JP2010274192A - 吐出装置及び吐出装置の位置合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の吐出装置10は、第一、第二の載置台24a、24bを有している。第一の載置台24aは第二の載置台24bより大きく、第一の載置台24a上に第二の載置台24bが配置される。基板50を第一、第二の載置台24a、24bの両方に係るように載せると、第一の基板回転機構42によって第一の載置台24aを基準面に平行に回転させ、ヘッド移動機構45によってヘッド32を移動することにより、基板50とヘッド32が位置合わせできる。第一、第二の基板50a、50bを第一、第二の載置台24a、24b上にそれぞれ載せると、第一の基板50aを基板50と同様に位置合わせした後、第二の基板位置合わせ機構によって第二の載置台24bを基準面に平行に回転し、かつ移動することにより、第二の基板50bとヘッド32が位置合わせすることができる。
【選択図】図2
Description
ヘッドを複数方向に移動させることや、吐出しながら移動させることは、ヘッドの移動機構が複雑になるとともに、ヘッド位置の精度を維持することが難しい。このため、ヘッドはできるだけ移動機構を少なくし、かつ吐出しながらヘッドが移動しないことが好ましい。
ただし、ヘッド据え置き方式では、基板がヘッド保持部の下を通過する間に、基板上の各着弾位置が少なくとも一つの吐出口の下を通過するように、基板の幅方向の長さがヘッドの幅方向の長さ以下である必要がある。
本発明は吐出装置であって、前記第二の載置台は前記第一の載置台上に設けられる吐出装置である。
本発明は吐出装置であって、前記第一の載置台は前記第二の載置台より大きい吐出装置である。
本発明は吐出装置であって、前記ヘッドを、前記基準面に平行でかつ前記基板移動部の移動方向に垂直に移動するヘッド移動機構を有する吐出装置である。
本発明は、基準面に対して静止された台座と、前記台座に固定されたヘッド保持部と、前記ヘッド保持部に保持された複数のヘッドと、各前記ヘッドに設けられた複数の吐出口と、前記台座に対し、前記基準面に平行な第一の方向に移動可能な基板移動部と、を有し、前記吐出口から前記基板移動部上に配置された基板に向かって吐出液を吐出し、前記吐出液の液滴を前記基板に着弾させる吐出装置であって、前記基板移動部上に配置され、第一、第二の基板をそれぞれ載置可能な第一、第二の載置台と、前記第一の方向に垂直で前記基準面に平行な第二の方向に離間して前記ヘッド保持部に固定された複数の固定カメラと、複数の前記固定カメラが撮影した画像を処理し、前記画像内の所望位置の前記基準面に対する座標が測定できる制御装置と、前記ヘッド保持部の中で複数の前記ヘッドが取り付けられた取付板と、前記取付板と前記ヘッド保持部の間に配置され、前記取付板を前記ヘッド保持部に対して前記第二の方向に移動可能にしたヘッド移動機構と、前記第一の載置台と前記基板移動部の間に配置され、前記第一の載置台を前記基板移動部に対して前記基準面に平行に回転可能にした第一の基板回転機構と、を有する吐出装置である。
本発明は、基準面に対して静置された台座と、前記台座に固定されたヘッド保持部と、前記ヘッド保持部に保持された複数のヘッドと、各前記ヘッドに設けられた複数の吐出口と、前記台座に対し、前記基準面に平行な第一の方向に移動可能な基板移動部と、を有し、前記吐出口から前記基板移動部上に配置された基板に向かって吐出液を吐出し、前記吐出液の液滴を前記基板に着弾させる吐出装置であって、前記基板移動部上に配置され、第一、第二の基板をそれぞれ載置可能な第一、第二の載置台と、前記第一の方向に垂直で前記基準面に平行な第二の方向に離間して前記ヘッド保持部に固定された複数の固定カメラと、複数の前記固定カメラが撮影した画像を処理し、複数の前記固定カメラが撮影した前記画像内の所望位置の前記基準面に対する座標が測定できる制御装置と、前記ヘッド保持部の中で複数の前記ヘッドが取り付けられた取付板と、前記取付板と前記ヘッド保持部の間に配置され、前記取付板を前記ヘッド保持部に対して前記第二の方向に移動可能にしたヘッド移動機構と、前記第一の載置台と前記基板移動部の間に配置され、前記第一の載置台を前記基板移動部に対して前記基準面に平行に回転可能にした第一の基板回転機構と、前記第二の載置台と前記基板移動部の間に配置され、前記第二の載置台を前記基板移動部又は前記第一の載置台のいずれか一方の回転移動基準に対して、前記基準面に平行に回転可能にし、前記第二の方向に移動可能にした第二の基板位置合わせ機構と、を有し、前記制御装置には、前記第一、第二の基板にそれぞれ設けられた2個の基板基準点を前記固定カメラで撮影した画像から、前記第一、第二の基板を前記第二の方向に移動させて前記ヘッドの下方を通過させたときに、前記第一、第二の基板上の着弾位置が前記吐出口の真下位置を通過するように、前記第一、第二の基板と前記取付板とを移動させて位置合わせを行う位置合わせ手順が設けられた吐出装置である。
本発明は吐出装置であって、前記制御装置には、2個の前記固定カメラが前記第一の基板上の2個の基板基準点を撮影した画像を処理して、前記第一の基板上の2個の基板基準点の前記基準面に対する座標を測定し、前記第一の基板の2個の基板基準点を結ぶ線分が前記第二の方向と平行になるように、前記第一の基板を前記基準面に平行に回転させ、所定の前記吐出口の前記第二の方向の位置と、前記第一の基板上の所定の着弾位置の前記第二の方向の位置とから求めた誤差がゼロになるように、前記取付板を前記第二の方向に移動させ、2個の前記固定カメラが前記第二の基板上の2個の基板基準点を撮影した画像を処理して、前記第二の基板上の2個の基板基準点の前記基準面に対する座標を測定し、前記第二の基板の2個の基板基準点を結ぶ線分が、前記第二の方向と平行になるように前記第二の基板を前記基準面に平行に回転させ、前記第二の基板上の所定の着弾位置の前記第二の方向の位置と、所定の前記吐出口の前記第二の方向の位置とから求めた誤差がゼロになるように、前記第二の基板を前記第二の方向に移動させて位置合わせを行う位置合わせ手順が設けられた吐出装置である。
本発明は吐出装置の位置合わせ方法であって、第一、第二の基板にそれぞれ2個の基板基準点を設けておき、前記第一、第二の基板を基板移動部上に載置し、前記基板移動部を基準面に平行な第一の方向に移動させ、位置合わせを行う位置で一旦静止させ、前記第一の基板の2個の基板基準点の前記基準面に対する座標を測定し、前記第一の基板の2個の基板基準点を結ぶ線分が、前記第一の方向に垂直で前記基準面に平行な第二の方向と平行になるように前記第一の基板を前記基準面に平行に回転させ、吐出口の前記第二の方向の位置と、前記第一の基板の2個の基板基準点の前記第二の方向の位置とから求めた誤差がゼロになるように、ヘッドを前記第二の方向に移動させて、前記基板移動部をヘッド保持部の下を通過させる間に、前記第一の基板上の着弾位置が、前記吐出口の真下位置を通過できるようにし、前記第二の基板の2個の基板基準点の前記基準面に対する座標を測定し、前記第二の基板の2個の基板基準点を結ぶ線分が前記第二の方向と平行になるように前記第二の基板を前記基準面に平行に回転させ、前記第二の基板の2個の基板基準点の前記第二の方向の位置と、前記吐出口の前記第二の方向の位置とから求めた誤差がゼロになるように、前記第二の基板を前記第二の方向に移動させて、前記基板移動部を前記ヘッド保持部の下を通過させる間に、前記第二の基板上の着弾位置が、前記吐出口の真下位置を通過できるようにする位置合わせ方法である。
本発明は吐出装置の位置合わせ方法であって、第一、第二の基板にそれぞれ2個の基板基準点を設けておき、前記第一、第二の基板を基板移動部上に載置し、前記基板移動部を基準面に平行な第一の方向に移動させ、位置合わせを行う位置で一旦静止させ、前記第一の基板の2個の基板基準点の前記基準面に対する座標を測定し、前記第一の基板の2個の基板基準点を結ぶ線分が、前記第一の方向に垂直で前記基準面に平行な第二の方向と平行になるように前記第一の基板を前記基準面に平行に回転させ、吐出口の前記第二の方向の位置と、前記第一の基板の2個の基板基準点の前記第二の方向の位置とから求めた誤差がゼロになるように、ヘッドを前記第二の方向に移動させて、前記基板移動部をヘッド保持部の下を通過させる間に、前記第一の基板上の着弾位置が、前記吐出口の真下位置を通過できるようにし、前記第二の基板の2個の基板基準点の前記基準面に対する座標を測定し、前記第二の基板の2個の基板基準点を結ぶ線分が前記第二の方向と平行になるように前記第二の基板を前記基準面に平行に回転させ、前記第二の基板の2個の基板基準点の前記第二の方向の位置と、前記吐出口の前記第二の方向の位置とから求めた誤差がゼロになるように、前記第二の基板を前記第二の方向に移動させて、前記基板移動部を前記ヘッド保持部の下を通過させる間に、前記第二の基板上の着弾位置が、前記吐出口の真下位置を通過できるようにする位置合わせ方法である。
小型基板に対しては二個並行して吐出液を吐出できるので、吐出効率が向上できる。
本発明はRGBカラーフィルターの製造に限定されるものではなく、例えばEL(エレクトロルミネッセンス)表示素子や液晶表示装置の製造も含まれる。
図1は本発明で用いる吐出装置10の側面図を示しており、図2は平面図を示している。
吐出装置10は、水平な基準面に対して静置された台座70と、長いレール71と、基板移動部20と、ヘッド保持部30を有している。レール71は台座70上に、その上方を向いた面が基準面に平行になるように、配置されている。基板移動部20はレール71上に配置されている。ヘッド保持部30は、台座70に固定された支柱72に支えられて、レール71上の基板移動部20の高さより高い位置に固定されている。
レール上移動機構41にはモーターが設けられており、制御装置92から伝送される信号を受けると、基板移動部20をレール71上で移動させる。
基板移動部20はレール71上を移動することにより、ヘッド保持部30の下を往復移動することができるように構成されている。
ヘッド保持部30は、取付板33と、取付板33に取り付けられた複数のヘッド32を有している。
各ヘッド32は、吐出口35を複数有している。一個のヘッド32の複数の吐出口35は、そのヘッド32の一面に、一列に並んで吐出口列を形成し、又は、互いに平行な複数列に並んで、互いに平行な複数の吐出口列を形成している。
本発明では、一個のヘッド32の複数の吐出口35が、一の方向に等間隔で配置されている限りでは、必ずしも一直線上に並ぶ必要はなく、例えば図5に示すように千鳥配列に並んで、一吐出口列を形成してもよい。
各ヘッド32は、ヘッドの前記一の方向の長さが、吐出口列の長さ(端部の吐出口の中心間の前記一の方向の距離)に吐出口間隔Dを加算した長さよりも大きく形成されており、従って、複数のヘッド32をx軸と平行な一列に並べ、y軸上の位置を同一にすると、一のヘッドの吐出口列端部に位置する吐出口と、隣接するヘッドの吐出口列端部に位置する吐出口の間のx軸方向の距離は、吐出口間隔Dよりも大きな距離で離間してしまう。
所定の数nのヘッド組38はヘッドグループを構成し、1個のヘッドグループ中では、1つのヘッド組38中の隣接する2個の吐出口35の間に、他のヘッド組38の吐出口35が、x軸方向に等間隔D/nになるように1個ずつ配置されている。
各吐出口35はそれぞれ内部にインク(吐出液)の詰まったインク室を有し、各インク室には圧力発生装置がそれぞれ配置される。各圧力発生装置は外部の制御装置92から電送される信号を受けて、各インク室に所定の圧力を発生させ、各吐出口35から所定の量のインクを吐出させる。
基板移動部20は第一、第二の載置台24a、24bを有している。第一の載置台24aは第二の載置台24bより大きく、第一の載置台24aは基板移動部20上に配置され、第二の載置台24bは第一の載置台24a上に配置される。
第二の載置台24bの上方を向いた面は、第一の載置台24aの上方を向いた面と同じ高さになるように形成されている。
基板50と第一、第二の基板50a、50bの各基板上で一の方向に隣り合う着弾位置の間隔は、1個のヘッドグループ中のx軸方向に隣接する吐出口間隔D/nと同じ、又はx軸方向に隣接する吐出口間隔D/nの整数倍の長さに形成されている。
後述する第一の位置合わせ工程での位置合わせ作業により、各ヘッド32は台座70上の座標に対して予め位置合わせがされているものとする。
先ず、基板50上へのインクの吐出工程を説明する。
基板移動部20を移動開始位置に移動させて静止させる。第一、第二の載置台24a、24b上に、第一、第二の基板50a、50bをそれぞれ載せ、真空吸着して、第一、第二の基板50a、50bを第一、第二の載置台24a、24b上に吸着保持する。
以下では原点位置合わせ作業と、ヘッドアレイ位置合わせ作業と、固定カメラ31のカメラ基準点の位置測定作業とから成る第一の位置合わせ工程を説明する。
基板移動部20は、移動カメラ21を有している。移動カメラ21は、基板移動部20のy軸方向の端に配置されている。移動カメラ21は上端にレンズを有し、移動カメラ21で撮影された画像は外部の制御装置92で画像処理される。制御装置92には例えばコンピュータが使用される。
先ず、移動カメラ21によって撮影した画像上の一点の基準面に対するxy座標が分かるように、移動カメラ21と基準面上の原点との位置合わせを行う。
この吐出装置10では、基準面に対して静止したxy座標の原点が定められている。
移動カメラ21を移動させ、原点、又は原点を通る垂線が移動カメラ21で撮影されると仮定したときは原点を通る垂線、を撮影し、原点の画像、又は原点を通る垂線の画像が移動基準点と一致したときに、x軸方向距離測定装置とy方向距離測定装置の値をゼロにする。
その状態から移動カメラ21が移動すると、移動カメラ21で撮影した画像上の、移動基準点と重なる位置の基準面に対するxy座標が分かることになる。
次に、基板移動部20のy軸方向の移動と、移動カメラ21のX方向の移動により、移動カメラ21を1つの吐出口35の下に位置させる。
移動カメラ21の画像を見て、移動基準点と、その吐出口35の画像の中心が一致したとき、測定装置93の値から、その吐出口35の基準面に対するxy座標が求まる。
このような吐出口35の基準面に対するxy座標の測定作業を、全ての吐出口35で繰り返す。
ヘッド保持部30は、第一、第二、第三、第四の固定カメラ31a、31b、31c、31dを有している。第一、第二、第三、第四の固定カメラ31a、31b、31c、31dは、ヘッド保持部30のy軸方向の一旦に固定されている。第一、第二、第三、第四の固定カメラ31a、31b、31c、31dは、下端にレンズを有しているので、下を移動する基板50と第一、第二の基板50a、50bを撮影することができる。
ただし実際は、第一、第二、第三、第四の固定カメラ31a、31b、31c、31dは、ヘッド保持部30に固定される際の取付誤差のために、設計値からズレた位置に取付られている。
以下では、基板50又は第一の基板50aのいずれか一方(以下の説明では第一の基板50aで代表する)がヘッド保持部30の下方を通過する間に、基板上の各着弾位置が少なくとも一個の吐出口35の真下を通過するように位置合わせ作業を行う第二の位置合わせ工程を説明する。
先ず、基板移動部20をy軸方向に移動させて、第一の基板50aが有する第一、第二の基板基準点51a、51bを、第一、第二の固定カメラ31a、31bの下にそれぞれ位置させる。
図3(a)の符号81a、81bは第一、第二の固定カメラ31a、31bのカメラ基準点を示し、符号82a、82bはそれぞれの設計値(第一、第二の設計値)を示している。符号83a、83bは第一、第二の固定カメラ31a、31bがそれぞれ撮影した第一、第二の基板基準点51a、51bの画像を示している。
制御装置92は画像内のx軸方向とy軸方向が分かるので、第一、第二の基板基準点の画像83a、83bの2点を通る直線とx軸方向又はy軸方向との成す角度を計算により求めてもよい。
回転移動後の第一、第二の基板基準点51a、51bは、制御装置92で画像処理されて、それぞれの基準面に対するxy座標が制御装置92に記憶される。
各吐出口35は、前述の第一の位置合わせ工程により位置合わせされていて、基準面に対するxy座標は制御装置92に記憶されている。
制御装置92は、所定の吐出口35のx座標と、第一の基板50a上の第一、第二の基板基準点51a、51bのx座標とから誤差を求め、誤差がゼロになるように取付板33をx軸方向に所定距離だけ移動させる信号を、ヘッド移動機構45に伝送する。
ヘッド移動機構45は、制御装置92から伝送される信号を受けると、取付板33と、取付板33に取り付けられたヘッド32を、ヘッド保持部30に対してx軸方向に所定距離だけ移動させる。
以下では、第二の基板50bがヘッド保持部30の下方を通過する間に、第二の基板50b上の各着弾位置が少なくとも一個の吐出口35の真下を通過するように位置合わせ作業を行う第三の位置合わせ工程を説明する。
先ず、基板移動部20をy軸方向に移動させて、第二の基板50bが有する第三、第四の基板基準点51c、51dを、第三、第四の固定カメラ31c、31dの下にそれぞれ位置させる。
図3(b)の符号81c、81dは第三、第四の固定カメラ31c、31dのカメラ基準点を示し、符号82c、82dはそれぞれの設計値(第三、第四の設計値)を示している。符号83c、83dは第三、第四の固定カメラ31c、31dがそれぞれ撮影した第三、第四の基板基準点51c、51dの画像を示している。
制御装置92は画像内のx軸方向とy軸方向が分かるので、第三、第四の基板基準点の画像83c、83dの2点を通る直線とx軸方向又はy軸方向との成す角度を計算により求めてもよい。
回転移動後の第三、第四の基板基準点51c、51dは、制御装置92で画像処理されて、それぞれの基準面に対するxy座標が制御装置92に記憶される。
各吐出口35は、前述の第一、第二の位置合わせ工程により位置合わせされていて、基準面に対するxy座標は制御装置92に記憶されている。
以上の手順で第三の位置合わせ工程が完了する。この状態では、第二の基板50bがヘッド保持部30の下方を通過する間に、第二の基板50b上の各着弾位置が少なくとも一個の吐出口35の真下を通過するようになっている。
20……基板移動部
21……移動カメラ
24a、24b……第一、第二の載置台
30……ヘッド保持部
31a、31b、31c、31d……第一、第二、第三、第四の固定カメラ
32……ヘッド
33……取付板
35……吐出口
42……第一の基板回転機構
45……ヘッド移動機構
50……基板
50a、50b……第一、第二の基板
51a、51b、51c、51d……第一、第二、第三、第四の基板基準点
70……台座
80……第二の基板位置合わせ機構
92……制御装置
Claims (9)
- 基準面に対して静止された台座と、
前記台座に固定されたヘッド保持部と、
前記ヘッド保持部に保持された複数のヘッドと、
各前記ヘッドに設けられた複数の吐出口と、
前記台座に対し、前記基準面に平行な第一の方向に移動可能な基板移動部と、
を有し、
前記吐出口から前記基板移動部上に配置された基板に向かって吐出液を吐出し、前記吐出液の液滴を前記基板に着弾させる吐出装置であって、
前記基板移動部は、前記基板を載置可能な第一、第二の載置台と、
前記第一の載置台は、前記基準面に平行に、かつ前記台座に対して回転移動する第一の基板回転機構を有し、
前記第二の載置台は、前記基準面に平行に、かつ前記台座に対して回転移動する機能と、少なくとも前記基準面に平行な一方向に移動する機能とを有する第二の基板位置合わせ機構を有する、
吐出装置。 - 前記第二の載置台は前記第一の載置台上に設けられる請求項1記載の吐出装置。
- 前記第一の載置台は前記第二の載置台より大きい請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の吐出装置。
- 前記ヘッドを、前記基準面に平行でかつ前記基板移動部の移動方向に垂直に移動するヘッド移動機構を有する請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の吐出装置。
- 基準面に対して静止された台座と、
前記台座に固定されたヘッド保持部と、
前記ヘッド保持部に保持された複数のヘッドと、
各前記ヘッドに設けられた複数の吐出口と、
前記台座に対し、前記基準面に平行な第一の方向に移動可能な基板移動部と、
を有し、
前記吐出口から前記基板移動部上に配置された基板に向かって吐出液を吐出し、前記吐出液の液滴を前記基板に着弾させる吐出装置であって、
前記基板移動部上に配置され、第一、第二の基板をそれぞれ載置可能な第一、第二の載置台と、
前記第一の方向に垂直で前記基準面に平行な第二の方向に離間して前記ヘッド保持部に固定された複数の固定カメラと、
複数の前記固定カメラが撮影した画像を処理し、前記画像内の所望位置の前記基準面に対する座標が測定できる制御装置と、
前記ヘッド保持部の中で複数の前記ヘッドが取り付けられた取付板と、
前記取付板と前記ヘッド保持部の間に配置され、前記取付板を前記ヘッド保持部に対して前記第二の方向に移動可能にしたヘッド移動機構と、
前記第一の載置台と前記基板移動部の間に配置され、前記第一の載置台を前記基板移動部に対して前記基準面に平行に回転可能にした第一の基板回転機構と、
を有する吐出装置。 - 基準面に対して静止された台座と、
前記台座に固定されたヘッド保持部と、
前記ヘッド保持部に保持された複数のヘッドと、
各前記ヘッドに設けられた複数の吐出口と、
前記台座に対し、前記基準面に平行な第一の方向に移動可能な基板移動部と、
を有し、
前記吐出口から前記基板移動部上に配置された基板に向かって吐出液を吐出し、前記吐出液の液滴を前記基板に着弾させる吐出装置であって、
前記基板移動部上に配置され、第一、第二の基板をそれぞれ載置可能な第一、第二の載置台と、
前記第一の方向に垂直で前記基準面に平行な第二の方向に離間して前記ヘッド保持部に固定された複数の固定カメラと、
複数の前記固定カメラが撮影した画像を処理し、複数の前記固定カメラが撮影した前記画像内の所望位置の前記基準面に対する座標が測定できる制御装置と、
前記ヘッド保持部の中で複数の前記ヘッドが取り付けられた取付板と、
前記取付板と前記ヘッド保持部の間に配置され、前記取付板を前記ヘッド保持部に対して前記第二の方向に移動可能にしたヘッド移動機構と、
前記第一の載置台と前記基板移動部の間に配置され、前記第一の載置台を前記基板移動部に対して前記基準面に平行に回転可能にした第一の基板回転機構と、
前記第二の載置台と前記基板移動部の間に配置され、前記第二の載置台を前記基板移動部又は前記第一の載置台のいずれか一方の回転移動基準に対して、前記基準面に平行に回転可能にし、前記第二の方向に移動可能にした第二の基板位置合わせ機構と、
を有し、
前記制御装置には、前記第一、第二の基板にそれぞれ設けられた2個の基板基準点を前記固定カメラで撮影した画像から、前記第一、第二の基板を前記第二の方向に移動させて前記ヘッドの下方を通過させたときに、前記第一、第二の基板上の着弾位置が前記吐出口の真下位置を通過するように、前記第一、第二の基板と前記取付板とを移動させて位置合わせを行う位置合わせ手順が設けられた吐出装置。 - 前記制御装置には、
2個の前記固定カメラが前記第一の基板上の2個の基板基準点を撮影した画像を処理して、前記第一の基板上の2個の基板基準点の前記基準面に対する座標を測定し、
前記第一の基板の2個の基板基準点を結ぶ線分が前記第二の方向と平行になるように、前記第一の基板を前記基準面に平行に回転させ、
所定の前記吐出口の前記第二の方向の位置と、前記第一の基板上の所定の着弾位置の前記第二の方向の位置とから求めた誤差がゼロになるように、前記取付板を前記第二の方向に移動させ、
2個の前記固定カメラが前記第二の基板上の2個の基板基準点を撮影した画像を処理して、前記第二の基板上の2個の基板基準点の前記基準面に対する座標を測定し、
前記第二の基板の2個の基板基準点を結ぶ線分が、前記第二の方向と平行になるように前記第二の基板を前記基準面に平行に回転させ、
前記第二の基板上の所定の着弾位置の前記第二の方向の位置と、所定の前記吐出口の前記第二の方向の位置とから求めた誤差がゼロになるように、前記第二の基板を前記第二の方向に移動させて位置合わせを行う位置合わせ手順が設けられた請求項6記載の吐出装置。 - 第一、第二の基板にそれぞれ2個の基板基準点を設けておき、
前記第一、第二の基板を基板移動部上に載置し、
前記基板移動部を基準面に平行な第一の方向に移動させ、位置合わせを行う位置で一旦静止させ、
前記第一の基板の2個の基板基準点の前記基準面に対する座標を測定し、
前記第一の基板の2個の基板基準点を結ぶ線分が、前記第一の方向に垂直で前記基準面に平行な第二の方向と平行になるように前記第一の基板を前記基準面に平行に回転させ、
吐出口の前記第二の方向の位置と、前記第一の基板の2個の基板基準点の前記第二の方向の位置とから求めた誤差がゼロになるように、ヘッドを前記第二の方向に移動させて、前記基板移動部をヘッド保持部の下を通過させる間に、前記第一の基板上の着弾位置が、前記吐出口の真下位置を通過できるようにし、
前記第二の基板の2個の基板基準点の前記基準面に対する座標を測定し、
前記第二の基板の2個の基板基準点を結ぶ線分が前記第二の方向と平行になるように前記第二の基板を前記基準面に平行に回転させ、
前記第二の基板の2個の基板基準点の前記第二の方向の位置と、前記吐出口の前記第二の方向の位置とから求めた誤差がゼロになるように、前記第二の基板を前記第二の方向に移動させて、前記基板移動部を前記ヘッド保持部の下を通過させる間に、前記第二の基板上の着弾位置が、前記吐出口の真下位置を通過できるようにする位置合わせ方法。 - 第一、第二の基板にそれぞれ2個の基板基準点を設けておき、
前記第一、第二の基板を基板移動部上に載置し、
前記基板移動部を基準面に平行な第一の方向に移動させ、位置合わせを行う位置で一旦静止させ、
前記第一の基板の2個の基板基準点の前記基準面に対する座標を測定し、
前記第一の基板の2個の基板基準点を結ぶ線分が、前記第一の方向に垂直で前記基準面に平行な第二の方向と平行になるように前記第一の基板を前記基準面に平行に回転させ、
吐出口の前記第二の方向の位置と、前記第一の基板の2個の基板基準点の前記第二の方向の位置とから求めた誤差がゼロになるように、ヘッドを前記第二の方向に移動させて、前記基板移動部をヘッド保持部の下を通過させる間に、前記第一の基板上の着弾位置が、前記吐出口の真下位置を通過できるようにし、
前記第二の基板の2個の基板基準点の前記基準面に対する座標を測定し、
前記第二の基板の2個の基板基準点を結ぶ線分が前記第二の方向と平行になるように前記第二の基板を前記基準面に平行に回転させ、
前記第二の基板の2個の基板基準点の前記第二の方向の位置と、前記吐出口の前記第二の方向の位置とから求めた誤差がゼロになるように、前記第二の基板を前記第二の方向に移動させて、前記基板移動部を前記ヘッド保持部の下を通過させる間に、前記第二の基板上の着弾位置が、前記吐出口の真下位置を通過できるようにする位置合わせ方法。
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