JP2010527139A - レチクル及び他の平面体用のキネマティックチャック - Google Patents
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Abstract
例えばマイクログラフィにおける、レチクルなどの平面体を保持及び移動させる装置が開示される。装置の一例は、ステージ及び基体チャックを有する。ステージは、移動可能な支持面を有する。第1メンブレンの基部近傍領域は支持面に搭載される。第1メンブレンの先端領域は支持面から延び、前記第1メンブレンが少なくとも部分的に前記チャックを支持するように、前記チャックにつながる。チャックは、そこから複数のピンが延びる面を含む。その面は、先端領域に置かれる。ピンは、基体の各領域に接触しかつ基体を支持するように配列される。ピンの配置は、支持面によるチャックの移動の間、その移動で生じる力に基づくピンに対する基体の滑りが各ピンで実質的に均一となるように構成される。
Description
本開示は、特に、半導体マイクロデバイス、ディスプレイ、及び、マイクログラフィック・インプリンティングを含むプロセスによって製造可能な微細構造を有する他の製品、の製造に使用される主要結像技術であるマイクロリソグラフィに関する。より具体的には、本開示は、レチクル又は他の平面体を保持するための装置に関する。
本願は、2006年5月19日に出願された米国仮出願第60/801,866号に基づいて2007年5月16日に出願された米国特許出願第11/749,706号に優先権を主張しその内容をここに援用する。
一般に、投影マイクロリソグラフィシステムにおいて、露光感光性の基板の表面に投影されるパターンは、マスクと呼ばれることがある、レチクルによって規定される。マイクロリソグラフィシステムにおいて、リソグラフィック露光に要求される精密及び高精度の移動が可能なステージ上にマスクが搭載される。レチクルは、レチクルステージ上に搭載されている間、放射線ビーム(例えば、遠紫外線又は真空紫外光のビーム)で照明される。レチクルからのビームが下流に伝播するのに伴い、照明されたパターンの空間像をビームが運ぶ。この下流ビーム(downstream beam)は、パターンビーム又は像ビームと呼ばれ、パターンビームを調整及び形作る投影光学システムを通過し、これにより、露光感光性のリソグラフィック基板(例えば、レジストが塗布された半導体ウエハ)の表面に、集光されたパターン像が形成される。露光のために、例えば、基板ステージ又はウエハステージと呼ばれる移動可能なステージに基板も搭載される。
リソグラフィック露光中のレチクル(通常は水平状態)の保持のために、レチクルステージには、レチクルステージの移動面に搭載されるレチクルチャックが設けられる。レチクルチャックは、精巧なレチクルへのダメージを避けながら結像するのに適切な方法でレチクルを保持する。例えば、あるレチクルチャックにおいて、レチクルに吸着力を作用させることによりレチクルを保持する。他のレチクルチャックにおいて、静電気又はローレンツ力による吸引力によってレチクルを保持する。レチクルを通して放射線ビームを伝達するマイクログラフィシステムにおいて、レチクルチャックは、通常、周縁の周りで(又は少なくとも対向する側部に沿って)レチクルを保持する(チャックする)ように構成され、これにより、レチクルのパターン領域は支持されないままとなっている。レチクルの質量を要因として、レチクルの支持されていない中央の領域は、重力によって垂れ下がる傾向にある。この撓みは、レチクルを変形させ、何らかの補正又は補償をしないと、マイクログラフィシステムにおけるイメージング性能(結像性能)を低下させる可能性がある。
マイクログラフィシステムにおける性能を示す重要な2つの指標は、オーバーレイと結像品質である。像品質は、像解像度、精確度、鮮明度、コントラストなどの様々なパラメータを含む。「オーバーレイ」は、像目標位置に対する現在の像についての精確性及び精密性に関する。例えば、適切なオーバーレイは、予め形成された、基板上の基底構造に対して、像が位置合わせされる(レジストレーションされる)ことを要求する。
チャックされたレチクルの変形した形状は、オーバーレイ及び結像品質に対して直接的な影響を及ぼす。レチクルの撓みが不可避である場合、理想的な変形形状は、走査軸(y軸)周りに多くても2次(放物線)である。下流の光学系(例えば、投影光学系)に対する適切な調整を行うことで、この種のレチクル変形を補償することができるものの、各レチクルの変形は、通常、別のレチクルとは異なり、異なるレチクルがチャックされる毎に下流光学系を調整するのは実際的ではない。
チャックされたレチクルにおいて、レチクルとチャックが接触した領域では部分的な摩擦力が生じており、こうした摩擦力は、レチクルステージの移動中にレチクルの位置を保つ上で鍵となる。しかし、こうした摩擦力は、レチクルステージの加速及び減速の間、レチクルとチャックとの間の部分的なせん断応力を克服するのに十分でない可能性がある。こうしたせん断応力は、チャックに対してレチクルが滑る原因となる可能性がある。さらに、加速又は減速の後に、レチクルの滑りが生じた結果、レチクル及びチャックが、それぞれ元の形状や元の相対位置関係に戻らない可能性がある。こうした事象において、残留応力がレチクル及びチャックで生じ、その結果、リソグラフィック露光におけるレチクルステージの走査動作の間に意図しないレチクル歪みが生じる可能性がある。レチクル滑りによる別の結果として、レチクルの位置決めに使用される干渉計とレチクルとの間の再現不能な相対位置の変化がある。この変化は、オーバーレイ精度に直接的に影響する。
これらの問題については、従来、レチクルステージ全体にわたる熱的及び機械的歪みを制御及び最小化する試みによって取り組みがなされてきた。しかしながら、次世代のマイクログラフィシステムにおいて、さらに高いステージ加速が要求され、また、オーバーレイの仕様が厳しくなり続けており、このアプローチの限界が明らかになってきている。
Gilissen等の米国特許第6,956,222号には、この課題を解決するためのひとつの取り組みが開示されており、すなわち、テーブル上で延在する「ピンプルプレート(pimple plate)」にレチクルが置かれ、ピンプルプレートとテーブルとの間にはすき間が設けられる。ピンプルプレートは、硬質材料(ガラス又はセラミック)からなり、レチクルに接する多数の突起を有する。レチクルは、静電吸着によって、ピンプルプレート上に保持される。ピンプルプレートは、静電吸着によって、メンブレン上に保持される。ピンプルプレートの下側は、テーブルに設けられた支持ピンによって支持されている。ピンプルは、3方向(x、y、z)のすべてにおいて高剛性を有する。残念ながら、レチクルを保持したレチクルステージの加速及び減速中に、レチクルについてピンプルプレートに対して許容できない量の滑りが生じ、また、ピンプルプレートについてメンブレンに対して許容できない量の滑りが生じる。
Donders等の米国特許第6,480,260号には、この課題を解決するための別のアプローチが開示されており、その内容をここに援用する。この260特許によれば、(y方向(走査方向)に対する)レチクルの2つの対向する側(側面)領域が、互いに平行に配置される「従属部材」に補助されて、レチクルステージに保持される。好ましい実施形態において、各従属部材は、レチクルの側領域に沿った、またレチクルステージの側領域に沿った、縦に延びる細長い形状を有する。従属部材の1つの側領域は、レチクルステージの側領域に配置され、従属部材の他の側領域は、片持ち式でレチクルステージの端部から張り出している。各従属部材の片持ちの側領域の全長に沿って延び、また上方に突出された短い壁が「真空スペース」を取り囲みかつ規定する。壁及び真空スペースは集合的にレチクル「チャック」を規定する。それに対応するレチクルの下側は、集合的に「チャック面」となる壁の頂部(ランド)上に実質的に置かれる。真空スペースを吸引することにより、レチクルがチャック面に保持される。従属部材は、z方向に従属性を示し、レチクルの形状に従って若干撓むものの、壁と同様に、それらはx−y方向に高剛性を有する。少なくとも3つのピンがチャックの下側とレチクルステージの上面との間で延在する(すなわち、1つのチャックの真下に2つのピンがあり、他のチャックの真下に1つのピンがある)。1以上のピンが真空スペースに配置可能であり、レチクルにおけるチャック領域に対して追加的な支持がなされ、これらの構成は、「ピンチャック」と呼ばれる。この方法においても、チャックされたレチクルを支持しているレチクルステージの加速及び減速中において、チャック面に対して許容できない量のレチクルの滑りが生じる。
従来のレチクルチャックのこうした事情に鑑みると、レチクルのキネマティック支持を維持しつつ、チャック面に対するレチクルの滑りがより低減された(又は完全に解消された)状態で、レチクルステージ上にレチクルがチャックされれば有利である。こうした目標の達成は、リソグラフィック露光中におけるオーバーレイのエラーなどの実質的な原因を取り除くと考えられる。
第1態様に従えば、レチクルなどの平面体(基体)を保持及び移動させる装置が提供される。装置の一実施形態は、ステージ及び基体チャックを含む。ステージは、移動可能な支持面を有する。装置は、基部近傍領域と先端領域とを含む第1メンブレンを含む。基部近傍領域は支持面につながる。先端領域は支持面から延び、第1メンブレンが少なくとも部分的に基体チャックを支持するように、基体チャックにつながる。基体チャックは、面と多数のピンを含む。面は、第1メンブレンの先端領域に置かれる。ピンは、面に対して延在しかつ、面上に並べられ、それぞれが基体に部分的に接して面に対して基体を支持する。支持面の移動に伴う基体チャックの移動中、その移動によって生じる、ピンに対する基体の滑りが各ピンで実質的に同じとなるように、ピンが並べられる。
上記概要の装置における、ある実施形態において、ステージは、互いに離間した(しかし望ましくは同期的に移動する)第1及び第2支持面を有する。基体チャックは、第1チャック部と第2チャック部を有し、第1メンブレンは、第1支持面に配置されかつ第1支持面から延びる第1メンブレン部と、第2支持面に配置されかつ第2支持面から延びる第2メンブレン部とを含む。第1チャック部は、第1メンブレン部の先端領域に配置され、第2チャック部は、第2メンブレン部の先端領域に配置される。
基体チャックは、例えばレチクルのための、少なくとも1つの真空チャックを含むことができる。この構成及び他の構成において、基体チャックは、面から延びる壁を含むことができる。壁は、望ましくは、面及び基体チャックに接する基体の部分と協働して、真空空間を規定する。
ピンは、必要に応じて、真空空間に配置され壁と関連するサイドピンを含むことができる。独立ピンは、真空空間に置かれかつ面から延びる。
壁は、それぞれランドを有し、ピンはそれぞれ頂面を有する。装置によって基体が保持されているとき、頂面(及び必要に応じて少なくともランドの1つ)が集合的に、基体に接触しかつ基体を少なくとも部分的に支持するチャック面を規定する、ピンの頂面(及び必要に応じてランドの少なくとも1つ)が基体の下面に接触する。壁は、面と一体にできる。壁の少なくとも1つが面と異なる材料によって作られかつ面に搭載される。
ピンは、支持面の移動による基体チャックの走査方向における少なくとも1つの縦列に延びて配列可能である。ピンは、少なくとも1つの列で実質的に同じピッチで配列可能である。ピンは、複数の縦列に配置可能である。後の構成において、各列はそれぞれピンピッチを有し、各ピンピッチが実質的に同じにできる。代替的に、各列はそれぞれピンピッチを有し、ピンピッチは、少なくとも2つの列で異なる、列は、互いに実質的に等しい間隔又は互いに異なる間隔にできる。ピンは、同じ形状又は異なる形状にできる。例えば、ピンは、円柱状、球状、矩形、楕円、長円、正方形、他の多角形、円錐台、階段状、及びそれらの組み合わせのような、形状をそれぞれ有することができ、ただしこれらに限定されない。ピンは、実質的に同じ剛性又は多様な剛性を有するようにできる。
装置は、そこからピンが延びる面を含む第2メンブレンを有することができる。第2メンブレンは、実質的に均質の厚みを有する、又は多様な厚みを有することができる。第2メンブレンは、石英ガラス、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化バリウム、コーディエライト(ケイ酸アルミニウム・マグネシウム)、酸化アルミニウム、インバー、ゼロデュア(登録商標)、又はステンレス鋼から作成できる。ピンは、第2メンブレンと同じ材料で作られかつ第2メンブレンと一体にできる。
第2メンブレンを有する実施形態において、壁の少なくとも1つは、第2メンブレンと同じ材料で作ることができる。代替的に、壁の1つを、第2メンブレンと異なる材料で作り、第2メンブレンに取り付けることができる。例えば、少なくとも1つの壁が、PTFE(登録商標)、又はロー・デュロメーター・ケミカリー・クリーン・ラバーで作成でき、ただしこれらに限定されない。
他の態様に従えば、レチクルを保持及び移動させる装置が提供される。こうした装置の一実施形態は、移動可能な第1及び第2支持面を有するステージを備える。また、装置は、支持面に搭載されるレチクルチャックを含む。レチクルチャックは、第1及び第2チャック部を有する。各チャック部はそれぞれ、第1領域と第2領域を有する第1メンブレンを含む。第1及び第2支持面から第2領域が互いに向かって延びるように、第1領域が第1及び第2支持面にそれぞれ搭載される。第1及び第2チャック部が第2領域にそれぞれ搭載される。各チャック部はそれぞれ、面(第1メンブレンに搭載された第2メンブレン、又は第1メンブレンの一部)と、壁と、面から延びた独立ピンとを有する。面及び壁は、レチクルの各領域がチャック部に置かれると、集合的に真空空間を規定する。壁は、接触又は非接触ランドとなり得るランドを提供でき、接触ランドはレチクルの下面と接触し、非接触ランドは接触しない。少なくとも複数のピン(及び必要に応じて少なくとも1つのランド)が、レチクルの各領域に接触しかつレチクルを支持する。ピンは、ステージによるレチクルチャックの移動の間、移動によって生じるせん断力によるピン(及び接触ランド)に対するレチクルの滑りが各ピンで実質的に均一となるように、構成かつ配置される、
代替的な実施形態において、概要したように、ピン、ピン列、壁、ランド、真空空間などの構成は様々である。ある実施形態において、各チャック部でのピンの頂部(及び接触ランド)が集合的に、平面状に置かれかつレチクルの各部分を保持するように構成された各チャック面を規定する。
さらに別の態様に従えば、処理システムが提供される。システムの様々な実施形態は、処理装置、及び処理装置に対して平面体を保持及び移動させる上で概要した装置の1つのような装置を含む。処理装置は、例えば、光学システムにできる。
さらに別の態様に従えば、マイクログラフィシステムが提供される。こうしたシステムの様々な実施形態は、レチクル上に規定されたパターンをリソグラフィック基板上に形作るように構成される結像光学系を備える。また、実施形態は、結像光学系に対して置かれ移動可能な支持面を有するレチクルステージを備える。レチクルチャックは、支持面に搭載され、上記概要した構成のいずれかのような少なくとも1つのチャック部を有する。
本発明について前述の及び追加の特徴部分及び利点は、添付の図を参照した、以下の詳しい説明から容易に明らかになるだろう
以下の説明は、代表的な実施形態を説明するものであって、発明を限定する意図はない。
以下の説明において、「上(up)」、「下(down)」、「上の(upper)」、「下の(lower)」、「水平の(horizontal)」、「鉛直の(vertical)、「左の(left)」、「右の(right)」などの用語が使用される。これらの用語は、相対関係を扱う際に、その説明をある程度明確にするものである。しかし、これらの用語について、関係、位置、及び/又は方向性について絶対的なものを示す意図はない。例えば、ある対象物に関し、その対象物を単にひっくり返すことで「上」面は「下」面となり得る。しかしながらその対象物(object)は同じである。
本開示において、「レチクル」は、マイクロリソグラフィ及び関連技術において使用される、パターンを規定する物体(パターンマスター)を示すのに用いられる。マイクロリソグラフィによく用いられる、パターンマスターを示す他の用語として「マスク」があり、「レチクル」は、マスク及びマイクロリソグラフィに用いられる他のパターンマスターを含むものとして理解されるだろう。
出願人の詳細な検討及び従来のレチクルチャックの評価から、下記が開示又は確認されている。
(1)レチクルとチャックとの間における接触応力(符号Ss)と摩擦係数(符号u)の積を、レチクルとチャック表面との間のせん断応力(符号Sc)が超えるとレチクル滑りが生じる:
(2)せん断応力に対する接触応力と摩擦係数の積の比が最大のとき、レチクル滑りが最小である:
(3)レチクルステージとレチクルの間の相対変位(符号dy)と、レチクルとステージの間の剛性(符号K)の積に、せん断応力が比例する:
ピンチャックの場合、チャック吸引圧力(符号P)とピン周りの不支持面積の積にピン頂部での接触応力が比例する:
上記の結果として、レチクルに対するチャックの各接触のために、Rを最大化するのが望ましい。各接触に対してRを最大化することにより、各接触についてRを実質的に等しくすることが可能である。すなわち、レチクルチャックとレチクルの各接触における滑りの発現が同時に生じるとき、システムを最適化又は均衡化することが可能である。
<第1の代表的実施形態>
図1A−1Cは、キネマティック・レチクルチャック10の第1の代表的実施形態を示す。図1Aは、x−y平面に関する平面図であり、y方向が走査方向である。レチクルステージ12の左部14a及び右部14bが示され、各支持面17a,17bがそれぞれ表わされている。部分14a,14bは、y方向において互いに平行に延び、x方向において互いに対向する。支持面17a,17bには、フレキシブル部材(ここでは第1メンブレン(第1膜状部材)と称する)16a,16bがそれぞれ取り付けられている。各第1メンブレン16a,16bは、レチクルステージ12の支持面17a,17bにそれぞれ取り付けられた第1の側領域18a,18bと、各部分14a,14bから片持ち式に張り出した第2の側領域20a,20bとを有する。つまり、第1の側領域18a,18bは、第1メンブレン16a,16bにおける(支持面17a,17bに対してそれぞれ)「近接した」領域であり、第2の側領域20a,20bは、第1メンブレン16a,16bにおける(支持面17a,17bに対してそれぞれ)「先端の」領域である。各第2の側領域20a,20bの上方に向いた表面には、真空チャック22a,22bが搭載されている。真空チャック22a,22bは、y方向に延びるセンターラインCLをそれぞれ有する。真空チャック22a,22bは、レチクル25を支持する。
図1A−1Cは、キネマティック・レチクルチャック10の第1の代表的実施形態を示す。図1Aは、x−y平面に関する平面図であり、y方向が走査方向である。レチクルステージ12の左部14a及び右部14bが示され、各支持面17a,17bがそれぞれ表わされている。部分14a,14bは、y方向において互いに平行に延び、x方向において互いに対向する。支持面17a,17bには、フレキシブル部材(ここでは第1メンブレン(第1膜状部材)と称する)16a,16bがそれぞれ取り付けられている。各第1メンブレン16a,16bは、レチクルステージ12の支持面17a,17bにそれぞれ取り付けられた第1の側領域18a,18bと、各部分14a,14bから片持ち式に張り出した第2の側領域20a,20bとを有する。つまり、第1の側領域18a,18bは、第1メンブレン16a,16bにおける(支持面17a,17bに対してそれぞれ)「近接した」領域であり、第2の側領域20a,20bは、第1メンブレン16a,16bにおける(支持面17a,17bに対してそれぞれ)「先端の」領域である。各第2の側領域20a,20bの上方に向いた表面には、真空チャック22a,22bが搭載されている。真空チャック22a,22bは、y方向に延びるセンターラインCLをそれぞれ有する。真空チャック22a,22bは、レチクル25を支持する。
図1Bに示すように、真空チャック22a,22bはそれぞれ、センターラインCLに沿って、第1メンブレン16a,16bにおける第2の側領域20a,22bに取り付けられる。各真空チャック22a,22bとそれぞれの第2の側領域20a,20bとの間には、真空チャックを第2の側領域のそれぞれの表面から(z方向に)わずかに持ち上げるスペーサ24a,24bがある。スペーサ24a,24bは、真空チャック22a,22bを、各センターラインに沿って、第2の側領域20a,20bに搭載するのを容易にする。
独立したスペーサ24a,24bの代替として、スペーサを真空チャック22a,22bと一体的なものにできる。例えば、各真空チャック22a,22bの下面を、図示された実施形態における各スペーサによって占められた領域で(z方向に)厚くできる。
第2の側領域20a及び真空チャック22aのさらなる詳細を図1Cに示す。この図では、下層部分を示すためにレチクルを図示していない。図示された実施形態において、第2の側領域20aは、互いに平行にx方向に延びた複数の枝部26を含む。(後に説明するような他の実施形態では、枝部26は省略している。) スペーサ24aは、枝部26の端に搭載され、真空チャック22aは、スペーサ24aの上面に搭載されている。真空チャック22aは、基部(第2メンブレン又はウェブとも称する)28を含み、そこから壁30,32がz方向に突出している。
壁30,32は、「ランド」と呼ばれる上面34,36をそれぞれ有する。(図においては、第2メンブレン28の表面の上方において、すべてのランドが同じ高さとなっているが、これに限定されない。後述する他の実施形態において、ランドは、第2メンブレン上で個別の高さを有する) 本実施形態において、少なくとも1つの横壁30が「サイドピン」38を個別に規定し、任意に、少なくとも1つの縦壁32が個別にサイドピン40を規定する。(後述するような他の実施形態では、任意につき、サイドピン38,40は省略している。) 図示の実施形態におけるサイドピン38は、壁30,32と同じ高さで、第2メンブレン28の上面から上方に突出している。本実施形態は、壁の交差部分に配置された任意のコーナーピン42と、第2メンブレン28から上方に延びて独立的に立つ複数のピン44からなる複数(図では2つ)の縦列とを含む。
本実施形態において、ランド34,36及びピン38,40,44のすべては、第2メンブレン28の上方において実質的に同じ高さを有しており、x−y方向に延在しかつレチクルが置かれる「チャック面」を規定する(図1B)。レチクル25、第2メンブレン28、及び壁30,32は集合的に真空空間33を規定し、それは第2メンブレン28を通って延びるポート46を介して真空引きされる。真空空間33内を減圧することにより、ランド34,36及びピン38,40,44に対してレチクルがおしつけられる。
サイドピン38,40上の接触圧力(Sc)は、独立ピン44(ピンが等間隔である場合)上の接触圧力の実質的に半分であるのが好ましい。
ここで、Scspは、サイドピン38,40におけるせん断応力、Scpは、独立ピン44におけるせん断応力である。バランス及び最適化のために、独立ピン44、サイドピン38,40(存在する場合)、及びその間のウェブ構造の各剛性について、サイドピンを通ってレチクルステージ14a,14bからレチクル25に至る経路の剛性が独立ピンを通る経路の剛性の実質的に半分であるのが好ましい。
ここで、Kは全体剛性を示し、Kspはサイドピンの剛性を示し、Kwlは第2メンブレン(ウェブ)の長手の剛性を示し、Kwsは第2メンブレン(ウェブ)の短手の剛性を示し、Kcpは独立ピの剛性を示し、そして、Kmは第1メンブレンの剛性を示す。図2には、これらの変数の図が示される。この式では、各ピンで摩擦係数が同じであるとしている。
こうした例として、一般的なレチクルの質量は0.3kgであり、これは20×gの加速度で66Nのせん断力を生む。2つのチャックは、それぞれが前述に準じた独立ピン(1列につき80のピン)からなる2つの縦列を有し、図3に示すようなy方向の力の分布を生む。すなわち、ランド及びサイドピンにおける、y方向の力が1ピンあたり69mNであり、独立ピンにおいて、y方向の力が1ピンあたり138mNである。図3において、破線は、スペーサ24の位置を示す。
独立ピン44は、重要な役割をし、特に、第1メンブレンにバランスの取れた応力を与える。この点において、独立ピン44の複数の列(y方向における)は価値がある。再度、図3に示す力の分布例を見てほしい。ここで、独立ピン44の基部周りにおける第2メンブレン(ウェブ)の曲げ剛性(bending flexibility)がこれらのピンの傾斜剛性(tilting stiffness)に影響する。
本実施形態は、従来のレチクルチャックで生じる重要な課題、すなわち、真空チャックがレチクルに接触する箇所で生じる、不均一なせん断力による滑りの課題を解決する。本実施形態において、真空チャック22a,22b上でレチクルが滑るような大きさを有する加速又は減速をレチクル25が受けたとしても、真空チャックにレチクルが接触している各箇所における滑りポイント(せん断応力の大きさ)は実質的に同じである。
第1メンブレン16a,16b及び第2メンブレン28,28bを製造するための材料の例として、石英ガラス(fused silica、石英(amorphous quarts))、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化バリウム、コーディエライト(cordierite)(ケイ酸アルミニウム・マグネシウム(magnesium aluminum silicate))、酸化アルミニウム、インバー、及びゼロデュア(ドイツ、ショット社製のガラスセラミックの登録商標)が挙げられる。厳しい要求を軽減するために、ステンレス鋼などいくつかの金属を代替的に使用可能である。特に望ましい材料は、極低熱膨張率を有しており、上述のリストはレチクルを製造するための候補となる材料リストと似ている。レチクルチャックは、これらの材料のいずれかで作成可能であり、第1メンブレンと同じ材料又は異なる材料で作成可能である。
壁30,32及びランド34,36は、第2メンブレン28と同じ材料で作成しなくてもよい。例えば、後述するように、ランドは、PTFE(デュポン社のテフロン(登録商標))、又はロー・デュロメーター・ケミカリー・クリーン・ラバー(low-durometer, chemically clean rubber)(例えば、オプティック アルモア(OPTIC ARMOR)(登録商標))を第2メンブレン28に接着して取り付けることによって作成できる。
本実施形態において、壁30,32はランド34,36をそれぞれ有し、それらはすべて(ピンの頂部として)同じx−y面内にある。このことは、本実施形態において、第2メンブレン28の上面に対して、壁30,32のすべてが等しい高さである構成によって達成される。しかしながら、本実施形態のように、すべてのランドが同じ平面にあることに限定されない。代替的な実施形態において、後述するように、壁の少なくとも1つ(例えば、外側の壁)が他の壁(例えば、内側の壁)よりも短くでき、これにより、短い壁のランドがピン頂部のx−y面よりも低く置かれ、ランドとレチクルの下側との間のギャップがそのまま残る。短い壁は一般にサイドピンを有さないだろう。
本実施形態において、壁30,32は、互いに連続しているがこれに限定されない。代替的に、壁は不連続にできる(例えば、角部で互いに分かれる、及び/又は、x又はy方向の隙間を有する)。少なくとも1つの短い壁、又はその長さに沿った少なくとも1つの隙間を有する壁、を有する真空チャックは、真空空間33にとって漏れやすいシールを形成する。
各真空チャック22a,22bにおいて、空間33内を吸引することにより、レチクル25のx−y平面に垂直な、レチクルをランド34,36及びピン38,40,44の頂部におしつける機能を有する力が生じる。様々な機能のうち、独立ピン40も、第2メンブレン28に対してレチクル25の部分的な損傷を防ぐ。
上述した本実施形態において、各真空チャック22a,22bは、それぞれ1つのユニットである。代替的な実施形態において、各真空チャック22a,22bは、レチクル25の1つの辺に1を超える真空チャックを設けた、ユニットペアのような、複数のユニットを含むことができる。
上述の本実施形態において、第1メンブレン16a,16bの第2の側領域20a,20bは、複数の枝部26を有する。代替的なある実施形態において、より少ない枝部26が存在し、他の代替的な実施形態において、第2の側領域20a,20bに枝部がない。枝部を有する実施形態において、各枝部の間の隙間は、図1Aに示したものと異なることができ、また、均一でなくてもよい。
第1メンブレン16a,16bの第1の側領域18a,18bは、適切な様々な手段によって、レチクルステージの各支持面17a,17bに取り付け可能である。例示的手段は、ねじやボルト、クリップ、接着剤、又は他の適切な手段を含む。
上述した実施形態において、各真空チャック22a,22bは、独立して立つピン44からなる複数の列を含む(2つの列が図示されている)。代替的なある実施形態において、各真空チャックは、1列のみの独立ピン44を有し、これは、ランド34,36が独立ピンと同じ高さを有する場合、及び/又は真空チャックがサイドピン38,40を有する場合に適する可能性がある。他の代替的な実施形態(いくつかは後述する)において、各真空チャックは、独立ピンが2列を超える。また、1列あたりの独立ピン44の数は、図1Cにおいて示されたような所定の数(例えば80)に限定さない。単一又はいくつかの列は、ピンの(y方向の)ピッチが他の列と異なることができ、また、いずれの列においてもy方向ピッチが均一でなくてもよい。また、隣接した列の間の隙間(x方向ピッチ)は、列から列まで等しくなくてもよい。さらに、独立ピン44は、スペーサ24a,24bを超えて配置しなくてもよく、又はスペーサを超えただけの配置をしなくてもよい。また、本実施形態において、独立ピン44は、左右対称の列に配置されているが、これに限定されない。他の実施形態において、例えば、最も近い独立ピン44の列までの壁38からのx方向の距離は、最も近い独立ピン44の列までの壁36からのx方向の距離に比べて短くできる。
なお、本実施形態において、独立ピン44は、筒形状を有するものとして示されるが、これに限定されない。代替的に、ピン形状は、矩形、楕円、長円、正方形、他の多角形(例えば、六角形)、円錐台(frustoconical)、階段状等であり、これらに限定されない。円柱状44a、正方形44b、矩形44c、楕円44d、六角形44e、錐状(frustoconical)44f、及び階段状44g等を含む、それらの例示的な形状を図4に示す。
本実施形態に基づくレチクルチャックに置かれたレチクルは、重力による撓みが生じ得るとされ、これは、この方法で支持される物体にとって概ね避けられない。図5は、理想的なレチクルの変形形状を示す。この理想的な変形は、走査軸(y軸)に関して最大で2次のものである。すでに述べたように、マイクロリソグラフィシステムの性能に関して2つの重要な手段は、オーバーレイ及び結像である。保持されたレチクルの変形は、オーバーレイ及び結像に直接的な影響を及ぼす。しかし、その変形が走査軸に関して最大で2次(放物線状)であるとき、下流の光学系について、変形の影響を補償するための調整が容易に可能である。本実施形態はこの目標を達成する。また、異なるレチクルは異なる平坦性(フラットネス)を有するものの、本実施形態において、レチクルチャックはレチクルをキネマティックに支持しており、そのため、レチクルのフラットネスの違いが、保持に伴うレチクルの変形に影響しない。また、レチクルステージがy方向に繰り返し加減速される状況にあっても、本実施形態はレチクルを確実に保持する。したがって、オーバーレイにおけるエラーが最小化される。
代替的な実施形態において、スペーサ24a,24b及び第2メンブレン28が削除され、第1メンブレン16a,16bにおける第2側領域20a,20bの各上面によって提供される面から壁及びピンが延びる。
<実施例1>
図6は、20×gの加速度下における実施形態でのピン及びランドの相対的な変位を、斜視図として示す。ランド、サイドピン、及び独立ピンは、図3に示すy力分布のために実質的に等しい変位を有する。
図6は、20×gの加速度下における実施形態でのピン及びランドの相対的な変位を、斜視図として示す。ランド、サイドピン、及び独立ピンは、図3に示すy力分布のために実質的に等しい変位を有する。
<第2の代表的実施形態>
第1の代表的実施形態は、ランド34,36ですべて同じ高さの独立ピン44及びサイドピン38,40を含んでいた。また、第1実施形態は、枝部26を有していた。第2の代表的実施形態は、枝部及びサイドピンを含まない。また、外側のランドは、独立ピン及び内側ランドに比べて短い。したがって、外側のランドは、独立ピン及び内側ランドの頂部としての同じx−y平面にない。
第1の代表的実施形態は、ランド34,36ですべて同じ高さの独立ピン44及びサイドピン38,40を含んでいた。また、第1実施形態は、枝部26を有していた。第2の代表的実施形態は、枝部及びサイドピンを含まない。また、外側のランドは、独立ピン及び内側ランドに比べて短い。したがって、外側のランドは、独立ピン及び内側ランドの頂部としての同じx−y平面にない。
図7A−7Cは、この実施形態に係るレチクルチャック210を示す。図7Aは、x−y平面に関する平面図であり、y方向が走査方向である。レチクルステージ212の左部214a及び右部214bが示され、各支持面217a,217bがそれぞれ表わされている。部分214a,214bは、y方向において互いに平行に延び、x方向において互いに対向する。支持面217a,217bには、フレキシブル部材(第1メンブレン(第1膜状部材))216a,216bがそれぞれ取り付けられている。各第1メンブレン216a,216bは、支持面217a,217bにそれぞれ取り付けられた第1の側領域218a,218bと、各部分214a,214bから片持ち式に張り出した第2の側領域220a,220bとを有する。各第2の側領域220a,220bの上方に向いた表面には、真空チャック222a,222bが搭載されている。真空チャック222a,222bは、y方向に延びるセンターラインCLをそれぞれ有する。真空チャック222a,222bは、レチクル225を支持する。
図7Bに示すように、真空チャック222a,222bはそれぞれ、センターラインCLに沿って、第1メンブレン216a,216bにおける第2の側領域220a,220bに取り付けられる。各真空チャック222a,222bとそれぞれの第2の側領域220a,220bとの間には、真空チャックを第2の側領域のそれぞれの表面から(z方向に)わずかに持ち上げるスペーサ224a,224bがある。スペーサ224a,224bは、真空チャック222a,222bを、各センターラインに沿って、第2の側領域220a,220bに搭載するのを容易にする。
第2の側領域220a及び真空チャック222aのさらなる詳細を図7Cに示す。この図では、下層部分を示すためにレチクルを図示していない。ここで、第1の代表的実施形態に対して、第2実施形態では、第2の側領域220a,220bが、枝部を有していない。スペーサ224aは、第2の側領域220a上に搭載され、真空チャック222aは、スペーサ224aの上面に搭載されている。真空チャック222aは、第2メンブレン又はウェブ228を含み、そこから壁230,232,232aがz方向に突出している。壁230,232,232aは、ランド234,236,236aをそれぞれ有する。壁232aの外側ランド236aは、ランド234又は内側ランド236に比べてz方向が短い。またここで、本実施形態は、サイドピン及びコーナーピンを有していない。本実施形態は、第2メンブレン228から上方に延びて独立的に立つ複数のピン44からなる複数(図では6つ)の縦列とを含む。本実施形態において、ランド234,236及び独立ピン244のすべては、第2メンブレン228の上方において実質的に同じ高さを有しており、レチクル25が置かれるチャック面(x−y方向に延在する)を規定する(図7B)。レチクル25、第2メンブレン228、及び壁230,232,232aは集合的に真空空間233を規定し、それは第2メンブレン228を通って延びるポート246を介して真空引きされる。真空空間223内を減圧することにより、ランド234,236及びピン244に対してレチクル25がおしつけられる。
第1の実施形態のように、独立ピン244は、筒形状を有するものとして示されるが、これに限定されない。代替的に、ピン形状は、上記の図4に示したような、矩形、楕円、長円、正方形、六角形、円錐台(frustoconical)、階段状等であり、また、これらに限定されない。
図示された実施形態(図7A−7B)において、メンブレン216a,228aは、レチクル25に接するランド232、及びレチクルに接しないランド232aに対して左右非対称に配置される。換言すると、この構成において、ランド232は「接触ランド」、ランド232aは「非接触ランド」である。代替的な実施形態において、ランド232a(ランド232に加えて)が接触ランドである。別の代替的な実施形態において、ランド232,232aがすべて非接触ランドである。また、サイドランド234は、接触又は非接触のいずれかにできる。
<第3の代表的実施形態>
第2の代表的実施形態において、すべての独立ピンのx−y方向の厚み(幅)が実質的に同じである。本実施形態において、図8に示すように(図7Bと同じ視点から見ている)、独立ピン344a−344fが独立した縦列に配置されている。各列のピンは、他の列のピンに比べて異なる径を有する。ピン344a−344fは、メンブレン(ウェブ)328から上方(z方向)に延びている。
第2の代表的実施形態において、すべての独立ピンのx−y方向の厚み(幅)が実質的に同じである。本実施形態において、図8に示すように(図7Bと同じ視点から見ている)、独立ピン344a−344fが独立した縦列に配置されている。各列のピンは、他の列のピンに比べて異なる径を有する。ピン344a−344fは、メンブレン(ウェブ)328から上方(z方向)に延びている。
ここで、本実施形態においては、第2の代表的実施形態における第1メンブレン216及び第2メンブレン228のような2つの「メンブレン」がない。本実施形態においては、レチクル25の各対向側に沿ったメンブレン328だけがある。
また、本実施形態において、内側ランド336(壁332の)は、ピン344a−344fと同じ高さであり、よって内側ランドはレチクル25の下面に接触する接触ランドである。これに対して、外側ランド336a(壁332aの)は、ピン344a−344fに比べて短く、よってレチクル25の下面に接触しない非接触ランドである。ピン344a−344f及び内側ランド336上のレチクル25の保持のために、空間333が吸引される。なお、メンブレン238が取り付けられたベース314も図示されている。
ここで説明した本実施形態及び他の実施形態において、少なくともいくつかの場所で、独立ピンに比べて短い、独立した高さをランドが任意で有する可能性がある。
ランドの高さが短い場所において、レチクルはランドに接触しない。こうした場所ではレチクル接触がないため、レチクル滑りがない。
<実施例2>
本例において、図8に再び言及し、ピン344a−344fはそれぞれ0.11mm、0.15mm、0.16mm、0.19mm、0.25mm、及び0.38mmである。メンブレン328の上面からの、接触ランド336及びピン344a−344fの高さは0.1mm、ランド336,336aの幅(x方向)は0.2mm、メンブレン328の厚み(z方向)は0.45mm、1列あたりのピンの数は78、x方向におけるピンピッチ(中心から中心)は1.75mm、そしてy方向におけるピンピッチ(中心から中心)は1.5mmである。
本例において、図8に再び言及し、ピン344a−344fはそれぞれ0.11mm、0.15mm、0.16mm、0.19mm、0.25mm、及び0.38mmである。メンブレン328の上面からの、接触ランド336及びピン344a−344fの高さは0.1mm、ランド336,336aの幅(x方向)は0.2mm、メンブレン328の厚み(z方向)は0.45mm、1列あたりのピンの数は78、x方向におけるピンピッチ(中心から中心)は1.75mm、そしてy方向におけるピンピッチ(中心から中心)は1.5mmである。
本例の分析モデルを図9に示す。非接触ランド336a、接触ランド336、ピン344a344f、メンブレン(ウェブ)328、及びグラウンドGが示されている。上向きの矢印は、各独立ピン及びランドでのy方向の力を示し、円は節(結節点)を示す。堅固な要素308は、グラウンドGと第1節(ピン344aに対応する)との間に置かれている。(以下に説明する分析の結果は、有限要素解析を使うことでよりよい最適化が得られるだろう。)
ピン及びランドでのy方向の力について以下である:
ここで、Fnclは非接触ランド336aにおける力を示し、Fclは接触ランド336における力を示し、Fpinは独立ピンにおける力を示し、Fpinlはピン344aにおける力を示し、そしてFpin2−5はピン344b−344eにおける力を示す。ピン及びランドの剛性について以下である:
Npins/colは一列あたりの独立ピンの数を示し、Kpin shearはピンのせん断応力を示し、Kpin bendはピンの曲げ剛性を示し、Kpin pivotはピンの旋回剛性(pivoting stiffness)を示し、Klandはランドの剛性を示し、Kwebはメンブレン(ウェブ)328の剛性を示し、Krigidは剛要素308の剛性を示し、Gは剛性率を示し、Lxはx方向の長さを示し、Lyはy方向(走査方向)の長さを示し、そしてLzはz方向の長さを示す。
上述したように次がなりたつ:
ピン剛性は図10Aに図示されている:
力負荷によるピンの曲げは図10Bに図示されている:
モーメント負荷からのピンの曲げは図10Cに図示されている:
ピンの旋回は図10Dに図示されている:
ここで、
(α関数は、「応力及び歪に関するRoarkの式(Roark's Formulas for Stress and Strain)」の第7版、493頁、表11.2、ケース20に基づいた。上記のαの式は、上記書籍における表式に示されたα関数に適合した関数である。)
図11は、各データのプロットであり、左部分のプロットが力(N)とx位置に関し、右部分のプロットが変位(nm)とx位置に関する。左部分のプロットにおいて、非接触ランド336aにおけるy力がゼロである。また、ピン#1(すなわちピン344a)は、非接触ランド336aの近くにあり、そのピンにおけるy方向の力は他のピン344b−344f(プロットの上部を横切っている)に比べて低い。接触ランド336におけるy方向の力も、ピン344b−344fに比べて低い。ピン344b−344f及び接触ピン336に関して、y方向の力は各ピン及び接触ランドの周囲の吸引面積(vacuum area)に比例している。右部分のプロットにおいて、非接触ランド336aはレチクル25に接触しないことから、そのランドに変位はない。ここで、ピン344a−344f及び接触ランド336(最も右の円)は実質的に同じ変位である。曲線は、メンブレン(ウェブ)328の変位である。
<第4の代表的実施形態>
<第4の代表的実施形態>
通常の接触応力に対するせん断応力の割合が、真空チャックに接触するレチクルのすべての箇所で実質的に等しくなるように、様々な実施形態が構成される。代替的に、その応力を望ましい方法でポイントごとに変えるために、レチクルと真空チャックとの間のせん断応力を振り分けることができる。本実施形態において、ピンのせん断/曲げ剛性を制御可能に変化させることによってこの変化が達成される。例えば、ピンのサイズ(径、及び/又は長さ)を変化させることで、それらのせん断/曲げ剛性の相応の変化を生み出すことができる。また、独立ピンの周り及び真下の第2メンブレン(ウェブ)の厚さを変化させることによっても、それらの剛性について相当する変化を生み出すことができる。例を、図12A及び12Bに示す。図12Aにおいて、レチクル25の一部分、レチクルステージ部14、及び第1メンブレン16aを、真空チャック120とともに示す。真空チャック120は、先端の短い壁122、基部に近い長い壁124、及び階段状の第2メンブレン(ウェブ)128の表面から上方に延在する独立したピン126a,126b,126cを含む。なお、第2メンブレン128は、第1メンブレン16aを単に延ばしたものにできる。例として、ピン126a,126b,126cは、0.25から2.5mmまで高さが変化する。レチクル25は、ピン126a,126b,126cの頂部上のみならず、壁122,124によって規定されるランド130a,130b上にも置かれる。ランド130a,130bは、レチクル25におけるチャック部分の真下の領域を囲み、真空空間132を規定する。
図12Bに示す代替的な構成において、真空チャック140の壁142,144が、独立ピン146a,146b,146cに比べて短い。壁142,144によって、真空空間150を規定するレチクル25の下面に効果的な真空「シール」を設けるランド148a,148bが設けられる。基部152は、異なる長さのピン146a−146cに合わせて階段状である。また、ウェブの厚さも変化している。
この代表的な実施形態において、所定の方法でレチクルとレチクルチャックの間のせん断応力を配分することで、レチクル滑りのない、より高速のレチクル加速が可能になる。
<第5の代表的実施形態>
上述した第1から第4の各実施形態において、真空チャックの壁は、そこからz方向における上方に壁が延びる第2メンブレン(ウェブ)と一体である。これに限定する意図はない。先に説明したように、第2メンブレンが第1材料からなり、そこからピンが延びる面に取り付けられた、壁の少なくとも1つが、PTFE(テフロン(登録商標))などの第2材料からなるようにできる。(独立ピンは、面と同じ材料で一体化されてなるのが最も好都合である。) 異なる材料で壁を作ることで、面及び/又はピンに対する壁の剛性を、真空チャックが使用される特殊状況に応じたより好ましいものにできる。図13に示す実施形態において、第1メンブレン416a及び第2メンブレン428を備えた真空チャック422aが示される。(本実施形態において、実際には、第1メンブレン416a及び第2メンブレン428は連続的であり、第2メンブレン428は、第1メンブレン416aの一部と見なすことができる。) また、真空チャック422aは、独立ピン444a−444c、内側壁432(内側ランド436を提供)、及びPTFEからなる外側壁435を含む。外側壁435は、外側ランド437を提供する。ここで、本実施形態において、ピン444a−444c及び内側壁432は、面430から上方に延びている。レチクル25は、ランド436,327及びピン444a−444cの頂部上に置かれ、これにより真空空間433が規定される。真空空間433を吸引することにより、レチクル25がランド及びピンの頂部に押し付けられ、レチクルが真空チャック422aに保持される。外側壁435は、適切な接着剤を使って面430に取り付けられる。
上述した第1から第4の各実施形態において、真空チャックの壁は、そこからz方向における上方に壁が延びる第2メンブレン(ウェブ)と一体である。これに限定する意図はない。先に説明したように、第2メンブレンが第1材料からなり、そこからピンが延びる面に取り付けられた、壁の少なくとも1つが、PTFE(テフロン(登録商標))などの第2材料からなるようにできる。(独立ピンは、面と同じ材料で一体化されてなるのが最も好都合である。) 異なる材料で壁を作ることで、面及び/又はピンに対する壁の剛性を、真空チャックが使用される特殊状況に応じたより好ましいものにできる。図13に示す実施形態において、第1メンブレン416a及び第2メンブレン428を備えた真空チャック422aが示される。(本実施形態において、実際には、第1メンブレン416a及び第2メンブレン428は連続的であり、第2メンブレン428は、第1メンブレン416aの一部と見なすことができる。) また、真空チャック422aは、独立ピン444a−444c、内側壁432(内側ランド436を提供)、及びPTFEからなる外側壁435を含む。外側壁435は、外側ランド437を提供する。ここで、本実施形態において、ピン444a−444c及び内側壁432は、面430から上方に延びている。レチクル25は、ランド436,327及びピン444a−444cの頂部上に置かれ、これにより真空空間433が規定される。真空空間433を吸引することにより、レチクル25がランド及びピンの頂部に押し付けられ、レチクルが真空チャック422aに保持される。外側壁435は、適切な接着剤を使って面430に取り付けられる。
壁の厚さ(長さ寸法に対して垂直なx又はyの寸法)を適切に変化させることによっても、壁の剛性を適切にできる。
<リソグラフィ・システム>
上記の実施形態が使用可能なマイクロリソグラフィシステム510(一般に露光装置と呼ばれる)の一例である、投影露光システムの一例を図14に示す。パターンは、レチクルステージ514上に搭載されたレチクル(マスクとも呼ばれる)512上に規定される。レチクルステージ514は、上記の実施形態のいずれかのような構成にできる。レチクル512は、光源516によって生成されかつ照明光学系518を通過したエネルギービーム(例えばDUV光)によって照明される。エネルギービームがレチクル512を通過するとき、ビームは、レチクル512の照明部分の像を、レチクルの下流に、形成する能力を得る。ビームは、基板ステージ(ウエハステージ又はウエハXYステージ)524に保持された基板522の感光面にビームをフォーカスする投影光学系520を通過する。図に示すように、光源516、照明光学系518、レチクルステージ514、投影光学系520、及びウエハステージ524は、一般に、光軸AXに沿って置かれる。レチクルステージ514は、ステージアクチュエータ(例えばリニアモータ)526を使って少なくともx及びθz方向に移動可能であり、また、レチクルステージ514のx及びy方向の位置が干渉系528によって検出される。システム510は、制御器(コンピュータ)530によって制御される。
上記の実施形態が使用可能なマイクロリソグラフィシステム510(一般に露光装置と呼ばれる)の一例である、投影露光システムの一例を図14に示す。パターンは、レチクルステージ514上に搭載されたレチクル(マスクとも呼ばれる)512上に規定される。レチクルステージ514は、上記の実施形態のいずれかのような構成にできる。レチクル512は、光源516によって生成されかつ照明光学系518を通過したエネルギービーム(例えばDUV光)によって照明される。エネルギービームがレチクル512を通過するとき、ビームは、レチクル512の照明部分の像を、レチクルの下流に、形成する能力を得る。ビームは、基板ステージ(ウエハステージ又はウエハXYステージ)524に保持された基板522の感光面にビームをフォーカスする投影光学系520を通過する。図に示すように、光源516、照明光学系518、レチクルステージ514、投影光学系520、及びウエハステージ524は、一般に、光軸AXに沿って置かれる。レチクルステージ514は、ステージアクチュエータ(例えばリニアモータ)526を使って少なくともx及びθz方向に移動可能であり、また、レチクルステージ514のx及びy方向の位置が干渉系528によって検出される。システム510は、制御器(コンピュータ)530によって制御される。
基板522(ウエハとも呼ばれる)は、ウエハチャック532及びウエハテーブル534(レベリングテーブルとも呼ばれる)を介してウエハステージ524上に搭載される。ウエハステージ524は、露光用のウエハ522(下流に面するレジスト付き)を保持するだけでなく、露光及びアライメントに必要な、制御されたx及びy方向のウエハ522の動きを提供する。ウエハステージ524は、適切なウエハステージアクチュエータ523(例えばリニアモータ)によって移動可能であり、x及びy方向のウエハステージ524の位置が干渉系525によって決定される。ウエハテーブル534は、ウエハステージ524に対する、x、y、及びz方向における、(ウエハ522を保持している)ウエハチャック532の精密な位置調整に用いられる。x及びy方向のウエハテーブル534の位置は、ウエハステージ干渉系536によって決定される。
ウエハチャック532は、露光のためにウエハをしっかり保持し、ウエハ522の平らな感光面が露光のために円滑に提示されるように構成される。所定の条件下で静電気引力のような他の技術も採用可能であるものの、ウエハ522は、通常、真空吸引によってウエハチャック532の表面に保持される。また、ウエハチャック532は、ウエハから熱が外に出るのを促し、そうしないと露光中にウエハが熱を蓄積する可能性がある。
z方向(光軸方向)におけるウエハテーブル534の動き、及びウエハテーブル34のz軸(光軸AX)に対する傾きは、主として、投影光学系520を介してウエハ522の感光面上に形成される、適切な像のフォーカスを確立又は再構築するために行われる。フォーカスは、投影光学系520に対して相対的なウエハ522における被露光部の位置に関連する。フォーカスは、通常、オートフォーカス(AF)装置538を使用して自動的に決定される。AF装置538は、制御器530に送られるデータを作る。AF装置538によって作られたフォーカスデータが非合焦状態であることを示した場合、制御器530は、各ウエハテーブルアクチュエータ540aにつながったウエハテーブル制御器540に送られるレベリング指令を出す。ウエハテーブルアクチュエータ540aの通電により、適切な合焦を回復するためのウエハテーブル534の動作及び/又は傾斜が行われる。
露光システム510は様々なタイプのいずれでもよい。例えば、ステッパーのステップアンドリピート方式に代わるものとして、露光システムは、レチクル512及びウエハ522の双方を同期的に連続的にスキャニングする間に、レチクル512からのパターンをウエハ522に露光することが可能なスキャニングタイプの装置にできる。こうしたスキャニングの間、レチクル512とウエハ522は光軸AXに垂直な互いに反対方向に同期的に移動する。走査動作は、各ステージ514,524によって実行される。
これに対して、ステップアンドリピート式の露光装置では、レチクル512及びウエハ522が静止しているときにのみ、露光が実行される。露光装置が「光学リソグラフィ」装置である場合、所定のパターン領域の露光の間、ウエハ522は主としてレチクル512及び投影光学系520に対して一定位置にある。所定のパターン領域が露光された後、光軸AXに対して垂直かつレチクル512に対して相対的にウエハ522が移動され、ウエハ522の次の領域が露光位置に置かれる。こうした方式において、レチクルパターンの像がウエハ522上の各領域に順次露光される。
なお、露光システムは、マイクロ電子デバイス製造用のマイクログラフィシステムに限定されない。第1の代替として、例えば、露光システムは、液晶ディスプレイ(LCD)のパターンをガラスプレート上に転写するマイクログラフィシステムにできる。第2の代替として、露光システムは、薄膜磁気ヘッド製造用に使用されるマイクログラフィシステムにできる。第3の代替として、露光システムは、例えばマスクパターンの露光に用いられる、プロキシミティ・マイクログラフィシステムにできる。この代替において、マスク及び基板は互いに近接して配置され、投影光学系520を使用せずに露光が実行される。
先の開示において説明した原理はさらに代替的に、他のマイクロ電子処理装置、工作機械、金属切断設備、及び検査装置を含む(ただしこれらに限定されない)、他の様々な装置に使用可能である。
上記の様々な露光システムにおいて、照明光の光源516(照明光学系518における)は、例えば、g線源(436nm)、i線源(365nm)、KrFエキシマレーザ(248nm)、ArFエキシマレーザ(193nm)、又はF2エキシマレーザ(157nm)にできる。代替的に、光源516は、他の適切な露光光用のものにできる。
投影光学系520に関し、照明光が遠紫外放射線を含む場合、構成レンズは、石英及び蛍石のような紫外線を透過可能なUV透過材からなる。照明光がF2エキシマレーザ又はEUV源から発生する場合、投影光学系520のレンズは、屈折又は反射屈折のいずれかにでき、レチクル512は望ましくは反射型である。照明光が真空紫外(VUV)域(200nm以下)である場合、投影光学系520は、例えば米国特許第5,668,672号や第5,835,275号(ここに援用する)などに開示されたような、ビームスプリッタ及び凹ミラーを含む反射屈折の構成を有するものにできる。投影光学系520は、米国特許第5,689,377号、第5,892,117号(ここに援用する)に開示されたような、ビームスプリッタなしで凹ミラーを含む反射屈折型の構成を有することができる。
レチクルステージ514及びウエハステージ524のいずれか又は双方は、レチクル512及びウエハ522のx軸及びy軸方向における動きを達成するためのリニアモータを含むことができる。リニアモータは、エア浮上型(エアベアリング利用)又は磁気浮上型(ローレンツ力又はリアクタンス力に基づくベアリングを利用)にできる。ステージ514,524のいずれか又は双方は、それぞれガイドに沿って移動する構成にでき、又は代替的にガイドレスにできる。米国特許第5,623,853号及び5,528,118号を参照でき、これらをここに援用する。
さらに代替的に、ステージ514,524のいずれか又は双方は平面モータによって駆動でき、これは二次元配置された磁石を含む磁石ユニット及び対向する位置で二次元配置されたコイルを含む電機子コイルユニットによって生じた電磁力で各ステージを駆動する。こうした駆動システムにおいて、磁石ユニット又は電機子コイルユニットが各ステージに接続され、他のユニットが各ステージの移動面上に搭載される。
上述したようなステージ514,524の動きは、露光装置の性能に影響する反力を生む可能性がある。ウエハステージ524の移動によって生じた反力は例えば米国特許第5,528,118号(ここに援用する)に開示されているように、フレーム部材を使って床(大地)に逃がすことができる。レチクルステージ514の移動によって生じた反力は、米国特許第5,874,820号(ここに援用する)に開示されているように、フレーム部材を使って床(大地)に逃がすことができる。
上述した様々なタイプの露光システムは、添付の請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造することができる。例えば、これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、すべての光学系について、光学的精度を達成するための調整が行われる。同様に、すべての機械系及び電気系について、機械的精度及び電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、及び気圧回路の配管接続等を含む。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、構成するサブシステムの組み立て工程がある。装置の組み立て後、システム全体としてのすべての精度を確保するなどのための、システム調整が行われる。サブシステム及びシステムレベルの組み立ては、温度及び湿度が管理されたクリーンルーム内で行うことが望ましい。
<半導体デバイス製造>
半導体デバイスは、上述したマイクログラフィシステムを用いて実行されるマイクログラフィステップを含むプロセスによって製造可能である。図15に示すステップ701において、半導体デバイスの機能及び特性の設計が行われる。ステップ702において、前記設計ステップに従った所望パターンを規定するレチクルが設計される。この間、ステップ703において、基板(ウエハ)が作られ適切なレジストが塗布される。ステップ704において、ステップ702で設計されたレチクルパターンが、マイクログラフィシステムによって、基板の表面に露光される。ステップ705において、半導体デバイスが組み立てられる(ウエハから個々のデバイス又はチップを切り出すダイシング工程、チップ上の特定の場所にワイヤをつなぐボンティング工程、及びデバイスを適切なパッケージに包むパッケージング工程を含む)。ステップ706において、組み立てられたデバイスが試験及び検査される。
半導体デバイスは、上述したマイクログラフィシステムを用いて実行されるマイクログラフィステップを含むプロセスによって製造可能である。図15に示すステップ701において、半導体デバイスの機能及び特性の設計が行われる。ステップ702において、前記設計ステップに従った所望パターンを規定するレチクルが設計される。この間、ステップ703において、基板(ウエハ)が作られ適切なレジストが塗布される。ステップ704において、ステップ702で設計されたレチクルパターンが、マイクログラフィシステムによって、基板の表面に露光される。ステップ705において、半導体デバイスが組み立てられる(ウエハから個々のデバイス又はチップを切り出すダイシング工程、チップ上の特定の場所にワイヤをつなぐボンティング工程、及びデバイスを適切なパッケージに包むパッケージング工程を含む)。ステップ706において、組み立てられたデバイスが試験及び検査される。
マイクロリソグラフィステップを含むウエハ処理工程の代表的な詳細例を図16に示す。ステップ711(酸化ステップ)において、ウエハ表面が酸化する。ステップ712(CVDステップ)において、ウエハ表面に絶縁膜が形成される。ステップ713(電極形成ステップ)において、例えば蒸着によってウエハ上に電極が形成される。ステップ514(イオン打込みステップ)において、ウエハにイオンが打ち込まれる。これらのステップ711〜714は、ウエハのための前処理工程を構成しており、各段階において必要な処理に応じて選択される。
ウエハプロセスの各段階において、上述の前処理工程が終了すると、以下のようにして後処理工程が実行される。後処理工程では、まず、ステップ715(レジスト形成ステップ)において、ウエハ表面に適切な感光剤が塗布される。次に、ステップ716(露光ステップ)において、上記のマイクロリソグラフィシステムを用いて、レチクルのパターンがウエハ上のレジスト層にリソグラフィカリ転写される。ステップ717(現像ステップ)において、ウエハ上の露光されたレジストが現像され、レジストパターンに対応する、使用可能なマスクパターンがウエハ上のレジストに形成される。ステップ718(エッチングステップ)において、現像されたレジストによって覆われていない部分(露光された材料表面)がエッチングにより制御された深さで取り除かれる。ステップ719(フォトレジスト除去ステップ)において、残存する現像されたレジストがウエハから取り除かれる(剥がされる)。
前処理工程と後処理工程とを必要に応じて繰り返すことにより、ウエハ上に多数の接続パターンが形成される。一般に、前処理工程と後処理工程のセットが各層の形成に実施される。
代表的な様々な実施形態の内容について開示したが、本発明の範囲はそれらの実施形態に限定されない。一方、本発明は、添付の請求の範囲に規定された、本発明の精神と範囲内にあるすべての変形、代替、及び等価物を含むものとする。
例えば、図8に示した構成においては、各ピンでの、面積あたりの法線力に対する、面積あたりのせん断力の比が実質的に均一である効果を得ることが可能であるといえる。この効果は以下の式で示すことができる。
この原理を満足させるために、図8に示した実施形態とは異なる複数の構成を挙げることができる。例えば、図17に示すように、図8のピン344a−344fの径を変化させる代わりに、メンブレン328の厚さを変化させる。この場合、メンブレン328は、固定部(図の左側)と端部(図の右側)の間の広いスパンでの厚さ範囲を有する必要があるだろう。なお、メンブレン328は、厚すぎない、又は柔軟性を失わないのが好ましい。また、図18A及び18Bに示すように、ピン344a−344f(図18A)の径を変化させる代わりに、小さな複数のピンによって同じ径を形成し、位置に応じて小さなピンの密度が変化する(図18B)。この場合、小さいピンを均一性良く作るのが好ましい。
Claims (79)
- 平面基体を保持及び移動させるための装置であって、
移動可能な支持面を有するステージと、
基体チャックと、
基部近接領域及び先端領域を含む第1メンブレンであり、前記基部近接領域が前記支持面につながり、前記第1メンブレンが前記基体チャックを少なくとも部分的に支持するように前記先端領域が前記支持面から延びかつ前記基体チャックにつながる、前記第1メンブレンと、を備え、
前記基体チャックは、面と、前記面に対して延びかつ前記面上に配列されて前記基体の各部分に接触しかつ前記面及び前記先端領域に対して前記各部分を支持する複数のピンと、を含み、
前記ピンは、前記支持面の移動に対応する前記基体チャックの移動の間、前記移動で生じる力に基づく前記ピンに対する前記基体の滑りが各ピンで実質的に均一となるように、配列される、ことを特徴とする装置。 - 前記基体チャックは、少なくとも1つの真空チャックを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記基体チャックは、前記面から延びる複数の壁を含み、前記壁は、前記面及び前記基体チャックに接する前記基体の一部と協働して真空空間を規定する、請求項1に記載の装置。
- 前記ピンは、前記真空空間に配置され前記壁と関連するサイドピンと、前記真空空間に置かれ前記面から延びる独立ピンと、を含む、請求項3に記載の装置。
- 前記壁は、それぞれがランドを有し、
前記ピンは、それぞれが頂面を有し、
前記装置によって前記基体が保持されているとき、前記ピンの少なくとも頂面が集合的に、前記基体に接触しかつ前記基体を少なくとも部分的に支持するチャック面を規定する、
請求項3に記載の装置。 - 前記装置によって前記基体が保持されているとき、少なくともランドの1つが前記頂面とともに、前記基体に接触しかつ前記基体を少なくとも部分的に支持するチャック面を規定する、請求項5に記載の装置。
- 前記頂面が前記基体の下面に接触する、請求項5に記載の装置。
- 前記頂面及び少なくとも1つの前記ランドが前記基体の下面に接触する、請求項5に記載の装置。
- 前記壁の少なくとも1つが前記第1メンブレンと異なる材料によって作られ、前記面に搭載されている、請求項3に記載の装置。
- 前記ピンが前記支持面の移動による前記基体チャックの走査方向における少なくとも1つの縦列に延びて配列される、請求項1に記載の装置。
- 前記ピンは、少なくとも1つの列で実質的に同じピッチで配列される、請求項10に記載の装置。
- 前記ピンは、複数の縦列に配置される、請求項10に記載の装置。
- 各列は、それぞれピンピッチを有し、
前記ピンピッチがそれぞれ実質的に同じである、
請求項12に記載の装置。 - 各列は、それぞれピンピッチを有し、
前記ピンピッチは、少なくとも2つの列で異なる、
請求項13に記載の装置。 - 前記列は、互いに実質的に等しい間隔である、請求項12に記載の装置。
- 前記列は、互いに異なる間隔である、請求項12に記載の装置。
- 前記ピンは同じ形状である、請求項1に記載の装置。
- 前記ピンは少なくとも2つが異なる形状を有する、請求項1に記載の装置。
- 前記複数のピンは、実質的に同じ剛性を有する、請求項1に記載の装置。
- 前記複数のピンは、多様な剛性を有する、請求項1に記載の装置。
- 前記第1メンブレンは、実質的に均一な厚さを有する、請求項1に記載の装置。
- 前記第1メンブレンは、多様な厚さを有する、請求項1に記載の装置。
- 前記基体チャックはさらに、それに対して前記複数のピンが延びる前記面を含む第2メンブレンを含み、
前記第2メンブレンは、前記先端領域につながり、
前記ピンは、前記基体の各部分に接触しかつ前記第2メンブレンに対して前記各部分を支持する、
請求項1に記載の装置。 - 前記ステージは、互いに離間した第1及び第2支持面を有し、
前記基体チャックは、第1チャック部分及び第2チャック部分を含み、
前記第1メンブレンは、前記第1支持面に搭載されかつ前記第1支持面から延びる第1メンブレン部分と、前記第2支持面に搭載されかつ前記第2支持面から延びる第2メンブレン部分と、を有し、
前記第1チャック部分は、前記第1メンブレン部分の先端領域に搭載され、
前記第2チャック部分は、前記第2メンブレン部分の先端領域に搭載される、
請求項23に記載の装置。 - 前記基体チャックは、少なくとも1の真空チャックを含む、請求項23に記載の装置。
- 前記基体チャックは、前記第2メンブレンから延びる壁を含み、前記壁は、前記第2メンブレン及び前記基体チャックに接する前記基体の一部と協働して真空空間を規定する、請求項23に記載の装置。
- 前記複数の壁は、それぞれがランドを有し、
前記複数のピンは、それぞれが頂面を有し、
前記装置によって前記基体が保持されているとき、前記ピンの少なくとも頂面が集合的に、前記基体に接触しかつ前記基体を少なくとも部分的に支持するチャック面を規定する、
請求項26に記載の装置。 - 前記頂面及び前記ランドの少なくとも1つが集合的に前記チャック面を規定する、請求項27に記載の装置。
- 少なくとも前記頂面が前記基体の下面に接触する、請求項27に記載の装置。
- 前記頂面及び前記ランドの少なくとも1つが前記基体の下面に接触する、請求項28に記載の装置。
- 前記壁は、前記第2メンブレンと一体である、請求項26に記載の装置。
- 前記壁の少なくとも1つが前記第2メンブレンと異なる材料によって作られ、前記第2メンブレンに搭載されている、請求項26に記載の装置。
- 前記ピンが前記支持面の移動による前記基体チャックの走査方向における少なくとも1つの縦列に延びて配列される、請求項23に記載の装置。
- 前記ピンは、少なくとも1つの列で実質的に同じピッチで配列される、請求項22に記載の装置。
- 前記ピンは、複数の縦列に配置される、請求項33に記載の装置。
- 各列は、それぞれピンピッチを有し、
前記ピンピッチがそれぞれ実質的に同じである、
請求項35に記載の装置。 - 各列は、それぞれピンピッチを有し、
前記ピンピッチは、列の少なくとも2つで異なる、
請求項36に記載の装置。 - 前記列は、互いに実質的に等しい間隔である、請求項35に記載の装置。
- 前記列は、互いに異なる間隔である、請求項35に記載の装置。
- 前記ピンは同じ形状である、請求項23に記載の装置。
- 前記ピンは、円柱状、球状、矩形、楕円、長円、正方形、他の多角形、円錐台、階段状、及びそれらの組み合わせから構成される群から選択される形状をそれぞれ有する、請求項23に記載の装置。
- 前記複数のピンは、実質的に同じ剛性を有する、請求項23に記載の装置。
- 前記複数のピンは、多様な剛性を有する、請求項23に記載の装置。
- 前記第2メンブレンは、実質的に均一な厚さを有する、請求項23に記載の装置。
- 前記第2メンブレンは、多様な厚さを有する、請求項23に記載の装置。
- 前記第2メンブレンは、石英ガラス、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化バリウム、コーディエライト(ケイ酸アルミニウム・マグネシウム)、酸化アルミニウム、インバー、ゼロデュア(登録商標)、及びステンレス鋼からなる群の中から選択された材料で作られる、請求項23に記載の装置。
- 前記壁は、前記ピンは、前記第2メンブレンと同じ材料で作られかつ前記第2メンブレンと一体である、請求項23に記載の装置。
- 前記壁の少なくとも1つが前記第2メンブレンと同じ材料で作られる、請求項23に記載の装置。
- 前記壁の少なくとも1つが前記第2メンブレンと異なる材料によって作られ、前記第2メンブレンに取り付けられている、請求項23に記載の装置。
- 少なくとも1つの前記壁が、PTFE(登録商標)、及びロー・デュロメーター・ケミカリー・クリーン・ラバーからなる群から選択される材料によって作られる、請求項49に記載の装置。
- レチクルを保持及び移動させるための装置であって、
移動可能な第1及び第2支持面を有するステージと、
前記支持面に搭載されるレチクルチャックであり、前記レチクルチャックが第1及び第2チャック部を含み、各チャック部が第1領域と第2領域とを有する第1メンブレンをそれぞれ含む、前記レチクルチャックと、 を備え、
前記第2領域が前記第1及び前記第2支持面から互いに向かって延びるように、前記第1領域が前記第1及び第2支持面にそれぞれ搭載され、
前記第1及び第2チャック部が前記第2領域にそれぞれ搭載され、
各チャック部がそれぞれ、複数の壁と、それぞれ面から延びる複数の独立ピンとを有し、レチクルの各領域が前記チャック部に置かれたときに前記面及び壁が集合的に真空空間を規定し、
各チャック部において、少なくともピンが前記レチクルの前記各領域に接しかつ支持し、
前記ピンは、前記ステージによる前記レチクルチャックの移動の間、前記移動で生じるせん断力に基づく前記ピンに対する前記レチクルの滑りが各ピンで実質的に均一となるように、構成かつ配置される、装置。 - 前記独立ピンは、各チャック部における前記面上に複数の列に配置される、請求項51に記載の装置。
- 各列は、それぞれピンピッチを有し、
前記ピンピッチがそれぞれ実質的に同じである、
請求項52に記載の装置。 - 各列は、それぞれピンピッチを有し、
前記ピンピッチは、少なくとも2つの列で異なる、
請求項52に記載の装置。 - 前記独立ピンは、少なくとも1つの列で一定のピッチを有する、請求項52に記載の装置。
- 少なくとも1つの列で前記ピンピッチが多様である、請求項52に記載の装置。
- 各チャック部の少なくとも1つの壁が接触ランドを提供する、請求項51に記載の装置。
- 各チャック部における少なくとも1つの接触ランド及び前記ピンの頂部が集合的に、平面状に置かれかつレチクルの各部分を保持するように構成された各チャック面を規定する、請求項57に記載の装置。
- 前記壁の少なくとも1つが前記面と異なる材料によって作られ、前記面に搭載されている、請求項51に記載の装置。
- 前記列は、少なくとも1つのチャック部において、互いに実質的に等しい間隔である、請求項51に記載の装置。
- 前記列は、少なくとも1つのチャック部において、互いに異なる間隔である、請求項51に記載の装置。
- 少なくとも1つのチャック部において、前記ピンは同じ形状である、請求項51に記載の装置。
- 前記複数のピンは、実質的に同じ剛性を有する、請求項51に記載の装置。
- 少なくともいくつかのピンは、多様な剛性を有する、請求項51に記載の装置。
- 前記第1メンブレンは、実質的に均一な厚さを有する、請求項51に記載の装置。
- 前記第1メンブレンは、多様な厚さを有する、請求項51に記載の装置。
- 各チャック部は、前記各面を含む第2メンブレンをそれぞれ含む、請求項51に記載の装置。
- 前記第2メンブレンは、実質的に均一な厚さを有する、請求項67に記載の装置。
- 前記第2メンブレンは、多様な厚さを有する、請求項67に記載の装置。
- 処理装置と、
前記処理装置に対して平面基体を保持及び移動させるための、請求項1に記載された装置と、を備える、
処理システム。 - 前記処理装置は、光学システムを含む、請求項70に記載のシステム。
- レチクル上に規定されたパターンをリソグラフィック基板上に形作るように構成される結像光学系と、
前記結像光学系に対して置かれかつ移動可能な支持面を有するレチクルステージと、
前記支持面に搭載されかつ少なくとも1つのチャック部を含むレチクルチャックと、を備え、
前記チャック部は、基部近接領域及び先端領域を含む第1メンブレンであり、前記基部近接領域が前記支持面につながり、前記第1メンブレンが前記レチクルチャックを少なくとも部分的に支持するように前記先端領域が前記支持面から延びかつ前記チャック部につながる、前記第1メンブレン、を含み、
前記チャック部は、面と、前記面から延びる複数のピンとを含み、前記面が前記第1メンブレンの前記先端領域に置かれ、前記ピンが前記面上で配列されて前記レチクルの各部分に接触しかつ前記面に対して前記レチクルの各部分を支持し、
前記ピンは、前記支持面の移動に対応した前記レチクルチャックの移動の間、前記移動で生じる力に基づく前記ピンに対する前記レチクルの滑りが各ピンで実質的に均一となるように、配列される。
マイクロリソグラフィシステム。 - 前記結像光学系が露光光として紫外光を利用するように構成される、請求項72に記載のマイクロリソグラフィシステム
- 請求項72に記載のマイクロリソグラフィシステムで実行される少なくとも1つのマイクロリソグラフィ工程を含む処理によって製造された、マイクロ電子デバイス。
- 請求項72に記載のマイクログラフィシステムを用いて実行される、マイクロリソグラフィプロセス。
- レチクル上に規定されたパターンをリソグラフィック基板上に形作るように構成される結像光学システムと、
前記結像光学系に対して置かれかつ移動可能な第1及び第2支持面を有するレチクルステージと、
前記支持面に搭載されかつ第1及び第2チャック部を含むレチクルチャックであり、各チャック部がそれぞれ、第1領域及び第2領域を有する第1メンブレンを備える、前記レチクルチャックと、を備え、
前記第2領域が前記第1及び前記第2支持面から互いに向かって延びるように、前記第1領域が前記第1及び第2支持面にそれぞれ搭載され、
前記第1及び第2チャック部が前記第2領域にそれぞれ搭載され、
各チャック部がそれぞれ、面と、複数の壁と、それぞれ前記面から延びる複数の独立ピンとを有し、レチクルの各領域が前記チャック部に置かれたときに前記面及び壁が集合的に真空空間を規定し、
少なくとも前記ピンが、前記レチクルの各領域に接触しかつ前記レチクルを支持するように構成され、
前記ピンは、前記ステージによる前記レチクルチャックの移動の間、前記移動で生じるせん断力に基づく前記ピンに対する前記レチクルの滑りが各ピンで実質的に均一となるように、構成かつ配置される、
マイクロリソグラフィシステム。 - 前記結像光学系が露光光として紫外光を利用するように構成される、請求項76に記載のマイクロリソグラフィシステム。
- 請求項76に記載のマイクロリソグラフィシステムで実行される少なくとも1つのマイクロリソグラフィ工程を含む処理によって製造された、マイクロ電子デバイス。
- 請求項76に記載のマイクログラフィシステムを用いて実行される、マイクロリソグラフィプロセス。
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