JP2010228079A - ガラスディスク収容冶具およびガラスディスクの研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラスディスクスペーサの有する複数の孔と同じ位置にガラスディスクを収容する複数の孔を有し、ガラスディスクスペーサに対して回転自在に設置される下部体と、ガラスディスクスペーサの有する複数の孔と同じ位置にガラスディスクを収容する複数の孔を有し、ガラスディスクスペーサおよび下部体に対して回転自在に設置される上部体と、を具備するガラスディスク収容冶具をガラスディスクスペーサに取り付けて、ガラスディスクをガラスディスクスペーサに収容する。
【選択図】図1
Description
配置する必要があることから、磁気ディスク用ガラス基板の製造工程における研磨工程の作業性が悪化するという問題が生じる。
スディスクスペーサが存在することを特徴とする第5の手段にかかるガラスディスクの研磨方法である。
クラックや欠けが生じたり、そのクラックや欠けが伸展してガラスディスク150が割れたりすることを防止するために使用される。そのため、ガラスディスク収容冶具100には、ガラスディスク150の端面が勢いよく衝突したときに、その衝突エネルギーを吸収したり分散させたりする柔軟性が必要である。また、ガラスディスク収容冶具100は、上部体110と下部体120とが相互にまたはガラスディスクスペーサ130に対して滑らかに回転する必要があるため、上部体110および下部体120の表面の摩擦係数が低いほど好ましい。さらに、ガラスディスク収容冶具100をガラスディスクスペーサ130に取り付ける時には、ガラスディスクスペーサ130の表面が遊離砥粒を含む研磨液で濡れていることから、ガラスディスク収容冶具100には、耐水性および耐摩耗性が要求される。したがって、これらの要求を勘案すると、ガラスディスク収容冶具100は、ポリ四フッ化エチレンなどのフッソ化プラスチック、ポリアセタール、ナイロン、高分子量高密度ポリエチレンまたはシリコン樹脂などで構成されることが好ましい。
する複数の孔の位置と下部体120の有する複数の孔の位置とガラスディスクスペーサ130の有する複数の孔の位置とが全て一致した状態を示す。このとき、図3(B)に示すように、ガラスディスク150は、ガラスディスクスペーサ130の孔に収容され、初めて研磨面に直接接することになる。
11 研磨台
12 研磨面
20 駆動歯車
40 ガラスディスクスペーサ
50 ガラスディスク
100 ガラスディスク収容冶具
110 上部体
111 凸部
112 突起部
113 スライド孔
120 下部体
121 突起部
130 ガラスディスクスペーサ
150 ガラスディスク
Claims (6)
- ガラスディスクの研磨装置の研磨面上に配置された複数の孔を有するガラスディスクスペーサにガラスディスクを収容する冶具であって、
前記ガラスディスクスペーサの有する複数の孔と同じ位置にガラスディスクを収容する複数の孔を有し、前記ガラスディスクスペーサに対して回転自在に設置される下部体と、
前記ガラスディスクスペーサの有する複数の孔と同じ位置にガラスディスクを収容する複数の孔を有し、前記ガラスディスクスペーサおよび前記下部体に対して回転自在に設置される上部体と、
を具備することを特徴とするガラスディスク収容冶具。 - 前記下部体は、前記上部体の一部を貫通する突起部を有し、
前記上部体の一部とは、前記上部体が前記下部体に対して回転するときに、前記下部体の突起部がスライドするスライド孔であることを特徴とする請求項1に記載のガラスディスク収容冶具。 - 前記上部体のスライド孔の一端に前記下部体の突起部が接するときに、前記上部体の有する複数の孔の位置と前記下部体の有する複数の孔の位置とが一致することを特徴とする請求項1または2に記載のガラスディスク収容冶具。
- 前記ガラスディスクスペーサに対して着脱自在であって、
前記下部体の突起部と前記上部体のスライド孔とがそれぞれ複数設けられており、
前記ガラスディスクスペーサに対する着脱時に、前記下部体の複数の突起部が把手として機能することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のガラスディスク収容冶具。 - ガラスディスクの研磨装置の研磨面上に配置された複数の孔を有するガラスディスクスペーサの上に設置された請求項1に記載のガラスディスク収容冶具を用いてガラスディスクを前記ガラスディスクスペーサの有する複数の孔に収容するガラスディスクの研磨方法であって、
前記ガラスディスク収容冶具の上部体が有する複数の孔にガラスディスクを配置する配置ステップと、
前記上部体または前記下部体を回転させることによって、前記上部体が有する複数の孔の位置と前記下部体が有する複数の孔の位置とを一致させる第1位置合わせステップと、
前記上部体および前記下部体を回転させることによって、前記上部体が有する複数の孔の位置と前記下部体が有する複数の孔の位置と前記ガラスディスクスペーサの有する複数の孔の位置とを一致させる第2位置合わせステップと、
を具備することを特徴とするガラスディスクの研磨方法。 - 前記配置ステップにおいて、前記上部体の有する複数の孔を上から見たときに、前記上部体の有する複数の孔の各外周の内側の全てに前記下部体または前記ガラスディスクスペーサが存在することを特徴とする請求項5に記載のガラスディスクの研磨方法。
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