JP2010280965A - 蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空室12内に、送りロール13と巻取りロール14を設けてベースフイルム15を走行させ、中途の冷却キャン16で定速回転させる。冷却キャン16の幅方向の長さはルツボ1と略同じ円筒状で、内部の冷却水でベースフイルム15の温度上昇による変形等を抑制する。ルツボ1を蒸着材料蒸発部分と、これに直角に設けた蒸着材料溶融部分で構成し、蒸着材料溶融部分で蒸着材料供給時に生じる波紋の影響を防ぎ安定な蒸着を行う。冷却キャン16を軟磁性部分16Aと非磁性部分16Bで構成し、1つの電子銃21から照射される蒸発,溶解用電子ビーム21A,21Bと、これを局部偏向することにより、蒸着材料を溶解,蒸発し、電子ビーム相互干渉による異常放電を抑え、ルツボ1を小さくし蒸着材料のロスを少なくする。
【選択図】図1
Description
図1(a)は本発明の実施の形態1における蒸着装置の斜視図であり、図1(b)は蒸着装置の概略構成図である。また、図2は蒸着装置の冷却キャンの正面図であり、図3はルツボを示す図であって、図3(a)は上面図、図3(b)は正面の断面図、図3(c)は右側面の断面図である。
本発明の実施の形態2について、図6の冷却キャンの構造と図7のルツボの上面図を用いて説明する。本実施の形態2において、図6に示す冷却キャン36、図7に示すルツボ31の構造が違うこと以外は、前述した実施の形態1の各図と同様の構成である。
本発明の実施の形態3について、図8の冷却キャンの断面図を用いて説明する。本実施の形態3の冷却キャン46は、図8に示すように、冷却水56は冷却水送りポンプ(図示せず)より送られて、冷却水導入パイプ55を通じて、送りパイプ53Bを通り、冷却帯57に到達する。ここで、ベースフイルム15上に磁性層として、被着形成された時のベースフイルム15の温度上昇による変形を抑制し得るようになされている。その後、戻りパイプ53Aを通り、冷却水パイプ54と冷却水導入パイプ55の隙間を通じて、冷凍機(図示せず)に戻るようになされている。
非磁性部分46Bと軟磁性部分46Aの締結は溶接でされ、硬質クロームメッキ処理後、外筒52Aの表面は0.1S以下の表面粗さに仕上げられている。
本発明の実施の形態4について、図9(a)のルツボの斜視図,(b)のルツボの正面の断面図を用いて説明する。また、本実施の形態4において、図9に示すルツボ41の構造が違うこと以外は、前述した実施の形態1の図1と同様の構成である。
本発明の実施の形態5について、図10(a)のルツボの上面図、(b)の正面の断面図を用いて説明する。本実施の形態5において、図10で示すルツボ61に仕切り板3A,3Bを設けたこと以外は、前述した実施の形態1と同様な形態である。
本発明の実施の形態6について、図11(a)のルツボの上面図、(b)のA−A断面図と部分拡大図を用いて説明する。本実施の形態6において、図11(b)で示すルツボ71における蒸着材料溶融部分71Bの壁の一部に傾斜を設けたこと以外は、実施の形態1と同様な形態である。
本発明の実施の形態7について、前述の各実施の形態で説明した蒸着装置を使用した磁気記録媒体を製造する動作について説明する。本実施の形態7の蒸着装置により製造される磁気記録媒体は、非磁性支持体であるベースフイルム15上に強磁性金属、あるいはその合金の薄膜からなる磁性層が形成されるとともに、この磁性層の形成面とは反対側の面にバックコート層が形成される磁気記録媒体である。
・ポリエンエチレンテレフタレート(PET)フイルムからなるベースフイルム15(厚み6.3μ)上にCoを蒸着させ磁性層を形成した(ステップS1)。この時のCoの純度は99.99%、また厚みは2000Åである。
・この磁性層の形成面とは反対側の面にバックコート層を形成した(ステップS2)。バックコートの形成に当たっては、主成分はニトロセルロースを塗布工法により、WET厚み50μで形成した。
・磁性層の形成面に防錆目的で防錆層を形成した(ステップS3)。防錆層の形成に当たっては、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)層を形成するために、スパッタ法でカーボンをターゲットとして、70Åの膜を形成した。
・磁性層の潤滑目的で、潤滑層を形成した(ステップS4)。潤滑層の形成に当たっては、主成分はパーフルオロポリエーテルを塗布工法により、WET厚み15μで形成した。
・ドロップアウトの測定目的で、6.35mm幅に裁断し、DVC(6.35mm幅)カセットに組み込んだ(ステップS5)。
前述の実施の形態1と同様な形態で、同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。なお、この時の蒸着速度は60m/分である。
ルツボが実施の形態2と同様な形態で、蒸着材料20aの棒材を両側から供給し、蒸着速度を120m/分とした以外は、実施例1と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
ルツボが実施の形態6と同様な形態とした以外は、実施例1と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
蒸着材料20aの棒材の溶解に専用電子銃と、溶融した蒸着材料20bの蒸発に専用電子銃を用いた形態とした以外は、ルツボ1も実施例1と同様な形態とし、同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
相対速度は3.8m/秒、記録信号は通常のビデオ信号で、基準白色を通常の50%で行うことで、よりドロップアウトがわかり易いようにした。
(表1)から明らかなように、前記実施例のいずれも、比較例の電子銃2台方式と比較して、1分間当たりの平均ドロップアウトの個数は同等かそれ以下の値を示している。特に、実施例3のルツボ1の蒸着材料溶融部分1Bの壁の一部が傾斜面を有している値が他の実施例より、小さい。
1A,31A,41A,61A,101A 蒸着材料蒸発部分
1B,31B,41B,61B,101B 蒸着材料溶融部分
2A,2B,3A,3B 仕切り板
4A 蒸発専用電子ビーム
4B 溶解専用電子ビーム
5 供給路
6,7 湾曲部
9 ホッパー
10 蒸着材料
11 排気口
12 真空室
13 送りロール
14 巻取りロール
15 ベースフイルム
16,36,46 冷却キャン
16A,36A,46A 冷却キャン軟磁性部分
16B,36B,46B 冷却キャン非磁性部分
17,18 ガイドロール
20 ペレット
20a 蒸着材料(固体状態)
20b 蒸着材料(溶融状態)
21 電子銃
21A 蒸発用電子ビーム
21B 溶解用電子ビーム
22a,22b 入射角制限マスク
24 酸素ガス導入口
50 側板
52A 外筒
52B 内筒
53A 戻りパイプ
53B 送りパイプ
54 冷却水パイプ
55 冷却水導入パイプ
56 冷却水
57 冷却帯
110 溶融材料
111 溶融表面
Claims (8)
- 蒸着層が形成される蒸着基材を搬送しながら冷却する冷却キャンと、前記蒸着層を形成する蒸着材料が充填されるルツボと、前記ルツボ内の蒸着材料に電子ビームを照射する電子ビーム照射手段とを備え、
前記冷却キャンが、軸方向の一端の帯状部分が磁性を帯びた円筒形状であること
を特徴とする蒸着装置。 - 前記冷却キャンが、軸方向の両端の帯状部分が磁性を帯びた円筒形状であること
を特徴とする請求項1に記載の蒸着装置。 - 前記冷却キャンの帯状部分の材質が軟磁性材料で構成されていること
を特徴とする請求項1または2に記載の蒸着装置。 - 前記冷却キャンと同じ幅を有するルツボが、幅方向に伸びた蒸着材料蒸発部分と、前記幅方向と直角方向に伸びた蒸着材料溶融部分とから構成されていること
を特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の蒸着装置。 - 前記ルツボの蒸着材料溶融部分が、蒸着材料の蒸発部分の両端にあること
を特徴とする請求項4に記載の蒸着装置。 - 前記ルツボが、前記ルツボの蒸着材料蒸発部分と蒸着材料溶融部分とを連通する仕切り板で仕切られていること
を特徴とする請求項4または5に記載の蒸着装置。 - 前記仕切り板が、前記ルツボの壁から突堤のように突き出た壁で、かつ蒸着材料蒸発部分と蒸着材料溶融部分とがつながっていること
を特徴とする請求項6に記載の蒸着装置。 - 前記蒸着材料溶融部分の壁の一部が傾斜面を有していること
を特徴とする請求項4〜7のいずれか1項に記載の蒸着装置。
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