JP2010256862A - ミラーデバイス駆動制御装置およびプロジェクター - Google Patents
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Abstract
【課題】ミラーデバイスの起動時に、可動部の振れ角の設定時間を短縮できるミラーデバイス駆動制御装置の提供。
【解決手段】本発明は、ミラーデバイス1を駆動制御する駆動制御装置であって、駆動部2と、駆動信号発生部3と、振れ角検出部4と、制御部5とを備える。制御部5は、起動処理中に、振れ角検出部4の検出信号に基づいてミラーデバイス1の異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして検出し、うなり周波数を検出したときのミラーデバイスの駆動信号の周波数fと、うなり周波数fbと、に基づいて所定の周波数f1を求める。
【選択図】図1
【解決手段】本発明は、ミラーデバイス1を駆動制御する駆動制御装置であって、駆動部2と、駆動信号発生部3と、振れ角検出部4と、制御部5とを備える。制御部5は、起動処理中に、振れ角検出部4の検出信号に基づいてミラーデバイス1の異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして検出し、うなり周波数を検出したときのミラーデバイスの駆動信号の周波数fと、うなり周波数fbと、に基づいて所定の周波数f1を求める。
【選択図】図1
Description
本発明は、ミラーデバイスを駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置およびプロジェクターに関するものである。
従来、ミラーデバイスを1次元方向に回動(回転)させて光の走査を行う光スキャナ装置が知られている(例えば特許文献1参照)。
このミラーデバイスは、光が反射する反射面が形成されるミラー部と、このミラー部を両側から支持する一対の捩り振動部と、ミラー部および捩り振動部を囲む外枠と、一対の捩り振動部のミラー部とは反対側端部と外枠とを連結する連結部とを、1枚の板材にて形成したものである。
そして、このようなミラーデバイスでは、一対の捩り振動部の捩り振動により、ミラー部を、各捩り振動部と連結部との接続点を結ぶ回転軸を中心に回動させて、光を走査するようになっている。
このミラーデバイスは、光が反射する反射面が形成されるミラー部と、このミラー部を両側から支持する一対の捩り振動部と、ミラー部および捩り振動部を囲む外枠と、一対の捩り振動部のミラー部とは反対側端部と外枠とを連結する連結部とを、1枚の板材にて形成したものである。
そして、このようなミラーデバイスでは、一対の捩り振動部の捩り振動により、ミラー部を、各捩り振動部と連結部との接続点を結ぶ回転軸を中心に回動させて、光を走査するようになっている。
このような従来のミラーデバイスを、例えばプロジェクターに適用する場合において、その画角を大きくしようとすると、ミラーデバイスの可動部(ミラー部)が振れるときの振幅(振れ角)を大きくする必要がある。
このため、ミラーデバイスの起動時には、可動部の振れ角を大きな状態に設定することが望まれる。しかし、ミラーデバイスがヒステリシス特性(駆動周波数ヒステリシス)を有する場合には、その設定に時間がかかるという不具合がある。したがって、ミラーデバイスの起動時において、可動部の振れ角の設定時間の短縮を図ることが望まれる。
このため、ミラーデバイスの起動時には、可動部の振れ角を大きな状態に設定することが望まれる。しかし、ミラーデバイスがヒステリシス特性(駆動周波数ヒステリシス)を有する場合には、その設定に時間がかかるという不具合がある。したがって、ミラーデバイスの起動時において、可動部の振れ角の設定時間の短縮を図ることが望まれる。
そこで、本発明の幾つかの態様の目的は、ミラーデバイスの起動時において、可動部の振れ角の設定時間を短縮することができるミラーデバイス駆動制御装置およびプロジェクターを提供することにある。
上記の課題を解決し本発明の目的を達成するために、本発明の各態様は、以下のように構成される。
本発明装置の第1の態様は、ヒステリシス特性を有するミラーデバイスを駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置であって、前記ミラーデバイスを駆動信号により駆動する駆動部と、前記ミラーデバイスの可動部の変位を検出し、当該検出に応じた検出信号を生成して出力する検出部と、前記ミラーデバイスの起動処理を行う起動処理部と、を含み、前記起動処理部は、前記検出部の検出信号に基づいて前記可動部の異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして検出し、前記うなり周波数を検出したときの前記ミラーデバイスの駆動信号の周波数fと、前記うなり周波数fbと、に基づいて所定の周波数f1を求め、当該周波数f1の駆動信号で前記ミラーデバイスを再び駆動させる。
本発明装置の第1の態様は、ヒステリシス特性を有するミラーデバイスを駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置であって、前記ミラーデバイスを駆動信号により駆動する駆動部と、前記ミラーデバイスの可動部の変位を検出し、当該検出に応じた検出信号を生成して出力する検出部と、前記ミラーデバイスの起動処理を行う起動処理部と、を含み、前記起動処理部は、前記検出部の検出信号に基づいて前記可動部の異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして検出し、前記うなり周波数を検出したときの前記ミラーデバイスの駆動信号の周波数fと、前記うなり周波数fbと、に基づいて所定の周波数f1を求め、当該周波数f1の駆動信号で前記ミラーデバイスを再び駆動させる。
本発明装置の第2の態様は、第1の態様において、前記起動処理部は、前記駆動信号の周波数を駆動開始の周波数から駆動終了の周波数まで順次増加させて、前記駆動部で前記ミラーデバイスを駆動させる第1処理と、前記ミラーデバイスの駆動に併せて、前記駆動信号の周波数が増加されたときに、前記検出部の検出信号に基づき、前記可動部の異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして求める第2処理と、当該うなり周波数fbを求めたときの駆動信号の周波数fと前記うなり周波数fbとに基づいて所定の周波数f1を求め、当該周波数f1の駆動信号を使用して前記ミラーデバイスを再び駆動させる第3処理と
、を含む。
、を含む。
本発明装置の第3の態様は、第2の態様において、前記第1処理は、前記駆動信号の周波数を駆動開始の周波数から駆動終了の周波数まで所定周波数Δfずつ順次増加させて、前記駆動部で前記ミラーデバイスを駆動させ、前記第2処理は、前記ミラーデバイスの駆動に併せて、前記駆動信号の周波数が所定周波数Δfだけ増加された直後に、前記検出部の検出信号を所定間隔で複数個取り込み、当該複数個の検出信号に基づき、前記可動部の異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして求める。
本発明のプロジェクターの態様は、ミラーデバイス駆動制御装置を含むプロジェクターにおいて、前記ミラーデバイス駆動制御装置が上記の第1〜第3のうちの何れかの態様からなる。
このような構成の本発明の態様によれば、ミラーデバイスの起動時において、可動部の振れ角の設定時間を短縮できる。
このような構成の本発明の態様によれば、ミラーデバイスの起動時において、可動部の振れ角の設定時間を短縮できる。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
(装置の構成)
図1は、本発明のミラーデバイス駆動制御装置の実施形態の構成を示すブロック図である。
この実施形態は、ミラーデバイス1を駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置であって、図1に示すように、駆動部2と、駆動信号発生部3と、振れ角検出部(振幅検出部)4と、制御部5とを備えている。
(装置の構成)
図1は、本発明のミラーデバイス駆動制御装置の実施形態の構成を示すブロック図である。
この実施形態は、ミラーデバイス1を駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置であって、図1に示すように、駆動部2と、駆動信号発生部3と、振れ角検出部(振幅検出部)4と、制御部5とを備えている。
ミラーデバイス1は、図2に示すように、枠15と、枠15に対して可動する可動部11と、枠15と可動部11とを連結し、弾性変形可能な捩れ部13、14とを有している。この可動部11の上面には、光を反射するミラー部12が設けられている。ミラー部12は、例えば、Al、Ni等の金属膜で構成されている。可動部11の両端は、捩れ部13、14を介して枠15と接続されている。
そして、可動部11、捩れ部13、14および枠15は、例えば、シリコンを主材料として構成されていて、可動部11と、捩れ部13、14と、枠15とが一体的に形成されている。このように、シリコンを主材料とすることにより、優れた回動特性を実現できるとともに、優れた耐久性を発揮することができる。また、微細な処理(加工)が可能であり、ミラーデバイス1の小型化を図ることができる。
また、可動部11の下面には永久磁石16が設けられ、その永久磁石16の下側にコイル17が配置されている。そして、そのコイル17に交流電流を流すことにより、捩れ部13、14がその長さ方向と直交する方向に回動し、これにより可動部11とミラー部12が振れるようになっている。
そして、可動部11、捩れ部13、14および枠15は、例えば、シリコンを主材料として構成されていて、可動部11と、捩れ部13、14と、枠15とが一体的に形成されている。このように、シリコンを主材料とすることにより、優れた回動特性を実現できるとともに、優れた耐久性を発揮することができる。また、微細な処理(加工)が可能であり、ミラーデバイス1の小型化を図ることができる。
また、可動部11の下面には永久磁石16が設けられ、その永久磁石16の下側にコイル17が配置されている。そして、そのコイル17に交流電流を流すことにより、捩れ部13、14がその長さ方向と直交する方向に回動し、これにより可動部11とミラー部12が振れるようになっている。
このように構成されるミラーデバイス1は、例えば図3に示すようなヒステリシス特性を有している。この点について後述する。
駆動部2は、駆動信号発生部3の発生する駆動信号に基づいてミラーデバイス1を駆動する。駆動信号発生部3は、制御部5からの指示に従って所望の周波数の駆動信号を発生し、この発生した駆動信号を駆動部2に出力する。
駆動部2は、駆動信号発生部3の発生する駆動信号に基づいてミラーデバイス1を駆動する。駆動信号発生部3は、制御部5からの指示に従って所望の周波数の駆動信号を発生し、この発生した駆動信号を駆動部2に出力する。
振れ角検出部4は、ミラーデバイス1の可動部11の振れに応じた振幅(振れ角または変位)、言い換えるとミラー部12の振れに応じた振幅を検出する。この振れ角検出部4は、例えば複数のフォトダイオード(図示せず)の組み合わせからなり、光源(図示せず)からの光をミラーデバイス1のミラー部12で反射させてフォドダイオードで受光するようになっている。そして、そのフォトダイオードの受光に基づき、ミラーデバイス1の可動部11の振れに応じた振幅値を示す信号を出力するようになっている。
また、振れ角検出部4の他の構成としては、次のものが挙げられる。すなわち、振れ角検出部4は、ミラーデバイス1の捩れ部13上に設けられたピエゾ抵抗素子(図示せず)と、ピエゾ抵抗素子の抵抗値を検出する抵抗値検出部(図示せず)と、抵抗値検出部の検出結果に基づいて可動部11の振れに応じた振幅を求める(検知する)角度検知部(図示せず)とを有している。ピエゾ抵抗素子は、可動部11の回動に伴って捩れ部13が捩り変形することにより発生する応力によって、ピエゾ抵抗素子の抵抗値が変化する。ピエゾ抵抗素子は、外力が付与されていない自然状態から変形すると、その変形量に応じた抵抗値を示す。このため、角度検知部は、抵抗値検出部で検出された抵抗値の大きさに基づいて、捩れ部13の捩れの程度を求め、さらに、その捩れの程度から可動部11の振れに応じた振幅を求め、その振れに応じた振幅値を示す信号を出力する。
制御部5は、ミラーデバイス1を起動させて駆動制御を開始するのに先立ち、所定の手順で後述の起動処理などを行う(図5など参照)。このために、制御部5は、図示しないが、CPU、メモリなどを備えている。
制御部5は、ミラーデバイス1を起動させて駆動制御を開始するのに先立ち、所定の手順で後述の起動処理などを行う(図5など参照)。このために、制御部5は、図示しないが、CPU、メモリなどを備えている。
このような構成の実施形態は後述の起動処理を行うが、その起動処理は以下のような新たな知見を活用するので、この点について以下に説明する。
図2に示すようなミラーデバイス1を駆動する場合に、その駆動信号の周波数の変化に対するミラーデバイス1の可動部11の振れに応じた振幅(振れ角)の変化は、例えば図3に示すようなヒステリシス特性を有する。これは、ミラーデバイス1の材料または構造によるバネの非線形効果が現れるためである。
図2に示すようなミラーデバイス1を駆動する場合に、その駆動信号の周波数の変化に対するミラーデバイス1の可動部11の振れに応じた振幅(振れ角)の変化は、例えば図3に示すようなヒステリシス特性を有する。これは、ミラーデバイス1の材料または構造によるバネの非線形効果が現れるためである。
このため、駆動信号の周波数を徐々に上げていった場合には、ミラーデバイス1の可動部11の振幅は矢印aのように変化し、その振幅が最大になる駆動信号の周波数はf2となる。一方、駆動信号の周波数を徐々に下げていった場合には、ミラーデバイス1の可動部11の振幅は矢印bに示すように変化し、その振幅が最大になる駆動信号の周波数はf1となる。
このように、駆動信号の周波数を徐々に上げていった場合と下げていった場合とでは、振幅が最大になる駆動信号の周波数がf1とf2というように異なる(f1<f2)。
このように、駆動信号の周波数を徐々に上げていった場合と下げていった場合とでは、振幅が最大になる駆動信号の周波数がf1とf2というように異なる(f1<f2)。
ところで、図3に示すように、ミラーデバイス1の駆動信号の周波数がf2であって、ミラーデバイス1の可動部11の振幅が最大の状態(共振状態)にある場合などに、ミラーデバイス1の周囲の環境温度の変化などに起因して、その共振状態が駆動信号の周波数f2から外れる場合がある。この場合には、ミラーデバイス1の可動部11は異常振動となり、この異常振動は可動部11の振幅(振れ角)が急激に小さく変化するとともに、うなりが生じた状態となる。
このときのミラーデバイス1の可動部11の異常振動を観察すると、図4のような振動波形が得られ、この振動波形は振幅が急激に小さくなっていくとともに、うなりに対応する包絡線を含んでいる。
このときのミラーデバイス1の可動部11の異常振動を観察すると、図4のような振動波形が得られ、この振動波形は振幅が急激に小さくなっていくとともに、うなりに対応する包絡線を含んでいる。
そして、その包絡線の周波数をうなり周波数fbとし、うなりが生じたときの駆動信号の周波数をfとし、駆動信号の周波数を高い周波数から徐々に下げていったときのミラーデバイス1の可動部11の振幅(振れ角)の最大のときの周波数をf1とすれば(図4参照)、次の(1)式が成立するという知見を得た。
fb≒f−f1・・・(1)
また、(1)式を変形すると、(2)式が得られる。
fb≒f−f1・・・(1)
また、(1)式を変形すると、(2)式が得られる。
f1≒f−fb・・・(2)
そこで、本発明は、ミラーデバイス1の可動部11の異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして求めれば、うなりが生じたときの駆動信号の周波数fは予めわかっているので、(2)式により周波数f1を求めることができる。そこで、この求めた周波数f1を、後述のように活用するようにした。
そこで、本発明は、ミラーデバイス1の可動部11の異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして求めれば、うなりが生じたときの駆動信号の周波数fは予めわかっているので、(2)式により周波数f1を求めることができる。そこで、この求めた周波数f1を、後述のように活用するようにした。
(起動処理)
図5は、制御部5が行う起動処理の手順を示すフローチャートである。
この起動処理は、制御部5がミラーデバイス1を起動させて所定の駆動制御を開始するのに先立って行うものであり、その処理の概要は以下の通りである。
(1)ミラーデバイス1の駆動信号の周波数をfsからfpまで順次増加させて(図6参照)、駆動部2でミラーデバイス1を駆動させる。
(2)ミラーデバイス1の駆動に併せて、駆動信号の周波数が増加されたときに、振れ角検出部4の検出信号に基づき、ミラーデバイス1の異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして求める。
(3)うなり周波数fbを求めたときの駆動信号の周波数fとうなり周波数fbとに基づいて、(2)式により周波数f1を求め、この求めた周波数f1の駆動信号を使用してミラーデバイス1を再び駆動させ、ミラーデバイス1を駆動制御する際の可動部11の振幅の目標値(制御目標値)を設定する。
図5は、制御部5が行う起動処理の手順を示すフローチャートである。
この起動処理は、制御部5がミラーデバイス1を起動させて所定の駆動制御を開始するのに先立って行うものであり、その処理の概要は以下の通りである。
(1)ミラーデバイス1の駆動信号の周波数をfsからfpまで順次増加させて(図6参照)、駆動部2でミラーデバイス1を駆動させる。
(2)ミラーデバイス1の駆動に併せて、駆動信号の周波数が増加されたときに、振れ角検出部4の検出信号に基づき、ミラーデバイス1の異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして求める。
(3)うなり周波数fbを求めたときの駆動信号の周波数fとうなり周波数fbとに基づいて、(2)式により周波数f1を求め、この求めた周波数f1の駆動信号を使用してミラーデバイス1を再び駆動させ、ミラーデバイス1を駆動制御する際の可動部11の振幅の目標値(制御目標値)を設定する。
次に、起動処理の詳細について、図5および図6を参照して参照して説明する。
ステップS1では、駆動部2でミラーデバイス1を駆動する際の駆動信号の周波数fとして、駆動開始の周波数fsを設定する(図6参照)。ここで、駆動開始の周波数fsは、例えば8800〔Hz〕である。次に、制御部5からの指示に基づいて駆動信号発生部3では駆動開始の周波数fsの駆動信号が生成され、この駆動信号により駆動部2はミラーデバイス1を駆動する(ステップS2)。
前記ステップS1の周波数fsの値と、後述するステップS8の周波数fpの値はは、それぞれ、この起動処理を確実に行えるように、予め実験的に求める。
ステップS1では、駆動部2でミラーデバイス1を駆動する際の駆動信号の周波数fとして、駆動開始の周波数fsを設定する(図6参照)。ここで、駆動開始の周波数fsは、例えば8800〔Hz〕である。次に、制御部5からの指示に基づいて駆動信号発生部3では駆動開始の周波数fsの駆動信号が生成され、この駆動信号により駆動部2はミラーデバイス1を駆動する(ステップS2)。
前記ステップS1の周波数fsの値と、後述するステップS8の周波数fpの値はは、それぞれ、この起動処理を確実に行えるように、予め実験的に求める。
ステップS3では、うなり検出が完了しているか否かを判定する。この判定の結果、うなり検出が完了していないと判定された場合にはステップS4に進み、うなり検出が完了していると判定された場合にはステップS5に進む。
ここで、初めは、うなり検出が完了していないので、うなり検出の完了を示すフラグが、「0」になっており、うなり検出が完了すると、そのフラグを「1」に変更するようになっている。そして、ステップS3では、このうなり検出の完了を示すフラグに基づいて、うなり検出が完了しているが否かを判定する。なお、後述するステップS4でうなり検出を行った結果、ミラーデバイス1の可動部11で異常振動が生じており、うなり周波数fbを取得できた場合は、うなり検出が完了したことになり、前記フラグを「1」にする。一方、うなり周波数fbを取得できなかった場合は、うなり検出が完了しておらず、前記フラグを「0」のまま維持する。
ここで、初めは、うなり検出が完了していないので、うなり検出の完了を示すフラグが、「0」になっており、うなり検出が完了すると、そのフラグを「1」に変更するようになっている。そして、ステップS3では、このうなり検出の完了を示すフラグに基づいて、うなり検出が完了しているが否かを判定する。なお、後述するステップS4でうなり検出を行った結果、ミラーデバイス1の可動部11で異常振動が生じており、うなり周波数fbを取得できた場合は、うなり検出が完了したことになり、前記フラグを「1」にする。一方、うなり周波数fbを取得できなかった場合は、うなり検出が完了しておらず、前記フラグを「0」のまま維持する。
ステップS4では、図7に示すような手順でうなり検出を行うが、そのうなり検出の概要な以下の通りである。
すなわち、うなり検出は、ミラーデバイス1の駆動直後に、振れ角検出部4の検出信号に基づいて行う。このときに、ミラーデバイス1の可動部11で異常振動が生じていれば、振れ角検出部4の検出信号に基づいて、その異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして求める。そして、うなり周波数fbを求めたときの駆動信号の周波数fとうなり周波数fbとに基づいて、(2)式により周波数f1を求める(図6参照)。さらに、この求めた周波数f1をステップS10で設定するミラーデバイス1を再び駆動させるときの駆動信号の周波数としてメモリに記憶する。
すなわち、うなり検出は、ミラーデバイス1の駆動直後に、振れ角検出部4の検出信号に基づいて行う。このときに、ミラーデバイス1の可動部11で異常振動が生じていれば、振れ角検出部4の検出信号に基づいて、その異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして求める。そして、うなり周波数fbを求めたときの駆動信号の周波数fとうなり周波数fbとに基づいて、(2)式により周波数f1を求める(図6参照)。さらに、この求めた周波数f1をステップS10で設定するミラーデバイス1を再び駆動させるときの駆動信号の周波数としてメモリに記憶する。
ステップS5では、振れ角検出部4の検出信号に基づき、ミラーデバイス1の可動部11の振幅を検出する。ステップS6では、その検出したミラーデバイス1の可動部11の今回の振幅が、前回に検出した振幅よりも大きいか否かを判定する。この判定の結果、今回の振幅が前回の振幅よりも大きな場合にはステップS7に進み、今回の振幅が前回の振幅よりも小さな場合にはステップS8に進む。
ステップS7では、駆動信号の周波数とそれに対応する振幅値を、今回の駆動信号の周波数と振幅値にそれぞれ更新する。ステップS8では、今回の駆動信号の周波数fが、駆動停止の周波数fp以下であるか否かを判定する。この判定の結果、周波数fが周波数fp以下の場合にはステップS9に進む。ここで、駆動停止の周波数fpは、例えば9200〔Hz〕である。
ステップS9では、ミラーデバイス1の駆動信号の周波数fを所定周波数Δfだけ増加させ、ステップS2に戻る。ここで、所定周波数Δfは、例えば1〔Hz〕である。
ステップS2では、その新たな周波数(f=f+Δf)の駆動信号でミラーデバイス1を駆動させ、この駆動の後にステップS3〜S8の処理を行う。
ステップS2では、その新たな周波数(f=f+Δf)の駆動信号でミラーデバイス1を駆動させ、この駆動の後にステップS3〜S8の処理を行う。
そして、ステップS2〜S9の一連の処理を繰り返すことにより、ステップS8において、今回の駆動信号の周波数fが、駆動停止の周波数fp以下ではない場合には、次のステップS10に移行する。
ステップS10では、ミラーデバイス1を新たに駆動する駆動信号の周波数fとして、ステップS4で求めてメモリに記憶される周波数f1を設定する。
ステップS10では、ミラーデバイス1を新たに駆動する駆動信号の周波数fとして、ステップS4で求めてメモリに記憶される周波数f1を設定する。
次に、制御部5からの指示に基づいて駆動信号発生部3では新たな周波数f1の駆動信号が生成され、この駆動信号により駆動部2はミラーデバイス1を駆動する(ステップS11)。
ステップS12では、振れ角検出部4の検出信号に基づき、ミラーデバイス1の可動部11の振幅を検出する。ステップS13では、その検出振幅が、目標値に達したか否かを判定する。この判定の結果、検出振幅が目標値に達しない場合には、次のステップS14に進む。
ステップS14では、ミラーデバイス1の駆動信号の周波数fを所定周波数Δfだけ増加させ、ステップS11に戻る。ステップS11では、その新たな周波数(f=f+Δf)の駆動信号でミラーデバイス1を駆動させ、ステップS12、S13の処理を行う。
ステップS12では、振れ角検出部4の検出信号に基づき、ミラーデバイス1の可動部11の振幅を検出する。ステップS13では、その検出振幅が、目標値に達したか否かを判定する。この判定の結果、検出振幅が目標値に達しない場合には、次のステップS14に進む。
ステップS14では、ミラーデバイス1の駆動信号の周波数fを所定周波数Δfだけ増加させ、ステップS11に戻る。ステップS11では、その新たな周波数(f=f+Δf)の駆動信号でミラーデバイス1を駆動させ、ステップS12、S13の処理を行う。
そして、ステップS11〜S14の一連の処理を繰り返すことにより、ステップS13において、検出振幅が目標値に達したと判定された場合には、次のステップS15に移行する。ステップS15では、その検出振幅に基づいて制御目標値が設定される。その制御目標値は、起動処理の終了後に、ミラーデバイス1を駆動制御するときの可動部11の振幅の目標値またはこれに相当するものである。
(うなり検出)
次に、図5のステップS4のうなり検出の具体的な処理手順について、図7を参照して説明する。
このうなり検出は、ミラーデバイス1の駆動信号の周波数fを所定周波数Δfだけ増加した直後に行うものであり、以下のような処理手順からなる。
次に、図5のステップS4のうなり検出の具体的な処理手順について、図7を参照して説明する。
このうなり検出は、ミラーデバイス1の駆動信号の周波数fを所定周波数Δfだけ増加した直後に行うものであり、以下のような処理手順からなる。
ステップS21では、振れ角検出部4の検出信号に基づき、可動部11の振れに応じた振幅値を示すデータの取り込みを開始する。ステップS22ではその取り込んだデータをメモリに記憶(保存)する。ステップS23では、N個のデータを取得したか否を判定する。
このようなステップS21〜S23の一連の処理により、振れ角検出部4の検出信号に基づき、所定の時間間隔でN個のデータを取得し、この取得したN個のデータをメモリに記憶できる。
ステップS21〜S23の一連の処理でN個のデータを取得すると、次のステップS24に移行する。ステップS24では、その取得した可動部11の振れに応じた振幅値を示す、N個のデータに基づいてFFT(高速フーリエ変換)処理を行う。
このようなステップS21〜S23の一連の処理により、振れ角検出部4の検出信号に基づき、所定の時間間隔でN個のデータを取得し、この取得したN個のデータをメモリに記憶できる。
ステップS21〜S23の一連の処理でN個のデータを取得すると、次のステップS24に移行する。ステップS24では、その取得した可動部11の振れに応じた振幅値を示す、N個のデータに基づいてFFT(高速フーリエ変換)処理を行う。
ステップS25では、ステップS24におけるFFT処理に基づき、上述のうなり周波数fbを取得する。ステップS26では、うなり周波数fbを求めたときの駆動信号の周波数fとうなり周波数fbとに基づいて、(2)式により周波数f1を算出する(図6参照)。ステップS26では、その算出した周波数f1をミラーデバイス1を再び駆動させるときに駆動信号の周波数としてメモリに記憶(保存)する。
以上のように、実施形態の起動処理では、図5に示すように、ステップS2〜S9の処理では、ミラーデバイス1の駆動信号の周波数としてfs〜fpの範囲において、所定の周波数Δfが増加するたびに行うようにした。
以上のように、実施形態の起動処理では、図5に示すように、ステップS2〜S9の処理では、ミラーデバイス1の駆動信号の周波数としてfs〜fpの範囲において、所定の周波数Δfが増加するたびに行うようにした。
一方、その後のステップS11〜S14の処理では、ミラーデバイス1の駆動は周波数f1から開始するようにした。ここで、周波数f1が使用できない場合には、ミラーデバイス1の駆動周波数ヒステリシスのため、ステップS11〜S14の処理の開始の周波数が周波数f1よりも相当低い周波数(例えば図6に示すfsであり、周波数f1よりも2〜3%程度低い周波数)に設定する必要がある。
しかし、この実施形態では、ステップS11〜S14の処理を周波数f1から開始できるので、ステップS11〜S14の処理時間を大幅に短縮できる。
しかし、この実施形態では、ステップS11〜S14の処理を周波数f1から開始できるので、ステップS11〜S14の処理時間を大幅に短縮できる。
(その他の実施形態など)
(1)上記の実施形態では、図5のステップS4のうなり検出においてうなり周波数fbを求め、この求め方の一例として図7を参照して説明した。しかし、うなり周波数fbの求め方は、図7に示すものに限定されるものではない。
(2)上記の実施形態では、図5のステップS11〜S14の処理を周波数f1から開始するようにしたが、処理を確実に行うために周波数f1よりも低い周波数から開始するようにしても良い。この場合、ステップS11〜S14の処理を開始する周波数は、例えば、周波数f1よりも0.01〜0.1%程度低い周波数とすることが好ましい。
(3)上記の実施形態では、駆動制御対象がミラーデバイスの場合について説明したが、本発明は、駆動周波数ヒステリシス特性を有するデバイスであって、上記のような起動処理が必要なものであれば適用可能である。
(1)上記の実施形態では、図5のステップS4のうなり検出においてうなり周波数fbを求め、この求め方の一例として図7を参照して説明した。しかし、うなり周波数fbの求め方は、図7に示すものに限定されるものではない。
(2)上記の実施形態では、図5のステップS11〜S14の処理を周波数f1から開始するようにしたが、処理を確実に行うために周波数f1よりも低い周波数から開始するようにしても良い。この場合、ステップS11〜S14の処理を開始する周波数は、例えば、周波数f1よりも0.01〜0.1%程度低い周波数とすることが好ましい。
(3)上記の実施形態では、駆動制御対象がミラーデバイスの場合について説明したが、本発明は、駆動周波数ヒステリシス特性を有するデバイスであって、上記のような起動処理が必要なものであれば適用可能である。
(プロジェクターの実施形態)
本発明のプロジェクターは、上記の実施形態に係るミラーデバイス駆動制御装置およびミラーデバイスを備えたものであり、後述する実施形態では、ミラーデバイス駆動制御装置およびミラーデバイスを2組備えている。上記の実施形態に係るミラーデバイス駆動制御装置は、特に小型のプロジェクターに最適であり、上記の効果を発揮できる。
なお、上記の実施形態に係るミラーデバイス駆動制御装置は、プロジェクターの他にスキャナなどにも適用可能である。
本発明のプロジェクターは、上記の実施形態に係るミラーデバイス駆動制御装置およびミラーデバイスを備えたものであり、後述する実施形態では、ミラーデバイス駆動制御装置およびミラーデバイスを2組備えている。上記の実施形態に係るミラーデバイス駆動制御装置は、特に小型のプロジェクターに最適であり、上記の効果を発揮できる。
なお、上記の実施形態に係るミラーデバイス駆動制御装置は、プロジェクターの他にスキャナなどにも適用可能である。
以下、本発明のプロジェクターの実施形態について、図面を参照して説明する。
図8は、本発明のプロジェクターの実施形態の構成を示す図である。
図8に示すように、プロジェクター10は、例えばスクリーン20等の対象物上に光を走査して画像(映像)を形成(描画)(投影)する投射型の画像形成装置である。
スクリーン20のプロジェクター10側の表面は、プロジェクター10によって光が走査される光走査面、すなわち、投影面21を構成している。この投影面21には、プロジェクター10により光が走査されることで、静止画や動画等の所定の画像が描画される。このようなスクリーン20を用いることにより、画像の視認性が向上する。
図8は、本発明のプロジェクターの実施形態の構成を示す図である。
図8に示すように、プロジェクター10は、例えばスクリーン20等の対象物上に光を走査して画像(映像)を形成(描画)(投影)する投射型の画像形成装置である。
スクリーン20のプロジェクター10側の表面は、プロジェクター10によって光が走査される光走査面、すなわち、投影面21を構成している。この投影面21には、プロジェクター10により光が走査されることで、静止画や動画等の所定の画像が描画される。このようなスクリーン20を用いることにより、画像の視認性が向上する。
スクリーン20の構成材料としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアミド、アクリル系樹脂、ABS樹脂、フッ素系樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
次に、プロジェクター10について説明する。
図8に示すように、プロジェクター10は、光を出射する光源ユニット(光出射部)40と、投影面21に対して光源ユニット40から出射した光を走査する光走査部50と、光源ユニット40および光走査部50の作動(駆動)を制御する作動制御装置(制御手段)8とを有している。
図8に示すように、プロジェクター10は、光を出射する光源ユニット(光出射部)40と、投影面21に対して光源ユニット40から出射した光を走査する光走査部50と、光源ユニット40および光走査部50の作動(駆動)を制御する作動制御装置(制御手段)8とを有している。
光源ユニット40は、赤色のレーザー光源41r、緑色のレーザー光源41g、青色のレーザー光源41bと、各色のレーザー光源41r、41g、41bに対応して設けられたコリメーターレンズ42r、42g、42bおよびダイクロイックミラー43r、43g、43bとを備えている。
各色のレーザー光源41r、41g、41bは、それぞれ、赤色の光源およびその光源を駆動する駆動回路、緑色の光源およびその光源を駆動する駆動回路、青色の光源およびその光源を駆動する駆動回路を有しており、赤色、緑色および青色のレーザー光RR、GG、BBを射出する。各レーザー光RR、GG、BBは、それぞれ、作動制御装置8の後述する光源変調部84から送信される駆動信号に対応して変調された状態で射出され、コリメート光学素子であるコリメーターレンズ42r、42g、42bによって平行化されて細いビームとされる。
ダイクロイックミラー43r、43g、43bは、それぞれ、赤色レーザー光RR、緑色レーザー光GG、青色レーザー光BBを反射する特性を有し、各色のレーザー光RR、GG、BBを結合して1つのレーザー光(光)LLを射出する。
各色のレーザー光源41r、41g、41bは、それぞれ、赤色の光源およびその光源を駆動する駆動回路、緑色の光源およびその光源を駆動する駆動回路、青色の光源およびその光源を駆動する駆動回路を有しており、赤色、緑色および青色のレーザー光RR、GG、BBを射出する。各レーザー光RR、GG、BBは、それぞれ、作動制御装置8の後述する光源変調部84から送信される駆動信号に対応して変調された状態で射出され、コリメート光学素子であるコリメーターレンズ42r、42g、42bによって平行化されて細いビームとされる。
ダイクロイックミラー43r、43g、43bは、それぞれ、赤色レーザー光RR、緑色レーザー光GG、青色レーザー光BBを反射する特性を有し、各色のレーザー光RR、GG、BBを結合して1つのレーザー光(光)LLを射出する。
なお、コリメーターレンズ42r、42g、42bに代えてコリメーターミラーを用いることができ、この場合も、平行光束の細いビームを形成することができる。また、各色のレーザー光源41r、41g、41bから平行光束が射出される場合、コリメーターレンズ42r、42g、42bは、省略することができる。さらに、レーザー光源41r、41g、41bについては、同様の光束を発生する発光ダイオード等の光源に置換することができる。また、図8に示す各色のレーザー光源41r、41g、41b、コリメーターレンズ42r、42g、42b、及びダイクロイックミラー43r、43g、43bの順番はあくまで1例であり、各色の組み合わせ(赤色はレーザー光源41r、コリメーターレンズ42r、ダイクロイックミラー43r、緑色はレーザー光源41g、コリメーターレンズ42g、ダイクロイックミラー43g、青色はレーザー光源41b、コリメーターレンズ42b、ダイクロイックミラー43b)を保持したままその順序は自由に設定できる。
また、光走査部50は、光源ユニット40から出射したレーザー光LLを投影面21に対し、水平方向(第1の方向)に走査(水平走査:主走査)すると共に、水平方向の走査速度よりも遅い走査速度で垂直方向(第1の方向に直交する第2の方向)に走査(垂直走査:副走査)することで2次元的に走査するものである。この光走査部50は、光源ユニット40から出射したレーザー光LLを投影面21に対し、水平方向に走査する水平走査用ミラーである前述したミラーデバイス(第1の方向走査部)1と、光源ユニット40から出射したレーザー光LLを投影面21に対し、垂直方向に走査する垂直走査用ミラーであるミラーデバイス(第2の方向走査部)1aとを有している。なお、ミラーデバイス1aは、前述したミラーデバイス1と同様であるので、その説明は省略する。
また、ミラーデバイス1と、ミラーデバイス1aとは、互いの回動中心軸J、Jaが直交するように設けられている。ミラーデバイス1と、ミラーデバイス1aとをこのように設けることにより、投影面21に対し、光源ユニット40から出射したレーザー光LLを2次元的に(互いに直交する2方向に)走査することができる。これにより、比較的簡単な構成で、投影面21に2次元画像を描画することができる。
また、光走査部50は、ミラーデバイス1を駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置およびミラーデバイス1aを駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置のそれぞれの駆動部2と、駆動信号発生部3と、振れ角検出部4、4aとを含んでいる。
また、作動制御装置8は、画像を描画する際に用いられる映像データ(画像データ)を記憶する映像データ記憶部(映像データ記憶手段)81と、映像データ演算部82と、描画タイミング生成部83と、光源変調部(光変調部)84とを有している。
また、作動制御装置8は、ミラーデバイス1を駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置およびミラーデバイス1aを駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置のそれぞれの制御部5を含んでいる。
また、作動制御装置8は、画像を描画する際に用いられる映像データ(画像データ)を記憶する映像データ記憶部(映像データ記憶手段)81と、映像データ演算部82と、描画タイミング生成部83と、光源変調部(光変調部)84とを有している。
また、作動制御装置8は、ミラーデバイス1を駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置およびミラーデバイス1aを駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置のそれぞれの制御部5を含んでいる。
スクリーン20の投影面21上に画像を描画する際は、まず、プロジェクター10に映像データが入力される。入力された映像データは、作動制御装置8の映像データ記憶部81に一時的に記憶され、その映像データ記憶部81から読み出され、その映像データを用いて画像の描画が行われる。
また、描画タイミング生成部83では、描画を行うタイミングの情報を含む描画タイミング情報が生成され、その描画タイミング情報は、映像データ演算部82に送出される。
また、描画タイミング生成部83では、描画を行うタイミングの情報を含む描画タイミング情報が生成され、その描画タイミング情報は、映像データ演算部82に送出される。
映像データ演算部82は、描画タイミング生成部83から入力された描画タイミング情報に基づいて、映像データ記憶部81から描画する画素に対応する映像データを読み出し、各種の補正演算等を行った後、各色の輝度データを光源変調部84に送出する。
光源変調部84は、映像データ演算部82から入力された各色の輝度データに基づいて、各色のレーザー光源41r、41g、41bの変調を行う。すなわち、各色のレーザー光源41r、41g、41bのオン/オフや、出力の調整(増減)等を行う。
光源変調部84は、映像データ演算部82から入力された各色の輝度データに基づいて、各色のレーザー光源41r、41g、41bの変調を行う。すなわち、各色のレーザー光源41r、41g、41bのオン/オフや、出力の調整(増減)等を行う。
このようにして光源ユニット40から出射したレーザー光LLは、ミラーデバイス1のミラー部12で反射し、次いで、ミラーデバイス1aのミラー部12aで反射し、スクリーン20の投影面21に投射(照射)される。そして、作動制御装置8の制御により、可動部11を回動させると共に(同時に)、その角速度(速度)よりも遅い角速度で可動部11aを回動させることにより、レーザー光LLは、投影面21に対し、水平方向に走査される共に(同時に)、その水平方向の走査速度よりも遅い走査速度で垂直方向に走査される。これにより、光源ユニット40から出射したレーザー光LLは、投影面21に対し、2次元的に走査され、投影面21に画像が描画される。
なお、光源ユニット40から出射した光が、先に、ミラーデバイス1aのミラー部12aで反射し、次に、ミラーデバイス1のミラー部12で反射するようになっていてもよい。すなわち、先に、垂直走査がなされ、次に、水平走査がなされるように構成されていてもよい。
なお、光源ユニット40から出射した光が、先に、ミラーデバイス1aのミラー部12aで反射し、次に、ミラーデバイス1のミラー部12で反射するようになっていてもよい。すなわち、先に、垂直走査がなされ、次に、水平走査がなされるように構成されていてもよい。
以上、本発明のミラーデバイス駆動制御装置およびプロジェクターを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
また、前記実施形態では、プロジェクターの光走査部として、本発明のミラーデバイス駆動制御装置およびミラーデバイス(共振駆動される形態のアクチュエーター)を2組用いたが、本発明では、これに限定されず、例えば、一方をガルバノミラーに変更してもよい。
また、本発明では、ミラーデバイス駆動制御装置は、その構成要素として、ミラーデバイスを有していてもよい。
また、前記実施形態では、プロジェクターの光走査部として、本発明のミラーデバイス駆動制御装置およびミラーデバイス(共振駆動される形態のアクチュエーター)を2組用いたが、本発明では、これに限定されず、例えば、一方をガルバノミラーに変更してもよい。
また、本発明では、ミラーデバイス駆動制御装置は、その構成要素として、ミラーデバイスを有していてもよい。
1、1a…ミラーデバイス 2…駆動部 3…駆動信号発生部 4、4a…振れ角検出部 5…制御部 8…作動制御装置 81…映像データ記憶部 82…映像データ演算部 83…描画タイミング生成部 84…光源変調部 10…プロジェクター 11、11a…可動部 12、12a…ミラー部 13、14…捩れ部 15…枠 16…永久磁石 17…コイル 20……スクリーン 21…投影面 40…光源ユニット 41r、41g、41b…レーザー光源 42r、42g、42b…コリメーターレンズ 43r、43g、43b…ダイクロイックミラー 50…光走査部
Claims (4)
- ヒステリシス特性を有するミラーデバイスを駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置であって、
前記ミラーデバイスを駆動信号により駆動する駆動部と、
前記ミラーデバイスの可動部の変位を検出し、当該検出に応じた検出信号を生成して出力する検出部と、
前記ミラーデバイスの起動処理を行う起動処理部と、を含み、
前記起動処理部は、
前記検出部の検出信号に基づいて前記可動部の異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして検出し、
前記うなり周波数を検出したときの前記ミラーデバイスの駆動信号の周波数fと、前記うなり周波数fbと、に基づいて所定の周波数f1を求め、
当該周波数f1の駆動信号で前記ミラーデバイスを再び駆動させることを特徴とするミラーデバイス駆動制御装置。 - 前記起動処理部は、
前記駆動信号の周波数を駆動開始の周波数から駆動終了の周波数まで順次増加させて、前記駆動部で前記ミラーデバイスを駆動させる第1処理と、
前記ミラーデバイスの駆動に併せて、前記駆動信号の周波数が増加されたときに、前記検出部の検出信号に基づき、前記可動部の異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして求める第2処理と、
当該うなり周波数fbを求めたときの駆動信号の周波数fと前記うなり周波数fbとに基づいて所定の周波数f1を求め、当該周波数f1の駆動信号を使用して前記ミラーデバイスを再び駆動させる第3処理と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載のミラーデバイス駆動制御装置。 - 前記第1処理は、前記駆動信号の周波数を駆動開始の周波数から駆動終了の周波数まで所定周波数Δfずつ順次増加させて、前記駆動部で前記ミラーデバイスを駆動させ、
前記第2処理は、前記ミラーデバイスの駆動に併せて、前記駆動信号の周波数が所定周波数Δfだけ増加された直後に、前記検出部の検出信号を所定間隔で複数個取り込み、当該複数個の検出信号に基づき、前記可動部の異常振動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数fbとして求めることを特徴とする請求項2に記載のミラーデバイス駆動制御装置。 - ミラーデバイス駆動制御装置を含むプロジェクターにおいて、
前記ミラーデバイス駆動制御装置は、請求項1乃至請求請3のうちの何れか1項に記載のミラーデバイス駆動制御装置であることを特徴とするプロジェクター。
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