JP2010515822A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 基体上に薄膜材料を堆積させるためのガス状材料を供給するための出力面を有する供給装置であって、
   （ａ）第１ガス状材料、第２ガス状材料及び第３ガス状材料のための共通供給をそれぞれ受容することができる、少なくとも第１流入ポート、第２流入ポート及び第３流入ポートを含む複数の流入ポートと；
   （ｂ）１つ又は２つ以上の第１の細長い放出チャネルを含む第１群、１つ又は２つ以上の第２の細長い放出チャネルを含む第２群、及び少なくとも２つの第３の細長い放出チャネルを含む第３群を含む少なくとも３つの細長い放出チャネル群；
   を含み、第１、第２及び第３の細長い放出チャネルの各々が、対応する第１流入ポート、第２流入ポート及び第３流入ポートのうちの１つとガス流体連通可能であり；
   各第１の細長い放出チャネルが、その少なくとも１つの細長い側において、第３の細長い放出チャネルによって、最も近い第２の細長い放出チャネルから分離されており；
   各第１の細長い放出チャネルおよび各第２の細長い放出チャネルが、第３の細長い放出チャネル間に位置しており；
   第１、第２及び第３の細長い放出チャネルの各々が、長さ方向に延びており、かつ、実質的に平行であり；
   細長い放出チャネルの上記３つの群のうちの少なくとも１つの細長い放出チャネル群内の細長い放出チャネルの各々が、それぞれ、第１ガス状材料、第２ガス状材料及び第３ガス状材料のうちの少なくとも１つの流れを供給装置の出力面に対して実質的に垂直に案内することができ、ガス状材料のこの流れを、基体の表面に対して実質的に垂直に、前記少なくとも１つの群内の細長い放出チャネルの各々から直接的又は間接的に供給することができ；
   当該供給装置の少なくとも一部が複数のアパーチャ付きプレートとして形成されており、当該複数のアパーチャ付きプレートは重なり合って、第１、第２及び第３のガス状材料の各々をそれらの対応する流入ポートからそれらの対応する細長い放出チャネルに送るための、相互接続供給チャンバ及び案内チャネルの網状構造を規定している、供給装置。
2. 基体上に薄膜材料を堆積させるためのガス状材料を供給する出力面を有する供給装置であって、
   （ａ）第１、第２及び第３ガス状材料の共通供給をそれぞれ受容することができる、少なくとも第１、第２及び第３流入ポートを含む複数の流入ポートと；
   （ｂ）第１の複数の細長い放出チャネルと、第２の複数の細長い放出チャネルと、第３の複数の細長い放出チャネル；
   を含み、第１、第２及び第３の細長い放出チャネルの各々により、対応する第１、第２及び第３流入ポートのうちの１つとガス流体連通させ；
   第１、第２及び第３の複数の細長い放出チャネルの各々が、長さ方向に延びており、かつ、実質的に平行であり；
   各第１の細長い放出チャネルが、その各細長い側において、第３の細長い放出チャネルによって、最も近い第２の細長い放出チャネルから分離されており；
   各第１の細長い放出チャネル及び各第２の細長い放出チャネルが、第３の細長い放出チャネルの間に位置しており；
   第１、第２及び第３の複数の細長い放出チャネルのうちの少なくとも１つの群内の細長い放出チャネルの各々が、それぞれ、第１、第２及び第３ガス状材料のうちの少なくとも１つの流れを当該供給装置の出力面に対して実質的に垂直に案内することができ、ガス状材料のこの流れを、基体の表面に対して実質的に垂直に、前記少なくとも１つの群内の細長い放出チャネルの各々から直接的又は間接的に供給することができ、当該供給装置の少なくとも一部は、複数のアパーチャ付きプレートとして形成されており、当該複数のアパーチャ付きプレートは、重なり合って第１、第２及び第３のガス状材料の各々をそれらの対応する流入ポートからそれらの対応する複数の細長い放出チャネルに送るための相互接続供給チャンバ及び案内チャネルの網状構造を規定しており、当該複数のアパーチャ付きプレートは、出力面に対して実質的に垂直に配置されており；
   第１、第２及び第３の複数の細長い放出チャネルの各々について、各個々の細長い放出チャネルが、
   （ｉ）中央プレートの各側に１枚ずつあり、個々の細長い放出チャネルの長さ方向に沿う側壁を規定する２枚のセパレータプレートと、（ii）個々の細長い放出チャネルの幅を規定する中央プレートであって、上記の２枚のセパレータプレートの間に挟まれた中央プレート；
   を含み、上記の２枚のセパレータプレートと中央プレートのアパーチャの位置合わせにより第１ガス状材料、第２ガス状材料又は第３ガス状材料のうちの１つの供給との流体連通がもたらされ、第１ガス状材料、第２ガス状材料又は第３ガス状材料のうちの１つだけが個々の細長い放出チャネルに流入することが可能となる、供給装置。
3. 基体上に薄膜材料を堆積させるためのガス状材料を供給する出力面を有する供給装置であって、
   （ａ）第１、第２及び第３ガス状材料の共通供給をそれぞれ受容することができる、少なくとも第１、第２及び第３流入ポートを含む複数の流入ポートと；
   （ｂ）第１の複数の細長い放出チャネルと、第２の複数の細長い放出チャネルと、第３の複数の細長い放出チャネル；
   を含み、第１、第２及び第３の細長い放出チャネルの各々により、対応する第１、第２及び第３流入ポートのうちの１つとガス流体連通させ；
   第１、第２及び第３の複数の細長い放出チャネルの各々が、長さ方向に延びており、かつ、実質的に平行であり；
   各第１の細長い放出チャネルが、その各細長い側において、第３の細長い放出チャネルによって、最も近い第２の細長い放出チャネルから分離されており；
   各第１の細長い放出チャネル及び各第２の細長い放出チャネルが、第３の細長い放出チャネルの間に位置しており；
   第１、第２及び第３の複数の細長い放出チャネルのうちの少なくとも１つの群内の細長い放出チャネルの各々が、それぞれ、第１、第２及び第３ガス状材料のうちの少なくとも１つの流れを当該供給装置の出力面に対して実質的に垂直に案内することができ、ガス状材料のこの流れを、基体の表面に対して実質的に垂直に、前記少なくとも１つの群内の細長い放出チャネルの各々から直接的又は間接的に供給することができ、当該供給装置の少なくとも一部は、複数のアパーチャ付きプレートとして形成されており、当該複数のアパーチャ付きプレートは、重なり合って第１、第２及び第３のガス状材料の各々をそれらの対応する流入ポートからそれらの対応する複数の細長い放出チャネルに送るための相互接続供給チャンバ及び案内チャネルの網状構造を規定しており、当該複数のアパーチャ付きプレートは、出力面に対して実質的に垂直に配置されている、供給装置。
4. 基体上に薄膜材料を堆積させるための方法であって、請求項１に記載の供給装置の出力面から一連のガス流を基体の表面に同時に案内することを含み、前記一連のガス流が、少なくとも第１の反応性ガス状材料、第２の反応性ガス状材料及び第３のガス状材料、不活性パージガスを含み、第１の反応性ガス状材料は、基体が第２の反応性ガス状材料により処理された場合に、基体表面と反応することができる、基体上に薄膜材料を堆積させるための方法。