JP2010240592A - 微小気泡発生装置及び微小気泡発生方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】装置構成の簡略化及び低価格化を実現することができる微小気泡発生装置を提供する。
【解決手段】微小気泡発生装置1Aにおいて、互いに連結された複数のベンチュリ管3と、ベンチュリ管3内を通過する液体の流れを旋回流とする複数の貫通孔をそれぞれ有し、前述の複数のベンチュリ管3の各々の液体流入側にそれぞれ設けられた複数の旋回部材4とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】微小気泡発生装置1Aにおいて、互いに連結された複数のベンチュリ管3と、ベンチュリ管3内を通過する液体の流れを旋回流とする複数の貫通孔をそれぞれ有し、前述の複数のベンチュリ管3の各々の液体流入側にそれぞれ設けられた複数の旋回部材4とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、液体中に微小気泡を発生させる微小気泡発生装置及び微小気泡発生方法に関する。
微小気泡発生装置としては、家庭用のマイクロナノバブル生成器やペット洗浄器が市販されており、さらに、洗浄やレジスト剥離などを行う基板処理装置に処理液として多数の微小気泡(微細気泡)を含む液体を供給する液体供給装置も開発されている。
例えば、基板処理装置に用いられる微小気泡発生装置としては、窒素ガス供給部から配管を介して供給される窒素ガスと純水供給源から配管を介して供給される純水とを混合し、マイクロバブル水を生成するマイクロバブル発生器が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、前述のような微小気泡発生装置では、窒素ガス供給部やガス供給用の配管などが必要となるため、装置構成が複雑となり、さらに、価格も上昇してしまう。
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、装置構成の簡略化及び低価格化を実現することができる微小気泡発生装置及び微小気泡発生方法を提供することである。
本発明の実施の形態に係る第1の特徴は、微小気泡発生装置において、互いに連結された複数のベンチュリ管と、ベンチュリ管内を通過する液体の流れを旋回流とする複数の貫通孔をそれぞれ有し、複数のベンチュリ管の各々の液体流入側にそれぞれ設けられた複数の旋回部材とを備えることである。
本発明の実施の形態に係る第2の特徴は、微小気泡発生方法において、互いに連結された複数のベンチュリ管の各々の液体流入側にそれぞれ設けられた複数の旋回部材により液体を旋回させながら、複数のベンチュリ管に通過させることである。
本発明によれば、装置構成の簡略化及び低価格化を実現することができる。
(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態について図1ないし図3を参照して説明する。
本発明の第1の実施の形態について図1ないし図3を参照して説明する。
図1に示すように、本発明の第1の実施の形態に係る微小気泡発生装置1Aは、筐体となるケース2Aと、そのケース2A内に設けられた複数のベンチュリ管3及び複数の旋回部材4とを備える気泡発生構造体である。
ケース2Aは円筒形状に形成されており、各ベンチュリ管3及び各旋回部材4を内蔵するプラスチック(合成樹脂)あるいは金属製のケースである。このケース2Aは、供給された液体が内部に流入する流入口H1及びその内部を通過した液体が流出する流出口H2を有している。なお、各ベンチュリ管3及び各旋回部材4もプラスチック(合成樹脂)あるいは金属材料により形成されている。
各ベンチュリ管3は、それぞれ外周面がケース2Aの内周面に密着するようにケース2A内に設けられており、ケース2Aにより互いに連結されて直列に配列されている。ベンチュリ管3内の流路3aは、微小気泡を発生させるように液体流入側から管内部に向かって徐々に細くなっており(絞り部)、その管途中から液体流出側に向けて徐々に広がっている。この流路3aの最小隙間は例えば3mm程度に設定されている。このようなベンチュリ管3は、その内部の流路3aを通過する液体中の溶存気体を減圧し圧力開放することによって気化させ、その液体中にマイクロナノバブルなどの微小気泡を発生させる。なお、ベンチュリ管3は、絞り部により液体中の溶存気体を減圧し、絞り部の液体通過によりその圧力を開放する。
各旋回部材4は、各ベンチュリ管3の液体流入側にそれぞれ接着されて取り付けられている。これらの旋回部材4は、図2及び図3に示すように、ベンチュリ管3内を通過する液体の流れを旋回流とする複数(例えば4つ)の貫通孔K1を各々有している。これらの貫通孔K1は直径が例えば3mm程度の孔であり、旋回部材4の表面(被加工面)に対して所定の角度(例えば10°から20°程度の範囲内の角度)で貫通するように形成されている。これにより、液体が旋回部材4の各貫通孔K1を通過してベンチュリ管3内に流入すると、その液流はベンチュリ管3内で旋回流となる。
次に、前述の微小気泡発生装置1Aによる微小気泡発生動作(微小気泡発生方法)について説明する。
水道水(あるいは湯、例えば30℃から45℃程度の範囲内の一定温度の湯)が微小気泡発生装置1A内に流入口H1から供給されると、その液体は流入口H1からケース2A内に流入し、最初に第1段の旋回部材4及びベンチュリ管3を順次通過する。
まず、ケース2A内に流入した液体は旋回部材4の各貫通孔K1を通過する。このとき、液体は各貫通孔K1によりねじられるようにベンチュリ管3内に流入するため、各貫通孔K1を通過した液体はその液流が旋回流となってベンチュリ管3内を通過する。
ベンチュリ管3内を旋回しながら通過する液体の溶存気体はベンチュリ管3の絞り部により減圧され、圧力開放により気化されて、液体中にマイクロナノバブルなどの微小気泡が多数生成される。
ここで、旋回部材4の各貫通孔K1に液体を通過させることによって、ベンチュリ管3に供給される液体の流速が上がり、ベンチュリ管3による減圧機能、すなわち気化機能が高まる。さらに、ベンチュリ管3を通過する液体を旋回させることによって、液中に発生した多数の微小気泡は旋回流により攪拌され、気泡同士が衝突して細分化(微細化)される。これらのことから、マイクロナノバブルのような微小気泡を多数発生させることができる。また、液体の液流が旋回部材4により旋回流として整流されるので、液体の整流機能を実現することができる。
多数の微小気泡を含む液体は、再度、第2段の旋回部材4及びベンチュリ管3を順次通過し、さらに、第3段の旋回部材4及びベンチュリ管3を順次通過する。これらの第2段及び第3段でも、液体は各旋回部材4により旋回しながら各ベンチュリ管3を通過することになるので、前述のようにマイクロナノバブルのような微小気泡を多数発生させることができる。
その後、旋回部材4及びベンチュリ管3を三度通過して多数の微小気泡を含んだ液体(マイクロナノバブル水)は、微小気泡発生装置1A外に流出口H2から排出される。このとき、排出された液体はマイクロナノバブルやナノバブルなどの微小気泡を多数含んでいる。
このように、ケース2A内を通過する液体の流れが各旋回部材4により旋回流とされ、その旋回流が各ベンチュリ管3内を通過する。このとき、それらのベンチュリ管3により多数の微小気泡が液中に発生し、さらに、旋回流により液中の多数の微小気泡はより細かく分断される。
したがって、ベンチュリ管3の上流側に旋回部材4を設け、その旋回部材4の各貫通孔K1に液体を流入させることによって、ベンチュリ管3に供給される液体の流速が上がり、ベンチュリ管3による減圧機能(気化機能)が高まり、さらに、ベンチュリ管3を通過する液体の流れを旋回流とすることによって、液中に発生した多数の微小気泡を攪拌して細分化することが可能になるので、気泡発生効率を向上させることができる。つまり、旋回部材4をベンチュリ管3の液体流入側に設けたことによって、気化機能及び気泡分断力が向上するので、マイクロナノバブルやナノバブルなどの微小気泡を液中に多数発生させることができる。
また、液体は旋回部材4及びベンチュリ管3の組を段階的に三度通過することになるので、液中に含まれる微小気泡を確実に細分化することが可能となり、より多く微小気泡を発生させることができる。すなわち、気泡粒径の細分化及び気泡発生効率の向上を実現することが可能である。
なお、このような多数の微小気泡を含む液体(水や湯など)を使用する効果としては、基板処理装置において、基板に付着したパーティクル(ゴミや埃などの不純物)や基板上のレジスト膜を確実に除去することが可能となる。また、水(湯)の浸透性が高いため、毛穴内部の汚れが除去されて肌がスベスベになり、髪の毛の汚れや油脂が取れて髪の毛がサラサラとなる。さらに、風呂上りが爽快で湯冷めがしにくくなって保温効果が向上し、化粧のノリも良くなる。加えて、洗剤の泡立ち性も向上し、髪の毛はしなやかになり、アトピーなどの皮膚へのダメージは回復され、そのストレスも解消され、また、においも除去される。他にも、多数の微小気泡を含む水で炊いた米はおいしくなり、コーヒーやお茶の溶け込みも非常に早くなる。
ここで、微小気泡は、マイクロバブル(MB)やマイクロナノバブル(MNB)、ナノバブル(NB)などの概念を含む微細気泡である。例えば、マイクロバブルは10μm〜数十μmの直径を有する気泡であり、マイクロナノバブルは数百nm〜10μmの直径を有する気泡であり、ナノバブルは数百nm以下の直径を有する気泡である。
以上説明したように、本発明の第1の実施の形態によれば、各旋回部材4により液体を旋回させながら各ベンチュリ管3に順次通過させることによって、ベンチュリ管3に供給される液体の流速が旋回部材4の各貫通孔K1の通過により上がり、各ベンチュリ管3による減圧機能(気化機能)が高まり、さらに、液中に発生した多数の微小気泡が旋回流により攪拌されて細分化されるので、マイクロナノバブルやナノバブルのような微小気泡を多数発生させることができる。さらに、液体は旋回部材4及びベンチュリ管3の組を段階的に順次通過することになるので、液中に含まれる微小気泡を確実に細分化することが可能となり、より多く微小気泡を発生させることができる。
したがって、液体が気泡発生構造体である微小気泡発生装置1Aの内部を通過するだけでその液体中に多数の微小気泡が発生することになり、窒素ガス供給部やガス供給用の配管、電気供給などの複雑な構成や構造は必要なくなる。これにより、簡略な構成及び構造によりマイクロナノバブルやナノバブルなどの微小気泡を多数発生させることが可能となるので、装置構成の簡略化及び低価格化を実現することができる。
(第2の実施の形態)
本発明の第2の実施の形態について図4を参照して説明する。
本発明の第2の実施の形態について図4を参照して説明する。
本発明の第2の実施の形態は第1の実施の形態と基本的に同じである。したがって、第2の実施の形態では、第1の実施の形態と異なる部分について説明する。なお、第2の実施の形態では、第1の実施の形態で説明した部分と同じ部分の説明を省略する。
図4に示すように、本発明の第2の実施の形態に係る微小気泡発生装置1Bでは、筐体となる複数のケース2Bが互いに連結及び分割可能に形成されている。これらのケース2B内には、ベンチュリ管3及び旋回部材4が互いに一つずつ組みとなってそれぞれ設けられている。したがって、ケース2B、ベンチュリ管3及び旋回部材4が1つの気泡発生構造体を構成している。
各ケース2Bは例えばネジ結合により連結及び分割可能に形成されている。これにより、気泡発生構造体の内部清掃などを行うことが容易となり、メンテナンス性が向上する。加えて、必要となる微小気泡のサイズや気泡数などに応じて、気泡発生構造体の連結数を容易に変えることが可能であり、利便性も向上する。
以上説明したように、本発明の第2の実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。さらに、ベンチュリ管3及び旋回部材4をそれぞれ有する複数の気泡発生構造体を互いに連結及び分割可能に形成することによって、各気泡発生構造体の内部清掃などを行うことが容易となるので、メンテナンス性を向上させることができる。さらに、必要となる微小気泡のサイズや気泡数などに応じて、気泡発生構造体の連結数を容易に増減させることが可能になるので、利便性も向上させることができる。
(他の実施の形態)
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えば、前述の実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。また、前述の実施の形態においては、各種の数値を挙げているが、それらの数値は例示であり、限定されるものではない。
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えば、前述の実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。また、前述の実施の形態においては、各種の数値を挙げているが、それらの数値は例示であり、限定されるものではない。
前述の実施の形態においては、ベンチュリ管3及び旋回部材4を1つの組として、その組を3つ設けているが、これに限るものではなく、例えば、2つあるいは4つ設けるようにしてもよく、その数は限定されない。また、旋回部材4の貫通孔K1を4つ設けているが、これに限るものではなく、例えば、2つあるいは6つ設けるようにしてもよく、その数は限定されない。
1A 微小気泡発生装置
1B 微小気泡発生装置
3 ベンチュリ管
4 旋回部材
K1 貫通孔
1B 微小気泡発生装置
3 ベンチュリ管
4 旋回部材
K1 貫通孔
Claims (3)
- 互いに連結された複数のベンチュリ管と、
前記ベンチュリ管内を通過する液体の流れを旋回流とする複数の貫通孔をそれぞれ有し、前記複数のベンチュリ管の各々の液体流入側にそれぞれ設けられた複数の旋回部材と、
を備えることを特徴とする微小気泡発生装置。 - 前記複数のベンチュリ管及び前記複数の旋回部材は互いに一つずつ組みとなって複数の気泡発生構造体を構成しており、
前記複数の気泡発生構造体は互いに連結及び分割可能に形成されていることを特徴とする請求項1記載の微小気泡発生装置。 - 互いに連結された複数のベンチュリ管の各々の液体流入側にそれぞれ設けられた複数の旋回部材により液体を旋回させながら、前記複数のベンチュリ管に通過させることを特徴とする微小気泡発生方法。
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Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012073435A1 (ja) * | 2010-12-01 | 2012-06-07 | 株式会社G.P.P. | バブル発生器 |
JP2013086076A (ja) * | 2011-10-21 | 2013-05-13 | Panasonic Corp | 微細気泡生成ノズル |
JP2013113453A (ja) * | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Mitsubishi Electric Corp | 風呂給湯装置 |
JP2013116441A (ja) * | 2011-12-02 | 2013-06-13 | Contact Co Ltd | 洗浄装置 |
WO2014084301A1 (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-05 | Idec株式会社 | 微細気泡生成ノズルおよび微細気泡生成装置 |
JP2017221926A (ja) * | 2016-06-17 | 2017-12-21 | 株式会社アスプ | 気体含有液生成装置および気体含有液処理機構 |
KR20180077641A (ko) * | 2016-12-29 | 2018-07-09 | 이기택 | 커피 드립 머신 |
JP2018134587A (ja) * | 2017-02-21 | 2018-08-30 | 株式会社富士計器 | 微細気泡生成器 |
JP2018134588A (ja) * | 2017-02-21 | 2018-08-30 | 株式会社富士計器 | 微細気泡生成器 |
JP2018144018A (ja) * | 2017-03-06 | 2018-09-20 | 株式会社ウォーターデザイン | 液体処理ノズル及び液体処理ノズル用コアエレメント |
JP2019518604A (ja) * | 2016-06-27 | 2019-07-04 | 叶志青 | 多段エアレーション発生装置および汚水処理方法 |
CN113144929A (zh) * | 2021-05-08 | 2021-07-23 | 中海石油(中国)有限公司 | 一种预混均质耦合式气泡发生器 |
JP2021178303A (ja) * | 2020-05-15 | 2021-11-18 | 株式会社サイエンス | バブル攪拌器 |
CN113926601A (zh) * | 2021-10-28 | 2022-01-14 | 重庆市生态环境科学研究院 | 微纳米气泡空化喷嘴 |
JP7142386B1 (ja) | 2021-06-15 | 2022-09-27 | 荒川工業株式会社 | 微細気泡発生器 |
US20220370963A1 (en) * | 2021-05-20 | 2022-11-24 | Puritech Co., Ltd. | System for dissolving gas |
JP7569754B2 (ja) | 2021-06-15 | 2024-10-18 | 株式会社富士計器 | 微細気泡水生成器を備えた洗濯機用ホース及びシャワー用ホース |
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Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012073435A1 (ja) * | 2010-12-01 | 2012-06-07 | 株式会社G.P.P. | バブル発生器 |
JP2013086076A (ja) * | 2011-10-21 | 2013-05-13 | Panasonic Corp | 微細気泡生成ノズル |
JP2013113453A (ja) * | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Mitsubishi Electric Corp | 風呂給湯装置 |
JP2013116441A (ja) * | 2011-12-02 | 2013-06-13 | Contact Co Ltd | 洗浄装置 |
WO2014084301A1 (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-05 | Idec株式会社 | 微細気泡生成ノズルおよび微細気泡生成装置 |
JP2014104441A (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Idec Corp | 微細気泡生成ノズルおよび微細気泡生成装置 |
JP2017221926A (ja) * | 2016-06-17 | 2017-12-21 | 株式会社アスプ | 気体含有液生成装置および気体含有液処理機構 |
JP2019518604A (ja) * | 2016-06-27 | 2019-07-04 | 叶志青 | 多段エアレーション発生装置および汚水処理方法 |
KR102036805B1 (ko) | 2016-12-29 | 2019-11-26 | 이기택 | 커피 드립 머신 |
KR20180077641A (ko) * | 2016-12-29 | 2018-07-09 | 이기택 | 커피 드립 머신 |
JP7089342B2 (ja) | 2017-02-21 | 2022-06-22 | 株式会社富士計器 | 微細気泡生成器 |
JP2018134587A (ja) * | 2017-02-21 | 2018-08-30 | 株式会社富士計器 | 微細気泡生成器 |
JP2018134588A (ja) * | 2017-02-21 | 2018-08-30 | 株式会社富士計器 | 微細気泡生成器 |
JP2018144018A (ja) * | 2017-03-06 | 2018-09-20 | 株式会社ウォーターデザイン | 液体処理ノズル及び液体処理ノズル用コアエレメント |
JP2021178303A (ja) * | 2020-05-15 | 2021-11-18 | 株式会社サイエンス | バブル攪拌器 |
JP7236743B2 (ja) | 2020-05-15 | 2023-03-10 | 株式会社サイエンス | バブル攪拌器 |
CN113144929A (zh) * | 2021-05-08 | 2021-07-23 | 中海石油(中国)有限公司 | 一种预混均质耦合式气泡发生器 |
US20220370963A1 (en) * | 2021-05-20 | 2022-11-24 | Puritech Co., Ltd. | System for dissolving gas |
US12053751B2 (en) * | 2021-05-20 | 2024-08-06 | Puritech Co., Ltd. | System for dissolving gas |
JP7142386B1 (ja) | 2021-06-15 | 2022-09-27 | 荒川工業株式会社 | 微細気泡発生器 |
WO2022264568A1 (ja) * | 2021-06-15 | 2022-12-22 | 荒川工業株式会社 | 微細気泡発生器 |
JP2022190862A (ja) * | 2021-06-15 | 2022-12-27 | 荒川工業株式会社 | 微細気泡発生器 |
US12048907B1 (en) | 2021-06-15 | 2024-07-30 | Arakawa Industry Co., Ltd. | Fine bubble generator |
JP7569754B2 (ja) | 2021-06-15 | 2024-10-18 | 株式会社富士計器 | 微細気泡水生成器を備えた洗濯機用ホース及びシャワー用ホース |
CN113926601A (zh) * | 2021-10-28 | 2022-01-14 | 重庆市生态环境科学研究院 | 微纳米气泡空化喷嘴 |
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