JP2010251631A - 基板構造及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】バンプとUBMとの界面全体において接合強度を向上させた基板構造を実現できるようにする。
【解決手段】基板構造は、半導体基板15と、半導体基板15の上に形成された電極14と、電極14の上に形成されたアンダーバリアメタル層12とを備えている。アンダーバリアメタル層12は、複数の微小凹部12aを有している。
【選択図】図1
【解決手段】基板構造は、半導体基板15と、半導体基板15の上に形成された電極14と、電極14の上に形成されたアンダーバリアメタル層12とを備えている。アンダーバリアメタル層12は、複数の微小凹部12aを有している。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板構造及び半導体装置に関し、特にバンプを形成するアンダーバリアメタルを備えた基板構造及び半導体装置に関する。
半導体装置の実装技術分野では、CSP(Chip Size Package又はChip Scale Package)及びフリップチップ等のように基板にバンプ電極を形成することが行われている。バンプ電極は一般的にパッシベーション膜、バンプが接合されるアンダーバリアメタル(UBM)層及び基板の最表面を保護する保護膜等を備えている。バンプをUBM層上に形成する代表的な手法として、印刷方式、めっき方式及びバンプ材料搭載法等があるが、バンプとUBM層との接合強度を向上させることは、半導体装置の信頼性向上のために重要である。バンプとUBM層との接合強度を向上させる手段として、次のような方法がある。まず、ボンディングパッドの上に第1の金属膜及び第2の金属膜を順次積層したUBM層を形成する。続いて、第2の金属膜の上面及び側面に選択的に金(Au)シード層を形成する。次に、Auシード層に接続するはんだパターンを形成した後、熱処理を施してはんだパターンとAuシード層とを反応させる。これにより、はんだバンプとUBM層との接続部分がアンカ形状となったバンプ電極が形成できる(例えば、特許文献1を参照。)。また、UBM層の上面に溝を形成することにより、はんだバンプの接合強度を向上させる方法が開示されている(例えば、特許文献2を参照。)。
しかしながら、従来の技術には以下のような問題がある。まず、バンプとUBM層との接続部分をアンカー形状とする方法は、はんだバンプとUBM層との界面における接合強度を直接向上させていない。このため、はんだバンプとUBM層との界面において剥離が生じるおそれがある。また、複雑な形成ステップを経なければ形成することができないという問題もある。
一方、UBM層の上面に溝部を形成する場合には、溝部が形成された部分において接合強度を向上させることができるが、その効果は極めて限定的な範囲となる。
本発明は、前記の問題を解決し、バンプとUBM層との界面全体において接合強度を向上させた基板構造を実現できるようにすることを目的とする。
具体的に、本発明に係る基板構造は、半導体基板と、半導体基板の上に形成された電極と、電極の上に形成され、複数の微小凹部を有するアンダーバリアメタル層とを備えていることを特徴とする。
本発明の基板構造によれば、アンダーバリアメタル(UBM)層が複数の微小凹部を有している。このため、UBM層の表面積が大きくなり、UBM層とバンプとの接触面積を大きくすることができる。従って、UBM層とバンプとの接合強度を飛躍的に向上させることができる。
本発明の基板構造は、半導体基板の上に形成され、電極を露出する開口部を有する保護膜層をさらに備え、アンダーバリアメタル層は、電極の上及び開口部の側面に沿って形成され、開口部は、上端部において下端部よりも径が小さい構成としてもよい。
また、半導体基板の上に形成され、電極を露出する開口部を有する保護膜層をさらに備え、アンダーバリアメタル層は、電極の上及び開口部の側面に沿って形成され、開口部は、側面に凹部を有する構成としてもよい。
本発明の基板構造において、微小凹部は、直径が0.1μm以上且つ5μm以下とすればよい。
本発明の基板構造において、微小凹部は、アスペクト比が1未満とすればよい。
本発明に係る半導体装置は、本発明の基板構造を備えている。
本発明に係る基板構造は、バンプとUBMとの界面全体において接合強度を向上させた基板構造及び半導体装置を実現できる。
本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。図1(a)及び(b)は、一実施形態に係る基板構造であり、(a)はバンプが形成された部分を示し、(b)はアンダーバリアメタル(UBM)層とバンプとの接合界面を拡大して示している。本実施形態の基板構造は、半導体基板15のバンプ形成面側に形成された電極14と、バンプ形成面の上に順次形成され、電極14を露出する開口部を有するパッシベーション膜13及び保護膜層11と、電極14の上及び開口部の側面を覆うUBM層12とを有している。本実施形態のUBM層12は、表面に複数の微小凹部12aを有している。UBM層12の上にはバンプ16が形成されており、バンプ16はUBM層12の微小凹部12a内に侵入している。このため、UBM層12とバンプ16との接触面積が大きくなり、UBM層12とバンプ16との接合強度を向上させることができる。通常は、半導体基板15には半導体素子が形成され、電極14は半導体素子と電気的に接続されている。
本実施形態の基板構造は以下のようにして形成すればよい。バンプ形成面側にアルミニウム等からなる電極14が形成された半導体基板15のバンプ形成面の上にSi3N4等からなるパッシベーション膜13を形成する。続いて、パッシベーション膜13を選択的に除去して電極14を露出する開口部を形成する。次に、ポリイミドをバンプ形成面の上にスピンナーを用いて均一に塗布する。続いて、プリベーク(70℃×50秒、90℃×50秒、105℃×110秒)を行った後、電極14と同程度の開口部ができるようなパターンに露光する。次に、現像前ベーク(80℃×50秒)を行った後、現像とキュア(140℃×170秒、350℃×3600秒)とを順次行い、開口部を有する保護膜層11を形成する。なお、保護膜層11はポリイミドに代えてベンゾオキサゾール又はシリコーン系の樹脂材料等を用いてもよい。
次に、開口部に厚さが1×10-3mm〜7×10-3mm程度のUBM層12を例えば次のようにして形成する。まず、電極14を露出するマスクを形成した後、ニッケル−アルミニウム合金層をスパッタ法を用いて形成する。合金層の厚さは5μm程度とすればよい。次に、水酸化ナトリウム溶液を用いて、合金層に含まれるアルミニウムのみを溶解除去する。これにより微小凹部12aを有し、表面積が大きいいわゆるラネーニッケルからなるUBM層12が形成される。なお、UBM層12の形成と保護膜層11の形成とは順序を入れ替えてもよい。
次に、UBM層12の上にバンプ16を形成する。バンプ16の形成方法は、ボールマウント、めっき、ディスペンス等の方法により形成すればよい。例えばボールマウント法の場合には、まずUBM層12と対応する位置に開口部を有する厚さが0.02mm〜0.04mm程度の金属板からなる印刷マスクを準備する。半導体基板15のバンプ形成面全体を印刷マスクにより覆った後、ゴム製又は金属製のスキージを用いて、UBM層12の表面にフラックスを印刷する。次に、UBM層12と対応する位置に開口部を有する搭載マスクを用いて、フラックスが印刷されたUBM層12の上にバンプ材料を配置する。次に、バンプ材料が配置された半導体基板15を熱処理して、バンプ材料を溶融することによりバンプ材料をUBM層12と接合する。
UBM層12の上に印刷したフラックスは、バンプ材料の保持と再溶解(リフロー)時の酸化膜除去という2つの機能を主に有する。このため、ロジン系又は水溶性フラックス等を用いればよく、特にハロゲンフリータイプのロジン系フラックスが好ましい。バンプ材料は、スズ−銀−銅組成のはんだ材料等からなるはんだボール等が好ましいが他の組成の材料を用いてもよい。バンプ材料の大きさは径が0.07mm〜0.125mm程度が好ましい。バンプ材料が球形でない場合には、長手方向の幅と短手方向の幅との平均値が0.07mm〜0.125mm程度となるようにすればよい。
UBM層12の上にバンプ16を接合する際には、UBM層12を構成する金属材料とバンプ材料との間に合金化反応が生じる。本実施形態のUBM層12は、表面に複数の微小凹部12aを有するポーラスな材料であり、表面積が非常に大きい。図1(b)に示すように、バンプ材料をリフローする際に溶解したバンプ材料がUBM層12の微小凹部12a内に侵入するため、バンプ材料とUBM層12との接触面積が大きくなり、UBM層12とバンプ材料との接合強度を飛躍的に向上させることができる。
微小凹部を形成しポーラス構造としたUBM層と、通常の微小凹部を有していないUBM層とについて破壊モードの差を評価した。評価は、高速シェア試験により行った。高速シェ差試験は、500mm/秒のシェア速度及び30μmのシェア高さの下でそれぞれ50個のサンプルについて行った。バンプは径が0.1mmのスズ−銀−銅組成のはんだボールとした。通常のUBM層の場合には、すべてサンプルにおいてUBM層とバンプとの界面において界面破壊が生じた。一方、微小凹部を有するUBM層の場合には、界面破壊が生じたサンプルは30%であり、残りの70%のサンプルではバンプ自体の破断が生じた。このことから、UBM層12に微小凹部12aを形成することにより、UBM層12とバンプ16との界面の接合強度が向上することが明らかである。
UBM層12に形成する微小凹部12aは、径が0.1μm〜5μm程度とすればバンプ材料が侵入しやすく好ましい。また、微小凹部12aの深さが過度に深いと、UBM層12とバンプ16との界面にボイドが形成されるおそれがあるため、アスペクト比を1未満、つまり微小凹部12aの深さを径よりも小さくすることが好ましい。また、微小凹部12aはUBM層12の表面全体に形成されている方が、UBM層12とバンプ16との接合がより強化されるため好ましい。
微小凹部12aを有するUBM層12を形成する方法として、化学的なエッチングに代えて電気的なエッチングを用いてもよい。例えば、電極14の上に電界めっき法を用いてニッケル層を形成する。次に、ニッケル層に逆電界をかけることにより、ニッケル層の表面を微細に削り出して微小凹部12aを形成してもよい。また、他の方法によりUBM層12の表面に微小凹部12aを形成してもよい。
UBM層とバンプとの接合強度をさらに向上させる方法として、図2に示すように、断面構造が逆テーパ型となったUBM層12Bを形成してもよい。具体的には、保護膜層11に形成する開口部を、上端部の径が下端部の径よりも小さくなるようにし、電極14の上及び開口部の側面に沿って微小凹部を有するUBM層を形成すればよい。また、図3に示すように、保護膜層11に側面に凹部を有する開口部を形成し、開口部の側面に沿って微小凹部を有するUBM層を形成すれば、側面が凹構造となったUBM層12Cを形成することができる。凹構造については、あらゆる形状が可能で、コの字型、U字型、V字型等の各種の形状とすればよい。また、凹構造は、1つではなく複数形成してもよい。UBM層の構造をこのような構造とすることにより、UBM層とバンプとの接合強度をさらに高くすることができる。
本発明に係る基板構造は、バンプとアンダーバリアメタル層との界面全体において接合強度を向上させることができ、バンプを形成するアンダーバリアメタル層を備えた基板構造及び半導体装置等として有用である。
11 保護膜層
12 UBM層
12a 微小凹部
12B UBM層
12C UBM層
13 パッシベーション膜
14 電極
15 半導体基板
16 バンプ
12 UBM層
12a 微小凹部
12B UBM層
12C UBM層
13 パッシベーション膜
14 電極
15 半導体基板
16 バンプ
Claims (6)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の上に形成された電極と、
前記電極の上に形成され、複数の微小凹部を有するアンダーバリアメタル層とを備えていることを特徴とする基板構造。 - 前記半導体基板の上に形成され、前記電極を露出する開口部を有する保護膜層をさらに備え、
前記アンダーバリアメタル層は、前記電極の上及び前記開口部の側面に沿って形成され、
前記開口部の径は、上端部において下端部よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の基板構造。 - 前記半導体基板の上に形成され、前記電極を露出する開口部を有する保護膜層をさらに備え、
前記アンダーバリアメタル層は、前記電極の上及び前記開口部の側面に沿って形成され、
前記開口部は、側面に凹部を有することを特徴とする請求項1に記載の基板構造。 - 前記微小凹部は、径が0.1μm以上且つ5μm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板構造。
- 前記微小凹部は、アスペクト比が1未満であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板構造。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の基板構造を備えていることを特徴とする半導体装置。
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- 2009-04-20 JP JP2009101652A patent/JP2010251631A/ja not_active Withdrawn
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