JP2010263246A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. アゾールから選択される少なくとも一つを含む保護膜形成剤、
   ポリカルボン酸、ポリカルボン酸の塩、ビニル系ポリマー、スルホン酸、スルホン酸の塩及びアミドから選択される少なくとも一種を含む界面活性剤、
   酸化した金属を金属用研磨液に溶解させる酸化金属溶解剤、
   及び水を含有してなり、
   水又は水溶液によって希釈され、さらに金属の酸化剤と混合されて、前記保護膜形成剤を、金属の酸化剤、酸化金属溶解剤、保護膜形成剤、界面活性剤及び水の総量１００ｇに対して０．０００５ｍｏｌ以上０．０５ｍｏｌ以下含有し且つ前記界面活性剤を、金属の酸化剤、酸化金属溶解剤、保護膜形成剤、界面活性剤及び水の総量１００ｇに対して０．０１ｇ以上３ｇ以下含有する金属用研磨液とされることを特徴とする、
   金属研磨濃縮液。
2. 水によって重量で１０倍以上に希釈される請求項１に記載の金属研磨濃縮液。
3. 前記酸化金属溶解剤が、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、２−メチル酪酸、ｎ−ヘキサン酸、３，３−ジメチル酪酸、２−エチル酪酸、４−メチルペンタン酸、ｎ−ヘプタン酸、２−メチルヘキサン酸、ｎ−オクタン酸、２−エチルヘキサン酸、安息香酸、グリコール酸、サリチル酸、グリセリン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、マレイン酸、フタル酸、リンゴ酸、酒石酸及びクエン酸から選択される有機酸、該有機酸の塩、硫酸、硝酸、アンモニア、過硫酸アンモニウム、硝酸アンモニウム、塩化アンモニウム及びクロム酸からなる群より選択される少なくとも一つを含む酸化金属溶解剤である、請求項１又は２に記載の金属研磨濃縮液。
4. 前記水溶液が、酸化金属溶解剤、保護膜形成剤及び界面活性剤からなる群より選ばれる少なくとも１つの水溶液である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の金属研磨濃縮液。
5. 前記アゾールが、ベンゾトリアゾール及びトリルトリアゾールから選択される少なくとも一つである、請求項１〜４のいずれか１項に記載の金属研磨濃縮液。
6. 前記金属が、銅、銅合金、銅の酸化物及び銅合金の酸化物から選択される少なくとも一つである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の金属研磨濃縮液。
7. アゾールから選択される少なくとも一つを含む保護膜形成剤、
   ポリカルボン酸、ポリカルボン酸の塩、ビニル系ポリマー、スルホン酸、スルホン酸の塩及びアミドから選択される少なくとも一種を含む界面活性剤、
   酸化した金属を金属用研磨液に溶解させる酸化金属溶解剤、
   及び水を含有してなる金属研磨濃縮液を調製し、
   金属研磨濃縮液を水又は水溶液によって希釈し、さらに金属の酸化剤を配合して、前記保護膜形成剤を、金属の酸化剤、酸化金属溶解剤、保護膜形成剤、界面活性剤及び水の総量１００ｇに対して０．０００５ｍｏｌ以上０．０５ｍｏｌ以下含有し且つ前記界面活性剤を、金属の酸化剤、酸化金属溶解剤、保護膜形成剤、界面活性剤及び水の総量１００ｇに対して０．０１ｇ以上３ｇ以下含有する金属用研磨液とすることを特徴とする、
   金属用研磨液の調製方法。
8. 前記酸化金属溶解剤が、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、２−メチル酪酸、ｎ−ヘキサン酸、３，３−ジメチル酪酸、２−エチル酪酸、４−メチルペンタン酸、ｎ−ヘプタン酸、２−メチルヘキサン酸、ｎ−オクタン酸、２−エチルヘキサン酸、安息香酸、グリコール酸、サリチル酸、グリセリン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、マレイン酸、フタル酸、リンゴ酸、酒石酸及びクエン酸から選択される有機酸、該有機酸の塩、硫酸、硝酸、アンモニア、過硫酸アンモニウム、硝酸アンモニウム、塩化アンモニウム及びクロム酸からなる群より選択される少なくとも一つを含む酸化金属溶解剤である、請求項７に記載の金属用研磨液の調製方法。
9. 前記水溶液が、酸化金属溶解剤、保護膜形成剤及び界面活性剤からなる群より選ばれる少なくとも１つの水溶液である、請求項７又は８に記載の金属用研磨液の調製方法。
10. 前記アゾールが、ベンゾトリアゾール及びトリルトリアゾールから選択される少なくとも一つである、請求項７〜９のいずれか１項に記載の金属研研磨液の調製方法。
11. 前記金属が、銅、銅合金、銅の酸化物及び銅合金の酸化物から選択される少なくとも一つである、請求項７〜１０のいずれか１項に記載の金属研研磨液の調製方法。
12. 請求項７〜１１のいずれか１項に記載の金属用研磨液の調製方法により調製された金属用研磨液を使用して金属膜を研磨することを特徴とする金属研磨方法。