JP2010245469A - 半導体レーザ素子、それを用いた半導体レーザモジュール、および、半導体レーザ素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、瞬時光学的損傷が発生する限界出力(CODレベル)が向上したコート膜を配設することにより、高出力駆動時でも瞬時光学的熱損傷が起きにくく、信頼性の高い半導体レーザ素子を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、酸化アルミニウム層を含むコート膜を光出射端面に有する半導体レーザ素子であって、上記酸化アルミニウム層内の表面部と深部におけるアルミニウムの2p軌道電子と原子核の結合エネルギーの変化量が1.2eV以下であることを特徴とする半導体レーザ素子である。
【選択図】図1
【解決手段】本発明は、酸化アルミニウム層を含むコート膜を光出射端面に有する半導体レーザ素子であって、上記酸化アルミニウム層内の表面部と深部におけるアルミニウムの2p軌道電子と原子核の結合エネルギーの変化量が1.2eV以下であることを特徴とする半導体レーザ素子である。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体レーザ素子、それを用いた半導体レーザモジュール、および、半導体レーザ素子の製造方法に関する。さらに詳細には、光記録技術等に使用される可視光または短波長光を発する半導体レーザ素子に関する。
現在、光メディア記録装置のキーデバイスとして半導体レーザ素子が使用されている。かかる半導体レーザ素子においてレーザの高出力化を妨げる問題の一つとして、瞬時光学的損傷(Catastrophic Optical Damage:以下、「COD」と略すことがある)が挙げられる。
レーザ光は光出射端面から外部に出射されるが、この時レーザ光の一部が光出射端面で吸収されて熱に変換される。レーザ光の出力を大きくするに伴って、この発熱も増大する。そして、レーザ光の出力がある限界出力を超えると発熱により瞬時に半導体レーザ素子の光出射端面を構成する結晶が溶解し、発光停止に至る。この現象が瞬時光学損傷(COD)と呼ばれる現象である。
従来は、光出射端面に保護膜を設けるとともに、この保護膜を光学的反射膜となるように構成し、その反射率を制御することで、CODが生じる限界出力(以下、「CODレベル」と呼ぶことがある)を向上させ、閾値電流の低減および信頼性の向上を図っていた(例えば、特許文献1参照)。この保護膜(コート膜)としては、酸化アルミニウム層あるいは酸化アルミニウム層を含む多層膜が用いられる。
光メディア記録装置における近年の高速書き込みの要望に伴い、半導体レーザ素子にはレーザの高出力化が望まれている。しかし、高出力化により、半導体レーザ素子の光出射端面でのレーザの吸収と発熱の過程が活発になり、CODが発生しやすくなるという問題があった。
そこで、本発明は、瞬時光学的損傷が発生する限界出力(CODレベル)が向上したコート膜を配設することにより、高出力駆動時でも瞬時光学的熱損傷が起きにくく、信頼性の高い半導体レーザ素子を提供することを目的とする。
本発明は、酸化アルミニウム層を含むコート膜を光出射端面に有する半導体レーザ素子であって、上記酸化アルミニウム層内の表面部と深部におけるアルミニウムの2p軌道電子と原子核の結合エネルギーの変化量が1.2eV以下であることを特徴とする半導体レーザ素子である。
上記酸化アルミニウム層内の表面部と深部における酸素の1s軌道電子と原子核の結合エネルギーの変化量が1.3eV以下であることが好ましい。
上記酸化アルミニウム層内の表面部と深部におけるアルミニウムの2p軌道電子と原子核の結合エネルギーの変化量が0.4eV以下であることが好ましく、より好ましくは、0.6eV以下である。
上記半導体レーザ素子は、アルミニウムを含まない半導体材料からなる活性層を有し、アルミニウムを含む半導体材料からなるバリア層を有することが好ましい。また、上記半導体レーザ素子は、GaAs基板を有することが好ましい。
また、本発明は、少なくとも光を集光するための光学レンズと、光を外部に導く光ファイバと、上記の半導体レーザ素子とを一体化した半導体レーザモジュールにも関する。
また、本発明は、上記半導体レーザ素子の製造方法であって、上記酸化アルミニウム層が電子サイクロトロン共鳴スパッタリングで作製される、半導体レーザ素子の製造方法にも関する。
上記電子サイクロトロン共鳴スパッタリングのマイクロ波パワーが600W以上の条件で上記酸化アルミニウム層が形成されることが好ましく、より好ましい電子サイクロトロン共鳴スパッタリングのマイクロ波パワーは700W以上900W以下である。
本発明の半導体レーザ素子はCODレベルが向上されているため、高出力駆動時でも瞬時光学的熱損傷が起きにくく、高い信頼性が得られる。また、本発明の半導体レーザ素子を用いることにより自由度の高い光学設計が可能となる。
<実施の形態1>
図1に示すように、本実施の形態の半導体レーザ素子は、その光出射端面1a側にECR(Electron Cyclotron Resonance:電子サイクロトロン共鳴)スパッタリングで蒸着した酸化アルミニウム(Al2O3)層200が形成され、光反射端面1b側には酸化アルミニウム層200、Ta2O5層201およびSiO2層202からなるマルチコート膜が形成されている。
図1に示すように、本実施の形態の半導体レーザ素子は、その光出射端面1a側にECR(Electron Cyclotron Resonance:電子サイクロトロン共鳴)スパッタリングで蒸着した酸化アルミニウム(Al2O3)層200が形成され、光反射端面1b側には酸化アルミニウム層200、Ta2O5層201およびSiO2層202からなるマルチコート膜が形成されている。
本実施の形態は、窓構造を用いた(赤外)半導体レーザ素子の光出射端面1aにECRスパッタ装置を用いて設けられるコート膜として、性状を有する酸化アルミニウム層200からなるコート膜を用いることを特徴としている。すなわち、酸化アルミニウム層200は、X線光電子分光(X−ray Photoelectron Spectroscopy:以下、「XPS」と略すことがある)を用いて測定した厚み方向のケミカルシフト量(アルミニウムまたは酸素の原子内結合エネルギーの変化量)が小さくなるように作製されていることにより、かかる酸化アルミニウム層200をコート膜として蒸着した半導体レーザ素子の光出射端面1aは、CODレベルが高められたものとなっている。
本発明において、半導体レーザ素子の光出射端面に用いられる酸化アルミニウム層は、酸化アルミニウム層内の表面部と深部における、アルミニウムの2p軌道電子と原子核の結合エネルギー(以下、「Al2p結合エネルギ−」と略すことがある)の変化量が1.2eV以下であるという特性を有している。酸化アルミニウム層内の表面部と深部におけるAl2p結合エネルギーの変化量は、0.4eV以下であることがより好ましい。本発明者らにより、酸化アルミニウム層内の表面部と深部におけるAl2p結合エネルギーの変化量を1.2eV以下とすることにより、半導体レーザ素子のCODレベルが高められることが見出された。
なお、本発明において、酸化アルミニウム層内の表面部と深部とにおけるAl2p結合エネルギーの変化量とは、酸化アルミニウム層の表面部のAl2p結合エネルギーと、酸化アルミニウム層の深部のAl2p結合エネルギーとの差の絶対値を意味する。ここで、酸化アルミニウム層内の「表面部」とは、酸化アルミニウム層の最表面から約4〜10nm深い部位と定義される。最表面では、自然コンタミの影響から正確な結合エネルギーの測定が出来ないからである。また、酸化アルミニウム層内の「深部」とは、光電子分光分析装置を用いてスパッタリングと分析を交互に繰り返したときに、アルミニウムの2p光電子、酸素の1s光電子のエネルギーを示すピーク信号が消える手前の部位、すなわち、酸化アルミニウム層と基板上に形成された半導体結晶との界面に接する部位(本実施の形態においては、酸化アルミニウム層200と窓領域112との界面の酸化アルミニウム層側)と定義される。
また、上記酸化アルミニウム層内の表面部と深部における、酸素の1s軌道電子と原子核の結合エネルギー(以下、「O1s結合エネルギ−」と略すことがある)の変化量は、1.3eV以下であることが好ましく、さらに好ましくは、0.6eV以下である。酸化アルミニウム層内のO1s光電子の結合エネルギーの変化量を1.3eV以下とすることにより、半導体レーザ素子のCODレベルが高められる。
なお、本発明において、酸化アルミニウム層内の表面部と深部におけるO1s結合エネルギ−の変化量とは、酸化アルミニウム層の表面部のO1s結合エネルギ−と、酸化アルミニウム層の深部のO1s結合エネルギ−との差の絶対値を意味する。酸化アルミニウム層内の「表面部」および「深部」の定義は上記と同様である。
上記Al2p結合エネルギー(アルミニウムの2p軌道電子と原子核の結合エネルギー)およびO1s結合エネルギー(酸素の1s軌道電子と原子核の結合エネルギー)は、上記XPSを用いて測定することができる。
例えば、XPSでは、真空中で試料にX線を照射したときに、試料表面から放出される光電子(本発明では、アルミニウムの2p光電子および酸素の1s光電子)のエネルギーを測定することで、軌道電子と原子核の結合エネルギーを算出することができる。そして、XPS分析装置には、アルゴンイオンビーム等により表面を彫る(スパッタリング)装置がついているため、分析とスパッタリングを交互に繰り返すことで試料の深さ方向の分析を行うことができる。
より具体的な例としては、XPS分析装置を用いて、酸化アルミニウム層200の最表面から窓領域112との界面までの範囲に対して、約4.7nm(SiO2換算)刻みでのスパッタリングと分析を繰り返し、最初のスパッタリング後の分析(最表面から約4.7nmの深さの部位での分析)により求めた結合エネルギーを酸化アルミニウム層200の「表面」の結合エネルギーとし、光電子(アルミニウムの2p光電子または酸素の1s光電子)のエネルギーを示すピーク信号が消える直前の分析により求めた結合エネルギーを酸化アルミニウム層200の「深部」の結合エネルギーとして、両者の差から結合エネルギーの変化量を算出することができる。
本発明の半導体レーザ素子は、アルミニウムを含まない半導体材料からなる活性層を有し、アルミニウムを含む半導体材料からなるバリア層を有することが好ましい。アルミニウムを含まない半導体材料としては、例えばGaAs、GaInP、GaInAs、が挙げられる。活性層を構成する半導体材料としてアルミニウムを含まない材料を用いるのは、活性層にアルミニウムを含むとアルミニウムは融点が低いため温度の上がる活性層にもちいると、一般的に結晶欠陥密度が増加することによりレーザ発振の際にダークライン発生が起こりやすくなり、半導体レーザ発振の寿命を悪化させるためである。またアルミニウムを含む半導体材料としては、例えばAlGaAs、AlGaInP、AlGaInAsが挙げられる。バリア層を構成する半導体材料としてアルミニウムを含む材料を用いるのは、バリア層は電子およびホールを閉じ込めるために活性層とのバンドギャップ差を確保する必要性があり、一般的に上記の材料はAlの組成比が上昇すると、バンドギャップが広くなるためである。
本発明の半導体レーザ素子の基板としては、GaAs基板を用いることが好ましい。AlGaAs、AlGaInP、GaInPなどの活性層もしくはクラッド層を構成する材料との格子整合がとりやすいためである。
(半導体レーザ素子の製造方法)
図3〜13は、本実施の形態の半導体レーザ素子の各製造工程を示す断面図である。本実施の形態の(赤外)半導体レーザ素子の製造工程を図3〜13を用いて説明する。まず、図3に示すように、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition:有機金属化学気相蒸着法)装置を用いて、n型GaAs基板101上に、n型AlGaAsクラッド層102、厚み5nmの2重量子井戸層を含むAlGaAs系MQW層(多重量子井戸層)103、(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層104、GaInPエッチングストップ層105、Ga0.25In0.25P0.5中間層106、GaAsコンタクト層107を順次積層した半導体ウエハを作製する。なお、MQW層103としては、少なくとも2つ以上の井戸層を含むMQW層(例えば、四重量子井戸層を含むMQW層)を用いることができ、該井戸層の厚みは5nm以下とすることが好ましい。
図3〜13は、本実施の形態の半導体レーザ素子の各製造工程を示す断面図である。本実施の形態の(赤外)半導体レーザ素子の製造工程を図3〜13を用いて説明する。まず、図3に示すように、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition:有機金属化学気相蒸着法)装置を用いて、n型GaAs基板101上に、n型AlGaAsクラッド層102、厚み5nmの2重量子井戸層を含むAlGaAs系MQW層(多重量子井戸層)103、(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層104、GaInPエッチングストップ層105、Ga0.25In0.25P0.5中間層106、GaAsコンタクト層107を順次積層した半導体ウエハを作製する。なお、MQW層103としては、少なくとも2つ以上の井戸層を含むMQW層(例えば、四重量子井戸層を含むMQW層)を用いることができ、該井戸層の厚みは5nm以下とすることが好ましい。
次に、上記GaAsコンタクト層107の上にSi3N4層108を形成する。Si3N4層108は、P−CVD(Plasma−Chemical Vapor Deposition)スパッタなどで成膜することができる。さらに、そのSi3N4層108上にレジスト109を塗布し、本実施の形態では幅40μm、間隔1100μmのストライプ上にSi3N4層108をフォトリソグラフィー技術を用いてレジスト109をパターニングし、パターニングされたレジスト109をマスクとしてRIE(Reactive Ion Etching)にてストライプ状にSi3N4層108を除去し、GaAsコンタクト層107の一部を露出させる(図3参照)。
次に、有機洗浄でレジスト109を除去した後、GaAsコンタクト層107およびSi3N4層108の全面を覆うようにZnO/SiO2混合層110をスパッタ装置で蒸着し、GaAsコンタクト層107とSi3N4層108とZnO/SiO2混合層110の合計の厚みが50nmとなるようにした。さらに、上記ZnO/SiO2混合層110上の全面にカバーとしてSiO2層111を200nmの厚みで蒸着させる(図4参照)。
このようにして得られる半導体レーザ素子の製造材料となる半導体ウエハに対して、560℃2時間のアニールを行いZnをMQW層103を突き抜ける程度に拡散させ、窓領域112を形成する(図5参照)。窓領域112形成時のZn拡散距離はMQW層103から0.5μmほど拡散させ、n型AlGaAs第一クラッド層102の中で止めるように調整される。
上記アニールの終わったウエハに対してHFのウェットエッチングを30秒ほど行い、ウエハ表面に形成されたSi3N4層108およびZnO/SiO2混合層110を除去する。
次に、再びウエハ表面全体をSiO2層113で覆い、フォトリソグラフィー技術を用いてSiO2上にレジストのストライプを形成する。この場合はステッパーを用い窓形成領域のストライプと直交するように、幅2μm、ピッチ110μmのレジストストライプを形成する。上記レジストストライプをマスクとして、反応性イオンエッチングを行い、レジストストライプに沿ってウエハに蒸着されたSiO2層113のストライプを形成し、有機洗浄、アッシングによってレジストを除去する(図6参照)。
さらに、形成されたSiO2層113をマスクとして誘導結合プラズマエッチング装置(ICPエッチング装置)でエッチングし、上記GaInPエッチングストップ層105までエッチングを行い、リッジストライプを形成する。その後SiO2層113をBHFのウエットエッチングで除去する(図7参照)。
再び、上記半導体ウエハ全体にSiO2層114を蒸着させ(図8参照)、上記Znを拡散してMQW層を無秩序化した領域(窓領域112)以外のリッジストライプの上部に存在するSiO2層114のみを除去し、SiO2層114の下部に電流非注入領域を形成する(図9参照)。
電流非注入領域については少なくとも窓領域112を覆うように形成する。なお、本実施の形態では窓領域112の幅(図9(a)の横方向の厚さ)が40μmであるのに合わせ、SiO2層114によって形成される電流非注入領域も幅が40μmとなるように形成した。電流非注入領域を形成するためには、窓領域112以外の部分のSiO2層114をBHFなどのウェットエッチングもしくは反応性イオンエッチングで除去するのが望ましい。
次に基板の裏側から薄く削り、スパッタ、EB蒸着等でAu/Ge/Ni層117、Mo層118、Au層119をEB蒸着もしくはスパッタ装置で蒸着し、N側電極を形成する。このときN電極とnGaAs基板との間のオーミック接合をとるために、440℃で15分ほどアニールするのが望ましい。
次に、P側電極として、Ti層115およびAu層116をスパッタ装置などで蒸着する(図10参照)。次に、先ほど蒸着したTi、Auを下地としてメッキ120をつけるが、後で半導体レーザ素子の長さに分割するときのために、窓形成領域112の上部にはメッキ120はつけない(図11参照)。
次に、窓領域の間に共振器長さLおきにケガキをいれ、半導体ウエハをバー121に分割する(図12参照)。本実施の形態では、共振器長さLを1100μmとして分割を行った。
分割された半導体レーザ素子のバー121を光出射端面1a側を一様にそろえてレーザバー固定冶具122に並べる(図13参照)。
(コート膜の形成)
次に、分割されたバー121の光出射端面1aにECRスパッタ装置を用いて厚さ87nmの酸化アルミニウム層200を蒸着し、本実施の形態の半導体レーザ素子の発振波長である780nmにおける光出射端面1aの反射率を8%に設定する。この酸化アルミニウム層200を蒸着する時のECRスパッタリングの条件は、Ar:40sccm、O2:9.5sccm、マイクロ波パワー800Wとした(図13および図1参照)。
次に、分割されたバー121の光出射端面1aにECRスパッタ装置を用いて厚さ87nmの酸化アルミニウム層200を蒸着し、本実施の形態の半導体レーザ素子の発振波長である780nmにおける光出射端面1aの反射率を8%に設定する。この酸化アルミニウム層200を蒸着する時のECRスパッタリングの条件は、Ar:40sccm、O2:9.5sccm、マイクロ波パワー800Wとした(図13および図1参照)。
本発明においては、半導体レーザ素子の光出射端面側に形成される酸化アルミニウム層が、電子サイクロトロン共鳴スパッタリング法で作製されることが好ましい。その際、電子サイクロトロン共鳴のマイクロ波パワーが600W以上の条件で成膜されることが好ましく、さらに好ましくは、700W以上900W以下である。電子サイクロトロン共鳴のマイクロ波パワーを600W以上とすることにより、酸化アルミニウム層内の表面部と深部のAl2p結合エネルギーの変化量を1.2eV以下とすることができ、O1s結合エネルギーの変化量を1.3eV以下とすることができ、ひいては、CODレベルを300mW以上に高めることができるためである。
次に、上記レーザバー固定冶具122を反対に向け、再びECRスパッタ装置を用いて、光反射端面1bにAl2O3層200aを光反射端面1bの反射率と非対称になるように形成する。本実施の形態では、光反射端面1bにAl2O3層200aを約118nmの厚さで蒸着し、光反射端面1bの反射率が10%となるようにする(図1参照)。
次に、光反射端面1bに、EB蒸着装置を用いて、Ta2O5層201とSiO2層202とが繰り返し積層されたマルチコート層を形成し、光反射端面1bの反射率を90%とした。ここで、SiO2層はn=1.45(nは屈折率を示す。以下同様。)として厚さ134nmとし、Ta2O5層はn=2.16として厚さ90nmとした(図1参照)。
さらに、上記Ta2O5層201とSiO2層202とが繰り返し積層されたマルチコート層が形成された光反射端面1bに、再びECRスパッタ装置を用いて、Al2O3層200bを約236nmの厚さで蒸着し、光出射端面1aの反射率が90%以上となるようにした(図1参照)。
次に、光出射端面1aおよび光反射端面1bにコート膜が形成されたバー121を、一つ一つの半導体レーザ素子(半導体レーザチップ)に分割する。本実施の形態では、半導体レーザ素子のチップ幅W(図13参照)を1100μmとして分割を行った。
最後に、チップをp側を下部としてAlNを材料としたサブマウントにダイボンドを行い、レーザチップの付いたサブマウントをステムといわれる端子にダイボンドを行いステムとレーザチップとの配線をAuワイヤーで接続する。最後に半導体レーザチップを保護する意味合いでキャップをつけ、半導体レーザ素子は完成する。
<実施の形態2>
本実施の形態の(赤外)半導体レーザ素子は図2に示すような構成であり、光出射端面1a側に酸化アルミニウム層200に加えてSiO2層202を有する点のみが実施の形態1と異なっている。本実施の形態では、光出射端面1a側のコート膜を2層構造とすることにより、2層の屈折率の平均値が活性層の屈折率の平方根からはなれるため、反射スペクトルの波形がなだらかになるためコート膜の厚みの変動に対する反射率の変動を抑制することができる。
本実施の形態の(赤外)半導体レーザ素子は図2に示すような構成であり、光出射端面1a側に酸化アルミニウム層200に加えてSiO2層202を有する点のみが実施の形態1と異なっている。本実施の形態では、光出射端面1a側のコート膜を2層構造とすることにより、2層の屈折率の平均値が活性層の屈折率の平方根からはなれるため、反射スペクトルの波形がなだらかになるためコート膜の厚みの変動に対する反射率の変動を抑制することができる。
本実施の形態の製造方法は、半導体レーザ素子の光出射端面1aおよび光反射端面1bにコート膜を蒸着する前までの工程(図3〜図13)は、実施の形態1と全く同一であるため、これらについては説明を省略する。実施の形態1と同様にして、レーザバー固定冶具122に並べられた半導体レーザ素子のバー121の光出射端面1aに、ECRスパッタ装置を用いて厚さ87nmの酸化アルミニウム層200と、厚さ75nmSiO2層202を蒸着し、本実施の形態の半導体レーザ素子の発振波長780nmにおいて光出射端面1aの反射率が8%となるように設定する(図2参照)。この酸化アルミニウム層200を蒸着する時のECRスパッタリングの条件は、Ar流量を40sccm、O2流量を9.5sccm、マイクロ波パワーを800Wとした。
次に、上記レーザバー固定冶具122を反対に向け、再びECRスパッタ装置を用いて、光反射端面1bにAl2O3層200aを光反射端面1bの反射率と非対称になるように形成する。本実施の形態では、光反射端面1bにAl2O3層200aを約118nmの厚さで蒸着し、光反射端面1bの反射率が10%となるようにした(図2参照)。
次に、Al2O3層200aが蒸着された光反射端面1bに、さらにEB蒸着装置を用いてTa2O5層201とSiO2層202とが繰り返し積層されたマルチコート層を形成し、光反射端面1bの反射率を90%とした。ここで、SiO2層はn=1.45として厚さ134nmとし、Ta2O5層はn=2.16として厚さ90nmとした(図2参照)。
さらに、上記Ta2O5層201とSiO2層202とが繰り返し積層されたマルチコート層が形成された光反射端面1bに、再びECRスパッタ装置を用いて、Al2O3層200bを約236nmの厚さで蒸着し、光出射端面1aの反射率が90%を維持したまま保護膜となるようにした(図2参照)。
半導体レーザ素子の光出射端面1aおよび光反射端面1bにコート膜を形成した後の工程は、再び実施の形態1と共通であるため説明は省略する。
(半導体レーザ素子の評価)
実施の形態1の半導体レーザ素子について、光出射端面1aに酸化アルミニウム層200を蒸着する際のECRスパッタリングのマイクロ波パワー(上記実施の形態1では、800Wに設定されている。)を500W、600W、700W、900Wに変えたものも作製し、CODレベルの評価と、酸化アルミニウム層200の表面部と深部におけるAl2p結合エネルギーおよびO1s結合エネルギーの変化量の評価を行った。
実施の形態1の半導体レーザ素子について、光出射端面1aに酸化アルミニウム層200を蒸着する際のECRスパッタリングのマイクロ波パワー(上記実施の形態1では、800Wに設定されている。)を500W、600W、700W、900Wに変えたものも作製し、CODレベルの評価と、酸化アルミニウム層200の表面部と深部におけるAl2p結合エネルギーおよびO1s結合エネルギーの変化量の評価を行った。
(CODレベル)
CODレベルの評価においては、半導体レーザ素子に流す電流を増加することにより光出力を徐々に増加させ、光出射端面の破壊により発振が止まったときの光出力値をCODレベルとして測定した。なお、半導体レーザ素子の発光は、CW(Continuous Wave Oscillation:連続発信)駆動で行い、各々の半導体レーザ素子5個のCODレベルの平均値で評価した。CODレベルには、無負荷の状態から素子に徐々に電流を増していったときにCODが発生する静的CODレベルと、長時間動作の途中でCODが発生する動的CODレベルがあるが、ここでは、静的CODレベルの測定を行っている。
CODレベルの評価においては、半導体レーザ素子に流す電流を増加することにより光出力を徐々に増加させ、光出射端面の破壊により発振が止まったときの光出力値をCODレベルとして測定した。なお、半導体レーザ素子の発光は、CW(Continuous Wave Oscillation:連続発信)駆動で行い、各々の半導体レーザ素子5個のCODレベルの平均値で評価した。CODレベルには、無負荷の状態から素子に徐々に電流を増していったときにCODが発生する静的CODレベルと、長時間動作の途中でCODが発生する動的CODレベルがあるが、ここでは、静的CODレベルの測定を行っている。
図14に、実施の形態1の半導体レーザ素子において、光出射端面の酸化アルミニウム層200を形成する際のECR(光電子サイクロトロン共鳴)スパッタリングのマイクロ波パワー(W)を500W、600W、700W、800W、900Wと変化させたときの、半導体レーザ素子のCODレベル(mW)をグラフで示す。
図14の結果から、光出射端面の酸化アルミニウム層200を形成する際のECRスパッタリングのマイクロ波パワーを600W以上とすることにより、半導体レーザ素子のCODレベルを300mW以上に高めることができることが分かる。
(酸化アルミニウム層内の結合エネルギーの変化量)
酸化アルミニウム層200内の表面部と深部におけるAl2p結合エネルギーおよびO1s結合エネルギーの変化量の評価には、XPS分析装置(ULVAC PHI製 Quantera SXM)を用いた。以下に測定条件を記す。
酸化アルミニウム層200内の表面部と深部におけるAl2p結合エネルギーおよびO1s結合エネルギーの変化量の評価には、XPS分析装置(ULVAC PHI製 Quantera SXM)を用いた。以下に測定条件を記す。
[共通の測定条件]
X線源:モノクロAl−Kα
光電子取出角度:45°
分析範囲:50μmφ
X線:25W−15kV
Arスパッタ条件:1kV(1mm×1mm)〜SiO2換算で約4.7nm/min のスパッタレート
[アルミニウムの2p光電子のエネルギー測定条件]
取得エネルギー:66〜86eV
パスエネルギー:112eV
ステップ:0.1eV
スイープ(Sweep)数:10
[酸素の1s光電子のエネルギー測定条件]
取得エネルギー:522〜542eV
パスエネルギー:112eV
ステップ:0.1eV
スイープ(Sweep)数:10
X線源:モノクロAl−Kα
光電子取出角度:45°
分析範囲:50μmφ
X線:25W−15kV
Arスパッタ条件:1kV(1mm×1mm)〜SiO2換算で約4.7nm/min のスパッタレート
[アルミニウムの2p光電子のエネルギー測定条件]
取得エネルギー:66〜86eV
パスエネルギー:112eV
ステップ:0.1eV
スイープ(Sweep)数:10
[酸素の1s光電子のエネルギー測定条件]
取得エネルギー:522〜542eV
パスエネルギー:112eV
ステップ:0.1eV
スイープ(Sweep)数:10
上記の条件でXPS分析装置を用いた測定を行い、酸化アルミニウム層200の表面部と深部における、Al2p結合エネルギーの変化量およびO1s結合エネルギーの変化量を算出した。具体的には、酸化アルミニウム層200の最表面から窓領域112との界面までの範囲に対して、約4.7nm(SiO2換算)刻みでのスパッタリングと分析を繰り返し、最初のスパッタリング後の分析(最表面から約4.7nmの深さの部位での分析)により求めた結合エネルギーを酸化アルミニウム層200の「表面」の結合エネルギーとし、光電子(アルミニウムの2p光電子または酸素の1s光電子)のエネルギーを示すピーク信号が消える直前の分析により求めた結合エネルギーを酸化アルミニウム層200の「深部」の結合エネルギーとして、両者の差から結合エネルギーの変化量を算出した。
図15に、実施の形態1の半導体レーザ素子において、光出射端面の酸化アルミニウム層200を形成する際のECRスパッタリングのマイクロ波パワーを500W、600W、700W、800W、900Wと変化させたときの、それぞれの場合における、光出射端面の酸化アルミニウム層200の表面部と深部におけるAl2p結合エネルギー(アルミニウムの2p軌道電子と原子核の結合エネルギー)の変化量をグラフで示す。
図15の結果から、ECRスパッタリングのマイクロ波パワーを600W以上とすることにより、酸化アルミニウム層内のAl2p光電子の結合エネルギーの変化量が1.2eV以下となることが分かる。
図16に、実施の形態1の半導体レーザ素子において、光出射端面の酸化アルミニウム層200を形成する際のECRスパッタリングのマイクロ波パワーを500W、600W、700W、800W、900Wと変化させたときの、それぞれの場合における、光出射端面の酸化アルミニウム層200の表面部と深部におけるO1s結合エネルギー(酸素の1s軌道電子と原子核の結合エネルギー)の変化量をグラフで示す。
図16の結果から、ECRスパッタリングのマイクロ波パワーを600W以上とすることにより、酸化アルミニウム層内のO1s光電子の結合エネルギーの変化量が1.3eV以下となることが分かる。
本発明の半導体レーザの実施形態は、上記の説明に限定されない。例えば、上記の実施形態においては780nm帯の半導体レーザの場合を示したが、他の波長レーザであってもよい。また、ブロードエリア型、垂直共振器型の半導体レーザ等にも適用可能である。活性層の導波構造は屈折率導波構造に限定されず、造電流狭窄構造など他の構造であってもよい。また、本発明の半導体レーザに設けられるようなコート膜を、複数の特定の波長の光を透過する光学部品の表面に形成することにより、光学部品の光による損傷閾値を上げることが容易となる。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本発明の半導体レーザ素子、および、それを用いた半導体レーザモジュールは、光記録技術等に好適に使用される。
1a 光出射端面、1b 光反射端面、101 n型GaAs基板、102 n型AlGaAs第一クラッド層、103 MQW層、104 (Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層、105 GaInPエッチングストップ層、106 Ga0.25In0.25P0.5中間層、107 GaAsコンタクト層、108 Si3N4層、109 レジスト、110 ZnO/SiO2混合層、111,113,114 SiO2層、112 窓領域、115 Ti層、116 Au層、117 Au/Ge/Ni層、118 Mo層、119 Au層、120 メッキ、121 バー、122 レーザバー固定冶具、200,200a,200b 酸化アルミニウム(Al2O3)層、201 Ta2O5層、202 SiO2層。
Claims (10)
- 酸化アルミニウム層を含むコート膜を光出射端面に有する半導体レーザ素子であって、 前記酸化アルミニウム層内の表面部と深部におけるアルミニウムの2p軌道電子と原子核の結合エネルギーの変化量が1.2eV以下であることを特徴とする半導体レーザ素子。
- 前記酸化アルミニウム層内の表面部と深部における酸素の1s軌道電子と原子核の結合エネルギーの変化量が1.3eV以下である、請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 前記酸化アルミニウム層内の表面部と深部におけるアルミニウムの2p軌道電子と原子核の結合エネルギーの変化量が0.4eV以下である、請求項1または2に記載の半導体レーザ素子。
- 前記酸化アルミニウム層内の表面部と深部における酸素の1s軌道電子と原子核の結合エネルギーの変化量が0.6eV以下である、請求項1〜3のいずれかに記載の半導体レーザ素子。
- 前記半導体レーザ素子はアルミニウムを含まない半導体材料からなる活性層を有し、アルミニウムを含む半導体材料からなるバリア層を有する、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体レーザ素子。
- 前記半導体レーザ素子が、GaAs基板を有する、請求項1〜5のいずれかに記載の半導体レーザ素子。
- 少なくとも光を集光するための光学レンズと、光を外部に導く光ファイバと、請求項1〜6のいずれかに記載の半導体レーザ素子とを一体化した半導体レーザモジュール。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の半導体レーザ素子の製造方法であって、前記酸化アルミニウム層が電子サイクロトロン共鳴スパッタリングで作製される、半導体レーザ素子の製造方法。
- 前記電子サイクロトロン共鳴スパッタリングのマイクロ波パワーが600W以上の条件で前記酸化アルミニウム層が形成される、請求項8に記載の半導体レーザ素子の製造方法。
- 前記電子サイクロトロン共鳴スパッタリングのマイクロ波パワーが700W以上900W以下の条件で前記酸化アルミニウム層が形成される、請求項9に記載の半導体レーザ素子の製造方法。
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JP2013051340A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Seiko Epson Corp | 発光装置、スーパールミネッセントダイオード、およびプロジェクター |
JP2016173463A (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-29 | Nttエレクトロニクス株式会社 | 光デバイス及び光デバイスの製造方法 |
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-
2009
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---|---|---|---|---|
JP2013051340A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Seiko Epson Corp | 発光装置、スーパールミネッセントダイオード、およびプロジェクター |
US9170477B2 (en) | 2011-08-31 | 2015-10-27 | Seiko Epson Corporation | Light emitting device and super-luminescent diode having layer with first, second and third waveguides |
JP2016173463A (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-29 | Nttエレクトロニクス株式会社 | 光デバイス及び光デバイスの製造方法 |
CN112195443A (zh) * | 2020-09-14 | 2021-01-08 | 武汉电信器件有限公司 | 一种薄膜沉积系统及镀膜方法 |
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