JP2010279866A - 水切り乾燥システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】洗浄後のワークを浸漬し、超音波振動を与えて付着水分を剥離して粗水切りする粗水切り溶液17をフッ素系溶剤単体として貯留する粗水切り装置12と、フッ素系溶剤とアルコール系溶剤とからなる本水切り溶液24を、これに含まれるフッ素系溶剤の沸点未達の温度で加温して貯留させ、粗水切り後のワークを再浸漬させて超音波振動を与えて残存水分をアルコール系溶剤に溶解させて最終水切りする本水切り装置22と、貯留させた本水切り溶液33をこれに含まれるフッ素系溶剤の沸点温度にまで加温してなるベーパー層35に最終水切り後のワークを配置してベーパー乾燥させるベーパー乾燥装置32とで少なくとも構成した。
【選択図】図1
Description
12 粗水切り装置
13 噴流槽
14 噴流パイプ
15 超音波振動槽
16 超音波振動子
17 粗水切り溶液
18 案内板
19 第1水分分離槽
20 冷却コイル
21 ポンプ
22 本水切り装置
23 超音波振動子
24 本水切り溶液
25 ヒータ
26 第2水分分離槽
27 冷却コイル
28 アルコール濃度計
29 ポンプ
32 ベーパー乾燥装置
33 本水切り溶液
33a 液面
34 空間部
35 ベーパー層
36 ヒータ
37 フロート
38 冷却コイル
39 第3水分分離槽
42,43,44 冷却コイル
52,53,54 フィルター
Claims (2)
- 洗浄が必要なワークを水系洗浄液で洗浄した際の水分を付着させた洗浄後の前記ワークを浸漬し、少なくとも超音波振動を与えて付着水分を前記ワークの表面から剥離して粗水切りする粗水切り溶液をフッ素系溶剤単体として貯留する粗水切り装置と、
フッ素系溶剤とアルコール系溶剤とからなる本水切り溶液をこれに含まれる前記フッ素系溶剤の沸点未達の温度で加温しながら貯留させ、前記粗水切り装置から取り出された粗水切り後の前記ワークを再浸漬させて超音波振動を与えることで依然と付着している残存水分を前記アルコール系溶剤に溶解させて最終水切りする本水切り装置と、
貯留させた本水切り溶液をこれに含まれるフッ素系溶剤の沸点温度にまで加温して発生させたベーパー層に前記本水切り装置から取り出された最終水切り後の前記ワークを配置してベーパー乾燥させるベーパー乾燥装置とを少なくとも含むことを特徴とする水切り乾燥システム。 - 前記粗水切り装置は、貯留させた前記粗水切り溶液中に浸漬させた洗浄済みの前記ワークに対し噴流パイプから粗水切り溶液を噴出させて付着水分を剥離する噴流槽と、貯留されている粗水切り溶液中に前記噴流槽から取り出された前記ワークを再浸漬して超音波振動を与えてさらに付着水分を微小化して剥離する超音波振動槽との2段で形成した請求項1に記載の水切り乾燥システム。
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---|---|---|---|---|
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07297161A (ja) * | 1994-04-22 | 1995-11-10 | Sony Corp | 洗浄方法 |
JPH10249291A (ja) * | 1997-03-07 | 1998-09-22 | Otsuka Giken Kogyo Kk | 洗浄装置 |
JP2006021135A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Olympus Corp | 水切り乾燥装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017090215A1 (ja) * | 2015-11-26 | 2017-06-01 | ジャパン・フィールド株式会社 | 水分付着部品からの水分除去方法及びその装置 |
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