JP2010256818A - 投影光学系及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】波長300nm以上の光を使用して低コストで効果的に収差が低減された投影光学系と露光装置を提供する。
【解決手段】i線を利用して第1面の像を第2面に投影する投影光学系は、温度による屈折率変化が負となる第1硝材から構成された凸レンズL119、L120、L121と、温度による屈折率変化が正である第2硝材から構成されたレンズL122を有する。
【選択図】図1
【解決手段】i線を利用して第1面の像を第2面に投影する投影光学系は、温度による屈折率変化が負となる第1硝材から構成された凸レンズL119、L120、L121と、温度による屈折率変化が正である第2硝材から構成されたレンズL122を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、投影光学系及び露光装置に関する。
波長300nm以上の光源(i線、g線など)を使用する露光装置では、露光光がレンズに吸収されると熱によって収差(熱収差)が発生して光学性能が劣化する。また、波長300nm以上の光源を使用する露光装置ではコストの低減が特に要求されている。
従来技術としては特許文献1及び2がある。
特許文献1は、レンズにおける露光光の吸収を低減(好ましくは0に)するために高透過率の硝材を使用しているが、透過率が1の硝材はなく、また、光学性能が低下する場合もあるため、収差の低減には不十分であった。また、特許文献2は、波長200nm以下の光に使用される投影光学系を対象としており、また、コスト削減も考慮していない。
本発明は、波長300nm以上の光を使用して低コストで効果的に収差が低減された投影光学系と露光装置を提供することを例示的な目的とする。
本発明の一側面としての投影光学系は、波長300nm以上の光を利用して第1面の像を第2面に投影する投影光学系であって、温度による屈折率変化が負となる第1硝材から構成され、凸レンズである第1屈折光学素子と、温度による屈折率変化が正である第2硝材から構成された第2屈折光学素子と、を有することを特徴とする。
本発明は、波長300nm以上の光を使用して低コストで効果的に収差が低減された投影光学系と露光装置を提供することができる。
本実施例の投影光学系は、波長300nm以上の光源(i線など)からの光を利用して第1面(物体面)の像を第2面(像面)に投影する。このように、本実施例は、光源の波長を300nm以上に限定している。波長300nmの光を使用する露光装置は、解像度を向上するために波長200nm以下の光を使用する露光装置よりもコストの削減の要求が大きい。従って、収差の低減もかかる要求を満足する必要がある。
露光光によって発生する収差のうち主要な収差は球面収差dSAであり、これはレンズの面変形に起因する球面収差dSA(S)とレンズの温度による屈折率変化に起因する球面収差dSA(G)の和である。但し、以下の説明は、球面収差以外の他の収差(コマ収差、像面湾曲、歪曲収差、露光倍率)の低減にも同様に効果的である。
また、球面収差dSA(S)、dSA(G)はそれぞれ次式を満足する。
ここで、Tはレンズ1cm当たりの透過率(/cm)、kはレンズの熱伝導率(W/m・K)、αはレンズの線膨張係数(/℃)、dn/dt(/℃)はレンズの温度による屈折率変化である(tは温度でnは屈折率を表わす)。
数式1〜3から、球面収差dSAを低減するためには、Tが大きい高透過率のレンズや、kが大きく熱伝導率が良いレンズを使用してdSA(S)とdSA(G)を共に小さくする(好ましくはゼロにする)ことが有効である。しかし、透過率が1の硝材は存在せず、また高透過率の硝材のみで、所期の光学性能を満足する投影光学系を設計することは困難である。そこで、本実施例は、面変形で発生する収差と屈折率変化で発生する収差を共に小さくする代わりに面変形で発生する収差と屈折率変化で発生する収差が相殺されるように投影光学系を構成している。本実施例の投影光学系において、露光光による光学特性変動を抑えられている屈折光学素子(レンズ)を、他のレンズと区別するために、以下、「収差低減素子」と呼ぶ。
図3は、投影光学系に使用可能な硝材の屈折率変化dn/dt(×10−6/℃)と熱伝導率k(W/m・K)の関係を示すグラフである。dSA(S)は正であるため、これと相殺するためにはdSA(G)を負にする必要がある(第1条件)。また、絶対値においてdSA(S)とdSA(G)が略等しくなるようにする必要がある(第2条件)。この条件は次式で表現される。
図4は、投影光学系に一般に使用される硝材の屈折率変化dn/dt(×10−6/℃)と熱膨張係数α(×10−6/℃)との関係を示すグラフである。
上述の2つの条件を満足する硝材を図3及び図4において丸で囲む。この硝材の収差低減素子の温度による屈折率変化dn/dt[/℃]は次式を満足する。
数式5を満足する収差低減素子を投影光学系に設けることにより、熱膨張による面変形分の球面収差dSA(S)と、温度変化による屈折率変化分の球面収差dSA(G)とを相殺して投影光学系全系として発生する収差(熱収差)を低減することができる。上述したように、上限値を0未満としたのは面変形の収差を相殺するためである。下限値よりも下回ると屈折率変化による収差の絶対値が面変形による収差の絶対値を大幅に上回ってしまい、数式4が満足されないからである。
なお、本実施例の収差低減素子の熱伝導率k[W/m・k]は、投影光学系に使用可能な硝材において、一般に次式を満足する。
上記の条件を満足する収差低減素子の硝材としては、CaF2(dn/dtは−9.3×10−6)、OHARA社のS−FPL51Y(dn/dtは−6.1×10−6)、Schott社のFK01、HOYA社のFCD1などがある。しかし、これらは価格が高いため、低コストの観点から枚数を減らす必要がある(第3条件)。また、第3条件は投影光学系が所期の光学特性を発揮する上でも必要である。
即ち、本実施例の投影光学系は、数式5の条件を満足する第1硝材(例えば、S−FPL51Y)から構成された第1屈折光学素子と、第1硝材とは異なる第2硝材(例えば、SiO2)から構成された第2屈折光学素子と、を有する。第2硝材は、コストや光学性能から、一般には、温度による屈折率変化が正の材料である。
本実施例は、露光熱による収差が大きく発生する投影光学系内の開口絞り近傍に収差低減素子の位置を限定している。具体的には、開口絞りを含む結像光学系においては、開口絞りとその結像光学系において最大有効径を持つレンズ(第3屈折光学素子)との間に収差低減素子の位置を限定している。また、必要があれば、開口絞りを含む結像光学系に隣接した結像光学系において、開口絞りに最も近い光学素子と最大有効径を持つレンズとの間に収差低減素子を配置している。このように、瞳の前後に収差低減素子を配置することによって従来の投影光学系と同等の歪曲収差や倍率色収差を維持することができる。また、軸上から軸外にかけて全般的に収差を低減することができる。
なお、収差低減素子の透過率T[/cm]はT≧0.997など高いほど好ましいが、これもコストや光学性能との関係で使用は制限される。
更に、収差低減素子は凸レンズに適用された場合に効果が大きい(第4条件)。
図1は、数値実施例1である屈折型投影光学系の断面図である。第1面101から第2面102に向かって光路に沿って結像光学系G1と結像光学系G2を順に有する。
結像光学系G1は第1面101から光路に沿ってレンズL101〜L117を有する。レンズL101は凸面を第1面側に向けたメニスカス形状の負レンズ、レンズL102は両凸形状の正レンズ、レンズL103は両凸形状の正レンズ、レンズL104は凸面を第1面側に向けたメニスカス形状の正レンズである。レンズL105は両凸形状の正レンズ、レンズL106は凸面を第1面側に向けたメニスカス形状の負レンズ、レンズL107は凹面を第1面側に向けたメニスカス形状の正レンズ、レンズL108は両凹形状の非球面負レンズである。レンズL109は両凹形状の非球面負レンズ、レンズL110は凹面を第1面側に向けたメニスカス形状の非球面負レンズ、レンズL111は凹面を第1面側に向けたメニスカス形状の非球面凸レンズ、レンズL112は両凸形状の正レンズである。レンズL113は両凸形状の正レンズ、レンズL114は両凸形状の正レンズ、レンズL115は凸面を第1面側に向けたメニスカス形状の負レンズ、レンズL116は両凹形状の非球面負レンズ、レンズL117は両凹形状の負レンズである。
結像光学系G2は第1面101から光路に沿ってレンズL118〜L128を有する。レンズL118は両凹形状の負レンズ、レンズL119は両凸形状の正レンズ、レンズL120は両凸形状の正レンズ、レンズL121は両凸形状の正レンズ、レンズL122は両凹形状の負レンズ、レンズL123は両凸形状の正レンズである。レンズL124は両凸形状の非球面正レンズ、レンズL125は凸面を第1面側に向けたメニスカス形状の負レンズ、レンズL126は凸面を第1面側に向けたメニスカス形状の負レンズである。レンズL127は凸面を第1面側に向けたメニスカス形状の負レンズ、レンズL128は凸面を第1面側に向けたメニスカス形状の非球面負レンズである。
数値実施例1において、投影倍率βは1/4倍であり、基準波長は365.5nmである。また、像側の開口数はNAmax=0.57、物像間距離(第1面〜第2面)TTは1123mm程度である。また、像高が0.00〜21.05mmの範囲にて収差補正されており、少なくとも長さ方向で26mm、幅で33mm程度の矩形の照明領域を確保できる。
図2は、数値実施例1の投影光学系の横収差図である。図中のメリディオナルは、主光線と光軸103とを含む子午平面に含まれるメリディオナル光線の収差を、サジタルは、主光線を含みメリディオナルに垂直な球欠平面に含まれるサジタル光線の横収差を表している。図2は、基準波長365.5nm及び±2.0nmの波長について表示しており、単色及び色収差が良好に補正されているのがわかる。
表1及び表2に、本数値実施例1の構成諸元を示す。riは面番号に対応した各面の曲率半径、diは各面の面間隔である。nは、基準波長λ=365.5nmに対する屈折光学素子の屈折率、Tは10mm当たりの屈折光学素子の透過率、kは屈折光学素子の熱伝導率、αは屈折光学素子の線膨張係数、dn/dtは屈折光学素子の温度変化による屈折率変化である。
また、非球面形状は次式で与えられる。ここで、Xはレンズ頂点から光軸方向への変位量、Hは光軸103からの距離、rは曲率半径、Kは円錐定数、A〜Gは非球面係数である。
図1において、レンズL114、L115、L119、L120、L121は、投影光学系の投影機能に加えて収差低減素子の機能を有する。これら5枚の収差低減素子は、投影光学系内の開口絞り104の近傍に設けられている。
より具体的には、本実施例は、開口絞り104を含む結像光学系G2において、開口絞り104と結像光学系G2において最大有効径を持つレンズL122との間に収差低減素子として機能するレンズL119、L120、L121を配置している。本実施例は、3つのレンズL119、L120、L121に収差低減素子の機能を持たせているが、少なくとも一つのレンズが収差低減素子の機能を持てばよい。
また、本実施例は、結像光学系G2に隣接した結像光学系G1において、開口絞り104に最も近い光学素子(レンズL117)と最大有効径を持つレンズL113との間に収差低減素子として機能するレンズL114、L115を配置している。
このように、瞳の前後に収差低減素子を配置することによって従来の投影光学系と同等の歪曲収差や倍率色収差を維持することができる。
図5は、数値実施例1の収差(ゼルニケ(Zernike)C9項)を示すグラフである。縦軸は、露光熱に起因する球面収差のゼルニケC9項〔mλ〕の分担値、横軸は各レンズの番号である。レンズの面変形による収差を斜線で、屈折率変化による収差を黒塗で示す。レンズL114、L115、L119、L120、L121の分担値は、面変形による収差と屈折率変化による収差との符号が逆向きで相殺していることがわかる。投影光学系全体として発生する露光球面収差は十分に小さいことがわかる。
図6は、数値実施例1の収差(ゼルニケC16項)を示すグラフである。縦軸は、露光熱に起因する球面収差のゼルニケC16項〔mλ〕の分担値、横軸は各レンズの番号である。レンズの面変形による収差を斜線で、屈折率変化による収差を黒塗で示す。レンズL114、L115、L119、L120、L121の分担値は、面変形による収差と屈折率変化による収差との符号が逆向きで相殺していることがわかる。投影光学系全体として発生する露光球面収差は十分に小さいことがわかる。
なお、縦軸に、露光熱に起因する像面湾曲のメリディオナル[nm]の分担値、横軸は各レンズの番号をとった場合、投影光学系全体として発生する像面湾曲は十分に小さいという結果が得られた。
本実施例の投影光学系は、原版のパターンを基板に露光する投影露光装置において、原版パターンの像を基板に投影する投影光学系に適用することができる。投影露光装置において、光源は波長300nm以上の光を射出する。かかる光は照明光学系を介して原版を照明する。デバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)は、露光装置を使用して感光剤を塗布した基板(ウエハ、ガラスプレート等)を露光する工程と、基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより製造される(デバイス製造方法)。
投影光学系は、第1面の像を第2面に投影するのに適用することができる。露光装置は、デバイスを製造する用途に適用することができる。
101 第1面(物体面)
102 第2面(像面)
103 光軸
104 開口絞り
G1、G2 結像光学系
L114、L115、L119、L120、L121 収差低減素子
102 第2面(像面)
103 光軸
104 開口絞り
G1、G2 結像光学系
L114、L115、L119、L120、L121 収差低減素子
Claims (5)
- 波長300nm以上の光を利用して第1面の像を第2面に投影する投影光学系であって、
温度による屈折率変化が負となる第1硝材から構成され、凸レンズである第1屈折光学素子と、
温度による屈折率変化が正である第2硝材から構成された第2屈折光学素子と、
を有することを特徴とする投影光学系。 - 前記投影光学系は、開口絞りを有する結像光学系を有し、
前記第2屈折光学素子は、前記結像光学系において最大有効径を有する第3屈折光学素子を有し、
前記第1屈折光学素子は、前記結像光学系の前記開口絞りと前記第3屈折光学素子との間に配置されることを特徴とする請求項1に記載の投影光学系。 - 前記第1屈折光学素子は前記投影光学系の瞳の前後に配置されることを特徴とする請求項1に記載の投影光学系。
- 請求項1〜3のうちいずれか一項に記載の投影光学系を有する露光装置。
- 請求項4に記載の露光装置を使用して基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップと、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009109715A JP2010256818A (ja) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | 投影光学系及び露光装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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2009
- 2009-04-28 JP JP2009109715A patent/JP2010256818A/ja active Pending
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