JPH1112721A

JPH1112721A - ガス導入管及びこれを用いた磁気記録媒体の製造方法

Info

Publication number: JPH1112721A
Application number: JP9169196A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Kubo; 智弘久保; Hideetsu Kumagai; 秀悦熊谷
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1997-06-25
Filing date: 1997-06-25
Publication date: 1999-01-19
Also published as: US6238730B1; US6021964A

Abstract

(57)【要約】【課題】変形や破損が発生した場合でも部品交換が少
なくて済むガス導入管及びこのガス供給管を用いた磁気
記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係るガス導入管１は、ガスが供
給されるガス供給管２０と、ガス供給管２０が接続さ
れ、ガスの流路となるガス流路２１を有する本体部２
２，２３と、ガス供給管２０が接続された部分とは反対
側に位置して本体部２２，２３に組み込まれ、吹出し口
２７を介してガスを外部へ射出する吹出し部２５とを備
える。そして、このガス導入管１は、吹出し部２５が本
体部２２，２３に挟持されて組み込まれるとともに、本
体部２２，２３に対して脱着可能とされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は蒸着装置等に用いら
れて好適なガス導入管に関し、また、このガス導入管を
用いて酸素ガスを射出して磁性層を形成する磁気記録媒
体の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ビデオテープレコーダ等の分野
においては、近年、高画質化を図るために高密度記録化
が一層強く要求されている。これに対応する磁気記録媒
体として、金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成技術
（真空蒸着法、スパッタリング法イオンプレーティング
法等）により、直接非磁性支持体上に被着せしめて磁性
層を形成する、いわゆる金属磁性薄膜が他の磁気記録媒
体が提案されている。

【０００３】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は、保
磁力、角形比及び短波長領域における電磁変換特性に優
れるばかりでなく、磁性層の薄膜かが可能であり、加え
て塗布型の磁気記録媒体のように結合材等の非磁性材料
を磁性層に含ませなくてよいことから磁性材料の充填密
度を高くできること等、数々の利点を有している。

【０００４】中でも真空蒸着法によって磁性層が形成さ
れる蒸着タイプの磁気テープ（蒸着テープ）は、生産効
率が高く特性も安定していることから、概に実用化され
ている。

【０００５】ところで、上記蒸着テープにおいて、磁性
層を形成するための蒸着は、真空漕内に、非磁性支持体
を案内するキャンロールと、蒸着源となる磁性材料と、
蒸着源を加熱するための加熱手段等を有する蒸着装置に
よって行われる。

【０００６】この蒸着装置では、蒸着源となる磁性材料
を、電子線の照射等によって金属蒸気とし、キャンロー
ルの外周面に沿って走行する非磁性支持体上に入射させ
ることによって蒸着膜を形成する。

【０００７】ここで、このようにして形成される金属磁
性薄膜の磁気特性には、金属粒子の非磁性支持体への入
射角が影響する。このため、この金属蒸気の入射角を制
御する目的でキャンロール近傍に、支持体の所定領域を
覆うようにシャッターが設けられるのが一般的である。

【０００８】また、さらに、磁性層の保持力，飽和磁束
密度等の磁気特性を改善するために、非磁性支持体の幅
方向に沿ったスリット状の吹出し口を有する酸素ガス導
入管を用い、これを通じて供給される酸素ガスによって
金属蒸気を酸化することも行われている。この酸素ガス
導入管は、水冷されたシャッターに取り付けられ、蒸気
による熱変形が防止されるようになっている。

【０００９】この酸素ガス導入管１００は、図１５及び
図１６に示すように、外部から酸素ガスが供給されるガ
ス供給管１０１と、このガス供給管１０１から供給され
た酸素ガスの流路１０２を有するガス流路部１０３とか
らなる。このガス流路部１０３は、上蓋部１０４と導入
管本体１０５とを所定の隙間をもって突き合わせてな
る。そして、このガス流路部１０３において、上蓋部１
０４と導入管本体１０５とは、複数個のボルト１０６に
より結合されている。

【００１０】また、導入管本体１０５には、冷却水が供
給される冷却回路１０７が形成されている。そして、こ
の酸素ガス導入管１００には、この冷却回路１０７に冷
却水を供給する冷却水流入管１０８が取り付けられてい
る。

【００１１】さらに、この酸素ガス導入管１００では、
上蓋部１０４と導入管本体部１０５との隙間を所定の幅
とするために、上蓋部１０４と導入管本体部１０５との
間にスペーサ（図示せず。）が挟み込まれている。

【００１２】そして、この酸素ガス導入管１００には、
上蓋部１０４と導入管本体部１０５とを突き合わせるこ
とによって、酸素ガスを吹き出す吹出し口１０９が形成
されることとなる。また、上蓋部１０４と導入管本体部
１０５とを突き合わせることによって、酸素ガスの吹き
溜まり部１１０が形成される。

【００１３】このように構成された酸素ガス導入管１０
０を用いた蒸着装置では、非磁性支持体上に磁性層を形
成する際、金属蒸気に対して酸素ガス導入管１００から
酸素ガスが吹き付けられる。これにより、金属蒸気は、
所定量が酸化されることとなり、非磁性支持体上に堆積
することとなる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな酸素ガス導入管１００は、例えば、蒸着装置に用い
られたような場合、約１０００〜１２００℃といった高
温雰囲気下で用いられることになる。このため、この酸
素ガス導入管１００では、導入管本体部１０５に冷却回
路１０７を設けている。したがって、この導入管本体部
１０５において、熱による変形を発生するようなことは
少ない。

【００１５】しかしながら、この酸素ガス導入管１００
では、上蓋部１０４を冷却する手段を設けておらず、上
蓋部１０４には、熱による変形が発生してしまうことが
ある。そして、この酸素ガス導入管１００では、上蓋部
１０４と導入管本体部１０５とが複数個のボルト１０６
により固着されている。このため、上述したように上蓋
部１０４に変形が生じてしまうと、その変形は、ボルト
１０６付近では小さく、ボルト１０６間では大きくなっ
てしまう。このように、酸素ガス導入管１００では、上
蓋部１０４に不均一に変形が発生してしまう。

【００１６】このように、上蓋部１０４が熱により不均
一に変形してしまった場合、吹出し口１０９の間隔にば
らつきが生じてしまう。その結果、酸素ガス導入管１０
０は、吹出し口１０９から均一に酸素ガスを吹き出すこ
とができなくなる。

【００１７】このため、この酸素ガス導入管１００を用
いて金属磁性薄膜を形成すると、吹出し口１０９の幅方
向において酸化が不均一に起こり、幅方向において不均
一な膜厚を有するものとなる。その結果、金属磁性薄膜
としては、磁気特性にばらつきを生じてしまい、電磁変
換特性が不安定なものとなってしまう。

【００１８】一方、この酸素ガス導入管１００では、蒸
着装置に用いられたような場合、蒸着する物質が吹出し
口１０９付近に付着することがある。このような場合、
酸素ガス導入管１００では、吹出し口１０９付近に付着
した付着物を物理的に剥離していた。

【００１９】従来の酸素ガス導入管１００では、付着物
を物理的に剥離する際に吹出し口１０９付近を破損して
しまうことがあった。このため、酸素ガス導入管１００
は、吹出し口１０９の間隔が不均一になってしまい、そ
の結果、均一に酸素ガスを吹き出すことができないこと
があった。この場合、上述した場合と同様に、酸素ガス
導入管１００は、電磁変換特性が不安定な金属磁性薄膜
を形成してしまう。

【００２０】上述したように、従来の酸素ガス導入管１
００では、上述したような熱による変形や破損が発生し
てしまった場合、上蓋部１０４や導入管本体部１０５等
の全てを交換しなくてはならない。このように、従来の
酸素ガス導入管１００は、酸素ガスの吹出し量を常に均
一に保つために、構成部品の大幅な交換が必要であっ
た。

【００２１】このため、従来の酸素ガス導入管１００に
は、変形や破損が生じた場合に大幅な部品交換を必要と
しコストが高くなるといった問題点があった。

【００２２】そこで、本発明はこのような従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、変形や破損が発生した場
合でも部品交換が少なくて済むガス導入管及びこのガス
供給管を用いた磁気記録媒体の製造方法を提供すること
を目的とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成した本
発明に係るガス導入管は、ガスが供給されるガス供給管
と、上記ガス供給管が接続され、上記ガス供給管から供
給されたガスの流路となるガス流路を有する本体部と、
上記ガス供給管が接続された部分とは反対側に位置して
上記本体部に組み込まれ、外部に臨むように吹出し口が
形成され、この吹出し口を介してガスを外部へ射出する
吹出し部とを備え、上記吹出し部が上記本体部に対して
脱着可能とされるものである。

【００２４】以上のように構成された本発明に係るガス
導入管では、ガスを射出する吹出し口が吹出し部に設け
られており、該吹出し部が本体部に組み込まれている。
そして、このガス導入管においては、吹出し部が本体部
に対して脱着可能であるため、吹出し口に変形や破損が
生じたような場合、このガス導入管では、吹出し部を交
換すればよい。

【００２５】一方、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法は、ガスが供給されるガス供給管と、上記ガス供給管
が接続され、上記ガス供給管から供給されたガスの流路
となるガス流路を有する本体部と、上記ガス供給管が接
続された部分とは反対側に位置して上記本体部に組み込
まれ、外部に臨むように吹出し口が形成され、この吹出
し口を介してガスを外部へ射出する吹出し部とを備え、
上記吹出し部が上記本体部に対して脱着可能とされるガ
ス導入管が用いられ、上記ガス導入管から射出したガス
を、磁性材料が蒸着する非磁性支持体上に吹き付けて磁
性層を形成するものである。

【００２６】以上のような磁気記録媒体の製造方法で
は、吹出し部が本体部に対して脱着可能なガス導入管を
用いることとなる。このため、このガス導入管では、吹
出し部に変形や破損等が発生した場合に容易に吹出し部
を交換することができる。このため、この手法では、常
に、ガスの吹出し量が一定とされたガス導入管を用いる
こととなる。したがって、この手法では、常に、良好な
磁気特性を有する磁性層を非磁性支持体上に形成するこ
とができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】本発明に係るガス導入管の実施の
形態について、図面を参照して詳細に説明する。

【００２８】本発明に係るガス導入管は、酸素ガスを吹
き出す酸素ガス導入管１に適用され、図１に示すような
蒸着装置に用いられる。この図１に示す蒸着装置は、テ
ープ状の非磁性支持体上に金属磁性薄膜を蒸着により形
成するものである。

【００２９】この蒸着装置は、内部が排気装置２によっ
て高真空状態（約１０^-3〜１０^-4Ｐａ）となされた真空
漕３内に、図中の反時計回り方向に定速回転する供給ロ
ール４と、図中の時計回り方向に定速回転する巻取りロ
ール５とが設けられ、この供給ロール４から巻取りロー
ル５にテープ状の非磁性支持体６が順次走行するように
なされている。

【００３０】これら供給ロール４から巻取りロール５側
に上記非磁性支持体６が走行する中途部には、上記各ロ
ール４，５の径よりも大径となされた冷却ロール（キャ
ンロール）７が設けられている。この冷却ロール７は、
上記非磁性支持体６を図中左方に引き出すように設けら
れ、図中の反時計回り方向に定速回転する構成とされ
る。尚、上記供給ロール４，巻取りロール５及び冷却ロ
ール７は、それぞれ非磁性支持体６の幅と略同じ長さか
らなる円筒状をなすものであり、また、上記冷却ロール
７には、内部に図示しない冷却装置が設けられ、上記非
磁性支持体６の温度上昇による変形等を仰制し得るよう
になされている。

【００３１】さらに、上記供給ロール４と上記冷却ロー
ル７の間及び上記冷却ロール７と上記巻取りロール５の
間には、それぞれ回動ロール８，９が設けられ、上記供
給ロール４、冷却ロール７、巻取りロール５に順次亘っ
て走行する非磁性支持体６に所定のテンションがかけら
れ、非磁性支持体６が円滑に走行するようになされてい
る。

【００３２】また、上記真空漕３内には、上記冷却ロー
ル７に対して、図中の斜め左側の下方にルツボ１０が設
けられ、このルツボ１０内に金属磁性材料が蒸着源１１
として充填されている。このルツボ１０は、上記冷却ロ
ール７の長手方向の幅と略同一の幅を有している。

【００３３】一方、上記真空漕１の側壁部には、上記ル
ツボ１０内に充填された蒸着源１１を加熱蒸発させるた
めの電子銃１２が取り付けられている。この電子銃１２
は、当該電子銃１２より放出される電子線が上記ルツボ
１０内の蒸着源１１に照射されるような位置に配設され
る。そして、この電子銃１２によって溶融、蒸発された
金属蒸気１３が上記冷却ロール７の外周面を定速走行す
る非磁性支持体６上に入射し、磁性層として被着形成さ
れるようになっている。

【００３４】また、上記冷却ロール７の近傍には、防着
板１４が設けられている。この防着板１４は、成膜され
た金属磁性薄膜上に不要な金属蒸気が付着してしまうの
を防止するためのものである。この防着板１４は、非磁
性支持体６に対して蒸着をなす領域（蒸着領域，図中Ａ
領域）よりも送り出し側に、非磁性支持体６の所定の領
域を覆う如く設けられている。

【００３５】この防着板１４には、上記真空漕３の外部
と接続された酸素ガス導入管１が取り付けられている。
この酸素ガス導入管１は、金属蒸気１３に酸素ガスを供
給するためのものであり、この酸素ガス供給量を調整す
ることによって、成膜される金属磁性薄膜の保磁力や飽
和磁束密度等の磁気特性が制御される。

【００３６】また、この蒸着装置では、防着板１４と一
部重なった形で駆動シャッター１５が設けられている。
この駆動シャッター１５は、酸素ガス導入管１に金属蒸
気５が付着したり、金属蒸気１３が酸素ガス導入管１と
防着板１４の間を通過して金属磁性薄膜に付着してしま
うのを防ぐためのものである。この駆動シャッター１５
は、非磁性支持体６の導入側及び送り出し側に移動自在
となされている。

【００３７】このように構成された蒸着装置において、
酸素ガス導入管１は、図２、図３及び図４に示すよう
に、酸素ガスが供給されるガス供給管２０と、このガス
供給管２０が接続され、該ガス供給管２０から供給され
た酸素ガスの流路となる酸素流路２１を有する導入管下
本体部２２と、この導入管下本体部２２の酸素流路２１
が形成された面に取り付けられ、導入管下本体部２２と
ともに導入管本体を構成する導入管上本体部２３と、こ
れら導入管下本体部２２と導入管上本体部２３との間に
配される銅パッキン２４と、このガス供給管２０が接続
された部分とは反対側に位置して導入管本体に組み込ま
れる吹出し部２５とを備える。また、この酸素ガス導入
管１には、導入管下本体部２２の銅パッキン２４とは反
対側に熱遮蔽板２６が取り付けられている。

【００３８】また、この酸素ガス導入管１は、全体形状
が略直方体として形成され、その長手方向に吹出し口２
７を備える。そして、この吹出し口２７は、蒸着する非
磁性支持体６の幅と略同寸法とされ、酸素ガスが非磁性
支持体６の幅に均一に吹き付けられるような構成となっ
ている。

【００３９】この酸素ガス導入管１において、導入管本
体は、上述したように、導入管下本体部２２と導入管上
本体部２３とが銅パッキン２４を介して複数個のボルト
２８により固着されることによりなる。このように構成
された導入管本体には、その内部に酸素流路２１が形成
されることとなる。すなわち、酸素流路２１は、銅パッ
キン２４が導入管下本体部２２に取り付けられることに
より、気密性のよい流路として形成される。

【００４０】この酸素流路２１は、複数の分岐箇所を経
て吹出し口２７に至る細溝として形成されている。すな
わち、この酸素流路２１となる細溝は、外部から酸素ガ
スを供給するためのガス供給管２０側の端部に連なり、
導入管本体の長手方向に沿って二方向に延在され、二方
向に延在された細溝は、それぞれ途中で吹出し部２５方
向に曲折し、この曲折部から導入管本体の長手方向に沿
って再び二方向に分岐する。二方向に分岐した細溝は、
さらに延在、分岐を繰り返し、最終的には、１６本の細
管に枝分かれすることになる。

【００４１】そして、酸素流路２１は、導入管本体内に
形成された酸素溜まり２９に導通している。この酸素溜
まり２９は、導入管下本体部２２と導入管上本体部２３
とが固着されて吹出し部２５が組み付けられることによ
り形成され、導入管本体の長手方向に延在した空間部と
して形成される。すなわち、この酸素溜まり２９には、
１６本に枝分かれした酸素流路２１が、均等な間隔をも
って導通されている。

【００４２】そして、この酸素溜まり２９には、酸素流
路２１から酸素ガスが供給される。このとき、酸素流路
２１は、各分岐点で二方向に延在された流路に同じ圧力
で酸素ガスが流れる。このため、この酸素流路２１で
は、最終的に枝分かれした１６本の流路に対して同じ圧
力で酸素ガスが流れ、酸素溜まり２９に供給される。

【００４３】また、この酸素溜まり２９は、吹出し口２
７に導通されている。すなわち、この酸素溜まり２９内
に供給された酸素ガスは、吹出し口２７の方向に押さ
れ、吹出し口２７より吹き出される。このとき、酸素溜
まり２９には、上述したように、１６本に分岐した酸素
流路２１から均一な圧力で酸素ガスが供給される。これ
により、この吹出し口２７からは、その長手方向に均一
な圧力で酸素ガスが吹き出すこととなる。

【００４４】さらに、この酸素ガス導入管１には、導入
管下本体部２２に冷却回路３０が形成されている。この
冷却回路３０は、導入管下本体部２２の酸素流路２１が
形成された面とは反対の面に幅広な溝として形成され、
導入管下本体部２２と熱遮蔽板２６とが組み合わされる
ことにより形成される。また、この冷却回路３０は、図
示しない外部の冷媒供給装置に対して冷媒供給管３１及
び冷媒排出管３２を介して連結されている。そして、こ
の冷却回路３０は、内部に冷媒が循環することにより、
導入管下本体部２２を所望の温度に冷却することができ
る。

【００４５】さらにまた、この酸素ガス導入管１におい
て、吹出し部２５は、図５及び図６に示すように、第１
の吹出し口形成部３３と、第２の吹出し口形成部３４
と、これら第１の吹出し口形成部３３及び第２の吹出し
口形成部３４を接続する複数個の接続ピン３５と、第１
の吹出し口形成部３３及び第２の吹出し口形成部３４が
組み合わされた状態でその両端部に配されたスペーサ３
６とから構成される。そして、この吹出し部２５は、第
１の吹出し口形成部３３と第２の吹出し口形成部３４と
が所定の間隔をもって突き合わされてなる吹出し２７を
有する。

【００４６】この吹出し部２５は、上述した導入管下本
体部２２と導入管上本体部２３とが組み合わされること
により形成される前面部と略同寸法の幅及び長さを有し
ている。このため、この吹出し部２５は、導入管下本体
部２２と導入管上本体部２３とに隙間なく取り付けられ
ることとなる。

【００４７】この第１の吹出し口形成部３３と第２の吹
出し口形成部３４とは、図７に示すように、それぞれ所
定の角度に形成された傾斜面を有して形成されている。
このため、吹出し口２７は、酸素ガス導入管１の前面に
対して所定の角度をもって形成されることになる。具体
的に、これら第１の吹出し口形成部３３及び第２の吹出
し口形成部３４は、例えば、ステンレス鋼からなり、略
直方体のステンレス鋼を切削加工をすることにより形成
される。この切削加工は、ステンレス鋼の長手方向と平
行に、所定の角度となるように行われる。これにより、
第１の吹出し口形成部３３及び第２の吹出し口形成部３
４には、それぞれ傾斜面が形成されることとなる。

【００４８】この場合には、切削加工により切削された
切り口が傾斜面となる。このため、第１の吹出し口形成
部３３と第２の吹出し口形成部３４とにそれぞれ形成さ
れた傾斜面は、第１の吹出し口形成部３３と第２の吹出
し口形成部３４とを正確に突き合わせた状態で平行な面
となる。これにより、傾斜面を突き合わせてなる吹出し
口２７の間隔を、吹出し口２７の幅方向で均一にするこ
とができる。

【００４９】また、この吹出し部２５では、図７中
（ｃ）で示すように、吹出し口２７の間隔を所定の値と
するため、第１の吹出し口形成部３３と第２の吹出し口
形成部３４との間にスペーサ３６が配設されている。こ
のスペーサ３６は、吹出し口２７の長手方向の両端部に
配設され、所定の厚みを有する。ここで、スペーサ３６
の厚みは、酸素ガスの導入量及び導入領域を規定するも
のであるため、所望の酸素導入量及び所望の酸素導入領
域に従って決定される。

【００５０】具体的には、この傾斜面は、吹出し部２５
の前面から約５０゜の角度で形成されることが好まし
い。また、吹出し口２７の幅は、１．０ｍｍ〜１．３ｍ
ｍであることが好ましい。この場合、酸素ガス供給管１
は、酸素ガスを良好に吹き出すことができる。

【００５１】さらに、この吹出し口２５は、第１の吹出
し口形成部３３と第２の吹出し口形成部３４とを固着す
るために複数個の接続ピン３５を有する。この接続ピン
３５は、第１の吹出し口形成部３３及び第２の吹出し口
形成部３４に形成された孔に圧入されることによって、
第１の吹出し口形成部３３と第２の吹出し口形成部３４
とを固着する。

【００５２】この接続ピン３５が圧入される孔は、第１
の吹出し口形成部３３と第２の吹出し口形成部３４とが
正確に組み合わされた状態で同時に穿設される。このと
き、接続ピン３５が圧入される孔は、接続ピン３５の径
よりやや小径として穿設される。このため、接続ピン３
５は、この孔に対して圧入されることとなり、第１の吹
出し口形成部３３と第２の吹出し口形成部３４とを確実
に固着する。

【００５３】この吹出し部２７において、接続ピン３５
は、図７中（ｂ）及び図８に示すように、略円筒状に形
成され、第１の吹出し口形成部３３と第２の吹出し口形
成部３４とに挟み込まれるように取り付けられている。
この接続ピン３５には、その周面に沿って補助スペーサ
３７が形成されている。この補助スペーサ３７は、上述
したスペーサ３６と略々同寸法の厚みを有し、接続ピン
３５の周面に上述した傾斜面と略々同角度をもって形成
されている。すなわち、この吹出し部２５では、導入管
下本体部２２と導入管上本体部２３とが、スペーサ３６
と補助スペーサ３７とを介して突き合わせることとな
る。このため、吹出し口２７は、その幅方向に均一な間
隔を有するものとなる。

【００５４】なお、この酸素ガス導入管１では、上述し
た接続ピン３５の数によって、吹出し口２７から射出さ
れる酸素ガスの量を調節することができる。すなわち、
この酸素ガス導入管１において、酸素ガスの射出量を多
くしたい場合には、接続ピン３５の数を減らせばよい。
このときも、接続ピン３５は、幅方向に均一な間隔で配
されることが好ましい。

【００５５】上述したように形成された吹出し部２５
は、導入管下本体部２２と導入管上本体部２３とを組み
合わされてなる前面部に、複数個のボルト３８により取
り付けられる。この複数個のボルト３８は、導入管上本
体部２３側及び導入管下本体部２２側から、それぞれ締
められる。

【００５６】このため、導入管下本体部２２、導入管上
本体部２３及び吹出し部２５とには、それぞれ対応した
位置にボルト３８を締めるためのねじ切り加工が施され
ている。言い換えると、この酸素ガス導入管１では、吹
出し部２５は、これら複数個のボルト３８によって、導
入管本体に対して着脱可能とされる。

【００５７】上述のように構成された酸素ガス導入管１
は、上述したような蒸着装置において、酸素ガスを金属
蒸気１３に対して吹き付けられる。このとき、蒸着装置
では、その内側が約１０００〜１２００度程度の高温と
なり、蒸着源１１に電子線が照射されることにより金属
蒸気１３が発生する。

【００５８】特に、このような蒸着装置では、金属蒸気
１３の飛散方向の近傍に酸素ガス導入管１が配設されて
いる。したがって、この酸素ガス導入管１は、蒸気のよ
うな高温下に置かれることとなる。

【００５９】しかしながら、この酸素ガス導入管１で
は、上述したように、吹出し部２５は、導入管本体の前
面に組み込まれてなるような構成である。言い換える
と、この蒸着装置において、吹出し部２５は、導入管下
本体部２２と導入管上本体部２３とにより挟持されてい
る。このため、吹出し部２５は、導入管下本体部２２及
び導入管上本体部２３により熱による変形が抑えられ
る。

【００６０】したがって、この酸素ガス導入管１は、高
温下で使用されるとしても、吹出し口２７の幅が変化す
るようなことがなく、常に所定の幅であるような吹出し
口２７を有する。すなわち、この酸素ガス導入管１は、
常に、所定量の酸素ガスを金属蒸気１３に吹き付けるこ
とができる。

【００６１】ところで、この蒸着装置では、酸素ガス導
入管１に金属蒸気１３が付着しないように駆動シャッタ
ー１５が配設されていた。しかし、この駆動シャッター
１５は、酸素ガス導入管１方向への金属蒸気１３の飛散
を完全に遮蔽できるものではない。したがって、この蒸
着装置では、酸素ガス導入管の使用時間が増加するにし
たがって、酸素ガス導入管１に金属が堆積してしまうこ
とがある。

【００６２】特に、吹出し口２７付近に堆積した金属
は、吹出し口２７の幅を狭めることとなる。このような
場合、酸素ガス導入管１は、酸素ガスの吹出し量にばら
つきが生じてしまい、吹出し口２７の長手方向に均一な
酸素ガスを吹き出すことができない。

【００６３】従来の酸素ガス導入管では、このような場
合、付着した金属を物理的に除去していた。このよう
に、金属を除去する場合には、酸素ガス導入管自体に傷
を付けないように作業を進めなくてはならず、作業性が
悪かった。また、従来、酸素ガス導入管に傷がついてし
まったり、除去不可能な金属が付着してしまった場合に
は、酸素ガス導入管を交換しなくてはならなかった。

【００６４】しかしながら、上述した酸素ガス導入管１
では、吹出し口２７付近に金属蒸気１３が付着して金属
が堆積した場合、作業性の悪い物理的な除去を行うこと
なく、吹出し部２５を交換すればよい。この酸素ガス導
入管１においては、吹出し部２７が導入管本体に対して
着脱可能であるため、導入管本体自体を交換することな
く吹出し部２５のみを交換することができる。

【００６５】このように、酸素ガス導入管１では、吹出
し部２５を交換することにより、吹出し口２７付近に堆
積した金属を取り除くことができる。この場合、吹出し
部２５の交換作業は、吹出し部２５がボルト３８によっ
てのみ導入管本体に取り付けられているため、非常に容
易に行うことができる。

【００６６】また、この酸素ガス導入管１において、吹
出し部２５は、比較的簡単な構造を有するため、少ない
コストで容易に製造することができる。このように、酸
素ガス導入管１では、堆積した金属を除去する際に吹出
し部２５のみを交換すればよく、低コストで堆積した金
属を除去することができる。

【００６７】ところで、本発明が適用された酸素ガス導
入管１は、その用途が図１に示す蒸着装置に限定され
ず、円盤状の非磁性支持体上に金属薄膜を蒸着するよう
な蒸着装置に用いられてもよい。また、酸素ガス導入管
１は、蒸着装置に対して複数個配されてもよく、例え
ば、図１中Ａで示した蒸着領域の上流側と下流側とに配
されてもよい。

【００６８】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法は、上述したような酸素ガス導入管１を用い、この酸
素ガス導入管１から射出した酸素ガスを、磁性材料から
蒸発せしめられた上記が蒸着する非磁性支持体上に吹き
付けて磁性層を形成するものである。

【００６９】ここで、蒸着源となる強磁性金属材料とし
ては、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の金属やＣｏ−Ｎｉ系合金、
Ｃｏ−Ｐｔ系合金、Ｃｏ−Ｐｔ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ系合
金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｂ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ系合金、Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｂ系合金やＣｏ−Ｃｒ系合金等が挙げ
られる。

【００７０】また、非磁性支持体としては、ポリエチレ
ンテレフタレート等のポリエステル類、ポリエチレン，
ポリプロピレン等のポリオレフィン類、セルローストリ
アセテート，セルロースジアセテート，セルロースアセ
テートブチレート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビニ
ル，ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリカーボ
ネート，ポリイミド，ポリアミド，ポリアミドイミド等
のプラスティック等が用いられる。

【００７１】本発明に係る磁気記録媒体の製造方法で
は、上述したような酸素ガス導入管１が用いられるた
め、非磁性支持体の幅方向において均一な量の酸素ガス
が吹き付けられる。このため、形成された磁性層は、非
磁性支持体の幅方向において、その磁気特性が均一なも
のとなる。

【００７２】具体的に、本発明に係る手法を適用して、
磁気記録媒体を製造したところ、図９、図１０及び図１
１に示すような磁気特性を有する磁性層が形成された。
ここで、製造された磁気記録媒体は、いわゆるテープ原
反上に磁性層が形成されるものであり、磁性層が形成さ
れたテープ原反を所望の幅を有するテープ状に裁断して
なるものである。そして、これら図９、図１０及び図１
１には、幅が約６００ｍｍのテープ原反上に形成した磁
性層の磁気特性を示している。なお、これら図９、図１
０及び図１１において、横軸は、テープ原反の幅方向の
各点を表している。また、図９には、縦軸に飽和磁化量
（Ｍｓ）の分布を示し、図１０には、縦軸に保磁力（Ｈ
ｃ）の分布を示し、図１１には、縦軸に角形比（Ｓ）の
分布を示す。

【００７３】また、図９、図１０及び図１１において、
○は酸素ガスの導入量が単位時間当たり４００ｃｃの場
合を示し、△は酸素ガスの導入量が単位時間当たり８０
０ｃｃの場合を示し、□は酸素ガスの導入量が単位時間
当たり１０００ｃｃの場合を示す。

【００７４】また、本発明に係る手法と比較するため
に、従来技術において図１６で示したような従来の酸素
ガス導入管を用いて磁気記録媒体を製造した。この場合
も、上述した場合と同様に、幅が約６００ｍｍのテープ
原反上に磁性層を形成した。このときの磁気記録媒体の
磁気特性を測定したところ、図１２、図１３及び図１４
に示すような結果となった。

【００７５】なお、これら図１２、図１３及び図１４に
おいて、横軸は、テープ原反の幅方向における各点を表
している。また、図１２には、縦軸に飽和磁化量（Ｍ
ｓ）の分布を示し、図１３には、縦軸に保磁力（Ｈｃ）
の分布を示し、図１４には、縦軸に角形比（Ｓ）の分布
を示す。

【００７６】これら図９乃至図１１と図１２乃至図１４
とを比較すると、本発明に係る手法を適用して製造され
た磁気記録媒体は、非磁性支持体の幅方向において均一
な磁気特性を示している。これに対して、従来の酸素ガ
ス導入管を用いて製造した磁気記録媒体は、非磁性支持
体の幅方向において均一な磁気特性を示していない。

【００７７】このように、従来の手法では、テープ原反
上に各点における磁気特性が大きく異なっているため、
テープ原反を裁断してなるテープ状の磁気記録媒体とし
ては、磁気特性に大きなばらつきを有するものとなる。
これに対して、本発明に係る手法では、テープ原反上の
各点において、略均一な磁気特性を有するように磁性層
を形成することができる。このため、テープ原反を裁断
してなるテープ状の磁気記録媒体としては、それぞれに
略均一な磁気特性を有するものとなる。

【００７８】以上、本発明に係る手法を、金属磁性薄膜
を成膜する場合を例にして説明したが、この手法によっ
て成膜される蒸着膜は金属磁性薄膜に限らない。特定の
ガスを導入しながら蒸着形成される蒸着膜がいずれも成
膜可能であり、同様の作用によってガス導入量の均一な
蒸着膜を形成することが可能である。

【００７９】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明に係るガス導入管では、吹出し口を交換する場合に吹
出し部のみを交換すればよい。このため、このガス導入
管では、低コストで吹出し口の交換を行うことができ
る。

【００８０】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法によれば、上述したようなガス導入管が用いられるた
め、磁気特性が高度に均一化された磁性層を形成するこ
とができる。このため、本発明に係る手法によれば、良
好な電磁変換特性を有する磁気記録媒体を製造すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】蒸着装置の構成を示す模式図である。

【図２】本発明に係るガス導入管を一部切り欠いて示す
平面図である。

【図３】本発明に係るガス導入管を一部切り欠いて示す
斜視図である。

【図４】本発明に係るガス導入管の縦断断面図である。

【図５】本発明に係るガス導入管における吹出し部の斜
視図である。

【図６】吹出し部の正面図である。

【図７】吹出し部の断面図であり、（ａ）は図６中Ａ−
Ａ線における断面図であり、（ｂ）は図６中Ｂ−Ｂ線に
おける断面図であり、（ｃ）は図６中Ｃ−Ｃ線における
断面図である。

【図８】吹出し部を分解して示す断面図である。

【図９】本発明に係る磁気記録媒体の製造方法を用いて
製造した磁気記録媒体の幅方向における飽和磁化の分布
を示す特性図である。

【図１０】本発明に係る磁気記録媒体の製造方法を用い
て製造した磁気記録媒体の幅方向における保磁力の分布
を示す特性図である。

【図１１】本発明に係る磁気記録媒体の製造方法を用い
て製造した磁気記録媒体の幅方向における角形比の分布
を示す特性図である。

【図１２】従来の酸素ガス導入管を用いて製造した磁気
記録媒体の幅方向における飽和磁化の分布を示す特性図
である。

【図１３】従来の酸素ガス導入管を用いて製造した磁気
記録媒体の幅方向における保磁力の分布を示す特性図で
ある。

【図１４】従来の酸素ガス導入管を用いて製造した磁気
記録媒体の幅方向における角形比の分布を示す特性図で
ある。

【図１５】従来の酸素ガス導入管の一部を切り欠いて示
す要部平面図である。

【図１６】従来の酸素ガス導入管の断面図である。

【符号の説明】

１酸素ガス導入管、６非磁性支持体、７冷却キャ
ン、１１蒸発源、１３金属蒸気、１４防着板、２０
ガス供給管、２１酸素流路、２２導入管下本体
部、２３導入管上本体部、２４銅パッキン、２５
吹出し部、２６熱遮蔽板、２７吹出し口

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガスが供給されるガス供給管と、上記ガス供給管が接続され、上記ガス供給管から供給さ
れたガスの流路となるガス流路を有する本体部と、上記ガス供給管が接続された部分とは反対側に位置して
上記本体部に組み込まれ、外部に臨むように吹出し口が
形成され、この吹出し口を介してガスを外部へ射出する
吹出し部とを備え、上記吹出し部は、上記本体部に対して脱着可能とされる
ことを特徴とするガス導入管。
【請求項２】上記本体部及び上記吹出し部は、線膨張
係数が同等の材料からなることを特徴とする請求項１の
ガス導入管。
【請求項３】上記吹出し部は、上部吹出し口形成部と
下部吹出し口形成部と複数個の接続ピンとからなり、こ
れら接続ピンが上部吹出し口形成部及び下部吹出し口形
成部に圧入されることにより、一体に形成されたことを
特徴とする請求項１記載のガス導入管。
【請求項４】上記接続ピンは、上部吹出し口形成部と
下部吹出し口形成部との間に狭持されるスペーサ部材を
有し、吹出し口の幅方向に略々均等に配されたことを特
徴とする請求項３記載のガス導入管。
【請求項５】上記吹出し部は、上記本体部に挟持され
ていることを特徴とする請求項１記載のガス導入管
【請求項６】ガスが供給されるガス供給管と、上記ガ
ス供給管が接続され、上記ガス供給管から供給されたガ
スの流路となるガス流路を有する本体部と、上記ガス供
給管が接続された部分とは反対側に位置して上記本体部
に組み込まれ、外部に臨むように吹出し口が形成され、
この吹出し口を介してガスを外部へ射出する吹出し部と
を備え、上記吹出し部が上記本体部に対して脱着可能と
されるガス導入管が用いられ、上記ガス導入管から射出したガスを、磁性材料が蒸着す
る非磁性支持体上に吹き付けて磁性層を形成することを
特徴とする磁気記録媒体の製造方法。