CN108291303B - 涂覆前体喷嘴和喷嘴头 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及用于使基材(5)的表面经受涂覆前体的涂覆前体喷嘴(15)。所述喷嘴(15)具有喷嘴输出面(10a)、第一喷嘴侧部边缘和第二喷嘴侧部边缘(31、32)以及第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘(33、34)。所述涂覆前体喷嘴(15)包括前体供应通道(16)、第一排出通道(17a)、第一横向吹扫气体通道(18a)、第二横向吹扫气体通道(18b)、第一边缘吹扫气体通道(19a)和至少一个第一辅助吹扫气体通道(20)。本发明还涉及喷嘴头(1)。

Description

涂覆前体喷嘴和喷嘴头
技术领域
本发明涉及用于使基材表面经受涂覆前体的涂覆前体喷嘴，并且更具体地涉及如独立权利要求1所限定的涂覆前体喷嘴。
本发明还涉及一种用于使基材表面经受至少第一前体和第二前体的连续表面反应的喷嘴头，并且更具体地涉及如独立权利要求13所限定的喷嘴头。
背景技术
在现有技术中，根据原子层沉积方法(ALD)的原理，使用几种类型的装置、喷嘴头和喷嘴使基材的表面经受至少第一前体和第二前体的连续表面反应。在ALD应用中，通常在单独的阶段将两种气态前体引入ALD反应器中。气态前体有效地与基材表面反应，产生最大厚度仅为一个单层的生长层的沉积(其可以是原子层或分子层)。通常在前体阶段之后是惰性气体吹扫阶段，或者由惰性气体吹扫阶段分离前体阶段，该惰性气体吹扫阶段在单独引入另一前体之前从基材表面消除多余前体。因此，ALD工艺需要交替变换前体通入基材表面的顺序。交替的表面反应和之间吹扫阶段的这种重复顺序是典型的ALD沉积循环。通过重复这些循环，可以获得非常保形和无针孔的膜，并且可以通过沉积循环的次数来控制膜的厚度。对于更复杂的层，可以使用更多前体例如第三前体和第四前体。
用于连续操作ALD的现有技术装置通常包括喷嘴头，该喷嘴头具有：一个或多个第一前体喷嘴，用于使基材的表面经受第一前体；一个或多个第二前体喷嘴，用于使基材的表面经受第二前体；一个或多个吹扫气体通道和一个或多个排出通道，所述一个或多个排出通道用于排出按一定顺序布置的两种前体和吹扫气体。喷嘴优选地相对于基材移动以产生多个生长层。连续ALD(也称空间ALD)中的前体进料在空间上分开。
在现有技术装置中，喷嘴头布置成使基材的表面经受前体，使得该表面被沉积材料的生长层涂覆。空间ALD装置中的喷嘴头形成在基材的纵向方向上均匀的生长层。均匀性在基材的横向方向上同样良好。然而，在由多个生长层形成的涂层的边缘区域中，生长层中通常存在不希望的变化，使得涂层的厚度不同。这是因为由于前体和惰性吹扫气体的非理想流动，边缘区域在前体和吹扫(惰性)气体中的暴露并不总是一致的。
除了在基材边缘或涂层边缘出现不均匀涂层外，基材边缘区域的厚度变化还会造成其他问题。另一个问题在于，前体可能会从待涂覆的区域逸散到喷嘴头的周围区域，污染该区域、喷嘴头本身、或气体通道和导管、真空室和喷嘴操作的涂覆工具的其他部分。
这被认为是由于边缘区域中氮气分流引起的结果，这可导致湍流并因此削弱流动的屏障效果。类似地，由于运动或其他因素的影响，在喷嘴头扰动流的边缘区域出现压力波动和湍流。
发明内容
因此，本发明的目的是提供涂覆前体喷嘴和喷嘴头以克服上述问题。通过涂覆前体喷嘴和喷嘴头实现本发明的目的，其特征在于独立权利要求中陈述的内容。本发明的优选实施方案在从属权利要求中公开。
本发明的构思是向待涂覆区域的边缘区域提供辅助吹扫气体，使得在辅助吹扫气体的帮助下，实际生长层可以进一步从对流动具有挑战性的边缘区域移动。
根据本发明，用于使基材的表面经受涂覆前体的涂覆前体喷嘴具有喷嘴输出面、第一喷嘴侧部边缘和第二喷嘴侧部边缘以及第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘。涂覆前体喷嘴包括：前体供应通道，该前体供应通道具有第一前体供应通道端部和第二前体供应通道端部，用于经由喷嘴输出面使基材的表面经受前体，所述前体供应通道在第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘之间纵向延伸；第一排出通道，该第一排出通道向喷嘴输出面打开，用于排出从前体供应通道供应的前体的至少一部分，所述第一排出通道在第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘之间纵向延伸；第二排出通道，该第二排出通道向喷嘴输出面打开，用于排出从前体供应通道供应的前体的至少一部分，所述第二排出通道在第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘之间纵向延伸；所述前体供应通道布置在第一排出通道和第二排出通道之间；用于供应吹扫气体的第一横向吹扫气体通道，所述第一横向吹扫气体通道在第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘之间纵向延伸；用于供应吹扫气体的第二横向吹扫气体通道，所述第二横向吹扫气体通道在第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘之间纵向延伸；所述第一排出通道和第二排出通道和所述前体供应通道布置在第一横向吹扫气体通道和第二横向吹扫气体通道之间；设置在第一喷嘴端部边缘和第一前体供应通道端部之间的第一边缘吹扫气体通道，所述第一边缘吹扫气体通道在第一喷嘴侧部边缘和第二喷嘴侧部边缘之间纵向延伸；以及至少一个第一辅助吹扫气体通道，该第一辅助吹扫气体通道布置在第一喷嘴侧部边缘和第二喷嘴侧部边缘之间，以及第一边缘吹扫气体通道和经由第一前体供应通道端部从第一喷嘴侧部边缘延伸到第二喷嘴侧部边缘的线之间的区域中。
根据本发明，用于使基材的表面经受至少第一前体和第二前体的连续表面反应的喷嘴头具有输出面、平行的第一端部边缘和第二端部边缘以及平行的第一侧部边缘和第二侧部边缘；喷嘴头包括多个根据前面提出内容的涂覆前体喷嘴，其中喷嘴彼此相邻布置并且在输出面上的第一侧部边缘和第二侧部边缘之间纵向延伸。
令人惊讶地发现，在现有技术的解决方案中，前体可以不可控的方式从前体供应通道朝向基材的边缘横动，从而产生随机流动，所述随机流动也在基材的边缘区域中随机地使基材表面经受前体。随后，在所述边缘区域产生不均匀且厚度不受控的层生长。另外，由于前体的排出未受到良好控制，前体也可能从边缘泄漏到涂覆工具的其他部分，并且因此会在涂覆工具的各个部分中产生不希望的污染或残留物生长，从而增加装置的维护需求。
喷嘴的主要问题在于受喷嘴几何因素影响，喷嘴端部的流动与喷嘴中部的流动不同。克服这个问题的一种方法是产生分支流，以防止喷嘴和周围区域的相互作用。这导致在大多数情况下不能接合的交叉的流动通道，例如两个供应通道或吸入和供应。在这些种类的不连续区域中，很难防止湍流。因此，前体供应通道布置成在喷嘴中的理想点处终止，并且前体供应通道的延伸区域设置有吹扫气体。因此，涂层在前体供应通道终止点处具有清晰的端部边界线，并且由几何结构引起的所有湍流都位于吹扫供应区。换句话说，辅助吹扫气体通道提供吹扫气体的区域必须足够宽以至于湍流不会到达前体供应区域的边缘。
本发明的涂覆前体喷嘴和喷嘴头的优点在于，在该工艺期间，要用涂覆前体喷嘴产生的涂层边缘区域受到控制，并且不会由于边缘区域的前体泄漏而污染喷嘴头。
附图说明
下面将参照附图借助于优选实施方案更详细地描述本发明，其中：
图1示出了根据本发明的喷嘴头的一个实施方案；
图2示出了根据本发明的喷嘴的一部分；
图3示出了根据本发明的喷嘴的另一部分；
图4示出了根据本发明的喷嘴的一个实施方案；
图5示出了根据本发明的喷嘴的另一个实施方案；并且
图6示意性地示出了根据本发明的喷嘴头。
具体实施方式
图1示意性地示出了根据本发明的喷嘴头1的一个实施方案。喷嘴头1包括输出面10，气态前体经由该输出面供应，所述输出面10由多个喷嘴输出面10a形成。喷嘴头的主体包括平行的第一端部边缘11和第二端部边缘12以及平行的第一侧部边缘13和第二侧部边缘14。喷嘴头1包括多个彼此相邻布置并且在输出面10上的第一侧部边缘13和第二侧部边缘14之间纵向延伸的涂覆前体喷嘴15。在图1的实施方案中，喷嘴头输出面10是平面的，但是在替代实施方案中，该输出面也可以是非平面的、弯曲的、圆柱形的或具有任何其他合适的形式。喷嘴头1设置有彼此相邻布置并且沿着输出面10纵向延伸的喷嘴15。相邻的喷嘴15彼此隔开间隙40。间隙40可能并不重要，但其限定了喷嘴15边缘和相邻喷嘴的边界。在该应用中，涂覆前体喷嘴也可仅被称为喷嘴，其仍然具有与涂覆前体喷嘴相同的含义。
喷嘴15包括前体供应通道16、第一排出通道17a和第二排出通道17b，其被布置成使得所述前体供应通道16被布置在第一排出通道17a和第二排出通道17b之间。前体供应通道16以及第一排出通道17a和第二排出通道17b形成为纵向通道。喷嘴15还包括用于供应吹扫气体的第一横向吹扫气体通道18a和第二横向吹扫气体通道18b。第一排出通道17a和第二排出通道17b和前体供应通道16布置在第一横向吹扫气体通道18a和第二横向吹扫气体通道18b之间。
应当指出的是，喷嘴15可以是喷嘴头1的整体部分，或者它们可以是可拆卸的部分，其可以被移除或更换。吹扫气体通道18a、18b优选比排出通道17a、17b或前体供应通道16更长。
排出通道17a、17b连接到真空泵等，使得其可以从喷嘴输出面10a排出前体和吹扫气体。排出通道17a、17b向喷嘴输出面10a打开，用于排出从前体供应通道16供应的前体的至少一部分，并且所述排出通道17a在第一喷嘴端部边缘33和第二喷嘴端部边缘34之间纵向延伸。喷嘴头1侧部边缘13、14由多个喷嘴端部边缘33、34形成。在第一喷嘴端部边缘33和第二喷嘴端部边缘34之间延伸的排出通道17a、17b是分开的排出通道，其布置在喷嘴15中的前体供应通道16的不同侧部上。前体供应通道16在第一喷嘴端部边缘33和第二喷嘴端部边缘34之间纵向延伸，并且包括第一前体供应通道端部16a和第二前体供应通道端部16b。吹扫气体通道18a、18b在第一喷嘴端部边缘33和第二喷嘴端部边缘34之间纵向延伸并且布置在喷嘴15中前体供应通道16的不同侧部上，使得第一排出通道17a布置在第一横向吹扫气体通道18a和前体供应通道16之间，并且第二排出通道17b布置在第二横向排出气体通道18b和前体供应通道16之间。
图1还示出第一边缘吹扫气体通道19a设置在第一喷嘴端部边缘33和第一前体供应通道端部16a之间，使得第一边缘吹扫气体通道19a在第一喷嘴侧部边缘31和第二喷嘴侧部边缘32之间纵向延伸。优选地，第一边缘吹扫气体通道19a平行于第一喷嘴端部边缘33。但这不是强制性的，因为第一喷嘴端部边缘可以其他方式形成。喷嘴15还包括至少一个第一辅助吹扫气体通道20，该辅助吹扫气体通道布置在第一喷嘴侧部边缘31和第二喷嘴侧部边缘32之间，以及第一边缘吹扫气体通道19a和经由第一前体供应通道端部16a从第一喷嘴侧部边缘31延伸到第二喷嘴侧部边缘32的线40之间的区域中。在图2中可以更详细地看到这一点。第一横向吹扫气体通道18a和第二横向吹扫气体通道18b优选与第一边缘吹扫气体通道19a和第二边缘吹扫气体通道19b流体连通。图1还示出了第一边缘吹扫气体通道19a经由一个或多个横向吹扫气体通道18a、18b与第二边缘吹扫气体通道19b流体连通。
从图1可以看出，喷嘴头1包括由多个第一边缘吹扫通道19a形成的连续的第一喷嘴头边缘吹扫气体通道19.1，并且喷嘴头1包括由多个第二边缘吹扫通道19b形成的连续的第二喷嘴头边缘吹扫气体通道19.2。
附图还示出了标有A的箭头，其示出了喷嘴头1的移动，或基材5的移动或喷嘴头1和基材5的移动。喷嘴头1相对于基材移动以产生多个生长层，或者基材5相对于喷嘴头1移动，或者通过移动基材5和喷嘴头1两者来布置喷嘴头1和基材5之间的移动。
图2示出了包括第一喷嘴侧部边缘31和第二喷嘴侧部边缘32和第一喷嘴端部边缘33的喷嘴15的一部分。图2示出了喷嘴15包括前体供应通道16，该前体供应通道具有设置在第一喷嘴端部边缘33附近的第一端部16a和第一边缘吹扫气体通道19a。图2进一步示出了第一辅助吹扫气体通道20布置在第一喷嘴侧部边缘31和第二喷嘴侧部边缘32之间，以及第一边缘吹扫气体通道19a和经由第一前体供应通道端部16a从第一喷嘴侧部边缘31延伸到第二喷嘴侧部边缘32的线40之间的区域中，其中线40示出为虚线。在图2所示的实施方案中，第一辅助吹扫气体通道20布置成从第一边缘吹扫气体通道19a延伸，使得至少一个第一辅助吹扫气体通道20与第一边缘吹扫气体通道19a流体连通。第一辅助吹扫气体通道20从第一边缘吹扫气体通道19a朝向前体供应通道16延伸。尽管图2显示前体供应通道16和第一辅助吹扫气体通道20在一条直线上，但这不是必需的。第一辅助吹扫气体通道20还可具有分支，以便有多个第一辅助吹扫气体通道20朝向前体供应通道16或由第一排出通道17a和第二排出通道17b限定的区域延伸。从图2中可以看出，该至少一个第一辅助吹扫气体通道20至少部分地布置在第一排出通道17a和第二排出通道17b之间，其中该第一排出通道和第二排出通道比前体供应通道16更靠近第一喷嘴端部边缘33延伸。
图3示出了包括第一喷嘴侧部边缘31和第二喷嘴侧部边缘32和第二喷嘴端部边缘34的喷嘴15的一部分。图3示出了喷嘴15包括吹扫气体通道16，该吹扫气体通道具有设置在第二喷嘴端部边缘34附近的第二端部16b和第二边缘吹扫气体通道19b。图3进一步示出了第二辅助吹扫气体通道21布置在第一喷嘴侧部边缘31和第二喷嘴侧部边缘32之间，以及第二边缘吹扫气体通道19b和经由第二前体供应通道端部16b从第一喷嘴侧部边缘31延伸到第二喷嘴侧部边缘32的线40之间的区域中，其中线40示出为虚线。在图3所示的实施方案中，辅助吹扫气体通道20布置成在第一横向吹扫气体通道18a和第二横向吹扫气体通道18b之间平行于边缘吹扫气体通道19b延伸。因此，喷嘴15还包括设置在第二喷嘴端部边缘34和第二前体供应通道端部16b之间的第二边缘吹扫气体通道19b，所述第二边缘吹扫气体通道19b在第一喷嘴侧部边缘31和第二喷嘴侧部边缘32之间纵向延伸；以及至少一个第二辅助吹扫气体通道21，其设置在第一喷嘴侧部边缘31和第二喷嘴侧部边缘32之间，以及第二边缘吹扫气体通道19b和经由第二前体供应通道端部16b从第一喷嘴侧部边缘31延伸到第二喷嘴侧部边缘32的线40之间的区域中。从图3中可以看出，该至少一个第二辅助吹扫气体通道21布置成沿着平行于第二喷嘴端部边缘34的方向延伸。类似地，该至少一个第一辅助吹扫气体通道20可布置成沿着平行于第一喷嘴端部边缘33的方向延伸。
图4示出了包括前体供应通道16的喷嘴15，该前体供应通道具有第一前体供应通道端部16a和第二前体供应通道端部16b，用于经由喷嘴输出面10a使基材的表面经受前体。前体供应通道16在第一喷嘴端部边缘33和第二喷嘴端部边缘34之间纵向延伸。第一排出通道17a和第二排出通道17b在第一喷嘴端部边缘33和第二喷嘴端部边缘34之间纵向延伸。前体供应通道16布置在第一排出通道17a和第二排出通道17b之间。第一横向吹扫气体通道18a和第二横向吹扫气体通道18b在第一喷嘴端部边缘33和第二喷嘴端部边缘34之间纵向延伸，并且所述第一排出通道17a和第二排出通道17b和所述前体供应通道16布置在第一横向吹扫气体通道18a和第二横向吹扫气体通道18b之间。在喷嘴端部边缘33、34附近是设置在第一喷嘴端部边缘33和第一前体供应通道端部16a之间的第一边缘吹扫气体通道19a，以及设置在第二喷嘴端部边缘34和第二前体供应通道端部16b之间的第二边缘吹扫气体通道19b。第一边缘吹扫气体通道19a和第二边缘吹扫气体通道19b两者在第一喷嘴侧部边缘31和第二喷嘴侧部边缘32之间纵向延伸。图4还示出，喷嘴包括第一辅助吹扫气体通道20和第二辅助吹扫气体通道21，其中第一辅助吹扫气体通道布置在第一喷嘴侧部边缘31和第二喷嘴侧部边缘32之间，以及第一边缘吹扫气体通道19a和经由第一前体供应通道端部16a从第一喷嘴侧部边缘31延伸到第二喷嘴侧部边缘32的线40之间的区域中；第二辅助吹扫气体通道设置在第一喷嘴侧部边缘31和第二喷嘴侧部边缘32之间，以及第二边缘吹扫气体通道19b和经由第二前体供应通道端部16b从第一喷嘴侧部边缘31延伸到第二喷嘴侧部边缘32的线40之间的区域中。在本发明的这个实施方案中，第一辅助吹扫气体通道20和第二辅助吹扫气体通道21两者都布置成从边缘吹扫气体通道19a、19b朝向前体供应通道16延伸。然而，这不需要使第一辅助吹扫气体通道20和第二辅助吹扫气体通道21两者都布置成沿相同方向延伸或者以其他方式类似。因此，第一横向吹扫气体通道18a和第二横向吹扫气体通道18b布置成比前体供应通道16更靠近第一喷嘴端部边缘33延伸，并且该至少一个第一辅助吹扫气体通道20至少部分地设置在第一横向吹扫气体通道18a和第二横向吹扫气体通道18b之间；或者第一横向吹扫气体通道18a和第二横向吹扫气体通道18b比前体供应通道16更靠近第二喷嘴端部边缘34延伸，并且该至少一个第二辅助吹扫气体通道21至少部分地设置在第一横向吹扫气体通道18a和第二横向吹扫气体通道18b之间。从图4中可以看出，该至少一个第二辅助吹扫气体通道21至少部分地布置在第一排出通道17a和第二排出通道17b之间，该第一排出通道和第二排出通道比前体供应通道16更靠近第二喷嘴端部边缘34延伸，并且还可以看出，该至少一个第一辅助吹扫气体通道20布置成从第一边缘吹扫气体通道19a延伸，使得该至少一个第一辅助吹扫气体通道20与第一边缘吹扫气体通道19a流体连通。图4还示出了该至少一个第二辅助吹扫气体通道21布置成从第二边缘吹扫气体通道19b延伸，使得该至少一个第二辅助吹扫气体通道21与第二边缘吹扫气体通道19b流体连通。
图5示出了喷嘴15的又一个实施方案。在该实施方案中，第一辅助吹扫气体通道20和第二辅助吹扫气体通道21采用朝向喷嘴输出面10a延伸并打开的供应孔的形式。在该实施方案中，采用供应孔形式的第一辅助吹扫气体通道20和第二辅助吹扫气体通道21布置在第一前体供应通道端部16a和第二前体供应通道端部16b附近，使得供应孔位于第一排出通道17a和第二排出通道17b之间的区域中。尽管图5示出在喷嘴15的两端仅有一个供应孔，但是本发明不限于此，在喷嘴15的端部可以有多个供应孔。因此，该至少一个第一辅助吹扫气体通道20或该至少一个第二辅助吹扫气体通道21作为单独的点源布置在喷嘴输出面10a中。
如图1所示，喷嘴头1由多个喷嘴15形成。由于喷嘴在喷嘴15的两端均包括边缘吹扫气体通道19a、19b，相邻喷嘴也在喷嘴头1中形成连续的边缘吹扫气体通道19。喷嘴头1还可在第一端部边缘11和第二端部边缘12中包括边缘吹扫气体通道，使得端部边缘吹扫气体通道11a、12a与多个第一边缘吹扫气体通道19a和多个第二边缘吹扫气体通道19b形成围绕喷嘴头1的边缘区域的连续边缘吹扫气体通道。
第一辅助吹扫气体通道20和第二辅助吹扫气体通道21可沿着喷嘴输出面10a从边缘吹扫气体通道19a、19b延伸，或者其可从边缘吹扫气体通道19a、19b延伸，使得其在喷嘴结构内延伸并且仅作为通向喷嘴输出面10a的供应孔打开。在本发明的另一个实施方案中，第一或第二辅助吹扫气体通道20、21可以作为单独的辅助吹扫气体通道与边缘吹扫气体通道19a、19b分开布置。该至少一个第一辅助吹扫气体通道20布置成沿着第一边缘吹扫气体通道19a的方向延伸，或者该至少一个第二辅助吹扫气体通道21布置成沿着第二边缘吹扫气体通道19b延伸。该至少一个第一辅助吹扫气体通道20或该至少一个第二辅助吹扫气体通道21布置成沿着前体供应通道16的方向延伸。
图1至图5示出了从基材表面观察的喷嘴，但图6示出了从喷嘴头1的端部观察的情况，从而示出了平行的第一侧部边缘13和第二侧部边缘14和输出面10，并且基材5面向输出面10。
图1、图3和图5示出了该至少一个第一辅助吹扫气体通道20或该至少一个第二辅助吹扫气体通道21作为单独的通道布置在喷嘴输出面10a中。
尽管在本发明的一个实施方案的附图中未示出，但是涂覆前体喷嘴15的第二横向吹扫气体通道18b布置成形成相邻涂覆前体喷嘴15的第一横向吹扫气体通道18a。换句话讲，相邻涂覆前体喷嘴具有共同的吹扫气体通道，该吹扫气体通道是第一涂覆前体喷嘴的第一横向吹扫气体通道，并且是该第一涂覆前体喷嘴的相邻前体喷嘴的第二横向吹扫气体通道。在除了最后涂覆前体喷嘴以外的每个涂覆前体喷嘴15的另一个实施方案中，涂覆前体喷嘴15的第二横向吹扫气体通道18b是相邻涂覆前体喷嘴的第一横向吹扫气体通道18a。
对于本领域技术人员将显而易见的是，随着技术的进步，本发明构思可以以各种方式实施。本发明及其实施方案不限于上述示例，而是可以在权利要求书的范围内变化。

Claims (16)

1.一种用于使基材(5)的表面经受涂覆前体的涂覆前体喷嘴(15)，所述涂覆前体喷嘴(15)具有喷嘴输出面(10a)、第一喷嘴侧部边缘(31)和第二喷嘴侧部边缘(32)以及第一喷嘴端部边缘(33)和第二喷嘴端部边缘(34)；所述涂覆前体喷嘴(15)包括：
前体供应通道(16)，所述前体供应通道具有第一前体供应通道端部(16a)和第二前体供应通道端部(16b)，用于经由所述喷嘴输出面(10a)使所述基材(5)的所述表面经受所述涂覆前体，所述前体供应通道(16)在所述第一喷嘴端部边缘(33)和所述第二喷嘴端部边缘(34)之间纵向延伸；
第一排出通道(17a)，所述第一排出通道向所述喷嘴输出面(10a)打开，用于排出从所述前体供应通道(16)供应的所述涂覆前体的至少一部分，所述第一排出通道(17a)在所述第一喷嘴端部边缘(33)和所述第二喷嘴端部边缘(34)之间纵向延伸；
第二排出通道(17b)，所述第二排出通道向所述喷嘴输出面(10a)打开，用于排出从所述前体供应通道(16)供应的所述涂覆前体的至少一部分，所述第二排出通道(17b)在所述第一喷嘴端部边缘(33)和所述第二喷嘴端部边缘(34)之间纵向延伸；
所述前体供应通道(16)布置在所述第一排出通道(17a)和所述第二排出通道(17b)之间；
用于供应吹扫气体的第一横向吹扫气体通道(18a)，所述第一横向吹扫气体通道(18a)在所述第一喷嘴端部边缘(33)和所述第二喷嘴端部边缘(34)之间纵向延伸；
用于供应吹扫气体的第二横向吹扫气体通道(18b)，所述第二横向吹扫气体通道(18b)在所述第一喷嘴端部边缘(33)和所述第二喷嘴端部边缘(34)之间纵向延伸；
所述第一排出通道(17a)和所述第二排出通道(17b)和所述前体供应通道(16)布置在所述第一横向吹扫气体通道(18a)和所述第二横向吹扫气体通道(18b)之间；
用于供应吹扫气体的第一边缘吹扫气体通道(19a)，所述第一边缘吹扫气体通道设置在所述第一喷嘴端部边缘(33)和所述第一前体供应通道端部(16a)之间，所述第一边缘吹扫气体通道(19a)在所述第一喷嘴侧部边缘(31)和所述第二喷嘴侧部边缘(32)之间纵向延伸；其特征在于，所述涂覆前体喷嘴(15)还包括：
至少一个第一辅助吹扫气体通道(20)，所述第一辅助吹扫气体通道(20)用于供应吹扫气体，所述第一辅助吹扫气体通道布置在所述第一喷嘴侧部边缘(31)和所述第二喷嘴侧部边缘(32)之间，以及所述第一边缘吹扫气体通道(19a)和经由所述第一前体供应通道端部(16a)从所述第一喷嘴侧部边缘(31)延伸到所述第二喷嘴侧部边缘(32)的线(40)之间的区域中。
2.根据权利要求1所述的涂覆前体喷嘴(15)，其特征在于，所述涂覆前体喷嘴(15)还包括：
设置在所述第二喷嘴端部边缘(34)和所述第二前体供应通道端部(16b)之间的第二边缘吹扫气体通道(19b)，所述第二边缘吹扫气体通道(19b)在所述第一喷嘴侧部边缘(31)和所述第二喷嘴侧部边缘(32)之间纵向延伸；以及
至少一个第二辅助吹扫气体通道(21)，所述第二辅助吹扫气体通道设置在所述第一喷嘴侧部边缘(31)和所述第二喷嘴侧部边缘(32)之间，以及第二边缘吹扫气体通道(19b)和经由所述第二前体供应通道端部(16b)从所述第一喷嘴侧部边缘(31)延伸到所述第二喷嘴侧部边缘(32)的线(40)之间的区域中。
3.根据权利要求2所述的涂覆前体喷嘴(15)，其特征在于，所述第一横向吹扫气体通道(18a)和所述第二横向吹扫气体通道(18b)布置成比所述前体供应通道(16)更靠近所述第一喷嘴端部边缘(33)延伸，并且所述至少一个第一辅助吹扫气体通道(20)至少部分地设置在所述第一横向吹扫气体通道(18a)和所述第二横向吹扫气体通道(18b)之间；或者
所述第一横向吹扫气体通道(18a)和所述第二横向吹扫气体通道(18b)比所述前体供应通道(16)更靠近所述第二喷嘴端部边缘(34)延伸，并且所述至少一个第二辅助吹扫气体通道(21)至少部分地设置在所述第一横向吹扫气体通道(18a)和所述第二横向吹扫气体通道(18b)之间。
4.根据权利要求2所述的涂覆前体喷嘴(15)，其特征在于，所述至少一个第一辅助吹扫气体通道(20)至少部分地布置在所述第一排出通道(17a)和所述第二排出通道(17b)之间，所述第一排出通道和第二排出通道比所述前体供应通道(16)更靠近所述第一喷嘴端部边缘(33)延伸；或者
所述至少一个第二辅助吹扫气体通道(21)至少部分地布置在所述第一排出通道(17a)和所述第二排出通道(17b)之间，所述第一排出通道和第二排出通道比所述前体供应通道(16)更靠近所述第二喷嘴端部边缘(34)延伸。
5.根据权利要求1所述的涂覆前体喷嘴(15)，其特征在于，所述至少一个第一辅助吹扫气体通道(20)布置成从所述第一边缘吹扫气体通道(19a)延伸，使得所述至少一个第一辅助吹扫气体通道(20)与所述第一边缘吹扫气体通道(19a)流体连通。
6.根据权利要求2所述的涂覆前体喷嘴(15)，其特征在于，所述至少一个第二辅助吹扫气体通道(21)布置成从所述第二边缘吹扫气体通道(19b)延伸，使得所述至少一个第二辅助吹扫气体通道(21)与所述第二边缘吹扫气体通道(19b)流体连通。
7.根据权利要求2所述的涂覆前体喷嘴(15)，其特征在于，所述至少一个第一辅助吹扫气体通道(20)或所述至少一个第二辅助吹扫气体通道(21)作为单独的点源布置在所述喷嘴输出面(10a)中。
8.根据权利要求2所述的涂覆前体喷嘴(15)，其特征在于，所述至少一个第一辅助吹扫气体通道(20)或所述至少一个第二辅助吹扫气体通道(21)作为单独的通道布置在所述喷嘴输出面(10a)中。
9.根据权利要求2所述的涂覆前体喷嘴(15)，其特征在于，所述至少一个第一辅助吹扫气体通道(20)布置成沿着所述第一边缘吹扫气体通道(19a)的方向延伸；或者
所述至少一个第二辅助吹扫气体通道(21)布置成沿着所述第二边缘吹扫气体通道(19b)的方向延伸。
10.根据权利要求2所述的涂覆前体喷嘴(15)，其特征在于，所述至少一个第一辅助吹扫气体通道(20)或所述至少一个第二辅助吹扫气体通道(21)布置成沿着所述前体供应通道(16)的方向延伸。
11.根据权利要求2所述的涂覆前体喷嘴(15)，其特征在于，所述至少一个第一辅助吹扫气体通道(20)布置成沿着平行于所述第一喷嘴端部边缘(33)的方向延伸；或者
所述至少一个第二辅助吹扫气体通道(21)布置成沿着平行于所述第二喷嘴端部边缘(34)的方向延伸。
12.根据权利要求2、6或9中任一项所述的涂覆前体喷嘴(15)，其特征在于，所述第一边缘吹扫气体通道(19a)经由一个或多个横向吹扫气体通道与所述第二边缘吹扫气体通道(19b)流体连通。
13.一种用于使基材(5)的表面经受至少第一前体和第二前体的连续表面反应的喷嘴头(1)，所述喷嘴头(1)具有输出面(10)、平行的第一端部边缘(11)和第二端部边缘(12)以及平行的第一侧部边缘(13)和第二侧部边缘(14)；所述喷嘴头(1)包括多个根据权利要求1至11中任一项所述的涂覆前体喷嘴(15)，所述涂覆前体喷嘴彼此相邻布置并且在所述输出面(10)上的所述第一侧部边缘(13)和所述第二侧部边缘(14)之间纵向延伸。
14.根据权利要求13所述的喷嘴头(1)，其特征在于，所述喷嘴头(1)包括由多个第一边缘吹扫通道(19a)形成的连续的第一喷嘴头边缘吹扫气体通道(19.1)。
15.根据权利要求13所述的喷嘴头(1)，其特征在于，所述喷嘴头(1)包括由多个第二边缘吹扫通道(19b)形成的连续的第二喷嘴头边缘吹扫气体通道(19.2)。
16.根据权利要求13至15中任一项所述的喷嘴头(1)，其特征在于，涂覆前体喷嘴(15)的所述第二横向吹扫气体通道(18b)布置成形成相邻涂覆前体喷嘴(15)的所述第一横向吹扫气体通道(18a)。
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