JP2010265404A - 接着方法及び接着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は接着方法及び接着装置に係り、効率よく気泡の残留のない接着処理を行うことを課題とする。
【解決手段】第１パネル１１と第２パネル１２を接着剤３０を用いて接着する接着方法において、接着剤３０を第１及び第２のパネル１１，１２間に配設する配設工程と、上側装着台１６Ａを下側装着台１５Ａに移動させることにより第１及び第２のパネル１１，１２を加圧し、接着剤３０をこの加圧力により基板外側に向け押し広げる加圧工程と、この加圧の開始後に各装着台１５Ａ，１６Ａを回転させることにより、接着剤３０を遠心力により基板外側に向け広げる回転工程とを有する。また、加圧により接着剤３０が既定膜厚となったとき、各装着台１５Ａ，１６Ａの回転を第１の回転よりも速い第２の回転に変化させる。
【選択図】 図６

Description

本発明は接着方法及び接着装置に係り、特にパネル状或いはシート状の基板を接着剤を用いて接着する接着方法及び接着装置に関する。

一般に、パネル状或いはシート状の基板を接着剤を用いて接着することが行われている。例えば、基板として電子ペーパーに代表される柔軟基材を用いた液晶表示パネル同士の貼り合わせる場合、また液晶表示パネルに紫外線カットフィルム等の機能基材を貼り付ける場合は、光学接着剤を用いて接着を行うことが行われている。この接着の時、気泡をなくすことが表示品質として重要である。このため、接着剤を用いて基板を接着する際、多数の気泡を残さない又は除去を行いうる接着方法が用いられている。

その一つとして、平面度の高い板に貼り合せたいパネル同士を吸着し、一方に接着剤を塗布し、均等に押し広げられる程度の速度で加圧を行う方法が知られている（特許文献１参照）。図１は、この加圧による接着方法を説明するための図である。

この方法では、図１（Ａ）に示すように、接着しようとする第１パネル１を下部加圧板３に吸着することにより装着すると共に、第２パネル２を上部加圧板４に吸着することにより装着する。そして、第１パネル１の中央上に接着剤５を配設した後、図１（Ｂ）に示されるように、上部加圧板４を下部加圧板３に向け押圧する。これにより、接着剤５は加圧により押し広げられ、各パネル１，２が対向する全面に接着剤が配設される。

一方、気泡を積極的に除去する方法として、回転の遠心力を利用した接着方法が知られている（特許文献２参照）。図２は、この回転による接着方法を説明するための図である。

この方法では、図２（Ａ）に示すように、回転台７に第１パネル１を装着し、この第１パネル１の上部に接着剤５を配設し、更にその上部に第２パネル２を配設する。その後に、回転台７を回転させる。回転台７の回転により接着剤５には遠心力が作用し、この遠心力により接着剤５は各パネル１，２の外周に向かい流れ、これにより各パネル１，２が対向する全面に接着剤５が配設される。

特開平０６−１８０８６４号公報 特開昭６３−０１８３２６号公報

上記の加圧による接着方法は、接着剤５の量を多くした場合、接着剤５の加圧による外側に向けた移動（拡散）に伴い気泡６も移動し、パネル１，２の外周縁から不要接着剤と共に除去される。よって、パネル１，２間に気泡６が残留することを防止することができる。

しかしながら、加圧による接着方法は、パネル１，２が対向する全面に接着剤５を配設するのに要する時間が非常に長いという問題点がある。例えば、パネル１，２としてＡ４サイズのパネルを用いた場合、気泡６を残さないように接着剤５を拡散するために約180秒を必要としてしまう。また、接着剤５の配設量を少なくした場合には、パネル１，２間において接着剤５の進行速度にばらつきが発生し、遅い部分が取り残されて気泡として残存してしまう。また、このように気泡が残存した場合、これを除去することが難しい。

一方、回転の遠心力を利用した接着方法では、大きな気泡は外に逃げるが、小さな気泡は中央部に寄る傾向にある。このように中央に寄ってきた気泡は、除去することが非常に困難である。

また、パネル１，２として柔軟基材を用いた場合、回転の遠心力を利用した接着方法では、図２（Ｂ）に示すように、中央部分が膨らんで外周部分の厚さＨ１に対して中央部分の厚さＨ２が大きくなる現象が発生する（Ｈ２＞Ｈ１）。例えば、接着剤５として粘度20mPa・sの接着剤を用いた場合、回転中心と外周位置における厚みの差（Ｈ２−Ｈ１）が3〜5μｍ程発生し、中央部が膨らむ傾向にある。よって、接着剤５の膜厚を均一とすることが困難であるという問題点もあった。

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、効率よく気泡の残留のない接着処理を行いうる接着方法及び接着装置を提供することを目的とする。

一の観点からは、一対の基板を接着剤を用いて接着する接着方法において、前記接着剤を前記基板間に配設する配設工程と、前記基板を加圧することにより、前記接着剤を加圧力により基板外側に向け押し広げる加圧工程と、前記加圧の開始後に前記基板を回転させることにより、前記接着剤を遠心力により前記基板外側に向け広げる回転工程とを有する接着方法が提供される。

開示の接着方法は、短時間で接着剤を一対の基板間に配設できると共に、接着剤内に気泡が残留することを防止できるという効果を奏する。

図１は、従来の一例である接着方法を説明するための図である（その１）。 図２は、従来の一例である接着方法を説明するための図である（その２）。 図３は、本発明の第１実施形態である接着装置及びこれを用いた接着方法を説明するための図である（その１）。 図４は、本発明の第１実施形態である接着装置及びこれを用いた接着方法を説明するための図である（その２）。 図５は、本発明の第１実施形態である接着装置及びこれを用いた接着方法を説明するための図である（その３）。 図６は、本発明の第１実施形態である接着装置及びこれを用いた接着方法を説明するための図である（その４）。 図７は、本発明の第１実施形態である接着装置及びこれを用いた接着方法を説明するための図である（その５）。 図８は、回転数と押し量との関係を示す図である。 図９は、パネルの電極端子に接着剤が付着するのを防止する方法を説明するための図である。 図１０は、本発明の第２実施形態である接着装置及びこれを用いた接着方法を説明するための図である（その１）。 図１１は、本発明の第２実施形態である接着装置及びこれを用いた接着方法を説明するための図である（その２）。 図１２は、本発明の第２実施形態である接着装置及びこれを用いた接着方法を説明するための図である（その３）。 図１３は、本発明の第２実施形態である接着装置及びこれを用いた接着方法を説明するための図である（その４）。 図１４は、本発明の第２実施形態である接着装置及びこれを用いた接着方法を説明するための図である（その５）。 図１５は、本発明の第２実施形態である接着装置及びこれを用いた接着方法を説明するための図である（その６）。

次に、本発明の実施の形態について図面と共に説明する。

図３乃至図７は、本発明の第１実施形態である接着装置及びこれを用いた接着方法を説明するための図である。本実施形態では、第１パネル１１と第２パネル１２を接着剤３０により接着する接着方法及び接着装置について説明する。この第１及び第２パネル１１，１１は、例えば電子ペーパーに代表される柔軟基材を用いた液晶表示パネル同士、或いは液晶表示パネルと紫外線カットフィルム等の機能基材である。以下説明する実施形態では、第１及び第２パネル１１，１２がいずれも柔軟基材を用いた液晶パネルである例について説明する。

図９（Ａ）は、第１及び第２パネル１１（総称する場合は、パネル１１，１２という）を示している。パネル１１，１２は、図９（Ａ）に示すように、液晶表示面４１の外周四辺に夫々電極端子４２を有している。

電極端子４２は、外部接続基板に接続されるものである。このため、電極端子４２に接着剤３０が付着すると接続不良が発生するおそれがある。このため、図９（Ｂ）に示すように本実施形態では電極端子４２上にシール壁４３を配設し、電極端子４２に接着剤３０が付着するのを防止している。

また、図９（Ａ）に示すように、パネル１１，１２の四隅位置には電極端子４２が配設されないため、この位置に接着剤排出部４４が形成されている。後述するように、パネル１１，１２を回転させた際、余剰となった接着剤３０が気泡４５と共に接着剤排出部４４からパネル１１，１２の外部に排出される。

尚、シール壁４３の厚さは、パネル１１，１２の間に配設される接着剤３０の厚さに対応して設定される。また、シール壁４３はパネル１１，１２の双方に設けても、又はいずれか一方に設けることとしても良い。この選択も、パネル１１，１２の間に配設される接着剤３０の厚さにより決定される。

次に、図３を用いて第１実施形態である接着装置１０Ａについて説明する。接着装置１０Ａは、下側装着台１５Ａ、上側装着台１６Ａ、モータ１７、及び加圧装置１９等を有している。

下側装着台１５Ａ（請求項に記載の第１の装着部に相当する）は、下側基台２０Ａ及び下側パネル吸着部材２２を有している。第１パネル１１は、この下側装着台１５Ａに装着される。下側基台２０Ａは円盤状の基台であり、その下部には接続部２５が設けられている。この接続部２５は、モータ１７の回転軸２４に接続されている。従って、下側装着台１５Ａは、モータ１７が駆動することにより回転する。

下側パネル吸着部材２２は下側基台２０Ａ上に設けられており、その配設位置は第１パネル１１の装着位置の中央位置及びこれより外側位置に設定されている。本実施形態では、各下側パネル吸着部材２２は同一構成とされており、よって下側基台２０Ａからの高さも等しく設定されている。

また、各下側パネル吸着部材２２は図示しない真空吸引装置に接続されており、各下側パネル吸着部材２２の先端部は第１パネル１１を吸引することにより吸着できる構造となっている。第１パネル１１は、各下側パネル吸着部材２２に吸着されることにより、下側装着台１５Ａに装着される。

上側装着台１６Ａ（請求項に記載の第２の装着部に相当する）は、上側基台２１Ａ及び上側パネル吸着部材２３を有している。第２パネル１２は、この上側装着台１６Ａに装着される。上側基台２１Ａは円盤状の基台であり、その上部には回転従動部２６が設けられている。尚、回転従動部２６及び前記のモータ１７は、請求項に記載の回転装置に相当する。

回転従動部２６は、加圧装置１９の構成要素である昇降アーム２７に接続されている。この回転従動部２６は、上側装着台１６Ａを昇降アーム２７に対して回転可能に軸承する軸承部として機能する。即ち、上側装着台１６Ａは、回転従動部２６により昇降アーム２７に対して回転可能に支持されている。

上側パネル吸着部材２３は上側基台２１Ａ上に設けられており、その配設位置は第２パネル１２の中央位置及びそれより外側の位置に設定されている。本実施形態では、各上側パネル吸着部材２３は同一構成とされており、よって上側基台２１Ａからの高さも等しく設定されている。

また、各上側パネル吸着部材２３は、下側パネル吸着部材２２と同様に図示しない真空吸引装置に接続されており、各上側パネル吸着部材２３の先端部は第２パネル１２を吸引することにより吸着できる構造となっている。第２パネル１２は、各上側パネル吸着部材２３に吸着されることにより、上側装着台１６Ａに装着される。

加圧装置１９は、昇降装置１８（請求項に記載の昇降部に相当する）及び昇降アーム２７を有している。前記のように、昇降アーム２７は回転従動部２６を介して上側装着台１６Ａを支持している。昇降装置１８は、この昇降アーム２７を例えば数値制御により図中矢印Ｚ１，Ｚ２方向に移動させる機能を奏する。尚、図中矢印Ｚ１方向が下方向であり、図中矢印Ｚ２方向が上方向である。

昇降装置１８は、内部にモータ或いはリニアアクチュエータ等の駆動装置を有している。昇降アーム２７は、この駆動装置に駆動されることによりＺ１，Ｚ２方向に昇降動作する。この際、前記ように昇降アーム２７には回転従動部２６を介して上側装着台１６Ａが支持されているため、昇降アーム２７の昇降に伴い上側装着台１６Ａも昇降動作する（Ｚ１，Ｚ２方向に移動する）。

これに対し、前記した下側装着台１５Ａ及びモータ１７は固定されている。従って、昇降装置１８が駆動した場合、上側装着台１６Ａは下側装着台１５Ａに対して昇降する。上側装着台１６Ａが下側装着台１５Ａに対して最も離間した位置は、各装着台１５Ａ，１６Ａに各パネル１１．１２を容易に装着でき、また接着剤３０を第１パネル１１上に容易に配設できる位置に設定されている。また、上側装着台１６Ａが下側装着台１５Ａに最も近接した位置は、一対のパネル１１，１２の離間距離が後述する「目標膜厚」となる位置に設定されている。

次に、上記構成とされた接着装置１０Ａを用いて第１パネル１１と第２パネル１２を背着する接着方法について説明する。

パネル１１，１２を接着するには、先ず加圧装置１９により上側装着台１６ＡをＺ２方向に移動させ、上側装着台１６Ａを下側装着台１５Ａから離間した位置に移動させる。この状態において、下側パネル吸着部材２２に第１パネル１１を吸着させると共に、上側パネル吸着部材２３に第２パネル１２を吸着させる。

これにより、第１パネル１１は下側装着台１５Ａに装着され、第２パネル１２は上側装着台１６Ａに装着される。この際、各パネル１１，１２の中央位置が下側装着台１５Ａ及び上側装着台１６Ｂの回転中心線（図中、矢印Ｍで示す一点鎖線）と一致するよう装着される。図３は、第１パネル１１及び第２パネル１２が下側装着台１５Ａ及び上側装着台１６Ａに装着された状態を示している。

パネル１１，１２の装着処理が終了すると、続いて第１パネル１１上に接着剤３０が配設される。本実施形態では、接着剤３０として粘度20mPa・sの接着剤を使用している。また、接着剤３０の配設位置は、第１パネル１１の中央位置（回転中心線Ｍの通る位置）に選定されている。図４は、接着剤３０の配設処理が終了した状態を示している。

接着剤３０の配設処理が終了すると、加圧装置１９が起動され、昇降装置１８は昇降アーム２７を下降させる（Ｚ１方向に移動させる）。前記のように、上側装着台１６Ａは昇降アーム２７に支持されている。このため、昇降アーム２７が下降することにより、上側装着台１６Ａも下降する（Ｚ１方向に移動する）。

やがて第２パネル１２は接着剤３０に接触し、その後に上側装着台１６Ａが更に下降することにより接着剤３０は加圧される。この加圧力により、接着剤３０はパネル１１，１２の中央位置から外側に向け押し広げられる。図５は、上側装着台１６Ａの下降に伴い第２パネル１２が接着剤３０を加圧し、接着剤３０が押し広げられている状態を示している。

ここで、第２パネル１２が接着剤３０に接触した時刻をT0とし、また第２パネル１２が接着剤３０に接触した後の上側装着台１６Ａの下降量を押し込み量というものとする。

時刻T0以降も、上側装着台１６Ａは下降を続ける。よって、押し込み量は漸次増大し、これに伴い接着剤３０はパネル１１，１２間を外側に向け流れてゆく（拡散してゆく）。この際、接着剤３０内に含まれている気泡も接着剤３０の流れに伴いパネル１１，１２の外側に向け移動してゆく。

この上側装着台１６Ａの下降に伴う接着剤３０に対する加圧処理を開始した後、モータ１７を駆動して下側装着台１５Ａを回転させる。第１パネル１１は下側パネル吸着部材２２に吸引されているため、下側装着台１５Ａの回転に伴い回転する。また、前記のように上側装着台１６Ａは回転従動部２６により昇降アーム２７に回転自在に軸承されており、この上側装着台１６Ａには第２パネル１２が吸着されている。更に、第１パネル１１と第２パネル１２との間には接着剤３０が介在している。

よって、下側装着台１５Ａが回転することによりこの回転は上側装着台１６Ａにも伝達され、上側装着台１６Ａは下側装着台１５Ａに従動して回転する。これにより、パネル１１，１２は、モータ１７により回転される。このように、モータ１７の回転によりパネル１１，１２が回転すると、接着剤３０には遠心力が作用する。よって、接着剤３０はこの遠心力によりパネル１１，１２の外側に向け移動する。図６は、接着剤３０に対し加圧を行いつつ、パネル１１，１２を回転させている状態を示している。

本実施形態では、時刻T0から所定時間が経過した時刻T1にモータ１７を起動することとしている。図８は、本実施形態における時間の経過に伴う、上側装着台１６Ａの下降に伴う接着剤３０に対する押し込み量と、モータ１７の回転数との関係を示している。同図に示すように、本実施形態では接着剤３０に対する加圧を開始した時刻T0より所定時間（例えば、１秒）が経過した時刻T1においてモータ１７を起動している。よって時刻T1以降は、接着剤３０に対して上側装着台１６Ａの下降に伴う加圧と、各装着台１５Ａ，１６Ａの回転に伴う接着剤３０への遠心力の印加が共に行われる。

各装着台１５Ａ，１６Ａ（モータ１７）の回転数は、第１の回転数となる500rpmまで急速に加速された後、500rpmの定速回転とされる。即ち、時刻T1から時刻T2までの約１秒の間に各装着台１５Ａ，１６Ａの回転数は500rpmまで加速され、その後は500rpmの定速回転となる。

この定速回転の間も加圧装置１９は下降を続けており、よってこの間においても接着剤３０の押し込み量は漸次増大する。よって、定速回転の間（図８中、時刻T2〜T3の間）は、接着剤３０は主に上側装着台１６Ａの下降による加圧力により押し広げられ、各装着台１５Ａ，１６Ａの回転による遠心力は接着剤３０を押し広げる補助的な力として作用する。

この際、上側装着台１６Ａの下降による接着剤３０の広がり速度（Ｖ１）と、モータ１７の回転に伴う遠心力による広がり速度（Ｖ２）との関係は、Ｖ１＞Ｖ２の関係で、なるべく値が近いことが望ましい。本実施形態では、粘度が20mPa・sの接着剤３０を用い、上側装着台１６Ａの下降速度を10μｍ/s、モータ１７の回転速度を上記のように500rpmとした。

上側装着台１６Ａの下降による加圧力により、パネル１１，１２間の接着剤３０の膜厚が想定した既定膜厚まで加圧されると、モータ１７の回転数を500rpm（第１の回転）よりも速い1500rpm（第２の回転）に変化させる。ここで、「想定した既定膜厚」とは、接着処理の終了後における最終的な接着剤３０の膜厚（目標膜厚という。本実施形態では10μｍ）に対し、これよりも大きい厚さ（既定膜厚という。本実施形態では15μｍ）である。

仮に従来の加圧による方法（図１参照）のように、上側装着台１６Ａの下降だけで接着剤３０を加圧して押し広げる方法では、加圧開始初期においてはパネル１１，１２間の距離は離間して接着剤３０の流れ抵抗が低いため、接着剤３０のパネル１１，１２間での押し広げ処理は容易に行われるが、パネル１１，１２間の離間距離が所定値より小さくなると流れ抵抗が増大する。この流れ抵抗が増大する離間距離を「既定膜厚」という。接着剤３０をこの「既定膜厚」から「目標膜厚」までの加圧処理するに多大の時間を要する。

これに対して本実施形態に係る接着方法では、パネル１１，１２間の接着剤３０の厚さが「既定膜厚」となると、モータ１７の回転数を500rpm（第１の回転）から1500rpm（第２の回転）に変化され、これにより接着剤３０に作用する遠心力は増大する。よって、接着剤３０は主に各装着台１５Ａ，１６Ａの回転による遠心力で外側に向け流れることとなる。従って本実施形態による方法によれば、接着剤３０の膜厚が「既定膜厚」になった後、「目標膜厚」となるまでの時間を短縮することができる。

一方、上側装着台１６Ａの下降に伴い、パネル１１，１２間の接着剤３０の膜厚が「目標膜厚」となると、加圧装置１９は昇降アーム２７の下降を停止させる。これにより、上側装着台１６Ａの下降も停止され、よって上側装着台１６Ａの下降に伴う接着剤３０への加圧は停止される。尚、パネル１１，１２間の接着剤３０の膜厚が想定した既定膜厚となった時刻をT3とし、上側装着台１６Ａの下降が停止された時刻をT4とし、各装着台１５Ａ，１６Ａ（モータ１７）の回転数が1500rpm（第２の回転）となった時刻をT5とする。

加圧装置１９は、時刻T4以降もパネル１１，１２の離間距離が「目標膜厚」となる位置に上側装着台１６Ａを保持し、またモータ１７は速い回転数（1500rpmの回転）を維持する。よって、パネル１１，１２の高速回転による遠心力で、残留気泡４５及び余剰な接着剤３０はパネル１１，１２の外周部に移動し、前記した接着剤排出部４４からパネル外部に排出される。よって、接着剤３０内に気泡４５が残留することを有効に防止することができる。図７は、各装着台１５Ａ，１６Ａの高速回転により、パネル１１，１２が対向する全領域に接着剤３０が目標膜厚で配設された状態を示している。

このように接着剤３０が目標膜厚で配設されるとモータ１７が停止され（図８に示す時刻T6）、その後各装着台１５Ａ，１６Ａの回転が完全に停止した時点（図８に示す時刻T7）で各パネル吸着部材２２，２３に対する真空吸引を停止する。そして加圧装置１９を駆動して上側装着台１６Ａを上昇させた後、目標膜厚の接着剤３０が配設されたパネル１１，１２を接着装置１０Ａから取り出す。以上一連の処理により、パネル１１，１２間に接着剤３０を配設する接着処理が終了する。

上記のように、本実施形態に係る接着装置１０Ａ及びこれを用いた接着方法を用いることにより、パネル１１，１２間に短時間で目標膜厚の接着剤３０を配設することができる。具体的には、同種の接着剤及び同形のパネル１１，１２を用いた場合に比べ、従来180秒必要であった接着剤の配設時間が本実施形態では30秒となり、よって150秒の短縮を図ることができる。また、接着剤３０内に気泡４５が残存することを有効に防止することができた。

また、図９を用いて説明したように、パネル１１，１２のシール壁４３にはシール壁４３が設けられており、かつパネル１１，１２の四隅位置におけるシール壁４３には接着剤排出部４４が形成されている。よって、上記の接着剤３０に対する加圧処理及び遠心力の作用により接着剤３０がパネル１１，１２の外周位置（電極端子４２の形成位置）に達しても、電極端子４２はシール壁４３に保護されており接着剤３０が付着するようなことはない。また、余剰な接着剤３０は、パネル１１，１２の外周部に移動し接着剤排出部４４からパネル１１，１２の外部に排出される。よって、電極端子４２が接着剤３０で汚染されることはなく、電極端子４２が他の配線と接続される際の電気的接続の信頼性を高めることができる。

また、残留気泡４５及び余剰な接着剤３０は、パネル１１，１２の外周部に移動し接着剤排出部４４からパネル１１，１２の外部に排出される。また、本実施形態では接着剤３０に対して加圧と共に遠心力を付与するため、加圧時において小径の気泡もパネル１１，１２の外周に押し出される。このため、遠心力を用いて接着処理を行ってもパネル１１，１２の中央位置に気泡が集まる現象の発生を防止することができる。

次に、本発明の第２実施形態について説明する。

図１０乃至図１５は、第２実施形態である接着装置１０Ｂ及びこれを用いた接着方法を説明するための図である。尚、図１０乃至図１５において、図３乃至図９に示した第１実施形態に係る接着装置１０Ａと対応する構成については、同一符号を付してその説明を省略する。

先ず、図１０を用いて第２実施形態である接着装置１０Ｂについて説明する。接着装置１０Ｂは、接着装置１０Ａと基本的な構成は同一である。しかしながら、第１実施形態である接着装置１０Ａは各装着台１５Ａ，１６Ａの各基台２０Ａ，２１Ａに設けられた各パネル吸着部材２２，２３が同一構成であったのに対し、第２実施形態では中央に位置する可動下側パネル吸着部材２８及び可動上側パネル吸着部材２９が、その外側に位置する各パネル吸着部材２２，２３と異なる構造とされている。以下、これについて説明する。

下側装着台１５Ｂは、下側基台２０Ｂ、下側パネル吸着部材２２、及び可動下側パネル吸着部材２８を有している。可動下側パネル吸着部材２８は下側基台２０Ｂの中央位置に設けられており、下側パネル吸着部材２２は可動下側パネル吸着部材２８の配設位置よりも外側に配設されている。下側パネル吸着部材２２は下側基台２０Ｂに固定されており、その下側基台２０Ｂからの高さは一定の高さとされている。

これに対して本実施形態では、可動下側パネル吸着部材２８は図示しない昇降機構が設けられており、よって可動下側パネル吸着部材２８は下側基台２０Ｂに対して図中矢印Ｚ１，Ｚ２方向に移動可能とされている。この昇降機構により、可動下側パネル吸着部材２８は、下側基台２０Ｂに対して下側パネル吸着部材２２と同じ第１の高さ位置と、これより低い（下側基台２０Ｂに近い）第２の高さ位置との間で移動する。尚、図１０は、下側パネル吸着部材２２及び可動下側パネル吸着部材２８の下側基台２０Ｂからの高さが同一とされた状態を示している。

また、下側パネル吸着部材２２及び可動下側パネル吸着部材２８は、図示しない真空吸引装置に接続されている。よって、下側パネル吸着部材２２及び可動下側パネル吸着部材２８の先端部は、第１パネル１１を吸引することにより吸着できる構造となっている。第１パネル１１は、下側パネル吸着部材２２及び可動下側パネル吸着部材２８に吸着されることにより下側装着台１５Ｂに装着される。また、可動下側パネル吸着部材２８の先端部には吸着ノズル２８ａが設けられており、この吸着ノズル２８ａの第１パネル１１を吸着する面積は、下側パネル吸着部材２２が第１パネル１１を吸着する面積よりも広く設定されている。

一方、上側装着台１６Ｂは、上側基台２１Ｂ、上側パネル吸着部材２３、及び可動上側パネル吸着部材２９を有している。可動上側パネル吸着部材２９は上側基台２１Ｂの中央位置に設けられており、上側パネル吸着部材２３は可動上側パネル吸着部材２９の配設位置よりも外側に配設されている。上側パネル吸着部材２３は上側基台２１Ｂに固定されており、その上側基台２１Ｂからの高さは一定の高さとされている。

これに対して本実施形態では、可動上側パネル吸着部材２９は図示しない昇降機構が設けられており、よって可動上側パネル吸着部材２９は上側基台２１Ｂに対して図中矢印Ｚ１，Ｚ２方向に移動可能とされている。この昇降機構により、可動上側パネル吸着部材２９は、上側基台２１Ｂに対して上側パネル吸着部材２３と同じ第１の高さ位置と、これより低い（上側基台２１Ｂに近い）第２の高さ位置との間で移動する。尚、図１０は、上側パネル吸着部材２３及び可動上側パネル吸着部材２９の上側基台２１Ｂからの高さが同一とされた状態を示している。

また、上側パネル吸着部材２３及び可動上側パネル吸着部材２９は、図示しない真空吸引装置に接続されている。よって、上側パネル吸着部材２３及び可動上側パネル吸着部材２９の先端部は、第２パネル１２を吸引することにより吸着できる構造となっている。第２パネル１２は、上側パネル吸着部材２３及び可動上側パネル吸着部材２９に吸着されることにより上側装着台１６Ｂに装着される。また、可動上側パネル吸着部材２９の先端部には吸着ノズル２９ａが設けられており、この吸着ノズル２９ａの第２パネル１２を吸着する面積は、上側パネル吸着部材２３が第２パネル１２を吸着する面積よりも広く設定されている。

尚、上記の昇降機構は、可動下側パネル吸着部材２８，可動上側パネル吸着部材２９をＺ１，Ｚ２方向に移動できるものであれば、その構成を特に限定されるものではない（例えば、モータ或いはアクチュエータ等を駆動源とする昇降機構が考えられる）。

次に、上記構成とされた接着装置１０Ｂを用いて第１パネル１１と第２パネル１２を接着する接着方法について説明する。以下の接着方法の説明においても、第１実施形態で説明した接着方法と異なる処理を主に説明し、同一である処理については適宜その説明を省略する。

パネル１１，１２を接着するには、先ず加圧装置１９により上側装着台１６ＡをＺ２方向に移動させ、上側装着台１６Ａを下側装着台１５Ａから離間した位置に移動させる。これと同時に、下側装着台１５Ａにおいては可動下側パネル吸着部材２８の下側基台２０Ｂからの高さを下側パネル吸着部材２２の高さと同一となるよう昇降機構により移動させる。また、下側装着台１６Ａにおいては可動上側パネル吸着部材２９の上側基台２１Ｂからの高さを上側パネル吸着部材２３の高さと同一となるよう昇降機構により移動させる。

この状態において、下側パネル吸着部材２２及び可動下側パネル吸着部材２８に第１パネル１１を吸着させると共に、上側パネル吸着部材２３及び可動上側パネル吸着部材２９に第１パネル１１を吸着させる。前記のように、下側パネル吸着部材２２と可動下側パネル吸着部材２８の高さ、及び上側パネル吸着部材２３と可動上側パネル吸着部材２９の高さは等しくなっているため、吸着された状態において各パネル１１，１２は水平な状態となる。

このように、第１パネル１１は下側装着台１５Ａに装着され、第２パネル１２は上側装着台１６Ａに装着される。この際、各パネル１１，１２の中央位置が下側装着台１５Ａ及び上側装着台１６Ｂの回転中心線（図中、矢印Ｍで示す一点鎖線）と一致するよう装着される。図１０は、第１パネル１１及び第２パネル１２が下側装着台１５Ａ及び上側装着台１６Ａに装着された状態を示している。

上記のように装着台１５Ａ，１６Ａにパネル１１，１２が装着されると、下側装着台１５Ｂにおいては昇降機構により可動下側パネル吸着部材２８をＺ１方向に移動させ、また上側装着台１６Ｂにおいては昇降機構により可動上側パネル吸着部材２９をＺ２方向に移動させる。この可動下側パネル吸着部材２８及び可動上側パネル吸着部材２９の移動処理は、パネル１１，１２の吸着処理を実施しつつ行う。

一方、前記のようにパネル１１，１２は、柔軟基材を用いた液晶表示パネルであるため可撓変形を行いうるものである。また、パネル１１，１２の外周位置はパネル吸着部材２２，２３に吸着されているため、その基台２０Ｂ，２１Ｂからの高さはパネル吸着部材２２，２３の高さとなっている。

この状態において、第１パネル１１の中央位置は、可動下側パネル吸着部材２８によりＺ１方向に移動付勢される。可動下側パネル吸着部材２８がＺ１方向に移動することにより、第１パネル１１は撓んで中央部分に図中下側（Ｚ１方向側）に凸のすり鉢状の窪みが形成される。

また、第２パネル１２の中央位置は、可動上側パネル吸着部材２９によりＺ２方向に移動付勢される。可動上側パネル吸着部材２９がＺ２方向に移動することにより、第２パネル１２は撓んで中央部分に図中上側（Ｚ２方向側）に凸のすり鉢状の窪みが形成される。

この際、可動下側パネル吸着部材２８の先端部には下側パネル吸着部材２２よりも吸着面積が広い吸着ノズル２８ａが設けられ、同様に可動上側パネル吸着部材２９の先端部には上側パネル吸着部材２３よりも吸着面積が広い吸着ノズル２９ａが設けられている。このように、吸着面積が広い吸着ノズル２８ａ，２９ａを設けることにより、一つのパネル吸着部材２８，２９で確実にパネル１１，１２を撓ませることができる。尚、可動下側パネル吸着部材２８，２９のパネル吸着部材２２，２３の先端部からの移動量は、例えば50μｍ（中央位置での離間距離100μｍ）とされている。

このように、一対のパネル１１，１２の中央位置を互いに離間する方向に移動させて膨らますことにより、図１１に示すように第１パネル１１と第２パネル１２との間には、中央が広く開いた形状の空間部が形成される。以下の説明において、この空間部を接着剤溜り４７というものとする。

上記のように、第１パネル１１と第２パネル１２との間に接着剤溜り４７が形成されると、この接着剤溜り４７に接着剤３０が配設される。図１２は、接着剤溜り４７に接着剤３０が配設された状態を示している。本実施形態では、各パネル１１，１２の中央が相反する方向に撓んでいるため、各パネル１１，１２間に第１実施形態に比べて多い量の接着剤３０を配設することができる。

尚、本実施形態においても、接着剤３０として粘度20mPa・sの接着剤を使用している。また、第１パネル１１は中央位置が下に凸の形状とされているため、接着剤３０は自重により流れて第１パネル１１の中央位置（回転中心線Ｍの通る位置）に位置している。

接着剤３０の配設処理が終了すると、加圧装置１９が起動され、昇降装置１８は昇降アーム２７を下降させ、これに伴い上側装着台１６Ａを下降させる。そして、この下降に伴い、第１パネル１１の外周の電極端子４２上に配設されたシール壁４３（図９参照）に対し、第２パネル１２の外周の電極端子４２上に配設されたシール壁４３を密着させ、リークがない程度に加圧する。

このとき、パネル１１，１２同士は、中央部がタイコ状となっており、その内部に接着剤が溜った状態となっている。図１３は、各パネル１１，１２のシール壁４３がリークがない程度に加圧された状態を示している。また、本実施形態では、加圧状態におけるシール壁４３の厚さは、前記した「既定膜厚」となるよう設定されている。

次に、下側装着台１５Ｂでは昇降機構により可動下側パネル吸着部材２８が図中上方向（Ｚ２方向）に低速で移動され、これと共に上側装着台１６Ｂでは昇降機構により可動上側パネル吸着部材２９が図中下方向（Ｚ１方向）に低速で移動される。このように、昇降機構により可動下側パネル吸着部材２８と可動上側パネル吸着部材２９が互いの距離を近接させる方向に移動することにより、各パネル１１，１２間に配設された接着剤３０は加圧される。そして、接着剤３０はこの加圧力により、パネル１１，１２の外側に向けゆっくりと移動を開始する。

本実施形態においても、図８を用いて説明したと同様の押し込み量制御及びモータ１７の回転制御を行う。但し、前記した第１実施形態では上側装着台１６Ｂ全体を加圧装置１９により下降することにより接着剤３０に加圧を行う方法を用いたが、本実施形態では可動下側パネル吸着部材２８及び可動上側パネル吸着部材２９を移動させることにより接着剤３０を加圧する方法を用いている。

可動下側パネル吸着部材２８及び可動上側パネル吸着部材２９（双方を総称する場合は、可動パネル吸着部材２８，２９という）が移動を開始し、接着剤３０を加圧し始めた時刻をT0とし、また各可動パネル吸着部材２８，２９の移動量の総和を押し込み量というものとする。

時刻T0以降、可動パネル吸着部材２８，２９は互いに近接する方向への移動を続ける。よって、押し込み量は漸次増大し、これに伴い接着剤３０は加圧されてパネル１１，１２間を外側に向け流れてゆく（拡散してゆく）。この際、接着剤３０内に含まれている気泡も接着剤３０の流れに伴いパネル１１，１２の外側に向け移動してゆく。

本実施形態においても、可動パネル吸着部材２８，２９の移動に伴う接着剤３０に対する加圧処理を開始した後、モータ１７を駆動して各装着台１５Ａ，１６Ａを回転させ、これによりパネル１１，１２を回転させる。モータ１７の回転によりパネル１１，１２が回転すると、接着剤３０には遠心力が作用する。よって、接着剤３０はこの遠心力によりパネル１１，１２の外側に向け移動する。図１４は、接着剤３０に対し加圧を行いつつ、パネル１１，１２を回転させている状態を示している。

本実施形態においても、時刻T0から所定時間が経過した時刻T1にモータ１７を起動することとしている。よって時刻T1以降は、接着剤３０に対して可動パネル吸着部材２８，２９の移動に伴う加圧と、各装着台１５Ａ，１６Ａの回転に伴う接着剤３０への遠心力の作用が共に行われる。

また、時刻T2から時刻T3の間は、500rpmの定速回転が行われるが、この間も可動パネル吸着部材２８，２９は近接する方向への移動を続けている。よって、この時刻T2から時刻T3の間においても接着剤３０の押し込み量は漸次増大する。従ってこの間は、接着剤３０は主に可動パネル吸着部材２８，２９の移動による加圧力により押し広げられ、遠心力は接着剤３０を押し広げる補助的な力として作用する。

可動パネル吸着部材２８，２９の移動による加圧力により、パネル１１，１２の中央位置における接着剤３０の膜厚が「既定膜厚」まで加圧されると、モータ１７の回転数を500rpm（第１の回転）よりも速い1500rpm（第２の回転）に変化させる。これにより、接着剤３０に作用する遠心力の大きさは増大する。

モータ１７の回転を速くした後は、接着剤３０は主に各装着台１５Ａ，１６Ａの回転による遠心力で外側に向け流れる。従って、本実施形態による方法によっても、接着剤３０の膜厚が「既定膜厚」になった後、「目標膜厚」となるまでの時間を短縮することができる。

また、可動パネル吸着部材２８，２９の移動に伴い、パネル１１，１２の中央部における接着剤３０の膜厚が「目標膜厚」となると、昇降機構は可動パネル吸着部材２８，２９の移動を停止させる。これにより、可動パネル吸着部材２８，２９の移動に伴う接着剤３０への加圧は停止される。

この状態において、図１５に示されるように下側パネル吸着部材２２と可動下側パネル吸着部材２８の高さ、及び上側パネル吸着部材２３と可動上側パネル吸着部材２９の高さは等しくなっており、よってパネル１１，１２は水平な状態となる。尚、本実施例においては、パネル１１，１２間の接着剤３０の膜厚が想定した既定膜厚となった時刻がT3、可動パネル吸着部材２８，２９の移動が停止された時刻がT4、各装着台１５Ａ，１６Ａ（モータ１７）の回転数が1500rpm（第２の回転）となった時刻がT5となる。

モータ１７は、時刻T4以降も速い回転数（1500rpmの回転）を維持する。よって、このパネル１１，１２の回転による遠心力で、残留気泡４５及び余剰な接着剤３０はパネル１１，１２の外周部に移動し、前記した接着剤排出部４４からパネル外部に排出される。よって、接着剤３０内に気泡４５が残留することを有効に防止することができる。図１５は、各装着台１５Ａ，１６Ａの高速回転により、パネル１１，１２が対向する全領域に接着剤３０が目標膜厚で配設された状態を示している。

このように接着剤３０が目標膜厚で配設されるとモータ１７が停止され（図８に示す時刻T6）、その後各装着台１５Ａ，１６Ａの回転が完全に停止した時点（図８に示す時刻T7）で各パネル吸着部材２２，２３及び可動パネル吸着部材２８，２９に対する真空吸引を停止する。そして加圧装置１９を駆動して上側装着台１６Ａを上昇させた後、目標膜厚の接着剤３０が配設されたパネル１１，１２を接着装置１０ｂから取り出す。以上一連の処理により、第２実施形態におけるパネル１１，１２間に接着剤３０を配設する接着処理が終了する。

上記のように、本実施形態においても、パネル１１，１２間に短時間で目標膜厚の接着剤３０を配設することができる。また、残留気泡４５及び余剰な接着剤３０は、接着剤排出部４４からパネル１１，１２の外部に排出されるため、電極端子４２が接着剤３０で汚染されることはなく、また余剰接着剤３０の除去と共にこれに含まれる気泡４５の除去を確実に行うことができる。

更に本実施形態では、接着剤３０に対する加圧を開始する前にパネル１１，１２を可動パネル吸着部材２８，２９を移動させることにより中央位置を膨らました接着剤溜り４７を形成し、この接着剤溜り４７に接着剤３０を配設した上でこの中央位置を可動パネル吸着部材２８，２９で加圧する方法を用いている。この方法によれば、パネル１１，１２が柔軟基材よりなる場合であっても、接着剤３０に遠心力を作用させた後に中央部に図２（Ｂ）に示したような膨らみが発生することを防止することができる。よって、接着剤３０の膜厚が均一な高品質の接着処理を行うことが可能となる。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上記した特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能なものである。

例えば、上記した各実施形態では、下側装着台１５Ａ，１５Ｂを固定し、上側装着台１６Ａ，１６Ｂを加圧装置１９により昇降させる構成としたが、下側装着台１５Ａ，１５Ｂ及び上側装着台１６Ａ，１６Ｂの双方を昇降させる構成とすることも可能である。

以上の説明に関し、更に以下の項を開示する。
（付記１）
一対の基板を接着剤を用いて接着する接着方法において、
前記接着剤を前記基板間に配設する配設工程と、
前記基板を加圧することにより、前記接着剤を加圧力により基板外側に向け押し広げる加圧工程と、
前記加圧の開始後に前記基板を回転させることにより、前記接着剤を遠心力により前記基板外側に向け広げる回転工程と
を有する接着方法。
（付記２）
前記加圧により前記接着剤が既定膜厚となったとき、前記基板の回転を第１の回転よりも速い第２の回転に変化させる付記１に記載の接着方法。
（付記３）
前記配設工程前に、前記一対の基板の中央位置を互いに離間する方向に移動させて膨らますことにより接着剤溜りを形成し、
前記配設工程では前記接着剤溜りに前記接着剤を配設する付記１又は２に記載の接着方法。
（付記４）
前記加圧により前記接着剤が目標膜厚となったとき、前記一対の基板に対する前記移動を停止させる付記３に記載の接着方法。
（付記５）
前記基板は柔軟性を有する材料よりなる付記１乃至４のいずれか一項に記載の接着方法。
（付記６）
前記基板は液晶パネルである付記１乃至５のいずれか一項に記載の接着方法。
（付記７）
第１及び第２の基板を接着剤を用いて接着する接着装置において、
前記第１の基板を装着する第１の装着部と、
前記第２の基板を装着する第２の装着部と、
前記第１の装着部又は第２の装着部の少なくも一方を移動させ、前記第１の基板と前記第２の基板との間に配設される前記接着剤を加圧する加圧装置と、
前記第１の装着部及び第２の装着部を回転させる回転装置と
を有する接着装置。
（付記８）
前記加圧装置は、
前記第１の装着部に対して前記第２の装着部を昇降させる昇降部を有する付記７記載の接着装置。
（付記９）
前記回転装置は、
前記第１の装着部を回転させるモータと、
前記第２の装着部を前記第１の装着部の回転に従動するよう回転支持する回転従属部とを有する付記７又は８記載の接着装置。
（付記１０）
前記第１及び第２の装着部は、
基台と、
前記第１及び第２の基板の中央位置を吸着する第１の吸着部と、
前記第１及び第２の基板の前記中央位置より外側位置を吸着する第２の吸着部とを有する付記７乃至９のいずれか一項に記載の接着装置。
（付記１１）
前記第２の吸着部は、前記基台に対して前記第１の吸着部と同じ第１の高さ位置と、これより低い第２の高さ位置との間で移動可能である付記１０に記載の接着装置。
（付記１２）
前記第２の吸着部の吸着部位の面積を、前記第１の吸着部の吸着部位の面積よりも広くしてなる付記１０又は１１記載の接着装置。
（付記１３）
前記吸着は、真空吸着である付記７乃至１２のいずれか一項に記載の接着装置。
（付記１４）
前記回転従属部は、前記昇降部に設けられた前記第２の装着部を回転可能に軸承する軸承部である付記９に記載の接着装置。

１０Ａ，１０Ａ 接着装置
１１ 第１パネル
１２ 第２パネル
１５Ａ，１５Ｂ 下側装着台
１６Ａ，１６Ｂ 上側装着台
１７ モータ
１８ 昇降装置
２０Ａ，２０Ｂ 下側基台
２１Ａ，２１Ｂ 上側基台
２２ 下側パネル吸着部材
２３ 上側パネル吸着部材
２６ 回転従動部
２７ 昇降アーム
２８ 可動下側パネル吸着部材
２９ 可動上側パネル吸着部材
３０ 接着剤
４１ 液晶表示面
４２ 電極端子
４３ シール壁
４４ 接着剤排出部
４５ 気泡
４７ 接着剤溜り

Claims (9)

1. 一対の基板を接着剤を用いて接着する接着方法において、
   前記接着剤を前記基板間に配設する配設工程と、
   前記基板を加圧することにより、前記接着剤を加圧力により基板外側に向け押し広げる加圧工程と、
   前記加圧の開始後に前記基板を回転させることにより、前記接着剤を遠心力により前記基板外側に向け広げる回転工程と
   を有する接着方法。
2. 前記加圧により前記接着剤が既定膜厚となったとき、前記基板の回転を第１の回転よりも速い第２の回転に変化させる請求項１に記載の接着方法。
3. 前記配設工程前に、前記一対の基板の中央位置を互いに離間する方向に移動させて膨らますことにより接着剤溜りを形成し、
   前記配設工程では前記接着剤溜りに前記接着剤を配設する請求項１又は２に記載の接着方法。
4. 前記加圧により前記接着剤が目標膜厚となったとき、前記一対の基板に対する前記移動を停止させる請求項３に記載の接着方法。
5. 第１及び第２の基板を接着剤を用いて接着する接着装置において、
   前記第１の基板を装着する第１の装着部と、
   前記第２の基板を装着する第２の装着部と、
   前記第１の装着部又は第２の装着部の少なくも一方を移動させ、前記第１の基板と前記第２の基板との間に配設される前記接着剤を加圧する加圧装置と、
   前記第１の装着部及び第２の装着部を回転させる回転装置と
   を有する接着装置。
6. 前記加圧装置は、
   前記第１の装着部に対して前記第２の装着部を昇降させる昇降部を有する請求項５記載の接着装置。
7. 前記回転装置は、
   前記第１の装着部を回転させるモータと、
   前記第２の装着部を前記第１の装着部の回転に従動するよう回転支持する回転従属部とを有する請求項５又は６記載の接着装置。
8. 前記第１及び第２の装着部は、
   基台と、
   前記第１及び第２の基板の中央位置を吸着する第１の吸着部と、
   前記基台に設けられ、前記第１及び第２の基板の前記中央位置より外側位置を吸着する第２の吸着部とを有する請求項５乃至７のいずれか一項に記載の接着装置。
9. 前記第２の吸着部は、前記基台に対して前記第１の吸着部と同じ第１の高さ位置と、これより低い第２の高さ位置との間で移動可能である請求項８に記載の接着装置。

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