JP2010236946A - 特性測定装置の特性観測方法 - Google Patents
特性測定装置の特性観測方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010236946A JP2010236946A JP2009083478A JP2009083478A JP2010236946A JP 2010236946 A JP2010236946 A JP 2010236946A JP 2009083478 A JP2009083478 A JP 2009083478A JP 2009083478 A JP2009083478 A JP 2009083478A JP 2010236946 A JP2010236946 A JP 2010236946A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- characteristic
- sweep
- stop
- continuous
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
【課題】連続掃引をしてDUTの特性測定を行う時に、DUTが破壊に至る特性変化の過程を容易に観測する方法を提供する。
【解決手段】連続して信号の掃引を行い、測定結果を表示する特性測定装置において、連続掃引を自動停止させる停止領域の設定をし、連続掃引による測定を行い、測定結果が、前記停止領域内に含まれて表示されたら、掃引を停止し、前記掃引停止の時点までの測定結果の履歴を表示する特性測定装置の特性観測方法。
【選択図】図4
【解決手段】連続して信号の掃引を行い、測定結果を表示する特性測定装置において、連続掃引を自動停止させる停止領域の設定をし、連続掃引による測定を行い、測定結果が、前記停止領域内に含まれて表示されたら、掃引を停止し、前記掃引停止の時点までの測定結果の履歴を表示する特性測定装置の特性観測方法。
【選択図】図4
Description
本発明は、連続掃引を行う半導体及びその他の素子の特性測定装置に関する。
半導体及びその他の素子の特性を簡単に測定する特性測定装置として、特許文献1に記載のようなカーブトレーサがある。この装置には、例えば電圧または電流などの所定の物理量に対して掃引を行い、その測定結果を表示装置にグラフ表示(例えば、特許文献1の図5Aないし図5D)する機能を備えている。
同様な機能は非特許文献1記載の半導体パラメータ・アナライザ装置も備えている。この装置の「ノブ掃引測定」機能では、所定のキーを押すまでは掃引を繰り返して測定するモード(繰り返し掃引モード、あるいは、連続掃引モード)を備えて、連続掃引による測定結果を取得しては、表示装置上の表示を更新することができる。
特許文献2には掃引を行い、測定結果をコンピュータに吸い上げて、自動判定する素子特性測定装置が記載されている。
アジレント・テクノロジー株式会社、「Agilent 4155C 半導体パラメータ・アナライザ Agilent 4156C プレシジョン半導体パラメータ・アナライザ ユーザ・ガイド 測定と解析 第6版」、04156-97026、March 2008 、「2−3」頁
しかしながら、従来技術では、連続掃引をして各種の素子などの被測定対象(DUT:Device Under Test)の特性測定を行う時に、DUTが破壊に至る特性変化の過程を容易に観測することができないという課題がある。
すなわち、例えば特許文献1の図5Bに記載のようなブレークダウン特性が連続掃引により表示装置に繰り返し表示されている際に、DUTが短絡故障を起こして、これまでと全く違った特性が測定されて表示される場合を考える。このような場合、従来は、適切な自動掃引停止機能がないために、オペレータが常に表示を監視していて、掃引停止操作を行っていた。しかしながら、たとえ、オペレータが迅速に掃引停止を行うことができたとしても、表示装置に残っているのは、故障後の特性にすぎない。これは、DUTが故障を起こす前の特性の表示は、最後の掃引の開始とともに表示がクリアされるためである。従って、従来の測定装置及び測定方法では、オペレータはDUTが故障を起こす直前の特性を知ることはできない。
あるいは、特性測定装置をコンピュータで制御して、シングル掃引モードで特性を測定しては、コンピュータにデータを送り、特許文献2に記載の自動判定を行い、故障が起きていなければ、次のシングル掃引を行うという手法もあるが、測定装置に加えてコンピュータも必要となるため、装置コストの増加や、また、測定時間にコンピュータへのデータ転送時間が加わることにより、測定のターンアラウンドタイムが長くなることを考えると、DUTが破壊に至る特性変化の過程を容易に観測することができるとは言い難い。
上記の課題を解決するために、本発明による特性測定装置の特性観測方法は、連続して信号の掃引を行い、測定結果を表示する特性測定装置において、連続掃引を自動停止させる停止領域の設定をし、連続掃引による測定を行い、測定結果が、前記停止領域内に含まれて表示されたら、掃引を停止し、前記掃引停止の時点までの測定結果の履歴を表示するステップを備える。
本発明は、連続掃引すなわち連続掃引を行いDUTの特性測定を行う測定装置において、測定結果により自動的に掃引を停止する手段を備えているので、オペレータが表示を監視する手間が必要なくなり、動作も高速かつ正確になる、という効果を奏する。
さらに、本発明は、連続掃引による特性測定結果を、直近の所定量記憶して、掃引停止後にその記憶内容をプレイバック、すなわち再表示する手段を備えているので、従来では容易に記憶し、容易に見ることのできなかった、連続掃引停止前の特性の履歴を確認することができる、という効果を奏する。
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。図1に本発明による特性測定装置のブロック図を示す。
特性測定装置100は、制御部102と、1つまたは複数の測定回路110、114、画面を備えた表示装置120と、オペレータからの指示を受け取る入力装置122を備え、DUT130の測定を行う。
測定回路110,114は、可変電圧源、可変電流源、電圧測定回路、電流測定回路の全てまたはそのうちのいくつかの機能を備える。入力装置122は、装置上あるいは装置に接続された各種キー、カーソルキー、タッチパネル、ロータリーノブ、キーボード、マウスなどが含まれる。なお、本発明においてキーあるいはボタンを押すという表現は、キーボード上の各種キーや、装置上に配置されたキーを押すこと、および、表示画面上に表示された各種ボタンやメニューをマウスあるいは手元のタッチパッドを操作して選択すること、または表示画面上に表示された各種ボタンやメニューを表示画面上に形成されたタッチパッドを直接押す、または触れることで選択することが含まれる。
制御部102は、内部にメモリ106に接続されたプロセッサすなわち処理装置104を備えて各種の制御を行う。制御部102は、測定回路110、114を制御して測定を行うほか、入力装置122の制御および表示装置120への表示制御等を行う。特性測定装置100の制御プログラム、測定プログラム、測定結果のデータ等は、メモリ106に格納される。なお、メモリ106は、RAMやフラッシュメモリなどの書き換え可能なメモリだけでなく、各種のROMや、CD、HDD等の大容量の記憶装置を含むこともできる。
特性測定装置100は、測定回路を制御して、DUTの所定の端子に、例えば、所定の開始電圧から所定の終了電圧まで、所定のステップ幅で電圧を順次印加し、すなわち電圧掃引を行い、測定回路から、その時の電流値を測定することで、特性測定を行い、その結果をグラフで表示装置120に表示する。シングル掃引は、その掃引を1回だけ行い、結果を表示して待機状態となる動作で、連続掃引あるいは繰り返し掃引とは、その掃引を連続して行い、結果表示を更新し、掃引停止ボタンなどの操作がない限り掃引を無限に繰り返す動作を、基本的に意味する。
図2に、連続掃引の自動停止設定画面200を示す。まず、入力装置により、所定のキーを押すなどして、表示装置および入力装置を連続掃引自動停止設定モードに切り替える。
次に、画面に表示された停止領域204を、入力装置を用いて、所望の位置に移動し、また、所望の大きさに変更する。この停止領域204とは、特性測定装置の連続掃引による測定結果202がこの領域に入った場合に掃引を自動停止するための指定範囲を示す領域である。例えば、図2に示されるようなトランジスタのブレークダウン特性を測定する場合、正常な状態では測定値202がプロットされない領域に、この停止領域204を設定することで、異常を検出することができる。
なお、この停止領域204は、図2のように矩形に限定されることなく、円、多角形、任意の形状の閉領域とすることができる。また、停止領域は1つに限定されることなく、複数個設けてもよい。
当該設定が終わったら、入力装置により、所定のキーを押すなどして、当該設定モードを終了する。なお、この設定モードには、掃引停止中に入ることもできるし、連続掃引中に入ることもできる。
次に、連続掃引中に、DUTが何らかの原因により例えば短絡故障を起こし、掃引結果の表示として、図3Aに示されるように、測定結果が当該停止領域204中にプロットされると、本発明による特性測定装置の連続掃引は自動的に停止し、オペレータからの入力待ち状態となる。
以上のような掃引自動停止設定および自動停止動作により、特性測定装置100は、故障後のDUTのダメージをこれ以上ひどくしない状態で、掃引を自動停止する。これは、従来は、オペレータによって、連続掃引が故障後すぐに停止されない場合に、掃引がさらに繰り返されて、DUTのダメージがひどくなっていたのを考えると、非常に有益な機能である。
連続掃引が自動停止したら、オペレータは、現在の特性表示から、画面を確認し、その後、次のように、掃引が停止されるまでの特性の履歴を再表示して確認することができる。
すなわち、入力装置により、所定のキーを押すなどして、表示装置120および入力装置122を特性の再表示モードに切り替える。本特性測定装置は、特性の測定結果の自動記録機能を備えており、直近の測定結果を所定の単位(例えば、1ミリ秒等の所望の秒数の時間間隔を単位として、あるいは、1掃引毎の画面を単位として)で所定数だけメモリ106中に格納することができる。
再表示モードには、入力装置122により、所定のキーを押すなどして、表示装置120および入力装置122を当該モードに切り替えて入る。このモードでは、図示されていない、所定のプレイバックボタンを押すことで、所定の単位で記録された画面表示を、時間の流れとは逆に遡って表示したり、図示されていない所定のプレイボタンを押すことで、所定の単位で記録された画面表示を時間の流れに沿って表示することができる。なお、プレイバックボタンおよびプレイボタンの機能は、ロータリーノブ、カーソルキー、マウスのポインタの位置など、様々な方法で実現することができる。
再表示モードによる、表示装置120に表示される特性測定結果の表示例を、図3Aないし図3Cを用いて説明する。図3Aは、連続掃引停止時の画面であり、測定結果が、停止領域中にプロットされて停止条件にかかっていて、DUTが何らかの異常をきたしたことが判別できる。図3Bは、一回プレイバックボタンを押した後に表示される、1単位前の特性を示す測定結果(312)の画面で、図3Cは、さらに1回プレイバックボタンを押した後に表示される、1単位前の特性を示す測定結果(322)の画面である。オペレータは、図3Aから図3Cまでの表示装置120上の表示を確認することで、DUTの特性変化を時間を遡っ
て検討することができる。さらに、上述のように、オペレータが、プレイボタンを押すたびに、図3C、図3B、図3Aの順で時系列に沿った特性が表示され、オペレータはその変化を確認することができる。なお、特性測定装置に格納可能な履歴画面の数は装置のメモリ容量に依存し、上記の例では3枚しか示してないが、それよりもはるかに多い数とすることができる。
て検討することができる。さらに、上述のように、オペレータが、プレイボタンを押すたびに、図3C、図3B、図3Aの順で時系列に沿った特性が表示され、オペレータはその変化を確認することができる。なお、特性測定装置に格納可能な履歴画面の数は装置のメモリ容量に依存し、上記の例では3枚しか示してないが、それよりもはるかに多い数とすることができる。
以上の説明に基づき、本発明による特性測定装置における特性観測方法400を図4にフローチャートとして示す。すなわち、当該方法によれば、連続掃引を自動停止する停止領域204の設定をし(ステップ402)、次に、連続掃引測定を行い、測定結果が、当該停止領域204に含まれるなら、掃引を停止し(ステップ404)、掃引停止までの時点の測定結果の所定期間の履歴を表示する(ステップ406)ことができるので、DUTが示す異常な測定値に基づいて、連続掃引を自動的に停止することができ、保存された掃引停止までの特性の変化の観測が容易になり、各種素子の破壊直前の特性の変化を観測するのに極めて有益である。
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明の思想に基づき、さまざまな変形・変更を施すことが可能である。
本発明を、電圧あるいは電流などのアナログ量の連続掃引を行って測定結果を表示する測定装置だけでなく、ネットワークアナライザなどの周波数領域での掃引を繰り返して測定結果を表示する装置、さらには、オシロスコープあるいはスペクトルアナライザなどの、能動的に掃引をしなくても、トリガ信号により繰り返し信号の測定結果を表示する測定装置に適用し、停止領域を設けて連続測定を自動停止し、画面の履歴をプレイバックにするように、利用することができる。
100 特性測定装置 102 制御部 104 プロセッサ 106 メモリ 110、114 測定回路 120 表示装置 122 入力装置 130 DUT 204 停止領域 202、302,312,322 測定結果
Claims (3)
- 連続して信号の掃引を行い、測定結果を表示する特性測定装置において、 連続掃引を自動停止させる停止領域の設定をし、 連続掃引による測定を行い、測定結果が、前記停止領域内に含まれて表示されたら、掃引を停止し、 前記掃引停止の時点までの測定結果の履歴を表示する特性測定装置の特性観測方法。
- 信号の掃引を繰り返し行い、前記掃引の各々に基づく測定回路による測定結果を表示装置上に表示し、入力装置を備える、素子特性測定装置において、 測定結果が表示されたら連続掃引を自動的に停止させる、停止領域を、前記入力装置により前記表示装置上に設定し、 前記測定回路を用いて、連続掃引による測定を行い、測定結果が、前記停止領域内に含まれたら、掃引を自動的に停止し、 前記掃引を自動的に停止した時点までの測定結果の履歴を表示する特性測定装置の特性観測方法。
- 前記掃引される信号は、電圧または電流である請求項1または2記載の特性観測方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009083478A JP2010236946A (ja) | 2009-03-30 | 2009-03-30 | 特性測定装置の特性観測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009083478A JP2010236946A (ja) | 2009-03-30 | 2009-03-30 | 特性測定装置の特性観測方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010236946A true JP2010236946A (ja) | 2010-10-21 |
Family
ID=43091409
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009083478A Pending JP2010236946A (ja) | 2009-03-30 | 2009-03-30 | 特性測定装置の特性観測方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010236946A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106646176A (zh) * | 2016-10-19 | 2017-05-10 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种筛选晶体管的方法及装置 |
-
2009
- 2009-03-30 JP JP2009083478A patent/JP2010236946A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106646176A (zh) * | 2016-10-19 | 2017-05-10 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种筛选晶体管的方法及装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW200918903A (en) | System and method for configuring a display for a digital multimeter | |
JP7498760B2 (ja) | データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム | |
US20140282241A1 (en) | Handheld Measurement System With Selectable Options | |
US20080155354A1 (en) | Method and apparatus for collection and comparison of test data of multiple test runs | |
US20030078748A1 (en) | Graphical user interface for testing integrated circuits | |
JP2003161761A (ja) | 電子試験装置及び電子試験のデータポイント値を表示する方法 | |
US6639417B2 (en) | Semiconductor parametric testing apparatus | |
JP2007052011A (ja) | トリガ機能設定方法 | |
JP2003202363A (ja) | 電子試験装置、及び、電子試験の結果を表示する方法 | |
US9632133B2 (en) | Circuit board testing system | |
JP4786091B2 (ja) | 試験測定方法 | |
JP2010236946A (ja) | 特性測定装置の特性観測方法 | |
JP6151895B2 (ja) | 試験測定装置及び方法 | |
CN108627718B (zh) | 测试和测量设备和操作方法 | |
JP2004004050A (ja) | 試験実行システムを供給する製品および試験実行システムを動作させる方法 | |
JP2014202757A (ja) | 試験測定装置及び波形取込み方法 | |
KR101990005B1 (ko) | 줌 디스플레이를 가진 테스트 장치 및 그 테스트 방법 | |
JP2007024838A (ja) | データ集録装置 | |
JP2003208329A (ja) | 電子テストシステムおよび電子的試験の実行制御方法 | |
JP2010019695A (ja) | 測定装置およびその試験結果表示方法 | |
JP2006275966A (ja) | プローバ測定補正基板及びそのプログラム及びその記録媒体 | |
JP5855610B2 (ja) | 信号処理装置および信号処理方法 | |
JP4556123B2 (ja) | 波形解析装置 | |
CN103869128B (zh) | 数字示波器触发方法及具有触发功能的数字示波器 | |
JP5096394B2 (ja) | 測定装置及び移動体通信機器試験装置 |