情報を構成する凹凸の凹部分をピット、
凸部分をマークと称する。また、データ領域の案内溝を
グルーブ、２つのグルーブに挟まれた領域をランドと称
している。なお、再生記録用レーザー光スポットを目的
のトラックに追従させるトラッキングのための凹凸構造
として離散点状の凹部等を有する場合も、前記の２つの
グルーブに挟まれた領域と同等の部分を同じくランドと
称している。

【０００６】光記録媒体のヘッダーでは、ＣＤのデータ
記録で行われているようにピットの位置や長さでアドレ
ス情報等が記録され、再生レーザー光スポットがピット
上を通過したときにおこる反射光量の変化により情報が
再生されている。この方法では反射光量の変化はピット
側面での回折によるため、トラック幅より狭い開口幅の
ピットが使用されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ＳＩＬを使用した光記
録装置では、光記録媒体表面とＳＩＬヘッドの距離を近
付ける必要があるため、ＳＩＬヘッドは媒体表面上に浮
上した形で記録再生が行われる。このとき、媒体表面か
らＳＩＬヘッドの下面までの距離はヘッダー領域のマー
ク上ではヘッドの浮上高さであるのに対して、ピット上
では浮上高さとピット深さの合計である。マーク上での
反射光強度は、浮上高さによって変化する。また、ピッ
ト上での反射光強度は、ピット側面での回折による効果
を上回って、ピット底面からＳＩＬヘッド下面までの距
離の変化による効果によって変化することがある。反射
光強度の浮上高さおよびピット底面からＳＩＬヘッド下
面までの距離の影響は、主にＳＩＬヘッド下面と媒体表
面の多重反射による光学干渉や高入射角の光の反射率変
化による。

【０００８】マークとピットからの反射光強度差で信号
を検出する場合、トラック幅より狭い開口幅のピットを
配列したヘッダー領域では、ピットによる回折信号と浮
上高さとピット底面からＳＩＬヘッド下面までの距離の
変化による信号が同相でなければ、信号強度が弱くなっ
て検出が困難となる。

【０００９】光記録装置で、記録／再生を行う媒体上の
目標のトラックに光ヘッドを移動させることをシークと
呼ぶ。従来の光記録装置でのシークは、目的のトラック
半径値を算出して光ヘッドを粗く移動させ、その場所で
トラッキングをかけてトラック番号を検出し、目的のト
ラックとの差を検出して更に細かく光ヘッドを移動させ
た後、再度トラッキングをかけてトラック番号を検出す
るという動作を繰り返して目的のトラックに到達する方
式であった。

【００１０】シーク時間短縮のために、シーク中に移動
したトラックを数えたり、回転待ち時間を短縮するため
媒体の回転数を増加させるなどの努力がなされてきた
が、近年グレイコードをヘッダーに取り入れ、シーク中
にトラック番号を読み取ってシーク時間を短縮する試み
がなされている。グレイコードをヘッダーに使用した場
合、トラック番号の上位の桁を表すピット配列のほとん
どは各トラックで同一パターンとなり、隣接するトラッ
ク間ではピット配列の相違は常に１最小記録単位となる
ため、シーク中であっても±１トラックの精度でトラッ
ク位置の検出が可能であり、高精度で高速のシークが達
成できる。ここで最小記録単位とはマークとピットによ
りヘッダー領域に記録された信号のうち、トラックに平
行な方向の長さが最も短いものであり、通常、すべての
マークとピットはこの長さの整数倍の長さになる。

【００１１】従来の開口幅をトラック幅より狭く形成し
たピットをシーク中に再生した場合、レーザー光スポッ
トがピット上を通過したときには信号が検出される。し
かし、レーザー光スポットがマーク上を通過したときに
は信号が検出されないため、トラック番号の正確な読み
取りが困難となる。

【００１２】本発明は、ＳＩＬヘッドを用いた近接場光
記録媒体のヘッダーに適し、高精度で高速のシークが可
能なピットとマークを有するスタンパの作製方法、およ
びそのスタンパを使用して作製した光記録媒体を提供す
ることを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明者らは上述のよう
な現状に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、スタンパを作製
する際、ガラス原盤上のレジストを露光するレーザー光
スポットの形状を工夫することにより、近接場光記録装
置での検出が良好でシーク中のトラック番号読み取りも
高精度で行なうことが可能なヘッダー領域のマークとピ
ットを形成できることを見出し、本発明を完成するに至
った。

【００１４】すなわち、本発明はガラス原盤上に塗布さ
れたレジストをレーザー光で露光することによりマーク
及び／又はピットを形成する光記録媒体用スタンパの作
製方法において、アドレス再生又は書込みのための信号
が記録されたヘッダー領域の前記信号を構成するマーク
及び／又はピットの形成に、トラックに直交する方向の
有効幅がトラック幅より広いレーザー光スポットを使用
することを特徴とする光記録媒体用スタンパの作製方
法、およびこの方法により作製したスタンパを使用する
ことを特徴とする光記録媒体である。ここで、レーザー
光スポットの有効幅とは、ガラス原盤上に塗布されたレ
ジストをレーザー光で露光後、現像して形成されるピッ
トの深さ１／２における幅を表わす。

【００１５】以下に本発明を更に詳細に説明する。

【００１６】図１に光記録媒体のマスター原盤露光装置
の一例を示す。レーザー発振装置からの連続ビームは分
離プリズムにより分離される。それぞれのレーザービー
ムは光路に設置された光量制御用の電気光学素子あるい
は音響光学素子および、変調用の電気光学素子により、
光量の制御と変調が行われる。２つのレーザービームは
合成プリズムにより合成された後、フォーカスサーボ機
構に設置した対物レンズに入射され原盤上のレジスト表
面に集光され、レーザー光スポットを形成する。

【００１７】レジスト表面でのレーザー光スポットの有
効幅はレーザーの波長（λ）に比例し対物レンズの開口
数（ＮＡ）に反比例する（すなわち、λ／ＮＡに比例す
る）。ＳＩＬを使用する光記録媒体では記録および再生
のレーザー光スポットを従来の約１／２にできるためト
ラック幅０．５μｍ以下のディスクが検討されている。
トラック幅を０．５μｍ以下にするためにはトラッキン
グのための案内溝を出来るだけ狭く形成する必要があ
り、短波長のレーザーおよび開口数（ＮＡ）の大きい対
物レンズが使用される。現在実用化されている装置とし
ては、波長３５１ｎｍのＡｒレーザやＫｒレーザーおよ
び、実用上最大の開口数０．９０を有する対物レンズを
使用したものがある。

【００１８】本発明のヘッダー領域のマーク及び／又は
ピットの形成方法は、使用するレーザー光スポットのト
ラックに直交する方向の有効幅をトラック幅より広くす
ることによって、隣接する２トラック間で互いに等価の
位置がマークどうし又はピットどうしとなる部分では、
形成されるマーク及び／又はピットをトラック間の境界
が無く連続した形状として形成することを特徴とする。
ここで、等価の位置にあるとは、隣接するトラック間で
媒体上を内外に移動するヘッドの軌跡に沿った位置にあ
ることを意味する。

【００１９】短波長のレーザーおよび開口数の大きい対
物レンズが使用された装置で、ヘッダー領域のピット形
成に使用するレーザー光スポットのトラックに直交する
方向の有効幅をトラック幅より広くするため、本発明で
は対物レンズに入射するレーザービームのレジスト表面
上でトラックに直交する方向に相当する幅を対物レンズ
の径より狭くし、見かけ上のＮＡを小さくする方法を使
用した。レーザービームの幅を対物レンズ径より狭くす
る方法としては、レーザーから対物レンズまでの間の光
路中にアパーチャー、スリット等、レーザービームの一
部を遮るものを設置する方法、あるいはコリメーターレ
ンズ、シリンドリカルレンズのようなレーザービームを
変形する光学部品を使用する方法がある。

【００２０】このように、ヘッダー領域のピットを隣接
するトラック間で連続して形成したスタンパを使用して
作製した光記録媒体では、ピットによる回折信号がピッ
トのエッジ以外は無視できるようになるため、マーク、
ピットそれぞれからの反射光強度差による良好な検出が
でき、さらにトラックに直交する方向でのマークあるい
はピット間の境界がないためシーク中にトラック番号を
読み取ることが可能となる。

【００２１】しかしながら、マークあるいはピットが連
続して形成された部分でトラックに直交する方向のマー
ク／ピット境界部でのうねりが大きいと、隣接するトラ
ック間でヘッダー領域の情報読み取りにタイミングずれ
を生じ、シーク中の読み取り精度が低下する。ヘッダー
領域のマークとピットを形成する際に使用するレーザー
光スポットが円形の場合、トラックに直交する方向のマ
ーク／ピット境界部でのうねりが大きくなるが、トラッ
クに平行な方向の有効幅をトラックに直交する方向の有
効幅より狭くすることにより、レーザー光スポットのト
ラックに直交する方向の曲率半径が大きくなるため、マ
ーク／ピット境界部のトラックに直交する方向でのうね
りを小さくすることができる。トラックに平行な方向の
有効幅をトラックに直交する方向の有効幅より狭くする
方法としては、先に述べたトラックに直交する方向の有
効幅をトラック幅より広くする方法のうち、楕円形のア
パーチャー、スリット、シリンドリカルレンズ等、対物
レンズに入射するレーザービームのレジスト表面上でト
ラックに直交する方向に相当する幅のみを変えることが
できる方法を使用できる。

【００２２】レーザー光スポットのトラックに直交する
方向の有効幅は、マークあるいはピットが隣接するトラ
ック間で連結した形状とするためにはトラック幅より広
い必要があるが、広すぎるとピットとマークが隣接する
部分ではマークの幅が狭くなり読取りが出来なくなるた
め、トラック幅の１．４倍以内とすることが好ましい。

【００２３】光記録媒体のスタンパ作製は次のような方
法により行われる。先ず、精度良く研磨されたガラス基
板上に、レジスト層を形成する。通常ポジ型のレジスト
が使用されるが、ネガ型のレジストを使用することも可
能である。次に、形成されたレジスト層にレーザ光を照
射して露光を行ない、現像処理を行なってグルーブおよ
びマーク／ピットを形成する。この後、グルーブおよび
マーク／ピットの形成された原盤を加熱処理する。この
原盤上のレジスト層上にニッケル等からなる導電性薄膜
を形成した後で電鋳処理を施し、ニッケル等からなる光
記録媒体原盤をレジスト層に形成する。その後、光記録
媒体原盤をレジスト層から剥離する。これにより、光記
録媒体のスタンパが完成する。

【００２４】このスタンパを使用して、射出成形法によ
りポリカーボネート、ポリメチルメタアクリレート、ア
モルファスポリオレフィン等の樹脂基板を作製する。ま
た、紫外線硬化樹脂を使用した２Ｐ法により基板を作製
することも可能である。この基板上に反射層、記録層、
保護層、および液体潤滑層が形成される。反射層として
はＡｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｎｉ等の金属又はそ
れらの合金等からなる記録再生に使用するレーザー波長
で反射率の高い材料が用いられる。記録層の膜厚が十分
に厚い場合、反射層はなくてもよい。また、記録層と反
射層の間にＡｌＮ、ＳｉＮ、ＧｅＮ、Ｔａ₂Ｏ₅、ＺｎＳ
−ＳｉＯ₂等からなる誘電体層があってもよい。光磁気
記録の場合、記録層はＴｂＦｅＣｏ、ＧｄＦｅＣｏ、Ｇ
ｄＴｂＦｅＣｏ、ＤｙＦｅＣｏ等からなる垂直磁気異方
性の大きいアモルファス希土類遷移金属や、Ｐｔ、Ｃｏ
などの人工格子膜で構成される。相変化記録の場合、記
録層はＧｅＳｂＴｅ、ＡｇＩｎＳｂＴｅなどの結晶とア
モルファス間で光学定数が変化する材料で構成される。
また、追記型の場合、記録層はシアニン、フタロシアニ
ン、ナフタロシアニンなどの色素で構成される。記録層
の上にはＡｌＮ、ＳｉＮ、ＧｅＮ、Ｔａ₂Ｏ₅、ＺｎＳ−
ＳｉＯ₂あるいは硬度が高めの樹脂からなる透明な保護
層を形成する。この保護層は多層であってもよく、例え
ばダイヤモンドライクカーボンのような自己潤滑性に優
れた層を形成しても良い。液体潤滑層はパーフルオロポ
リエーテル、シリコンオイル等の潤滑剤で構成される。

【００２５】

【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施の形態
について、実施例により詳細に説明する。なお、本発明
は以下の実施例に限定されるものではない。

【００２６】（実施例１）まず、使用したマスタリング
装置について説明する。Ａｒレーザーからの波長３５１
ｎｍの連続光が分離プリズムにより２つのビームに分離
され、それぞれ光量制御用電気光学素子および変調用電
気光学素子を通った後、コリメーターレンズ、およびピ
ンホールにより整形される。整形されたレーザービーム
は合成プリズムにより合成され、フォーカスサーボ機構
に設置された開口数０．９０の対物レンズにより原盤上
のレジスト表面に集光される。ここで原盤は回転テーブ
ル上に設置され、対物レンズはスライダーに設置されて
おり、回転する原盤上に回転中心に向かって対物レンズ
を移動しながら螺旋状の案内溝とピット列からなるパタ
ーンを露光する。

【００２７】上記マスタリング装置に案内溝形成用レー
ザービームの径が前後で２倍に拡大されるようなコリメ
ーターレンズおよび、マーク／ピット形成用レーザービ
ームのレジスト表面上に形成されるレーザー光スポット
のトラックに直交する方向に相当する幅がトラックに平
行な方向に相当する幅の２倍となるようなシリンドリカ
ルレンズを設置した。案内溝形成用レーザービーム、マ
ーク／ピット形成用レーザービームそれぞれをデータ領
域には案内溝のみ、ヘッダー領域にはマークとピットの
みを形成するように制御してガラス原盤上に形成された
膜厚７０ｎｍのレジスト膜を回転数６００ｒｐｍ、トラ
ックピッチ４００ｎｍで半径３０ｍｍから６０ｍｍまで
露光した。この時、レーザービームの出力は半径３０ｍ
ｍでの値（Ｐ３０）を基準として設定し、半径（Ｒ）に
比例して変化するように制御した（半径Ｒｍｍでの出力
＝Ｐ３０×Ｒ／３０）。この制御により、露光後アルカ
リ現像液で現像して形成された案内溝およびピットの開
口幅は原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）により測定したとこ
ろ、全エリアで一定となった。また、マーク／ピット形
成用レーザー光スポットのトラックに直交する方向の有
効幅に相当する、ピット深さ１／２での幅は４５５ｎｍ
であった。

【００２８】マーク／ピット形成用レーザー光スポット
のトラックと平行な方向の有効幅を測定するため、静止
したレジスト原盤上に露光時間を変えてマーク／ピット
形成用レーザー光スポットで露光し、同条件で現像して
ピットを形成した。ピットの幅を原子間力顕微鏡（ＡＦ
Ｍ）により測定したところ、形成されたピットのうち、
トラックに直交する方向に相当する方向での深さ１／２
での幅が４５５ｎｍのピットのトラックに平行な方向に
相当する方向の深さ１／２での幅は２２０ｎｍであっ
た。

【００２９】図２に形成されたレジストパターンの概略
を表わす平面図を示す。この平面図ではトラックＮ、ト
ラックＮより１トラック内周のトラックＮ−１、トラッ
クＮより１トラック外周のトラックＮ＋１の３トラック
のみを示す。ここで黒色部分が露光／現像により除去さ
れ凹状に形成されたピットを示す。形成されたマークあ
るいはピットは、隣接する２トラック間で互いに等価の
位置がマークあるいはピットとなる部分で、トラック間
の境界が無く連続して形成された。また、マーク／ピッ
ト境界部のトラックに直交する方向でのうねりは小さか
った。

【００３０】このようにして形成されたマスター原盤か
ら前記の方法によりスタンパを作製し、射出成形により
ポリカーボネート製の基板を成形した。この基板のマー
ク／ピット、案内溝形成面にスパッタリング法によりＡ
ｌ合金反射膜、ＳｉＮ誘電体膜、ＴｂＦｅＣｏ記録膜、
ＳｉＮ誘電体膜、ダイアモンドライクカーボン膜を形成
した。さらにパーフルオロエーテル液体潤滑剤を引き上
げ法により塗布して光記録媒体を作製した。

【００３１】以上のプロセスで作製した近接場光記録型
の光記録媒体を、レーザー波長６５０ｎｍ、有効ＮＡ
１．３のＳＩＬを浮上スライダーに搭載したＳＩＬテス
ターでピット信号の再生特性を評価した。光記録媒体の
回転数を２４００ｒｐｍ、ＳＩＬヘッドの浮上高さを１
００ｎｍ、レーザーパワーを１．３ｍＷに設定してシー
ク動作およびトラッキング時のヘッダー読取りエラーレ
ートを測定したところ、シーク動作が可能でトラッキン
グ時のヘッダー再生信号も良好であった。また、ヘッダ
ー再生のエラーレートは８×１０^-5であった。

【００３２】（実施例２）光路中に案内溝形成用レーザ
ービームおよびマーク／ピット形成用レーザービームの
径がともに前後で２倍に拡大されるように設定したコリ
メーターレンズを設置し、さらにマーク／ピット形成用
ビームの光路中にはレジスト表面上に形成されるレーザ
ー光スポットのトラックに平行な方向の有効幅が狭くな
るように光路中に幅１．５ｍｍのスリットを設置したマ
スタリング装置を使用した他は、実施例１と同様の方法
によりガラス原盤上にトラックピッチ４５０ｎｍで案内
溝およびマークとピットを形成した。このとき、マーク
／ピット形成用レーザー光スポットのレジスト表面上で
のトラックに直交する方向の有効幅に相当するピット深
さ１／２での幅は、５３５ｎｍであった。また、実施例
１と同様の方法により測定したトラックに平行な方向の
有効幅は３６０ｎｍであった。図３に形成されたレジス
トパターンの概略を表わす平面図を示す。形成されたマ
ークあるいはピットは、隣接する２トラック間で互いに
等価の位置がマークあるいはピットとなる部分で、トラ
ック間の境界が無く連続して形成された。また、マーク
／ピット境界部のトラックに直交する方向でのうねりは
ほとんどなかった。

【００３３】このようにして形成されたマスター原盤か
ら前記の方法によりスタンパを作製し、射出成形により
ポリカーボネート製の基板を成形した。この基板のマー
ク／ピット、案内溝形成面にスパッタリング法によりＡ
ｌ合金反射膜、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂誘電体膜、ＧｅＳｂＴ
ｅ記録膜、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂誘電体膜を形成した。さら
にパーフルオロエーテル液体潤滑剤を引き上げ法により
塗布して光記録媒体を作製した。

【００３４】作製した近接場光記録型の光記録媒体を、
実施例１と同様の装置によりシーク動作およびトラッキ
ング時のヘッダー読取りエラーレートを測定したとこ
ろ、シーク動作が可能でトラッキング時のヘッダー再生
信号も良好であった。また、ヘッダー再生のエラーレー
トは１×１０^-5であった。

【００３５】（実施例３）光路中に案内溝形成用レーザ
ービームおよびマーク／ピット形成用レーザービームの
径がともに前後で２倍に拡大されるように設定したコリ
メーターレンズを設置し、さらにマーク／ピット形成用
レーザービームの光路中にはレジスト表面上に形成され
るレーザー光スポットのトラックに平行な方向の有効幅
が狭くなるように、光路中に幅の比が１：２の楕円アパ
ーチャーを設置したマスタリング装置を使用した他は、
実施例１と同様の方法によりガラス原盤上にトラックピ
ッチ４５０ｎｍで案内溝およびマークとピットを形成し
た。このとき、マーク／ピット形成用レーザー光スポッ
トのレジスト表面上でのトラックに直交する方向の有効
幅に相当するピット深さ１／２での幅は、５１０ｎｍで
あった。また、実施例１と同様の方法により測定したト
ラックに平行な方向の有効幅は２４５ｎｍであった。形
成されたレジストパターンの概略は図２に示した実施例
１のものとほぼ同様であった。形成されたマークあるい
はピットは、隣接する２トラック間で互いに等価の位置
がマークあるいはピットとなる部分で、トラック間の境
界が無く連続して形成された。また、マーク／ピット境
界部のトラックに直交する方向でのうねりは小さかっ
た。

【００３６】このようにして形成されたマスター原盤か
ら前記の方法によりスタンパを作製し、射出成形により
ポリカーボネート製の基板を成形した。この基板のマー
ク／ピット、案内溝形成面にスパッタリング法によりＡ
ｌ合金反射膜、ＳｉＮ誘電体膜、ＴｂＦｅＣｏ記録膜、
ＳｉＮ誘電体膜、ダイアモンドライクカーボン膜を形成
した。さらにパーフルオロエーテル液体潤滑剤を引き上
げ法により塗布して光記録媒体を作製した。

【００３７】作製した近接場光記録型の光記録媒体を、
実施例１と同様の装置によりシーク動作およびトラッキ
ング時のヘッダー読取りエラーレートを測定したとこ
ろ、シーク動作が可能でトラッキング時のヘッダー再生
信号も良好であった。また、ヘッダー再生のエラーレー
トは５×１０^-5であった。

【００３８】（実施例４）光路中に案内溝形成用レーザ
ービームの径が前後で２倍に拡大されるように、マーク
／ピット形成用レーザービームの径が前後で同じになる
ようにそれぞれ設定したコリメーターレンズを設置した
マスタリング装置を使用した他は実施例１と同様の方法
によりガラス原盤上にトラックピッチ４００ｎｍで案内
溝およびピットを形成した。このとき、マーク／ピット
形成用レーザー光スポットのレジスト表面上でのトラッ
クに直交する方向の有効幅に相当するピット深さ１／２
での幅は、４９０ｎｍであった。また、実施例１と同様
の方法により測定したトラックに平行な方向の有効幅は
４９０ｎｍであった。図４に形成されたレジストパター
ンの概略を表わす平面図を示す。形成されたマークある
いはピットは、隣接する２トラック間で互いに等価の位
置がマークあるいはピットとなる部分で、トラック間の
境界が無く連続して形成されたが、マーク／ピット境界
部のトラックに直交する方向でのうねりは大きかった。

【００３９】このようにして形成されたマスター原盤か
ら前記の方法によりスタンパを作製し、射出成形により
ポリカーボネート製の基板を成形した。この基板のマー
ク／ピット、案内溝形成面にスパッタリング法によりＡ
ｌ合金反射膜、ＳｉＮ誘電体膜、ＴｂＦｅＣｏ記録膜、
ＳｉＮ誘電体膜、ダイアモンドライクカーボン膜を形成
した。さらにパーフルオロエーテル液体潤滑剤を引き上
げ法により塗布して光記録媒体を作製した。

【００４０】作製した近接場光記録型の光記録媒体を、
実施例１と同様の装置によりシーク動作およびトラッキ
ング時のヘッダー読取りエラーレートを測定したとこ
ろ、シーク動作が可能でトラッキング時のヘッダー再生
信号も良好であった。また、ヘッダー再生のエラーレー
トは１×１０^-4であった。

【００４１】（実施例５）光路中に案内溝形成用レーザ
ービームおよびマーク／ピット形成用レーザービームの
径がともに前後で２倍に拡大されるように設定したコリ
メーターレンズを設置し、さらにマーク／ピット形成用
レーザービームの光路中にはレジスト表面上に形成され
るレーザー光スポットのトラックに平行な方向の有効幅
が狭くなるように光路中に幅１．０ｍｍのスリットを設
置したマスタリング装置を使用した他は、実施例１と同
様の方法によりガラス原盤上にトラックピッチ４５０ｎ
ｍで案内溝およびマークとピットを形成した。このと
き、マーク／ピット形成用レーザー光スポットのレジス
ト表面上でのトラックに直交する方向の有効幅に相当す
るピット深さ１／２での幅は、７００ｎｍであった。図
５に形成されたレジストパターンの概略を表わす平面図
を示す。形成されたマークあるいはピットは、隣接する
２トラック間で互いに等価の位置がマークあるいはピッ
トとなる部分で、トラック間の境界が無く連続して形成
されたが、マークとピットが隣接する部分でマークの幅
が狭く形成された。

【００４２】このようにして形成されたマスター原盤か
ら前記の方法によりスタンパを作製し、射出成形により
ポリカーボネート製の基板を成形した。この基板のマー
ク／ピット、案内溝形成面にスパッタリング法によりＡ
ｌ合金反射膜、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂誘電体膜、ＧｅＳｂＴ
ｅ記録膜、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂誘電体膜を形成した。さら
にパーフルオロエーテル液体潤滑剤を引き上げ法により
塗布して光記録媒体を作製した。

【００４３】作製した近接場光記録型の光記録媒体を、
実施例１と同様の装置によりシーク動作およびトラッキ
ング時のヘッダー読取りエラーレートを測定したとこ
ろ、シーク動作は可能であったが、ヘッダー再生のエラ
ーレートは５×１０^-3であった。

【００４４】（比較例１）光路中に案内溝形成用レーザ
ービームおよびマーク／ピット形成用レーザービームの
径がともに前後で２倍に拡大されるように設定したコリ
メーターレンズを設置したマスタリング装置を使用した
他は実施例１と同様の方法によりガラス原盤上にトラッ
クピッチ４００ｎｍで案内溝およびマークとピットを形
成した。このとき、マーク／ピット形成用レーザービー
ムのレジスト表面上でのトラックに直交する方向の有効
幅に相当するピット深さ１／２での幅は、２５０ｎｍで
あった。図６に形成されたレジストパターンの概略を表
わす平面図を示す。形成されたピットの開口幅はトラッ
ク幅より狭く、隣接する２トラック間で互いに等価の位
置がピットとなる部分でもピットは互いに連続せず分離
して形成された。

【００４５】このようにして形成されたマスター原盤か
ら前記の方法によりスタンパを作製し、射出成形により
ポリカーボネート製の基板を成形した。この基板のピッ
ト、案内溝形成面にスパッタリング法によりＡｌ合金反
射膜、ＳｉＮ誘電体膜、ＴｂＦｅＣｏ記録膜、ＳｉＮ誘
電体膜、ダイアモンドライクカーボン膜を形成した。さ
らにパーフルオロエーテル液体潤滑剤を引き上げ法によ
り塗布して光記録媒体を作製した。

【００４６】作製した近接場光記録型の光記録媒体を、
実施例１と同様の装置によりシーク動作およびトラッキ
ング時のヘッダー読取りエラーレートを測定したとこ
ろ、シーク時にヘッダー信号が再生できず、シーク動作
も実行できなかった。また、トラッキング時のヘッダー
信号の再生はできたがエラーレートは１×１０^-2であっ
た。

【００４７】

【発明の効果】本発明により、トラッキングサーボ時と
シーク時共にヘッダー信号の再生が可能で、シーク速度
の速い近接場光記録媒体を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に用いたマスタリング装置の構成を示す
図である。

【図２】実施例１で形成されたレジストパターンを示す
模式図である。

【図３】実施例２で形成されたレジストパターンを示す
模式図である。

【図４】実施例４で形成されたレジストパターンを示す
模式図である。

【図５】実施例５で形成されたレジストパターンを示す
模式図である。

【図６】比較例１で形成されたレジストパターンを示す
模式図である。

【符号の説明】

１ Ａｒレーザー ２ 分離プリズム ３、８ 光量制御素子 ４、９ 光変調素子 ５、１０ コリメーター ６、７ ミラー １１ シリンドリカルレンズ、スリットまたはアパ
ーチャー １２ 合成プリズム １３ 対物レンズ １４ レジスト原盤

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 7/26 ５１１ Ｇ１１Ｂ 7/26 ５１１ Ｆターム(参考） 5D029 KB03 WA30 WA31 WB14 5D090 AA01 BB01 CC01 CC14 DD03 EE02 GG26 KK01 KK13 KK15 5D119 AA36 BA01 BB09 DA01 EB04 EB05 EB07 5D121 AA02 BB26 CA03 CB03

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス原盤上に塗布されたレジストをレ
   ーザー光で露光することにより、アドレス再生のための
   信号が記録されたヘッダー領域の前記信号を構成するマ
   ーク及び／又はピットを形成する光記録媒体用スタンパ
   の作製方法において、ヘッダー領域のマーク及び／又は
   ピットの形成に、トラックに直交する方向の有効幅がト
   ラック幅より広いレーザー光スポットを使用し、隣接す
   る２トラック間で互いに等価の位置がマークどうし又は
   ピットどうしとなる部分では、形成されるマーク及び／
   又はピットをトラック間の境界が無く連続した形状とす
   ることを特徴とする光記録媒体用スタンパの作製方法。
2. 【請求項２】 ヘッダー領域のマーク及び／又はピット
   の形成に使用するレーザー光スポットのトラックに平行
   な方向の有効幅が、トラックに直交する方向の有効幅よ
   り狭いことを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体用
   スタンパの作製方法。
3. 【請求項３】 使用するレーザー光スポットのトラック
   に直交する方向の有効幅がトラック幅の１．４倍以下で
   あることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体用ス
   タンパの作製方法。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか１項に記載の作
   製方法により作製したスタンパを使用して作製した光記
   録媒体。