JP2010274389A - スラリーの回収方法及び回収装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スラリーによる研磨工程と洗浄水による洗浄工程とを所定のタイミングで繰り返し行う研磨装置で使用したスラリーを回収する方法において、研磨装置のスラリーと洗浄水の共通の排出口に、内壁を伝って流下するスラリーを捕捉するスラリー捕捉ポケットを設けたスラリー排液回収管を取り付け、スラリー排液回収管の内壁を伝って流下するスラリーをスラリー捕捉ポケットを介して回収する。洗浄水を含む排液はスラリー排液回収管の全体を用いて回収する。
【選択図】図1
Description
図5に示したシステムを用いて、シリコンウエハ上に成膜されたタングステン膜を化学機械研磨する工程(以下W-CMP)に本実施形態を適用した例について説明する。
Claims (9)
- スラリーによる研磨工程と洗浄水による洗浄工程とを所定のタイミングで繰り返し行う研磨装置で使用した前記スラリーを回収する方法において、
前記研磨装置の前記スラリーと前記洗浄水とを共通に受ける排液口に、内壁を伝って流下するスラリーを捕捉するスラリー捕捉ポケットを設けたスラリー排液回収管を取り付ける工程と、
前記スラリー排液回収管の内壁を伝って流下するスラリーを前記スラリー捕捉ポケットを介して回収するスラリー回収工程と、
前記スラリー排液回収管から排出される洗浄工程で使用した洗浄水を含む排液を回収する排液回収工程と、
を有することを特徴とするスラリーの回収方法。 - 前記スラリー回収工程から前記排液回収工程への切り替えは、前記スラリー捕捉ポケットに回収されたスラリーの導電率を測定して前記スラリーの導電率が基準値より下回ったときに、行われることを特徴とする請求項1記載のスラリーの回収方法。
- スラリーによる研磨工程と洗浄水による洗浄工程とを所定のタイミングで繰り返し行う研磨装置におけるスラリー回収装置において、
前記研磨装置の排液口から下方に垂設された前記研磨工程で使用されたスラリーが内壁のみを伝って流下するに十分な内径のスラリー排液回収管と、
前記スラリー排液回収管の内壁を伝って流下するスラリーを捕捉するスラリー捕捉ポケットと、
前記スラリー捕捉ポケットの底部に吸入口を開口させたスラリー吸引管と、
を有することを特徴とするスラリー回収装置。 - 前記スラリー捕捉ポケットは、外周壁を、前記スラリー排液回収管の内壁に密接させて該内壁に固定された環状の樋部材からなることを特徴とする請求項3記載のスラリー回収装置。
- 前記スラリー捕捉ポケットは、前記スラリー排液回収管の内壁と、前記スラリー排液回収管に間隔を置いて同心状に内挿された筒状部と、前記スラリー排液回収管の内壁と前記筒状部の下部を液密に連結する底部と
から構成された樋部材からなることを特徴とする請求項3記載のスラリー回収装置。 - 前記スラリー吸引管は、吸引ポンプに接続されてポンプの吸引力により前記スラリー捕捉ポケットに捕捉されたスラリーを排出することを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項記載のスラリー回収装置。
- 前記スラリー吸引管は、前記吸引ポンプの下流で、切替バルブを介して分岐されるとともに、前記切替バルブの上流側に設けたスラリー濃度を測定するスラリー濃度検出器と、該スラリー濃度検出器の出力信号によって、前記切替バルブを切り替える制御手段と、を備えることを特徴とする請求項6記載のスラリー回収装置。
- 前記スラリー吸引管は、流量計と、前記流量計の出力信号が所定の値より低くなったとき、警報を発する警報装置及び/又は前記ポンプの運転を停止する制御装置とを備えることを特徴とする請求項6又は7記載のスラリー回収装置。
- 前記スラリー排液回収管の流入口には、異物の侵入を防ぐメッシュ部材が配設されていることを特徴とする請求項3乃至8のいずれか1項記載のスラリー回収装置。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62148158A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-07-02 | Tokyo Optical Co Ltd | 玉摺機用研削液タンク |
JPH11254298A (ja) * | 1998-03-06 | 1999-09-21 | Speedfam Co Ltd | スラリー循環供給式平面研磨装置 |
JP2000117635A (ja) * | 1998-10-15 | 2000-04-25 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 研磨方法及び研磨システム |
JP2000246625A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-12 | Nec Corp | 平面研磨装置 |
JP2004255531A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Hoya Corp | 研磨装置 |
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---|---|---|---|---|
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JPH11254298A (ja) * | 1998-03-06 | 1999-09-21 | Speedfam Co Ltd | スラリー循環供給式平面研磨装置 |
JP2000117635A (ja) * | 1998-10-15 | 2000-04-25 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 研磨方法及び研磨システム |
JP2000246625A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-12 | Nec Corp | 平面研磨装置 |
JP2004255531A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Hoya Corp | 研磨装置 |
JP2007319974A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 半導体研磨用スラリーの回収方法及び回収システム並びに再生方法及び再生システム |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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