JP2010514222A5 - - Google Patents
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Description
本開示の範疇及び原理から逸脱することなく様々な修正を行えることが、上記の説明から当業者に明らかとなり、また、本開示が、先に記載した例示的な実施形態に過度に限定されるものではないことが、理解されるべきである。本開示の様々な実施形態について説明した。これら及び他の実施形態は、特許請求の範囲に含まれる。
本願発明に関連する発明の実施形態について以下に列挙する。
［実施形態１］
プロリンと、
フルオロケミカル界面活性剤と、
を含む、固定研磨化学機械平坦化用の作動液体であって、
前記作動液体が実質的に研磨粒子を含まず、かつ前記プロリン及び前記フルオロケミカル界面活性剤がそれぞれ、前記作動液体が二酸化ケイ素を含む第１領域及び窒化ケイ素を含む第２領域を有するウエハの化学機械平坦化で用いられるとき、少なくとも５００オングストローム／分（Å／分）での酸化物除去速度及び少なくとも５の選択比を得るのに有効な量で存在する、作動液体。
［実施形態２］
前記酸化物除去速度が少なくとも７００Å／分である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態３］
前記選択比が少なくとも３０である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態４］
前記作動液体のｐＨが９〜１１である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態５］
前記作動液体のｐＨが１０〜１０．５である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態６］
前記フルオロケミカル界面活性剤が非イオン性界面活性剤である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態７］
前記フルオロケミカル界面活性剤が、式Ｒ １ ＣＨ ２ ＣＨ ２ Ｏ（ＣＨ ２ ＣＨ ２ Ｏ） ｘ Ｈ（式中、Ｒ １ はＦ（ＣＦ ２ ＣＦ ２ ） ３〜８ であり、ｘは≧１の整数である）を有する、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態８］
前記フルオロケミカル界面活性剤の濃度が、０．００５重量％超過かつ１．０重量％未満である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態９］
前記フルオロケミカル界面活性剤の前記濃度が、０．２重量％〜０．６重量％である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態１０］
プロリンの前記濃度が、１．０重量％〜４重量％である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態１１］
プロリンの前記濃度が、２．０重量％〜３重量％である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態１２］
複数の研磨粒子及び結合剤を含む三次元、構造化、固定化研磨物品と、
プロリン及びフルオロケミカル界面活性剤を含む作動液体と、
を含むウエハ平坦化システムであって、
前記作動液体のｐＨが９〜１１でありかつ実質的に研磨粒子を含まない、ウエハ平坦化システム。
［実施形態１３］
前記研磨物品が、正確に成形された研磨複合体を含む、実施形態１２に記載のウエハ平坦化システム。
［実施形態１４］
誘電性酸化物を含む第１表面領域と、バリア窒化物を含む第２表面領域と、を有するウエハを提供する工程と、
前記第１及び第２表面領域を、複数の研磨粒子及び結合剤を含む三次元、構造化、固定化研磨物品と接触させる工程と、
プロリン及びフルオロケミカル界面活性剤を含む液体媒質の存在下で、前記ウエハと前記固定化研磨物品を相対的に移動させる工程と、
を含む、ウエハの化学機械平坦化方法。
［実施形態１５］
前記液体媒質のｐＨが９〜１１である、実施形態１４に記載の方法。
［実施形態１６］
前記フルオロケミカル界面活性剤が、式Ｒ １ ＣＨ ２ ＣＨ ２ Ｏ（ＣＨ ２ ＣＨ ２ Ｏ） ｘ Ｈ（式中、Ｒ １ はＦ（ＣＦ ２ ＣＦ ２ ） ３〜８ であり、ｘは≧１の整数である）を有する、実施形態１４に記載の方法。
［実施形態１７］
前記液体媒質中の前記フルオロケミカル界面活性剤の前記濃度が、０．００５重量％超過かつ１．０重量％未満である、実施形態１４に記載の方法。
［実施形態１８］
前記液体媒質中のプロリン濃度が１．０重量％〜５重量％である、実施形態１４に記載の方法。
［実施形態１９］
前記酸化物除去速度が少なくとも７００Å／分である、実施形態１４に記載の方法。
［実施形態２０］
前記選択比が少なくとも５である、実施形態１９に記載の方法。
本願発明に関連する発明の実施形態について以下に列挙する。
［実施形態１］
プロリンと、
フルオロケミカル界面活性剤と、
を含む、固定研磨化学機械平坦化用の作動液体であって、
前記作動液体が実質的に研磨粒子を含まず、かつ前記プロリン及び前記フルオロケミカル界面活性剤がそれぞれ、前記作動液体が二酸化ケイ素を含む第１領域及び窒化ケイ素を含む第２領域を有するウエハの化学機械平坦化で用いられるとき、少なくとも５００オングストローム／分（Å／分）での酸化物除去速度及び少なくとも５の選択比を得るのに有効な量で存在する、作動液体。
［実施形態２］
前記酸化物除去速度が少なくとも７００Å／分である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態３］
前記選択比が少なくとも３０である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態４］
前記作動液体のｐＨが９〜１１である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態５］
前記作動液体のｐＨが１０〜１０．５である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態６］
前記フルオロケミカル界面活性剤が非イオン性界面活性剤である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態７］
前記フルオロケミカル界面活性剤が、式Ｒ １ ＣＨ ２ ＣＨ ２ Ｏ（ＣＨ ２ ＣＨ ２ Ｏ） ｘ Ｈ（式中、Ｒ １ はＦ（ＣＦ ２ ＣＦ ２ ） ３〜８ であり、ｘは≧１の整数である）を有する、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態８］
前記フルオロケミカル界面活性剤の濃度が、０．００５重量％超過かつ１．０重量％未満である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態９］
前記フルオロケミカル界面活性剤の前記濃度が、０．２重量％〜０．６重量％である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態１０］
プロリンの前記濃度が、１．０重量％〜４重量％である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態１１］
プロリンの前記濃度が、２．０重量％〜３重量％である、実施形態１に記載の作動液体。
［実施形態１２］
複数の研磨粒子及び結合剤を含む三次元、構造化、固定化研磨物品と、
プロリン及びフルオロケミカル界面活性剤を含む作動液体と、
を含むウエハ平坦化システムであって、
前記作動液体のｐＨが９〜１１でありかつ実質的に研磨粒子を含まない、ウエハ平坦化システム。
［実施形態１３］
前記研磨物品が、正確に成形された研磨複合体を含む、実施形態１２に記載のウエハ平坦化システム。
［実施形態１４］
誘電性酸化物を含む第１表面領域と、バリア窒化物を含む第２表面領域と、を有するウエハを提供する工程と、
前記第１及び第２表面領域を、複数の研磨粒子及び結合剤を含む三次元、構造化、固定化研磨物品と接触させる工程と、
プロリン及びフルオロケミカル界面活性剤を含む液体媒質の存在下で、前記ウエハと前記固定化研磨物品を相対的に移動させる工程と、
を含む、ウエハの化学機械平坦化方法。
［実施形態１５］
前記液体媒質のｐＨが９〜１１である、実施形態１４に記載の方法。
［実施形態１６］
前記フルオロケミカル界面活性剤が、式Ｒ １ ＣＨ ２ ＣＨ ２ Ｏ（ＣＨ ２ ＣＨ ２ Ｏ） ｘ Ｈ（式中、Ｒ １ はＦ（ＣＦ ２ ＣＦ ２ ） ３〜８ であり、ｘは≧１の整数である）を有する、実施形態１４に記載の方法。
［実施形態１７］
前記液体媒質中の前記フルオロケミカル界面活性剤の前記濃度が、０．００５重量％超過かつ１．０重量％未満である、実施形態１４に記載の方法。
［実施形態１８］
前記液体媒質中のプロリン濃度が１．０重量％〜５重量％である、実施形態１４に記載の方法。
［実施形態１９］
前記酸化物除去速度が少なくとも７００Å／分である、実施形態１４に記載の方法。
［実施形態２０］
前記選択比が少なくとも５である、実施形態１９に記載の方法。
Claims (8)
- プロリンと、
フルオロケミカル界面活性剤と、
を含む、固定研磨化学機械平坦化用の作動液体であって、
前記作動液体が実質的に研磨粒子を含まず、かつ前記プロリン及び前記フルオロケミカル界面活性剤がそれぞれ、前記作動液体が二酸化ケイ素を含む第１領域及び窒化ケイ素を含む第２領域を有するウエハの化学機械平坦化で用いられるとき、少なくとも５００オングストローム／分（Å／分）での酸化物除去速度及び少なくとも５の選択比を得るのに有効な量で存在する、作動液体。 - 前記作動液体のｐＨが９〜１１であるか、又は、１０〜１０．５である、請求項１に記載の作動液体。
- 前記フルオロケミカル界面活性剤が、式Ｒ１ＣＨ２ＣＨ２Ｏ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｘＨ（式中、Ｒ１はＦ（ＣＦ２ＣＦ２）３〜８であり、ｘは≧１の整数である）を有する、請求項１に記載の作動液体。
- 前記フルオロケミカル界面活性剤の濃度が、０．００５重量％超過かつ１．０重量％未満であり、場合により、前記フルオロケミカル界面活性剤の前記濃度が、０．２重量％〜０．６重量％である、請求項１に記載の作動液体。
- プロリンの前記濃度が、１．０重量％〜４重量％であり、場合により、プロリンの前記濃度が、２．０重量％〜３重量％である、請求項１に記載の作動液体。
- 複数の研磨粒子及び結合剤を含む三次元、構造化、固定化研磨物品と、
プロリン及びフルオロケミカル界面活性剤を含む作動液体と、
を含むウエハ平坦化システムであって、
前記作動液体のｐＨが９〜１１でありかつ実質的に研磨粒子を含まない、場合により、前記研磨物品が、正確に成形された研磨複合体を含む、ウエハ平坦化システム。 - 誘電性酸化物を含む第１表面領域と、バリア窒化物を含む第２表面領域と、を有するウエハを提供する工程と、
前記第１及び第２表面領域を、複数の研磨粒子及び結合剤を含む三次元、構造化、固定化研磨物品と接触させる工程と、
プロリン及びフルオロケミカル界面活性剤を含む液体媒質の存在下で、前記ウエハと前記固定化研磨物品を相対的に移動させる工程と、
を含み、場合により、前記液体媒質のｐＨが９〜１１である、ウエハの化学機械平坦化方法。 - 前記酸化物除去速度が少なくとも７００Å／分であり、場合により、前記選択比が少なくとも５である、請求項７に記載の方法。
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