JP2010241080A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電素子300は、流路形成基板10から第1共通電極60、第1圧電体層65、個別電極70、第2圧電体層75、及び第2共通電極80が順に積層されてなり、前記第1圧電体層は、個別電極70及び第2圧電体層75で覆われると共に、第2圧電体層75は、第2共通電極80で覆われており、第1共通電極60及び第2共通電極80は、圧力発生室12の並設方向に亘って連続的に設けられ、第1共通電極60及び第2圧電体層80は、圧力発生室12の並設方向に亘って連続的に設けられ、第1共通電極60と第2共通電極80は、圧力発生室12を並設方向に区画する隔壁の上方で接続されている。
【選択図】 図3
Description
かかる第1の態様では、圧電体層が、第1圧電体層及び第2圧電体層の二層で構成されていることにより、変位特性が向上する。また、第2共通電極は、圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられていることにより、変位特性を低下させることなく、圧電体層(第1圧電体層及び第2圧電体層)を保護することができ、大気中の水分に起因する圧電素子の破壊を抑制することができる。さらに、第1共通電極と第2共通電極は、圧力発生室を並設方向に区画する隔壁の上方で接続されていることにより、クロストークを抑制することができ、液体の吐出特性に優れたものとなる。
かかる態様では、信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図3は、図2の要部を拡大した断面図である。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。
Claims (3)
- 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記流路形成基板の上方に設けられた圧電素子とを備え、圧電素子の変形によってノズル開口から液体を吐出する液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧電素子は、前記流路形成基板から第1共通電極、第1圧電体層、個別電極、第2圧電体層、及び第2共通電極が順に積層されてなり、
前記第1圧電体層は、前記個別電極及び第2圧電体層で覆われ、
前記第2圧電体層は、前記第2共通電極で覆われ、
前記第1共通電極及び前記第2共通電極は、前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられ、
前記第1共通電極と前記第2共通電極は、前記圧力発生室を並設方向に区画する隔壁の上方で接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記第1圧電体層及び前記第2圧電体層の厚さは、いずれも1μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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