JP2010501834A - 回転センサ - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
11、12 反射器
20 電極ストリップ
21 反射ストリップ
30 振動構造体
41、42 バス・バー
x 波の伝搬方向
y 横方向
Claims (16)
- 表面音響波が励起される少なくとも1つの電気音響反射器を有し、
前記反射器の回転軸回りの回転が、前記反射器の共振周波数を変化させる、
ことを特徴とする回転センサ。 - 波の伝搬方向(x)とその横方向(y)、またはそのどちらかに振動可能な振動構造体(30)を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の回転センサ。 - 前記振動構造体(30)は塔のような形状に設計される、
ことを特徴とする請求項2に記載の回転センサ。 - 前記振動構造体(30)は長手方向よりも横方向(y)に大きく延びている、
ことを特徴とする請求項2または3に記載の回転センサ。 - 前記振動構造体(30)のそれぞれは、変換器内で励起される音響波の波長を示すλの高さを少なくとも有する、
ことを特徴とする請求項2乃至4のうちいずれか1項に記載の回転センサ。 - 前記表面波はせん断波である、
ことを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の回転センサ。 - 前記表面波はレイリー波である、
ことを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の回転センサ。 - 複数の振動構造体(30)が、横方向に連なる、
ことを特徴とする請求項2乃至7のうちいずれか1項に記載の回転センサ。 - 前記共振器は圧電基板上に配置されている電極ストリップの配列を有し、
前記振動構造体(30)は、少なくとも部分的に前記電極ストリップ上に配置されている、
ことを特徴とする請求項2乃至8のうちいずれか1項に記載の回転センサ。 - 前記共振器は圧電基板上に配置されている電極ストリップ(20)の配列を有し、
前記振動構造体(30)は、少なくとも部分的に前記電極ストリップ(20)の間に配置されている、
ことを特徴とする請求項2乃至8のうちいずれか1項に記載の回転センサ。 - 前記振動構造体(30)は、それぞれ少なくとも2つの層を有し、
最も上の前記層の材料は、関連する前記振動構造体の下層の材料よりも密度が高い、
ことを特徴とする請求項2乃至10のうちいずれか1項に記載の回転センサ。 - 前記振動構造体(30)の特徴的な振動特性を示す共振曲線の半分の値の帯域幅は、前記センサのために指定された動作周波数の範囲がこの帯域幅内にあるように選ばれる、
ことを特徴とする請求項2乃至10のうちいずれか1項に記載の回転センサ。 - 互いに異なる幾何学的なパラメータを有する少なくとも2つの振動構造体(30)を備える、
ことを特徴とする請求項2乃至12のうちいずれか1項に記載の回転センサ。 - 前記振動構造体(30)は、電気的に導通していない少なくとも1つの層を有する、
ことを特徴とする請求項2乃至13のうちいずれか1項に記載の回転センサ。 - 前記振動構造体(30)は、電気的に導通している少なくとも1つの層を有する、
ことを特徴とする請求項2乃至14のうちいずれか1項に記載の回転センサ。 - 回転軸に関する前記共振器の回転は、前記共振器内で励起される音響波の伝搬速度を変化させる、
ことを特徴とする請求項1乃至15のうちいずれか1項に記載の回転センサ。
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Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5050620B2 (ja) * | 2007-04-13 | 2012-10-17 | 株式会社デンソー | 弾性表面波角速度センサおよびその製造方法 |
JP4983586B2 (ja) * | 2007-12-19 | 2012-07-25 | 株式会社デンソー | 弾性表面波角速度センサ |
US10551190B1 (en) | 2015-10-30 | 2020-02-04 | Garmin International, Inc. | Multi Coriolis structured gyroscope |
US11995841B2 (en) | 2019-09-24 | 2024-05-28 | Falk PLI Engineering & Surveying, Inc. | Four-dimensional crane rail measurement systems |
US11506565B2 (en) | 2019-09-24 | 2022-11-22 | Falk PLI Engineering & Surveying, Inc. | Four-dimensional crane rail measurement |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06281465A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-07 | Kanagawa Kagaku Gijutsu Akad | 弾性表面波ジャイロスコープ |
JPH09318360A (ja) * | 1996-05-30 | 1997-12-12 | Minolta Co Ltd | 弾性表面波ジャイロスコープ |
JP2000171255A (ja) * | 1998-12-04 | 2000-06-23 | Sharp Corp | 角速度センサ |
US20030167841A1 (en) * | 1999-06-17 | 2003-09-11 | The Penn State Research Foundation | Micro-electro-mechanical gyroscope |
JP2005077290A (ja) * | 2003-09-02 | 2005-03-24 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波ジャイロスコープ |
Family Cites Families (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ES2063378T3 (es) * | 1989-11-14 | 1995-01-01 | Siemens Ag | Filtro reflector de ondas superficiales. |
DE3942148A1 (de) * | 1989-12-20 | 1991-06-27 | Siemens Ag | Oberflaechenwellen-reflektorfilter |
DE3942140A1 (de) * | 1989-12-20 | 1991-06-27 | Siemens Ag | Oberflaechenwellen-reflektorfilter |
US5094108A (en) * | 1990-09-28 | 1992-03-10 | Korea Standards Research Institute | Ultrasonic contact transducer for point-focussing surface waves |
DE4213800A1 (de) * | 1992-04-27 | 1993-10-28 | Siemens Ag | Gewichteter Reflektor für eine Oberflächenwellenanordnung |
DE4307726C1 (de) * | 1993-03-11 | 1994-07-28 | Siemens Matsushita Components | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement |
EP0677752B1 (de) * | 1994-04-15 | 2001-06-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Sensorsystem |
JP4026849B2 (ja) * | 1995-04-18 | 2007-12-26 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 無線問合せ可能な表面波テクノロジーセンサ |
DE19514342C1 (de) * | 1995-04-18 | 1996-02-22 | Siemens Ag | Stromwandler, geeignet zur Stromstärkemessung an/in auf Hochspannung liegenden elektrischen Einrichtungen |
US5656778A (en) * | 1995-04-24 | 1997-08-12 | Kearfott Guidance And Navigation Corporation | Micromachined acceleration and coriolis sensor |
US6003370A (en) | 1996-05-30 | 1999-12-21 | Minolta Co., Ltd. | Elastic surface wave gyroscope |
DE19630890A1 (de) * | 1996-07-31 | 1998-02-05 | Fraunhofer Ges Forschung | Oberflächenwellen-Flüssigkeitssensor |
EP0827105A3 (de) * | 1996-08-29 | 2000-10-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitende Identifizierungs- oder Sensoranordnung - OFW-Anordnung |
GB9706990D0 (en) * | 1997-04-05 | 1997-05-21 | Univ Heriot Watt | Dew point and bubble point measurement |
US6032531A (en) * | 1997-08-04 | 2000-03-07 | Kearfott Guidance & Navigation Corporation | Micromachined acceleration and coriolis sensor |
DE19758198A1 (de) * | 1997-12-30 | 1999-08-19 | Siemens Ag | Oberflächenwellen-(SAW-)Bauelement auf auch pyroelektrischem Einkristall-Substrat |
US5948982A (en) * | 1998-02-23 | 1999-09-07 | Alliedsignal Inc. | Vibrating beam accelerometers and methods of forming vibrating beam accelerometers |
DE19849782B4 (de) * | 1998-10-28 | 2004-09-30 | Epcos Ag | Oberflächenwellenanordnung mit zumindest zwei Oberflächenwellen-Strukturen |
DE19850803A1 (de) * | 1998-11-04 | 2000-05-11 | Bosch Gmbh Robert | Sensoranordnung und ein Verfahren zur Ermittlung der Dichte und der Viskosität einer Flüssigkeit |
US6774645B1 (en) * | 2000-01-24 | 2004-08-10 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Device and method for detecting deposit formations on sensor surfaces where lubricants cause the formations |
DE10047379B4 (de) * | 2000-09-25 | 2004-07-15 | Siemens Ag | Bauelement mit akustisch aktivem Material |
DE10047343B4 (de) * | 2000-09-25 | 2004-04-15 | Siemens Ag | Resonatoranordnung |
DE10135871B4 (de) * | 2001-07-24 | 2012-10-25 | Epcos Ag | Wandler für Oberflächenwellen mit verbesserter Unterdrückung störender Anregung |
DE10206369B4 (de) * | 2002-02-15 | 2012-12-27 | Epcos Ag | Elektrodenstruktur mit verbesserter Leistungsverträglichkeit und Verfahren zur Herstellung |
DE10213277A1 (de) * | 2002-03-25 | 2003-10-16 | Epcos Ag | Multiport-Resonatorfilter |
DE10225201A1 (de) * | 2002-06-06 | 2003-12-18 | Epcos Ag | Abstimmbares Filter und Verfahren zur Frequenzabstimmung |
DE10302633B4 (de) * | 2003-01-23 | 2013-08-22 | Epcos Ag | SAW-Bauelement mit verbessertem Temperaturgang |
DE10309250B4 (de) * | 2003-03-03 | 2015-10-22 | Epcos Ag | Elektroakustischer Wandler für mit Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement |
DE10319554B4 (de) * | 2003-04-30 | 2018-05-09 | Snaptrack, Inc. | Mit akustischen Volumenwellen arbeitendes Bauelement mit gekoppelten Resonatoren |
DE10325281B4 (de) * | 2003-06-04 | 2018-05-17 | Snaptrack, Inc. | Elektroakustisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung |
KR20050052151A (ko) | 2003-11-29 | 2005-06-02 | 엘지전자 주식회사 | 냉장고용 축류팬 |
DE102004005129B4 (de) * | 2004-02-02 | 2018-09-27 | Snaptrack, Inc. | Bauelement mit empfindlichen Bauelementstrukturen und Verfahren zur Herstellung |
DE102004028068A1 (de) * | 2004-06-09 | 2005-12-29 | Epcos Ag | Oszillator |
DE102004037819B4 (de) * | 2004-08-04 | 2021-12-16 | Snaptrack, Inc. | Elektroakustisches Bauelement mit geringen Verlusten |
DE102004045181B4 (de) * | 2004-09-17 | 2016-02-04 | Epcos Ag | SAW-Bauelement mit reduziertem Temperaturgang und Verfahren zur Herstellung |
DE102004049498A1 (de) * | 2004-10-11 | 2006-04-13 | Epcos Ag | Mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102004049499B4 (de) * | 2004-10-11 | 2017-12-21 | Snaptrack, Inc. | Mit akustischen Volumenwellen arbeitende Schaltung und Bauelement mit der Schaltung |
DE102004058016B4 (de) * | 2004-12-01 | 2014-10-09 | Epcos Ag | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement mit hoher Bandbreite |
DE102005008511B4 (de) * | 2005-02-24 | 2019-09-12 | Tdk Corporation | MEMS-Mikrofon |
DE102005008512B4 (de) * | 2005-02-24 | 2016-06-23 | Epcos Ag | Elektrisches Modul mit einem MEMS-Mikrofon |
DE102005044330A1 (de) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Epcos Ag | Abstimmbarer Kondensator und Schaltung mit einem solchen Kondensator |
DE102005053765B4 (de) * | 2005-11-10 | 2016-04-14 | Epcos Ag | MEMS-Package und Verfahren zur Herstellung |
DE102005055870A1 (de) * | 2005-11-23 | 2007-05-24 | Epcos Ag | Elektroakustisches Bauelement |
DE102005055871A1 (de) * | 2005-11-23 | 2007-05-24 | Epcos Ag | Elektroakustisches Bauelement |
US7900512B2 (en) * | 2006-07-25 | 2011-03-08 | Denso Corporation | Angular rate sensor |
US8210045B2 (en) * | 2009-08-25 | 2012-07-03 | James N. Caron | Continuous laser generation of ultrasound |
-
2006
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06281465A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-07 | Kanagawa Kagaku Gijutsu Akad | 弾性表面波ジャイロスコープ |
JPH09318360A (ja) * | 1996-05-30 | 1997-12-12 | Minolta Co Ltd | 弾性表面波ジャイロスコープ |
JP2000171255A (ja) * | 1998-12-04 | 2000-06-23 | Sharp Corp | 角速度センサ |
US20030167841A1 (en) * | 1999-06-17 | 2003-09-11 | The Penn State Research Foundation | Micro-electro-mechanical gyroscope |
JP2005077290A (ja) * | 2003-09-02 | 2005-03-24 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波ジャイロスコープ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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US8393214B2 (en) | 2013-03-12 |
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