JP2010518224A5

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Publication number: JP2010518224A5
Application number: JP2009549061A
Authority: JP
Filing date: 2007-11-20
Publication date: 2011-12-22
Anticipated expiration: 2027-11-20

Claims

表面上に被覆を形成する方法であって、
モノマーの連続流を、該モノマーの分解温度および重合温度の両方より下の温度で、真空環境に供給するステップと、
該モノマー流を、連続した第１の液滴流に霧化するステップと、
混合物を形成するために化合物を非重合性担体流体と組み合わせるステップと、
該混合物の連続流を、該混合物およびその構成要素の熱重合および／または分解温度より下の温度で、真空環境に供給するステップと、
該混合物流を、連続した第２の液滴流に霧化するステップと、
第１の蒸気および第２の蒸気をそれぞれ形成するために、加熱表面と接触させることにより、該第１の液滴流および該第２の液滴流を別々に蒸発させるステップと、
該モノマー、該化合物、および該非重合性担体流体を含む複合蒸気を形成するために該第１の蒸気と該第２の蒸気とを組み合わせるステップと、
該複合蒸気を、該複合蒸気またはその一部の沸点以上の温度であるが、該モノマーまたは混合物あるいはそれらの成分が蒸発する前に熱重合および／または分解を受ける温度より下の温度に維持される、加熱表面と接触させることによって、該複合蒸気を連続的に蒸発させ、これによって、該加熱表面上に被覆を形成するステップと
を含む、方法。
前記化合物は、塩である、請求項１に記載の方法。
前記混合物は、溶液である、請求項１に記載の方法。
前記混合物は、懸濁液である、請求項１に記載の方法。
前記化合物は、前記モノマーに対して実質的に不溶性である、請求項１に記載の方法。
前記モノマーは、アクリレート基を含む、請求項１に記載の方法。
前記非重合性担体は、有機溶媒である、請求項１に記載の方法。
前記非重合性担体は、水性溶媒である、請求項１に記載の方法。
表面上に被覆を形成する方法であって、
真空チャンバにおいて蒸発チャンバを提供するステップであって、該蒸発チャンバは、少なくとも第１の蒸気および第２の蒸気を含み、該第１の蒸気は、モノマーを含む、ステップと、
該モノマーの熱重合が開始される温度より下の温度で該第１の蒸気および該第２の蒸気を加熱しながら、複合蒸気を形成するために該蒸気を均質化するステップと、
該複合蒸気が基板の該表面へ流れることを可能にするステップであって、該表面は、該モノマーの沸点より下の温度で維持される、ステップと、
該モノマーを含む層を形成するために該基板の該表面上で該複合蒸気の少なくとも一部を凝結するステップと、
該被覆を形成するために該層を重合させるステップと
を含む、方法。
前記被覆は、ポリマー被覆である、請求項９に記載の方法。
前記第２の蒸気は、化合物および非重合性担体流体を含む、請求項９に記載の方法。
前記非重合性担体流体は、前記基板の前記表面上での前記複合蒸気の少なくとも一部の凝結中に、該非重合性担体流体が、該基板の該表面上で実質的に凝結しないような、蒸気圧を有する、請求項９に記載の方法。
前記非重合性担体流体は、前記モノマーが重合可能である条件下で重合可能ではない、請求項９に記載の方法。
前記重合させるステップは、外部エネルギー源への暴露を含む、請求項９に記載の方法。
前記外部エネルギー源は、電場、磁場、光場、音場、電磁場、または力学的な場である、請求項１４に記載の方法。
該外部エネルギー源は、電子ビームまたは電磁放射である、請求項１４に記載の方法。
表面上に被覆を形成する方法であって、
真空下で加熱表面との接触によってモノマーをフラッシュ蒸発させることによって、該モノマーの蒸気を形成するステップと、
真空下で加熱表面との接触によって化合物および担体流体の混合物をフラッシュ蒸発させることによって、該混合物の蒸気を形成するステップと、
該モノマーまたは混合物あるいはそれらの成分の沸点以上の温度であるが、該モノマーの熱重合が開始する温度より下の温度に維持される加熱表面に該蒸気を接触させることによって、該混合物の蒸気を均質化するステップと、
真空チャンバにおいて真空下で、該モノマーの均質化された該蒸気と該混合物中の該化合物の該蒸気とを基板の表面上で凝結し、これによって、該基板の該表面に被覆を形成するステップと
を含む、方法。
前記フラッシュ蒸発させるステップは、前記真空チャンバ内の蒸発器と流体連通している複数の注入口を使用して行われる、請求項１７に記載の方法。
表面に被覆を形成する方法であって、
減圧環境において、連続した、重合性種を含む第１の液滴の第１の流れを、該種の分解温度および重合温度の両方より下の温度で提供するステップと、
第１の蒸気を形成するために、該第１の液滴流を加熱表面と接触させることによって、その熱重合および／または分解温度より下の温度で連続的に蒸発させるステップと、
連続した、第２の種および担体流体の混合物を含む第２の液滴の第２の流れを、該第２の種および流体の熱重合および／または分解温度より下の温度で提供するステップと、
第２の蒸気を形成するために、該第２の液滴流を加熱表面と接触させることによって、その熱重合および／または分解温度より下の温度で連続的に蒸発させるステップと、
該重合性種および該第２の種を含む、組み合わされた蒸気を形成するために、該第１の蒸気および該第２の蒸気を組み合わせるステップと、
該組み合わされた蒸気を、該液滴の第１の流れ、該液滴の第２の流れまたはそれらの成分の熱重合および／または分解温度より下の温度で維持された加熱表面と連続的に接触させるステップと、
該蒸気を基板の表面上の被覆として凝結させるステップと
を含む、方法。
表面上に被覆を形成する方法であって、
減圧環境において、該環境の異なる領域で、少なくとも２つの別々の蒸気を提供するステップであって、該少なくとも２つの別々の蒸気の一部が互いに対して異なる構成要素を含み、該蒸気は、重合に好適なポリマー前駆体構成要素を集合的に含み、該蒸気は、少なくとも該均質化するステップの前に、該前駆体構成要素の熱重合および／または分解が開始される温度より下に維持される、ステップと、
複合蒸気を形成するために、該蒸気を、該ポリマー前駆体構成要素の沸点以上の温度であるが、該ポリマー前駆体構成要素の熱重合および／または熱分解が開始する温度より下の温度に維持された加熱表面と接触させることによって、該蒸気を均質化するステップと、
該基板の上にポリマー前駆体物質を形成するために、少なくとも該複合蒸気の該構成要素の一部を該基板表面上で凝結するステップと、
ポリマー材料被覆を該基板表面上で形成するために、該ポリマー前駆体物質を重合させるステップと
を含む、方法。
前記蒸気は、前記重合させるステップを通して、前記前駆体構成要素の熱重合および／または分解が開始される温度より下に維持される、請求項２０に記載の方法。
表面上に被覆を形成するためのデバイスであって、
少なくとも２つの別々の蒸気を受容するように構成される蒸発チャンバであって、該少なくとも２つの別々の蒸気の一部が互いに対して異なる構成要素を含み、該蒸気は、重合に好適なポリマー前駆体構成要素を集合的に含む、チャンバと、
第１の蒸気注入口および第２の蒸気注入口であって、各蒸気注入口は、該蒸発チャンバに流動的に接続され、かつ異なる蒸気を該蒸発チャンバに導入するように構成されている、第１の蒸気注入口および第２の蒸気注入口と
を備え、該蒸発チャンバは、該蒸気が、該前駆体構成要素の熱重合および／または分解が開始される温度より下に維持されて、該ポリマー前駆体構成要素の重合生成物の被覆を表面上に形成するように構築および構成されている、
デバイス。
前記蒸発チャンバ内に位置する少なくとも１つのバフル特徴をさらに備え、該少なくとも１つのバフル特徴は前記蒸気の経路長を増加させる、請求項２２に記載のデバイス。