JP2010529426A - 角速度を測定する方法及び振動型微小機械角速度センサ - Google Patents

Abstract

本発明は、角速度の測定に使用される測定装置に関し、より詳細には、振動型微小機械角速度センサに関する。本発明による角速度センサの解決策では、質量が、主運動と同相のテスト励起が、検出共振器内で誘導され、測定される角速度が、位相検出器により、主運動と副運動との位相差から検出されるように、非垂直な主軸及び副軸を有するバネ構造によって懸架される。本発明による角速度センサの構造は、特に角速度センサの小型振動微小機械解決策において、良好な性能での信頼性の高い測定を可能にする。
【選択図】図３

Description

本発明は、角速度の測定に使用される測定装置に関し、より詳細には、振動型微小機械角速度センサに関する。本発明の目的は、特に小型の振動型微小機械角速度センサの解決策において、良好な性能でもって信頼性の高い測定を可能にする改良されたセンサ構造を提供することである。

発明の背景
振動型角速度センサに基づく測定は、角速度の測定に単純な動作原理を使用する信頼性の高い方法であることが証明されている。振動型角速度センサでは、特定の既知の主運動がセンサ内で誘導され、維持される。次に、センサによる測定が望まれる運動が、主運動の逸脱として検出される。

共振器の運動方向に垂直な方向においてセンサに影響する外部角速度（external angular velocity）は、運動方向に垂直な方向において振動質量内にコリオリの力を発生させる。コリオリの力は角速度に比例し、例えば、質量の振動から容量的に検出される。

特に、消費者電子市場には、極めて低い価格の小型角速度センサに対して大きな需要がある。このような用途では、零点安定性又は振動感度等のセンサの性能はあまり重要ではない。

市場の現在のシリコン微小機械角速度センサは、このような用途にはあまりに嵩張りすぎ、複雑且つ高価である。カメラ内の光学画像安定を目的としたセラミックス又はクォーツの小型で安価な角速度センサのみが、これら用途で求められるサイズ目的又はコストレベルに近い。

しかし、上述した技術を使用して、構成要素を破損せずに、構成要素を硬い表面に落とせるのに十分な耐衝撃性を達成するのは極めて困難である。

以下、従来技術について添付図面を例示として参照して説明し、
図１は、従来技術による振動型微小機械角速度センサの機能構造の図を示し、
図２は、従来技術による典型的な角速度センサのアナログシステム電子回路のブロック図を示す。

図１は、従来技術による振動型微小機械角速度センサの機能構造の図を示す。図示の従来技術による振動型微小機械角速度センサは、バネ４、５によってＸ軸の方向において励起フレーム２に支持された質量１を備える。上記励起フレーム２は、バネ６、７によってＹ軸の方向において支持構造３にさらに支持される。

図示の従来技術による振動型微小機械角速度センサでは、中央にある質量１及び質量１を囲む励起中心２は、励起され、本体３に支持されたバネ６、７によって可能になる、Ｙ軸の方向における主運動をする。励起フレーム２に対して質量１のバネ懸架装置４、５によりＸ軸の方向において形成される検出軸は、主運動に垂直である。

主運動で振動している構造が、表面ＸＹ平面に垂直なＺ軸に関連して回転すると、主運動中の質量１は、運動方向に垂直なＸ軸の方向においてコリオリの力を受ける。したがって、検出バネ４、５は、減衰を定義することに加えて、誘導された検出運動の振動の振幅及び位相をさらに定義する。

近代の角速度センサの測定電子回路はかなり複雑である。アナログ電子回路の典型的な実施では、最も単純な場合でも、１１個以上の異なるブロックが必要である。

図２は、従来技術による典型的な角速度センサのシステム電子回路のブロック図を示す。

現行の角速度センサでは、コリオリ信号の検出は、コリオリ信号と同相の検出共振器の信号を復調することにより、位相敏感増幅検出として実施される。

従来技術による１つの角速度センサは、（特許文献１）に記載されている。上記特許公報では、説明した角速度センサの質量は、薄膜によって基板に対して対称にバネ懸架される。バネとして機能するフィルムでは、圧電素子が圧電性薄膜から形成され、圧電性素子によって質量を励起させて、線形主運動を生じさせ、圧電性素子により、この主運動を検出することもできる。さらに、フィルムにおいて、適宜位置決めによって第３の圧電素子が形成され、第３の圧電素子の信号位相は角速度に応じて変化し、コリオリの力により、主運動の方向及び外部角速度の方向に垂直な方向に主運動を変位させる。

従来技術による特許出願は、明らかに、圧電センサにより角速度を測定する、位相シフトを使用した原理を記載している。記載の構造及び方法は、角速度を検出する第３の素子が、角速度によって生じる主運動と副運動の両方の和を検出するように、圧電素子の位置決めに基づき、その位相は、測定される角速度に比例する。

しかし、上述した従来技術による構造は、振動及び衝撃に対する良好な耐性を必要とする角速度センサでの使用に適さない。

米国特許公報第６，９４６，６９５号明細書

したがって、本発明の目的は、測定電子回路の大部分が従来技術による解決策と比較してより簡単に実施される、振動型角速度センサの構造を提供することである。

本発明の目的は、特に、振動型角速度センサの小型解決策において良好な性能でもって信頼性の高い測定を可能にする振動型角速度センサであって、振動型角速度センサの測定電子回路の大部分が、従来技術による先の解決策と比較してより簡単に実施される、振動型角速度センサを提供することである。

本発明の第１の特徴によれば、角速度センサが、少なくとも１つの振動質量と、質量に関連付けられた移動電極とを備え、質量が、励起される主運動を有すると共に、主運動に加えて、主運動に略垂直な検出軸に関連して自由度２を有し、質量が、バネ構造によってセンサ構成要素の本体に支持される、振動型微小機械角速度センサによって角速度を測定する方法であって、この方法において、質量が、検出共振器内で、主運動と同相のテスト励起が誘導されるように、非垂直の主軸及び副軸を有するバネ懸架装置によって懸架され、且つ測定される角速度が、主運動と副運動との位相差から、位相検出器によって位相敏感検出される、方法が提供される。

好ましくは、主運動信号及び副運動信号のうちの一方は９０°位相シフトされる。好ましくは、主運動信号及び副運動信号のうちの少なくとも一方は増幅される。

好ましくは、位相敏感検出は、エッジの急なパルス波が、比較器によって主運動信号及び副運動信号から生成されるように、ＸＯＲゲートによって実施され、波はＸＯＲ回路に送られる。さらに、好ましくは、位相敏感検出の出力として、信号の位相差に比例するパルス幅変調信号が得られる。さらに、好ましくは、アナログ出力信号は、ローパスフィルタリングにより、位相敏感検出の出力として得られる信号の位相差に比例するパルス幅変調信号から生成される。好ましくは、主運動は抵抗結合によって直接検出される。

本発明の第２の特徴によれば、角速度センサが、少なくとも１つの振動質量と、質量に関連付けられた移動電極とを備え、質量が、励起される主運動を有すると共に、主運動に加えて、主運動に略垂直な検出軸に関連して自由度２を有し、質量が、バネ構造によってセンサ構成要素のフレームに支持される、振動型微小機械角速度センサによって角速度を測定する装置であって、質量が位相検出器を備え、それにより、装置内で、質量が、検出共振器内で、主運動と同相のテスト励起が誘導されるように、非垂直の主軸及び副軸を有するバネ懸架装置によって懸架され、且つ測定される角速度が、主運動と副運動との位相差から、位相検出器によって位相敏感検出される、装置が提供される。

好ましくは、装置は、主運動信号又は副運動信号のうちの一方の位相を９０度シフトさせる位相シフタをさらに備える。好ましくは、装置は、主運動信号又は副運動信号のうちの少なくとも一方を増幅する増幅器をさらに備える。

好ましくは、装置は、ＸＯＲゲート及び比較器をさらに備え、それにより、主運動信号及び副運動信号は、比較器により、エッジの急なパルス波にされるように、位相敏感検出がＸＯＲゲートによって実施され、パルス波がＸＯＲゲートに送られる。さらに、好ましくは、装置は、位相敏感検出の出力として、信号間の位相シフトに比例するパルス幅変調信号を送出する手段をさらに備える。さらに、好ましくは、装置は、信号間の位相シフトに比例するパルス幅変調信号のローパスフィルタリングし、位相敏感検出の出力としてアナログ出力信号を送出する手段をさらに備える。好ましくは、装置は、抵抗結合によって主運動を直接検出する手段を備える。

本発明の第３の特徴によれば、角速度センサが、少なくとも１つの振動質量と、質量に関連付けられた移動電極とを備え、質量が、励起される主運動を有すると共に、主運動に加えて、主運動に略垂直な検出軸に関連して自由度２を有し、質量が、バネ構造によってセンサ構成要素の本体に支持される、振動型微小機械角速度センサであって、質量が、検出共振器内で、主運動と同相のテスト励起が誘導されるように、非垂直の主軸及び副軸を有するバネ懸架装置によって懸架され、且つ測定される角速度が、主運動と副運動との位相差から、位相検出器によって位相敏感検出される、角速度センサが提供される。

好ましくは、角速度センサは、主運動信号又は副運動信号のうちの一方の位相を９０度シフトさせる手段を備える。好ましくは、角速度センサは、主運動信号又は副運動信号のうちの少なくとも一方を増幅する手段を備える。

好ましくは、角速度センサは、ＸＯＲゲート及び比較器をさらに備え、それにより、主運動信号及び副運動信号が、比較器により、エッジの急なパルス波にされるように、位相敏感検出がＸＯＲゲートによって実施され、パルス波がＸＯＲゲートに送られる。さらに、好ましくは、角速度センサは、位相敏感検出の出力として、信号間の位相シフトに比例するパルス幅変調信号を送出する手段をさらに備える。さらに、好ましくは、角速度センサは、信号間の位相シフトに比例するパルス幅変調信号のローパスフィルタリングし、位相敏感検出の出力としてアナログ出力信号を送出する手段をさらに備える。好ましくは、角速度センサは、抵抗結合によって主運動を直接検出する手段を備える。

以下に、本発明及び本発明の好ましい実施形態について、添付図面を例示として参照して詳細に説明する。

従来技術による振動機械角速度センサの機能構造の図を示す。 従来技術による角速度センサの典型的なアナログシステム電子回路のブロック図を示す。 本発明による角速度の測定のブロック図を示す。 本発明による振動機械角速度センサの機能構造の図を示す。 本発明によるバネ構造を示す。 本発明による角速度センサの構造を示す。 本発明による２軸を有する角速度センサの構造を示す。 本発明による振動型角速度センサの振動質量の支持に使用されるバネ構造の断面を示す。 本発明による振動型角速度センサの振動質量の支持に使用されるバネ構造の斜視図を示す。 本発明による角速度センサの代替の構造を示す。 本発明による角速度センサの測定システムのブロック図を示す。 角速度に依存する位相シフトの図を示す。 本発明による角速度センサの測定システムの信号図を示す。 本発明による角速度センサの代替の測定システムの信号図を示す。 本発明による角速度センサの代替の第２の測定システムの信号図を示す。 本発明による角速度センサの代替の第３の測定システムの信号図を示す。

図１及び図２については上に提示した。以下に、本発明及び本発明の好ましい実施形態について図３〜図１６を参照して説明する。

発明の詳細な説明
図３は、本発明による角速度センサの測定のブロック図を示す。図示の本発明による角速度の測定は、増幅１０を介して位相検出器１１に送られる検出信号８を含む。本発明による測定は、増幅１２を介して位相検出器１１並びに９０度位相シフトモジュール１３に送られる主検出信号９をさらに含む。本発明による測定の結果として、位相検出器１１からの出力信号１４が得られると共に、位相シフトモジュール１３から主位相シフト駆動信号１５も得られる。

図４は、本発明による振動型微小機械角速度センサの機能構造の図を示す。本発明による角速度の測定では、中央にある質量が励起され、Ｘ軸方向での主運動が生じる。支持体及びバネ懸架装置によって形成された検出軸が、主運動に対して垂直から適宜傾斜する。

図示の本発明による振動型微小機械角速度センサは、バネ１９、２０により、Ｘ軸の方向にスキューした励起フレーム１７に支持された質量１６を備える。上記励起フレーム１７は、Ｙ軸の方向において、バネ２１、２２によって支持構造１８に対してスキューしてさらに支持される。

図示の本発明による振動型微小機械角速度センサの中心にある質量１６及び質量を囲む励起フレーム１７は、励起されると、本体１８にスキューして支持されたバネ２１、２２により、Ｙ軸から離れる方向において主運動する。スキューした励起フレーム１７に支持された質量１６のバネ懸架装置１９、２０によって形成される、Ｘ軸の方向での検出軸は、主運動に対する垂直から離れて適宜傾斜する。

主運動で振動している構造が、表面平面に垂直なＺ軸に関連して回転した場合、主運動で移動している質量１６は、その運動の方向に垂直なＸ軸の方向においてコリオリの力を受ける。したがって、検出バネ１９、２０は、減衰に加えて、生成される検出運動の振幅及び位相をさらに定義する。

図５は、本発明によるバネ構造を示す。本発明によるバネ構造では、バネ軸は、表面平面において励起される角速度センサの構造に向けて調整される。本発明によるバネ構造２３は、取り付けポイント２４、２５を備える。１つ又は複数の補償溝又は補償窪みが、バネ構造２３の取り付けポイント２４、２５のうちの少なくとも一方にエッチングされる。本発明によるバネ構造２３は、ある運動モードから別の運動モードまでバネによって伝えられる結合が、直交信号によって生じる非理想性によって生まれる結合を相殺するか、又は大幅に低減するように、非対称である。

図６は、本発明による角速度センサの構造を示す。本発明によるバネ構造では、バネ軸は、表面平面において励起される角速度センサの構造に向けて調整される。本発明による角速度センサの振動質量は、番号２６及び２７によって示される。角速度センサの質量２６及び２７は、取り付けポイント２８、２９においてバネ構造によって支持される。取り付けポイント２８に対向する角速度センサのバネ構造の質量端部３０において、又は代替として、バネ構造の取り付けポイント２９の端部３１において、１つ又は複数の補償溝又は補償窪み３０、３１がエッチングされる。本発明のバネ構造は、ある運動モードから別の運動モードまでバネによって伝えられる結合が、直交信号によって生じる非理想性によって生まれる結合を相殺するか、又は大幅に低減するように、非対称である。

図７は、本発明による２軸を有する角速度センサの構造を示す。本発明によるバネ構造では、バネ軸は、表面平面において励起される２軸を有する角速度センサの構造に向けて調整される。本発明による２軸を有する角速度センサの振動質量は、番号３２によって示される。２軸を有する角速度センサの質量３２は、取り付けポイント３３においてバネ構造によって支持される。２軸を有する角速度センサのバネ構造の取り付けポイント３３に対向する端部３４、３６において、又は代替として、バネ構造の取り付けポイント３３の端部３５、３７において、１つ又は複数の補償溝又は補償窪み３４〜３７がエッチングされる。本発明のバネ構造は、ある運動モードから別の運動モードまでバネによって伝えられる結合が、直交信号によって生じる非理想性によって生まれる結合を相殺するか、又は大幅に低減するように、非対称である。

図８は、本発明による振動型角速度センサの振動質量の支持に使用されるバネ構造の断面を示す。本発明による角速度センサのバネ構造は、番号２８で示される。１つ又は複数の補償溝が、本発明によるバネ構造３８にエッチングされる。本発明によるバネ構造３８は、ある運動モードから別の運動モードまでバネによって伝えられる結合が、直交信号によって生じる非理想性によって生まれる結合を相殺するか、又は大幅に低減するように、非対称である。

図９は、本発明による振動型角速度センサの振動質量の支持に使用されるバネ構造の斜視図を示す。本発明による角速度センサのバネ構造は、番号３８で示される。１つ又は複数の溝が、本発明によるバネ構造３８にエッチングされる。

図８及び図９に示す本発明によるバネ構造３８の製造では、エッチングマスクは、製造プロセスに起因するウェーハ上の非理想性を補償するように設計することができる。このような非理想性は、例えば、ＤＲＩＥ（ＤＲＩＥ、深掘り反応性イオンエッチング）エッチングプロセスの溝の傾斜内での、ウェーハに対しての垂直からの逸脱に起因する非理想性である。したがって、本発明によるバネ構造３８の補償溝の寸法は、ウェーハ上で変化する。

本発明によるバネ構造３８の補償溝は、他の構造と同じＤＲＩＥエッチングでエッチングすることができる。本発明によるバネ構造３８の製造では、ＡＲＤＥ現象（アスペクト比依存エッチングレート）により、補償溝はウェーハを貫通するようにエッチングされず、むしろ、適切な深さを有するような寸法であることができる。代替として、適した深さの溝は、例えば、２段階エッチングプロセスによってエッチングすることができる。

図１０は、本発明による角速度センサの代替の構造を示す。本発明による角速度センサの代替の構造では、バネ軸は、わずかに非垂直になるように意図的に設計される。本発明による角速度の測定では、中心にある質量は、励起されて、Ｙ軸の方向で主運動する。支持体及びバネ懸架装置によって形成される検出軸は、主運動に対する垂直から適宜逸脱する。

図示の本発明による代替の振動型微小機械角速度センサは、Ｙ軸の方向において、バネ４２、４３によって励起フレーム４０に支持される質量３９を備える。上記励起フレーム４０は、バネ４４、４５によって支持構造４１に、Ｘ軸の方向において偏心的にさらに支持される。

図示の本発明による代替の振動型微小機械角速度センサでは、中心にある質量３９及び質量３９を囲む励起フレーム４０は、励起されて、本体４１に偏心的に支持されたバネ４４、４５によってＸ軸の方向から逸脱する主運動を生じさせる。励起フレーム４０において支持された質量３９のバネ懸架装置４２、４３によってＹ軸の方向に形成される検出軸は、主運動に対する垂直から逸脱して適宜傾斜する。

主運動で振動する構造が、表面平面に対して垂直なＺ軸に関連して回転すると、主運動で運動している質量３９は、移動方向に垂直なＹ軸の方向においてコリオリの力を受ける。さらに、次に、検出バネ４２、４３は、減衰に加えて、生成される検出運動振動の振幅及び位相を定義する。

本発明による方法により、角速度の位相敏感検出を、直交信号を利用して実施することができる。直交信号のサイズは変更されないままであり、信号の結果の位相は、式（１）及び式（２）に従ってコリオリの信号の振幅に関連して略線形に変化するため、コリオリの力は検出共振器の振動の位相を変える。

本発明による方法では、角速度を単に励起された運動と検出された運動との位相差から検出することができる。位相差は、信号から形成された「エッジの急なパルス波」に対して論理関数ＸＯＲを使用することによって整然と検出することができる。ＸＯＲゲートの出力において、ＰＷＭ（パルス幅変調）信号が、信号間の位相差に比例して出現する。位相シフトの符号ひいては角速度の符号は、信号のうちの一方が９０°位相シフトしたときに得られる。

図１１は、本発明による角速度センサの測定システムのブロック図を示す。本発明による角速度センサの測定システムでは、主運動、エッジの急なパルス波の続く検出は、比較器４８、５０によって信号４６、４７から行われ、これら信号はＸＯＲゲート４９に送られる。回路の出力５１、５２において、位相シフトした主駆動信号５２及び角速度に関連するＰＷＭ変調情報５１の両方が見られ、これらは、例えば、マイクロコントローラによって直接読み取ることができる。本発明による角速度センサの測定システムでは、ローパスフィルタリングによってＰＷＭ信号５１をアナログにすることも容易である。

本発明による角速度センサの測定システムでは、実際の振幅調整器は主運動を励起する際に必要ない。さらに、主運動を検出する最も容易な方法は、直接抵抗結合によるものであり、それにより、励起にも変調にも、別個の９０°位相シフタは必要ない。

図１２は、角速度に依存する位相シフトの図を示す。図中、１０ＦＳの直交信号があり、関数は極めて線形である。特に、２ＦＳの直交信号においてすでに、非線形性は３％未満である。直交信号の逸脱が大きいことの欠点は、当然ながら、感度の低下と共に信号対雑本比の低下である。本発明によるシステムに適した直交信号サイズは、恐らく約２〜１０ＦＳである。

図１３は、本発明による角速度センサの測定システムからの信号図を示す。図示の信号図では、直交信号のサイズは２ＦＳであり、角速度はない。

図１４は、本発明による角速度センサの代替の測定システムからの信号図を示す。図示の信号図では、直交信号のサイズは１０ＦＳであり、角速度は１ＦＳである。

図１５は、本発明による角速度センサの代替の第２の測定システムからの信号図を示す。図示の信号図では、直交信号のサイズは２ＦＳであり、角速度は−１ＦＳである。

図１６は、本発明による角速度センサの代替の第３の測定システムからの信号図を示す。図示の信号図では、直交信号のサイズは２ＦＳであり、角速度は１ＦＳである。

図１３〜図１６では、上図が、時間の関数として励起運動（主）及び検出運動（従）を示し、比較されたデジタル信号が右側の目盛りで示される。他方、図１３〜図１６の下部は、ＸＯＲゲートの出力及びそれから計算された時間平均を示す。

本発明による解決策では、本発明によるシステムでの感度制御は、直交信号を補償する以外の方法で実施することは難しく、直交信号の補償は、必要な場合、静的電圧により、又は信号の混合によって行うことができる。実施に際して、最も単純な実施態様では、ＭＣＵ内のプログラムによってセンサを較正することができる。

主運動の励起も、比較器への入力に大きすぎるオフセットがある場合、問題に転じ得る。その場合、比較器に状態を切り替えさせることができるように、ある種の初期キック（initial kick）を使用することができる。せいぜい、パワーに対する調整によって生じる初期遷移がキック（kick）として十分であり得る。

本発明により、適するＳＭＤセンサ素子、約１０個の受動構成要素、１個の二重比較器、及び１個のＸＯＲ論理ゲートを有する角速度センサを実施することができる。本発明による解決策は、大半が、最も安価なものであっても、数個の受動構成要素が、パッケージされた構成要素レベル製品に加えて必要である競合する解決策と比較して絶対的に優れた概念である。

本発明により、フロントエンド、比較器、及びＸＯＲも、顧客が使用するマイクロコントローラに関連して一体化することができ、それにより、角速度の測定に起因するコスト要件及びスペース要件が最低限に抑えられる。

集積された比較的入力を有し、その出力に回路の外部からアクセス可能な商業的なマイクロコントローラが市場にある。したがって、ＸＯＲ関数は、当然ながら、ソフトウェアによって実施することもできるため、本発明による角速度センサは、単に受動構成要素を使用するだけで実施することができる。

本発明による角速度センサの解決策では、センサ電子回路は十分に単純且つ安価なものに低減された。さらに、ウェーハ平面を囲むハーメチックシール方法により、センサ素子を顧客の回路基板上に直接はんだ付けすることが可能であり、それにより、用途によっては、はんだ付けされるセンサ要素のみを製造することができる。

本発明により、振動型角速度センサの測定電子回路の大部分は、極めて単純な方法で実施することができる。さらに、システムの出力は、デジタル形態又はアナログ形態で直接読み取ることができる。

本発明は、最も高い汎用性レベルでは、主運動が、検出軸に運動と同相の励起力を発生させるようにバネ懸架装置を設計することにより、検出軸に関連してわずかに非垂直な主運動軸を生み出すものと見ることができる。

典型的なセンサ解決策では、垂直からの特定に適した逸脱は、約０．０１°〜０．５°である。表面平面に垂直な軸に対して測定する、表面平面で運動する角速度センサでは、このような逸脱は、例えば、バネを形成するマスクを直接設計することによって設計することができる。

本発明による解決策の特定の利点は、二次共振器の共振現象が、コリオリの励起が合算信号の位相をシフトさせるのと全く同じ方法でバネ懸架装置によって生み出されるテスト励起に影響することである。したがって、位相比較前に発生する機械的な外乱又は電子ノイズに対するセンサの影響の受けやすさは、従来技術による角速度センサと比較してかなり低減される。

本発明による解決策にはさらなる利点がある。本発明は、励起運動の振幅の影響を受けにくい。センサの影響の受けやすさは、振幅に関係なく一定のままである直交信号とコリオリ信号との比のみに依存する。しかし、励起運動の振幅は、当然ながら、センサのノイズレベルに影響し、それにより、出力は、装置の電源が入っているとき、短時間にわたって極めてノイズが多くなる。

従来の角速度センサシステムよりもよい直交信号耐性は、本発明の利点と考えることもできる。そのように機能することは、直交信号に基づき、したがって、控えめな直交信号は、感度低下を通してを除き、ヌルポイントのクリーピング（creeping）さえも発生させない。しかし、直交信号は感度の意味で極めて大きい。また、分散が大きいことは、広い感度制御範囲を必要とする。

本発明は、圧電型、圧電抵抗型、及び容量型等の角速度センサのすべての種類の測定原理に適する。

Claims (21)

1. 角速度センサが、少なくとも１つの振動質量と、前記質量に関連付けられた移動電極とを備え、前記質量が、励起される主運動を有すると共に、前記主運動に加えて、前記主運動に略垂直な検出軸に関連して自由度２を有し、前記質量が、バネ構造によってセンサ構成要素の本体に支持される、振動型微小機械角速度センサによって角速度を測定する方法であって、該方法において、前記質量が、検出共振器内で、前記主運動と同相のテスト励起が誘導されるように、非垂直の主軸及び副軸を有するバネ懸架装置によって懸架されること、及び測定される角速度が、前記主運動と副運動との位相差から、位相検出器によって位相敏感検出されることを特徴とする、方法。
2. 前記主運動信号及び前記副運動信号のうちの一方が、９０°位相シフトされることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
3. 前記主運動信号及び前記副運動信号のうちの少なくとも一方が、増幅されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の方法。
4. 前記位相敏感検出が、エッジの急なパルス波が、比較器（４８）、（５０）によって前記主運動信号及び前記副運動信号から生成されるように、ＸＯＲゲート（４９）によって実施され、前記波は前記ＸＯＲゲート（４９）に送られることを特徴とする、請求項１、２、又は３に記載の方法。
5. 前記位相敏感検出の出力として、前記信号の前記位相差に比例するパルス幅変調信号が得られることを特徴とする、請求項４に記載の方法。
6. アナログ出力信号が、ローパスフィルタリングにより、前記位相敏感検出の出力として得られる前記信号の前記位相差に比例する前記パルス幅変調信号から生成されることを特徴とする、請求項５に記載の方法。
7. 前記主運動が、抵抗結合によって直接検出されることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
8. 角速度センサが、少なくとも１つの振動質量と、前記質量に関連付けられた移動電極とを備え、前記質量が、励起される主運動を有すると共に、前記主運動に加えて、前記主運動に略垂直な検出軸に関連して自由度２を有し、前記質量が、バネ構造によってセンサ構成要素の本体に支持される、振動型微小機械角速度センサによって角速度を測定する装置であって、前記質量が位相検出器（１１）、（４９）を備え、それにより、該装置内で、前記質量が、検出共振器内で、前記主運動と同相のテスト励起が誘導されるように、非垂直の主軸及び副軸を有するバネ懸架装置によって懸架されること、及び測定される角速度が、前記主運動と副運動との位相差から、位相検出器によって位相敏感検出されることを特徴とする、装置。
9. 前記主運動信号又は前記副運動信号のうちの一方の位相を９０度シフトさせる位相シフタ（１３）、（５０）をさらに備えることを特徴とする、請求項８に記載の装置。
10. 前記主運動信号又は前記副運動信号のうちの少なくとも一方を増幅する増幅器（１０）、（１２）、（４８）、（５０）をさらに備えることを特徴とする、請求項８又は９に記載の装置。
11. ＸＯＲゲート（４９）及び比較器（４８）、５０）をさらに備え、それにより、前記主運動信号及び前記副運動信号が、前記比較器（４８）、（５０）により、エッジの急なパルス波にされるように、前記位相敏感検出が前記ＸＯＲゲート（４９）によって実施され、前記パルス波が前記ＸＯＲゲート（４９）に送られることを特徴とする、請求項８、９、又は１０に記載の装置。
12. 前記位相敏感検出の出力として、前記信号間の前記位相シフトに比例するパルス幅変調信号を送出する手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１１に記載の装置。
13. 前記信号間の前記位相シフトに比例する前記パルス幅変調信号のローパスフィルタリングし、前記位相敏感検出の出力としてアナログ出力信号を送出する手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１２に記載の装置。
14. 抵抗結合によって前記主運動を直接検出する手段をさらに備えることを特徴とする、請求項８〜１３のいずれか一項に記載の装置。
15. 角速度センサが、少なくとも１つの振動質量と、前記質量に関連付けられた移動電極とを備え、前記質量が、励起される主運動を有すると共に、前記主運動に加えて、前記主運動に略垂直な検出軸に関連して自由度２を有し、前記質量が、バネ構造によってセンサ構成要素の本体に支持される、振動型微小機械角速度センサであって、前記質量が、検出共振器内で、前記主運動と同相のテスト励起が誘導されるように、非垂直の主軸及び副軸を有するバネ懸架装置によって懸架されること、及び測定される角速度が、前記主運動と副運動との位相差から、位相検出器によって位相敏感検出されることを特徴とする、角速度センサ。
16. 前記主運動信号又は前記副運動信号のうちの一方の位相を９０度シフトさせる手段を備えることを特徴とする、請求項１５に記載の角速度センサ。
17. 前記主運動信号又は前記副運動信号のうちの少なくとも一方を増幅する手段を備えることを特徴とする、請求項１５又は１６に記載の角速度センサ。
18. ＸＯＲゲート（４９）及び比較器（４８）、（５０）をさらに備え、それにより、前記主運動信号及び前記副運動信号が、前記比較器（４８）、（５０）により、エッジの急なパルス波にされるように、前記位相敏感検出が前記ＸＯＲゲート（４９）によって実施され、前記パルス波が前記ＸＯＲゲート（４９）に送られることを特徴とする、請求項１５、１６、又は１７に記載の角速度センサ。
19. 前記位相敏感検出の出力として、前記信号間の前記位相シフトに比例するパルス幅変調信号を送出する手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１８に記載の角速度センサ。
20. 前記信号間の前記位相シフトに比例する前記パルス幅変調信号のローパスフィルタリングし、前記位相敏感検出の出力としてアナログ出力信号を送出する手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１９に記載の角速度センサ。
21. 抵抗結合によって前記主運動を直接検出する手段を備えることを特徴とする、請求項１５〜２０のいずれか一項に記載の角速度センサ。

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